特气管道施工工艺标准

QG/ZD H -T03-12-2003

中国电子系统工程第二建设公司

洁净厂房

高纯气体管道施工工艺标准

拟稿单位：总工程师办公室

二OO三年一月二十五日

目录

1 、总则

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2 、高纯气体的三个主要参数

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3 、管道材料选择

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4 、施工程序------- 4

5 、图纸会审

6、工程测定

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绘制管段图7、

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设置预制洁净房8、

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材料检查确认9、

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10 、保护气体的供给和管理

--9

11 、管段预制

------11

12 、现场配管施工

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附录1 露点、含湿量、绝对湿度换算表

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2 4

洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级附

录2

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附录3 EP/BA 管自动氩弧焊接钨棒尺寸表

1.总则

1.1本标准适用于洁净厂房高纯气体管道配管施工。

1.2气体管道的干管，应敷设在上下技术夹层或技术夹道内，当与水、电管线共架时应设在其上部。

1.3当采用碳素钢支吊架、碳素钢管卡时必须是镀锌件，且不锈钢管道与其接触处应采用不产尘的非金属材料隔离。

1.4高纯气体管道的设计应符合下列要求：

a.按气体流量、压力或生产工艺需要确定管径，气体管道最小管径不

小于© 6x 1mm

b.管道系统应尽量短；

c.不应出现不易吹除的盲管、死角；

d.管道系统应设必要的吹除口和测试取样口。

1.5气体管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施，并用装饰板封堵。

1.6可燃气体和氧气管道的末端或最高点应设放散管。放散管引至室外应高出屋脊1 米，并应有防雨、防杂物侵入的措施。可燃气体和氧气管道还应符合《洁净厂房设计规范》安全技术措施的有关要求。

1.7高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处。

2.高纯气体的三个主要参数所谓高纯气体管道的洁净技术控制，主要是指气体纯度、干燥度、洁净度的控制（即三度控制）。

2.1气体纯度指气体中杂质气氛的含量，通常用气体纯度的百分数表示，如%（俗称

6 个9），也可用杂质气氛含量的体积比ppm、ppb 表示。

洁净厂房高纯气体管道系统建成的各个环节必须做到上流的合格气体流经厂房管道系统到达用气点的气体纯度仍能满足工艺对用气纯度的要求。

2.2干燥度气体中微量水分的含量，通常以露点表示，如露点-70 C,或以含湿量ppm

表示，如含湿量。（两者的转换见附录1）

2.3洁净度指气体中含有污染物粒子的数量，粒径为卩m的粒子的个数，pc/m3。高纯气体管道通常使用在洁净的生产环境当中，对应的洁净环境等级，在《洁净厂房设计规范GB50073-2001》中，直接采用国际标准

ISO14644-1 （详见附录2）

对高纯气体洁净度的控制，当设计未加特别注明时，施工中对洁净度的控制应与使用空间的洁净度等级保持一致，严防气体中的污染物粒子超过规定值，而造成管路系统或洁净生产空间的污染。

洁净厂房高纯气体管道的设计、施工管理，不同于一般工业气体管道，

任何一个环节稍有失控，就可能影响输送气体的质量，从而导至无法生产出合格的产品。

3.管道材料选择将高纯洁净气体输送到各用气点而不被污染，在很大程度上受管路诸多因素的影响，其中管材的选择显得十分重要。

3.1用于输送高纯气体的管道应具备以下性能

a.管材的透气性要小；

b.管材内表面吸附解吸气体的作用要小；

c.内壁光滑、耐磨损；

d.有良好的抗腐蚀性能；

e.性能稳定，含碳量低。

3.2管道材料选择

管道材料由设计选定，自行设计时应遵守《洁净厂房设计规范》的有

关规定。

a.能满足上述要求的管材，对于气体纯度在％以上或在空气洁净度等级中1~6级洁净室内时，以316L内壁经电抛光的不锈钢管（EP）为最佳选择，由于施工现场条件限制，管材应在制造厂脱脂、清洗、干燥，并有双重膜包装，对于气体纯度为％的洁净管道和干燥空气管道可选用内壁经机械抛光的304不锈钢管（BA）。

注：316L的国内对应牌号为00Cr17Ni12Mo2Ti

304的国内对应牌号为0Cr18Ni9

b.阀门及其它附件的选择

阀门及其它附件的材质应与管材选用原则一致，在采用不锈钢管材的管路系统中，不得采用铜材质的阀门，为确保阀门及管道系统的严密性和介质不受污染，应采用两端为焊接连接的无填料波纹管阀或隔膜阀。对于系统终端采用螺纹连接时，应采用VCR卡套连接；非焊接连接的垫片，对于氢、氧管道应采用金属垫片，其它高纯介质管道可采用聚四氟乙烯垫片，三通、弯头应采用与管材同材质的成品，为适应公司现有自动焊头的施焊条件，订货应注明对颈长L的要求（见下表）

6〜

> 36

> 48

> 55

4.施工程序

图纸会审 工程测定

支吊架材质的选定;

g.检测口、吹扫口和放散管（氢气）位置的选定; h 氢系氧管测防静 6.

将土建专业提供的基准标高和基准轴线，用测量仪器移值到安装场所 墙柱的适当位置，并作出标识，以此确定管道所处位置。如与建筑结构发 生矛盾时，再与有关方面协商调整，但最终应反应到竣工图上。

7. 绘制管段图

7.1凡施工图已提供透视图的，可利用透视图作为管段图，无透视图时应 在施工前绘制

管段图。

7.2 不可将几个管道系统绘制在一张图上，一个小系统，可绘制在一张图 纸上，大系

绘制管段图

5. 图纸会

:会审预制洁净房

图纸材料检查确解决以下问题，为绘制管 图

纸是否出自注册设计单位：

a. 选材预否满足介质纯度、干燥度、

c.

位置是否最终确定;

d.管道走向应排除与其他管线打架现象， 位置

确定;

洁净度要求;

并最终确定走向;

电接地的型式。