centrotherm扩散设备结构培训

温度测量模块
1.冷却水连接 2.热电偶连接 3.温度测量模块 4.设备安全模块 5.电源连接保护外壳
1.主冷凝器 2.排风扇 3.轴流冷却风 4. 热交换器 5.变压器
Location of Ethernet switch and CMS
Ethernet switch
CMS computer
Arm position position of the arms by millimeter tube conditions Grip and clamp condition
status of storgaes
actuell lift position by millimeter
setup lift
System / Handling
Importent and priority information for troubleshooting
time and date lift name Login condition Description of position paddle conditions posible position for arm movement Indicator of furnace condition
Centrotherm扩散炉设备 结构培训
1.控制操作系 2.装载位置 3.高温高毒气体排放 4.水平放置炉管，最多 五层 5.气源柜
1.排风盒 2.装载侧壁 3.lift 4.关闭的炉管 5.装载门 6.毒气排放 7.操作面板8.硅片探测 9.slider 10.装载机
1. 设备安全模块CMS 2.连接热电偶 3.电源连接保护外壳 4.温度测量模块
5. Cesar Remote 远程监控 可以选择每台机器的所有管道, 在CCC电脑上进行操作. 注：在设备cesar电脑中并不存储工艺， 设备每次运行一次工艺过程， 都要从CCC电脑中读取一次工艺。 CCC
举例说明: POCL-55工艺中,现成参数如下 CTEMP=843 DLV POCl1-1: DLZ=4, DCLZ=5, DCZ=0, DCGZ=-2.5, DGZ=-9 将POCL55改成POCL60, 只需将CTEMP改成约838, 再根据实验结果作相应调整.
4. Protgraf 可以查看所有工艺管道的历史纪录, 可以选择时间段,工艺名称,所要的参数, 结果可以以文档,表格, 图表的形式表示出来.
2, 程序管理 点击Recipe organization 选中station←Recipes, 可以组织每个工艺管的程序 选中station→Recipes, 可以组织每个工艺应用于哪个工艺管
3. DLV version administration DLV(direct link varaiation), 是一个单独的文件, 每一个工艺管的每个温区都对应一个DLV数值, DL(Load zone), DCL(Centreload zone), DC(Centre zone),DGC(Gascentre Zone),DG(Gas zone), 调整每一个温区的方块电阻时,可以调整此变量, 相应的变化率为1Ohm/0C, 成反比变化. 如果要将POCL-55的程序改为POCL-60的程序, 就不必对每一个 DLV参数进行修改, 只需在程序中将变量CTEMP的温度作相应修改.
Location of Reg 97
Reg 97 Stack 4
Reg 97 Stack 3
Reg 97 Stack 2
Reg 97 Stack 1
TMM5 at the Heating cartridge
TMM5 at the gas cabinett
When the green indicator goes to red, make a Regreset at the Cesar. No change – then disconnect the Reg 97 from power and reHale Waihona Puke Baiduonnect
Centertherm扩散工艺程序操作
login密码6065 1, 程序的修改 点击Recipe version administration 从Recipe(Pool)中选择要编改的程序， check out 至Recpie(Station), 点击Export/Inport,弹出Recipe export/import窗口, 在Exportable recipes中选中要修改的程序,按“ →“箭头, 导入Exported recipes, 按Edit键, 对程序进行修改, 保存并关闭程序.按“ ←“箭头, 切换窗口至 Recipe version administration. 若只希望对一个管子进行工艺修改, 则操作到此即可. 若希望让所修改的程序适用于所有的管子, 则再将Recipe(Station)中的程序Check in 至Recipe(Pool)里面
Network cable connectors
CMS components
Main switch and switch off heating stack 1- 4 Main PC from CMS
CMS part on the cassette each stack CMS part locate at transformer area