微机电系统
微机电系统
微机电系统制造工艺史微机电系统（Micro Electro-Me-chanical Systems，MEMS）是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。
MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。
微机电系统是微米大小的机械系统，其中也包括不同形状的三维平板印刷产生的系统。
这些系统的大小一般在微米到毫米之间。
在这个大小范围中日常的物理经验往往不适用。
比如由于微机电系统的面积对体积比比一般日常生活中的机械系统要大得多，其表面现象如静电、润湿等比体积现象如惯性或热容量等要重要。
它们一般是由类似于生产半导体的技术如表面微加工、体型微加工等技术制造的。
其中包括更改的硅加工方法如压延、电镀、湿蚀刻、干蚀刻、电火花加工等等。
①微机电系统制造发展历程：19世纪照相制版;1951年显像管遮蔽屏(美国RCA公司)(光学应用);1952年表面微加工专利2749598(美);1954年压阻效应;1962年晶体的异向腐蚀;1963年半导体压力计(日本丰田中央研究所);1967年振动门晶体管(美国Westinghouse公司)(牺牲层腐蚀);1968年阳极键合(美国Mallory公司);1969年基于掺杂浓度的腐蚀;1970年硅微电极(斯坦福大学);1973年内窥镜用硅压力传感器(斯坦福大学);1974年集成气相质谱仪(斯坦福大学);1979年集成压力传感器(密西根大学);1982年LIGA工艺(德国原子力研究所);1986年硅反馈式加速度计(瑞士CSEM);1986年集成流量控制器(日本东北大学);1987年微齿轮等(美国加州大学伯克利分校，贝尔研究所);1987年微静电微马达(加州大学伯克利分校，Yu-Chong Tai，Long-Sheng Fan)。
发展阶段：硅微传感器阶段：1963年日本丰田研究中心制作出硅微压力传感器。
微机电系统结构
微机电系统结构
微机电系统（MEMS）是一种将微电子技术与机械工程结合的微型系统。
它的结构主要包括以下几个部分：
1.微传感器：这是MEMS的最基本组成部分，用于感知外部信号，如温度、
压力、声音等，并将其转换为可处理的电信号。
2.微执行器：这是MEMS的另一重要组成部分，负责将电能转换为机械能，
以实现驱动、控制等功能。
3.信号处理电路：为了对微传感器采集的信号进行处理，MEMS还包括相应
的信号处理电路，以便对信号进行放大、滤波、模数转换等处理。
4.通信接口：MEMS系统通常还需要一个通信接口，以便将MEMS传感器采
集的数据传输到外部设备或系统中。
5.电源：为使MEMS系统正常工作，通常需要为其提供电源。
这可以是内部
电池，也可以是外部电源。
6.封装：MEMS系统需要进行封装，以保护其内部的微机械结构和电路等免
受外界环境的影响。
封装可以采用各种材料和技术，以满足不同的应用需求。
MEMS系统的结构可以根据需要进行定制，以满足特定的应用需求。
其微型化的特点使得MEMS在许多领域都具有广泛的应用前景，如汽车、医疗、航空航天等。
微机电系统制程
目录页
Contents Page
1. 微机电系统制程简介 2. 材料选择与准备 3. 图案设计与光刻 4. 刻蚀与去胶 5. 表面处理与改性 6. 结构组装与封装 7. 测试与调试 8. 制程优化与扩展
微机电系统制程
微机电系统制程简介
微机电系统制程简介
▪ 微机电系统制程概述
1.微机电系统制程是一种用于制造微型机械和电子设备的先进技术。 2.微机电系统制程采用了精密加工和微电子技术，能够将微小的机械结构、传感器 、执行器、电路等集成在一个微小的芯片上。 3.微机电系统制程在各个领域都有广泛应用，如航空、医疗、通信、消费电子等。
结构组装与封装
▪ 结构组装与封装的集成与优化
1.集成设计：将结构组装和封装技术进行集成设计，实现微机 电系统的整体优化，提高系统的性能和可靠性。 2.集成工艺开发：开发适合集成设计的工艺流程和工艺设备， 实现高效、高精度的结构组装和封装。 3.集成测试与评估：对集成后的微机电系统进行全面的测试和 评估，确保其性能和可靠性达到预期水平。 以上是关于微机电系统制程中结构组装与封装的部分主题内容 和，希望能够对您有所帮助。
▪ 去胶技术选择
1.去胶技术的选择取决于掩模材料的性质、基底材料的性质和 去胶过程的要求。 2.需要考虑去胶速率、均匀性、选择性以及对环境的影响等因 素。 3.一些新型的去胶技术如超临界流体去胶和激光去胶等也逐渐 得到应用。
微机电系统制程
表面处理与改性
表面处理与改性
▪ 表面清洗与预处理
1.采用超声波清洗技术，有效去除表面污渍和氧化物。 2.使用等离子处理技术，提高表面能级，增强附着力。 3.严格控制清洗液成分和浓度，避免对表面造成损伤。
▪ 前沿趋势与发展展望
机械工程中的微机电系统与纳米技术
机械工程中的微机电系统与纳米技术随着科技的飞速发展，机械工程领域也在不断创新与进步。
其中，微机电系统（MEMS）与纳米技术成为了研究热点。
本文将介绍微机电系统与纳米技术在机械工程中的应用，并探讨其在未来的发展前景。
一、微机电系统微机电系统，简称MEMS，是一种综合利用微加工技术、传感器技术和微电子技术相结合的微型装置。
它的特点是尺寸小、功耗低、成本较低，并且能够实现与机械设备的高度集成。
由于其独特的优势，微机电系统在机械工程中应用广泛。
首先，MEMS技术可以用于开发各种传感器。
例如，加速度传感器可以测量物体的加速度，应用于汽车安全气囊、智能手机的屏幕旋转等方面。
压力传感器可以测量流体的压力，应用于气压传感器、血压计等设备。
温度传感器可以测量环境温度，广泛应用于温度控制系统中。
这些传感器的微小大小使得它们可以嵌入到各种设备中，带来更加精确的数据采集和控制。
其次，MEMS技术还可以应用于纳米级的机械结构。
例如，微型梁、薄膜和弯曲式电机等结构，能够实现微型和纳米级的机械操作。
这些结构可以应用于光学设备、生物医学器械等领域。
通过MEMS技术的应用，可以制造出尺寸更小、精度更高、功耗更低的机械装置，推动了机械工程的发展。
二、纳米技术纳米技术是利用纳米级尺寸材料的性质进行制造和应用的技术。
纳米级的尺寸使得物质具有了独特的性能和行为，这些性能在机械工程中有着广泛的应用前景。
首先，纳米技术可以用于制造高强度和轻量化的材料。
例如，纳米纤维材料具有超强抗拉强度和柔韧性，被广泛应用于制造高性能的复合材料。
此外，纳米材料还可以用于制造超硬的切削工具，提高机械加工的效率和质量。
其次，纳米技术在精确加工和纳米装配方面也有广泛应用。
纳米级的加工技术可以实现超高精度的部件制造，提高机械设备的精度和性能。
同时，纳米级的装配技术可以实现微型器件的装配和组合，推动微机电系统的发展。
三、未来发展前景微机电系统与纳米技术的结合在机械工程领域有着巨大的潜力。
微机电系统在工业工程中的应用
微机电系统在工业工程中的应用微机电系统（Microelectromechanical Systems，简称MEMS）是一种集微电子技术、微机械技术和传感器技术于一体的微型器件系统。
微机电系统的应用领域非常广泛，尤其在工业工程领域发挥了重要的作用。
本文将重点讨论微机电系统在工业工程中的应用。
一、自动化控制系统微机电系统在工业自动化控制领域有着广泛的应用。
通过集成微型传感器和执行器，微机电系统可以实现对工业过程各项参数的精确测量和控制。
例如，在制造业中，微机电系统可以用来监测温度、压力、湿度等参数，并及时反馈给控制系统，实现过程的自动化控制。
此外，微机电系统还可以应用于机械臂、机器人等自动化设备中，实现精确的位置控制和运动控制。
二、智能传感器微机电系统能够将传感器制造成微型化、集成化的智能传感器，具备更高的灵敏度和更快的响应速度。
这些传感器可以广泛应用于工业工程中的各个领域。
例如，微机电系统加速度传感器可以用于震动监测和结构健康监测，实时检测工业设备的运行状态，避免故障和事故的发生。
另外，微机电系统气体传感器可以用于检测工业生产过程中的有害气体浓度，保障生产环境的安全和健康。
三、能源管理微机电系统在工业工程中还可以应用于能源管理。
例如，在风力发电领域，微机电系统可以用于监测和控制风力涡轮机的转速、转向等参数，提高发电效率和降低故障率。
此外，微机电系统还可以用于光伏发电领域，通过集成光传感器，实现对光照强度的监测和控制，提高光伏发电的效率。
四、环境监测与控制微机电系统在工业工程中还可以应用于环境监测与控制。
例如，在大气污染监测领域，微机电系统可以用来检测空气中的颗粒物、有害气体等污染物质，为环保部门提供实时的监测数据，帮助制定污染治理的措施。
此外，微机电系统还可以用于水质监测、噪声监测、土壤污染监测等领域，为环境保护工作提供关键的数据支持。
五、智能制造在工业工程中，微机电系统的应用还有助于推动智能制造的发展。
微机电系统概论
美国：微型机电系统
MEMS:
Micro electro mechanical system
日本：微机械
Micro
machine system
欧洲：微系统
Micro
微尺寸效应的影响
1、微尺寸效应对于元器件间的作用力的影响
随着尺寸的减小，与尺寸3次方成比例的像惯性力、 体积力及电磁力等的作用将明显减弱；而与尺寸2次方 成比例的像粘性力、表面力、静电力及摩擦力等的作用 则明显增强，并成为影响微机械性能的主要因素。 在微机械设计中，多利用静电力驱动。 在微机械中，又由于表面积与体积之比相对增大，使 热传导的速度也相对增加。 研究微机械中的摩擦、磨损的特性与机理是该领域的 主要课题之一。
To
In
Technology & Engineering
(low cost) (new applications)
Batch
fabrications Small size Performance (improvement)
质谱仪（Mass spectrograph）
惯性测量系统
什么是微机电系统
光 声 压力 温度 化学 其它 能量 传 感 器 模 拟 信 号 处 理 器 数 字 信 号 处 理 器 模 拟 信 号 处 理 器 执 行 器 信息 其它 信息处理单元 运动
感测量 通讯/接口单元
控制量
光/电/磁
机械与机电系统；宏观机电系统与微机电系统 微机电系统： 它是以微传感器、微执行器以及驱动和控制电 路为基本元器件组成的、可以活动和控制的、机 电合一的微机械装置。 特点： 1、学科交叉（力学、机械、电学、光学、电磁 学、生物、化学等学科）2、微型化、集成化和 智能化；3、低成本批量化；4、应用广泛（军民 两用）5、高新技术。
MEMS微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)
MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。
MEMS 是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。
MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。
MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。
MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。
MEMS技术正发展成为一个巨大的产业，就象近20年来微电子产业和计算机产业给人类带来的巨大变化一样，MEMS也正在孕育一场深刻的技术变革并对人类社会产生新一轮的影响。
目前MEMS市场的主导产品为压力传感器、加速度计、微陀螺仪、墨水喷咀和硬盘驱动头等。
大多数工业观察家预测，未来5年MEMS器件的销售额将呈迅速增长之势，年平均增加率约为18%，因此对对机械电子工程、精密机械及仪器、半导体物理等学科的发展提供了极好的机遇和严峻的挑战。
MEMS是一种全新的必须同时考虑多种物理场混合作用的研发领域，相对于传统的机械，它们的尺寸更小，最大的不超过一个厘米，甚至仅仅为几个微米，其厚度就更加微小。
采用以硅为主的材料，电气性能优良，硅材料的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度与铝类似，热传导率接近钼和钨。
采用与集成电路（IC）类似的生成技术，可大量利用IC生产中的成熟技术、工艺，进行大批量、低成本生产，使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。
微机电系统MEMS简介
陀螺仪
总结词
用于测量或维持方向的传感器
详细描述
陀螺仪是一种基于角动量守恒原理的传感器，用于测量或维持方向。它通过测量物体旋转轴的方向变 化来工作，通常由高速旋转的陀螺仪转子组成。陀螺仪广泛应用于导航、姿态控制、游戏控制等领域 ，如智能手机、无人机和导弹制导系统等。
压力传感器
总结词
用于测量流体或气体压力的传感器
MEMS市场应用领域
消费电子
汽车电子
医疗健康
工业自动化
MEMS传感器在消费电子产品 中的应用广泛，如智能手机、 平板电脑、可穿戴设备等。这 些设备中的传感器用于运动检 测、加速度计、陀螺仪、气压 计等。
随着汽车智能化的发展， MEMS传感器在汽车领域的应 用也越来越广泛，如车辆稳定 性控制、安全气囊、发动机控 制等。
MEMS材料
单晶硅
单晶硅是MEMS制造中最常用的材料 之一，具有高强度、高刚度和良好的 化学稳定性。
多晶硅
多晶硅在MEMS制造中常用于制造柔 性结构，具有较好的塑性和韧性。
玻璃
玻璃在MEMS制造中常用于制造光学 器件，具有较高的透光性和稳定性。
聚合物
聚合物在MEMS制造中常用于制造生 物传感器和柔性器件，具有较好的生 物相容性和可塑性。
集成化
未来的MEMS系统将更加集 成化，能够将多个MEMS器 件集成在一个芯片上，实现 更高效、更低成本的应用。
03
CATALOGUE
MEMS传感器与器件
加速度传感器
总结词
用于测量 物体运动状态的传感器
详细描述
加速度传感器是一种常用的MEMS传感器，主要用于测量物体运动状态的加速度。它通常由质量块和弹性支撑结 构组成，通过测量质量块因加速度产生的惯性力来计算加速度值。加速度传感器广泛应用于汽车安全气囊系统、 手机和平板电脑的姿态控制、运动检测等领域。
mems微机电系统名词解释
mems微机电系统名词解释MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）是一种集成微型机械、电子与传感器功能于一身的微型设备。
它结合了传统的机械制造技术、半导体工艺和微纳米技术，将微型机械部件、传感器、电子电路以及微纳加工技术集成在一个晶圆上，以实现微型化、多功能化和集成化的目标。
以下是一些与MEMS相关的名词解释：1. 传感器（Sensor）：一种能够感知并转换外部物理量、化学量或生物量的设备，可以将感应到的物理量转化为电信号。
2. 执行器（Actuator）：一种能够接收电信号并将其转化为相应的机械运动的设备，用来实现对外界的控制或作用。
3. 微型机械（Micro-Mechanical）：指尺寸在微米或纳米级别的机械部件，由微细加工技术制造而成，具有微小、精确和高效的特点。
4. 纳米技术（Nanotechnology）：一种研究和应用物质在纳米尺度下的特性、制备和操作的技术，常用于MEMS器件的加工制造。
5. 惯性传感器（Inertial Sensor）：一种基于测量物体运动状态和变化的MEMS传感器，如加速度计和陀螺仪。
6. 压力传感器（Pressure Sensor）：一种可以测量气体或液体压力的MEMS传感器，常用于汽车、医疗、工业等领域。
7. 加速度计（Accelerometer）：一种测量物体在空间中加速度的MEMS传感器，常用于移动设备、运动检测等应用。
8. 微镜（Micro-Mirror）：一种利用MEMS技术制造的微型反射镜，通常用于显示、成像和光学通信等应用。
9. 微流体器件（Microfluidic Device）：一种用于实现微小流体控制的MEMS器件，常用于生化分析、药物传递和微生物学研究等领域。
10. 无线传感器网络（Wireless Sensor Network）：一种由多个分布式的MEMS传感器节点组成的网络系统，可以实现对环境信息的实时采集、处理和通信。
微机电系统及微细加工技术
微机电系统及微细加工技术微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS）是一种将微米尺度的机械结构、电子元器件和微处理器集成在一起的技术。
它利用微细加工技术来制造微小的机械设备和传感器，以实现对物理量、化学量和生物量的检测、测量和控制。
微机电系统的核心是微细加工技术，它是一种将传统的集成电路制造技术与微机械加工技术相结合的新技术。
通过微细加工技术，可以在硅基材料上制造出微小的机械结构和电子元器件，从而实现微机电系统的功能。
微机电系统的制造过程包括多个步骤，其中最关键的是光刻、薄膜沉积和蚀刻。
光刻是将光敏树脂涂覆在硅基材料上，并利用光刻机将图形投射到光敏树脂上，然后利用化学蚀刻将暴露在光下的部分去除，形成所需的结构。
薄膜沉积是将金属或者绝缘材料沉积在硅基材料上，用于制作电极、传感器等部件。
蚀刻是通过化学反应将硅基材料腐蚀，从而形成微小的结构。
微机电系统具有多种应用领域。
在生物医学领域，微机电系统可以用于制造微型传感器，实现对生物体内生理参数的监测。
在环境监测领域，微机电系统可以用于制造微型气体传感器，实现对空气中有害气体的检测。
在信息技术领域，微机电系统可以用于制造微型显示器和微摄像头，实现信息显示和图像采集。
此外，微机电系统还可以应用于汽车行业、航空航天领域和工业控制领域等。
微机电系统在实际应用中面临着一些挑战。
首先，微机电系统的制造过程非常复杂，需要高度精确的设备和工艺控制，制造成本较高。
其次，微机电系统的性能和可靠性受到环境和温度的影响，需要进行合理的封装和温度补偿。
最后，微机电系统的集成度和功耗也是一个挑战，需要在保证性能的同时尽量减小尺寸和功耗。
微机电系统是一种基于微细加工技术的新型集成技术，具有广泛的应用前景。
随着微细加工技术的不断发展和改进，微机电系统将在多个领域发挥重要作用，为人们的生活和工作带来更多便利和创新。
微机电系统
各个国家不同的定义
• 美国：微型机电系统 – MEMS: Micro electro mechanical system • 日本：微机械 – Micro machine • 欧洲：微系统 – Micro system
微机电系统
微机电系统的发展历史
• MEMS第一轮商业化浪潮始于20世纪70年代末80年代初， 当时用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器。 由于薄硅片振动膜在压力下变形，会影响其表面的压敏电 阻曲线，这种变化可以把压力转换成电信号。后来的电路 则包括电容感应移动质量加速计，用于触发汽车安全气囊 和定位陀螺仪。 • 第二轮商业化出现于20世纪90年代，主要围绕着PC和信 息技术的兴起。TI公司根据静电驱动斜微镜阵列推出了投 影仪，而热式喷墨打印头现在仍然大行其道。 • 第三轮商业化可以说出现于世纪之交，微光学器件通过全 光开关及相关器件而成为光纤通讯的补充。尽管该市场现 在萧条，但微光学器件从长期看来将是MEMS一个增长强 劲的领域。
微机电系统的研究内容——技术基础
• • • • • • MEMS的技术基础可以分为以下几个方面： （1）设计与仿真技术； （2）材料与加工技术； （3）封装与装配技术； （4）测量与测试技术； （5）集成与系统技术
微机电系统的研究内容——应用研究
• 人们不仅要开发各种制造MEMS的技术，更重要的是如何 将MEMS技术与航空航天、信息通信、生物化学、医疗、 自动控制、消费电子以及兵器等应用领域相结合，制作出 符合各领域要求的微传感器、微执行器、微结构等MEMS 器件与系统。 • MEMS还用于大量声波双工器 （BulkAcousticWaveduplexer）与滤波器、麦克风、 MEMS自动聚焦致动器、压力感测器、MEMS微微型投影 仪，甚至MEMS陀螺仪。
机械工程中的微机电系统技术
机械工程中的微机电系统技术随着科技的不断发展，机械工程领域也在不断创新和进步。
其中，微机电系统技术（Microelectromechanical Systems，MEMS）被广泛应用于机械工程领域，为各行各业带来了巨大的变革和发展。
一、什么是微机电系统技术？微机电系统技术是一种将微观尺度的机械元件、电子元件和微电子加工技术相结合的技术。
它通过利用微型加工技术，将传感器、执行器、控制电路等集成在一起，实现了微型化、高性能和低功耗的特点。
微机电系统技术的应用范围非常广泛，涵盖了医疗、汽车、航空航天、电子设备等多个领域。
二、微机电系统技术在医疗领域的应用在医疗领域，微机电系统技术的应用给医疗设备带来了重大的改进。
例如，微型传感器可以用于监测患者的生命体征，如心率、血压等，实现了对患者的实时监测。
此外，微型执行器可以用于精确控制药物的输送，提高治疗效果和减少副作用。
微机电系统技术还可以应用于微创手术器械的研发，使手术更加精确和安全。
三、微机电系统技术在汽车工程中的应用在汽车工程领域，微机电系统技术的应用也非常广泛。
例如，利用微型传感器可以实时监测汽车的各项参数，如车速、转向角度、油耗等，提供给驾驶员准确的信息。
微型执行器可以用于汽车的稳定控制系统，通过调整悬挂系统的硬度和阻尼，提高汽车的操控性和安全性。
此外，微机电系统技术还可以应用于汽车的智能驾驶系统，实现自动驾驶和智能交通。
四、微机电系统技术在航空航天领域的应用在航空航天领域，微机电系统技术的应用也十分重要。
例如，利用微型传感器可以实时监测飞机的姿态、气压、温度等参数，为飞行员提供准确的信息。
微型执行器可以用于飞机的控制系统，通过调整飞机的舵面和引擎推力，实现飞机的稳定飞行。
此外，微机电系统技术还可以应用于航天器的导航和控制系统，实现精确的航天任务。
五、微机电系统技术的发展趋势随着科技的不断进步，微机电系统技术也在不断发展和创新。
未来，微机电系统技术将更加追求微型化、高性能和低功耗。
微机电系统
微机电系统是指可批量制作的， 集微型结构、微型传感器、微型执 行器以及信号处理和控制电路、直 至接口、通信和电源等于一体的微 型器件或系统。 微系统可以广泛应用于国防、工业、 航空航天、生物、医药学等领域。
微机电系统的优势
• MEMS（微机电系统）因其体积小，便于多功能集 成，适合采用大批量制造工艺而极大地降低成本等 特点，向人们展示了广阔应用前景，在流体中的应 用潜力也非常诱人。我国微机电系统研究也有很多 先进的成果，成都电子科技大学机械电子工程学院 教授丁杰雄的“MEMS中基于多模谐振的超声波悬 浮颗粒分离方法研究”便是其中之一。 • 微型化 • 批量生产 • 集成化 • 方便扩展 • 多学科交叉
微机电系统的发展前景
• 应用领域广，需求市场大。ＭＥＭＳ技术涉及的领 域主要包括惯性器件如微加速度计与微陀螺、微镜、 三维微型结构的制作、微型阀门、泵和微型喷口、 流量器件、微型光学器件、各种执行器等十几个技 术领域，研究内容在航空航天、汽车、生物技术、 消费产品、军事、环境保护、保健制药以及远程通 信等方面都有应用。１９９９年微电子市场已经接 近１ ５００亿美金，２００５年大概是１ ８００亿 美金，需求增长率超过３０％，市场发展得非常迅 速。 • ＭＥＭＳ器件芯片制造与封装的加工工艺多样化。 随着物理、化学等基础技术和材料、机械等工程技 术的发展，ＭＥＭＳ制造技术和封装技术将是微机 电系统未来发展的一个重要研究领域。
• 简历制作:大方，得体，内容真实，突出自 己的特点与个性。 • 专业技能 • 提前了解要面试公司的一些特点以及公司 的主要产品 • 面试中变现得体，提前想好自己的自我介 绍，介绍中尽量体现出几点重要的，与所 找工作相关的东西。回答问题尽量抓住重 点简要回答，但回答的也不能太简单。
微机电系统的研究和应用
微机电系统的研究和应用一、微机电系统简介微机电系统（MEMS）是指结合微处理技术、微机电技术和纳米技术的多学科交叉领域。
它是一种新型的微型化智能系统，能够实现传感、处理和控制功能。
微机电系统是将传感器、执行器、处理器、电子器件与微观结构集成在一起的微型化智能化系统。
二、微机电系统研究微机电系统的研究包括了微观加工技术、传感器技术、器件制造技术、封装和集成技术、信号处理和智能算法、系统控制和应用开发等方面的内容。
1、微观加工技术微观加工技术是微机电系统的关键技术之一，它是制造微型器件和元件的核心技术。
常用的微观加工方法包括光刻技术、电子束曝光技术、激光加工技术、离子束加工技术和微影技术等。
2、传感器技术传感器是微机电系统中最核心的部分之一。
微机电系统的传感器包括光学传感器、压力传感器、温度传感器、加速度传感器、惯性传感器、磁传感器等。
传感器的设计、制造和测试技术对微机电系统的性能和可靠性有着至关重要的影响。
3、器件制造技术微机电系统的器件包括微型加速度计、微型陀螺仪、微型电机、微型振动器、微型热电池等。
这些器件的制造技术对于微机电系统的实现具有重要影响。
4、封装和集成技术微机电系统的封装和集成技术是其实现的重要组成部分。
微型器件在封装过程中需要考虑到封装的材料、封装的结构形式以及封装的工艺，同时还需要考虑如何把微型器件和其他器件进行集成。
5、信号处理和智能算法微机电系统的信号处理和智能算法是其实现的关键技术。
传感器产生的信号需要进行处理和分析，从而得到需要的信息。
同时，微机电系统的智能算法也是其具有智能化特征的关键技术。
6、系统控制和应用开发微机电系统的系统控制和应用开发是其重要应用方向之一。
在微机电系统的应用过程中，需要考虑到微型器件与其他器件的集成，同时还需要设计和开发控制系统。
三、微机电系统应用微机电系统是一种集成微型化的智能技术，它在多个领域都有广泛的应用，如汽车、生物医学、化工、环境监测等。
微机电系统
（2）光刻电铸 LIGA 技术是将深度X 射线光刻、微电铸成 技术是将深度X 型和塑料铸模等技术相结合的一种综合性加 工技术，它是进行非硅材料三维立体微细加 工的首选工艺。LIGA 工的首选工艺。LIGA 技术制作各种微图形的 过程主要由两步关键工艺组成，即首先利用 同步辐射X 同步辐射X 射线光刻技术光刻出所要求的图 形，然后利用电铸方法制作出与光刻胶图形 相反的金属模具，再利用微塑铸制备微结 构。
பைடு நூலகம் 2.微细加工工艺
（1）半导体加工技术 半导体加工技术即半 导体的表面和立体的微细加工是在硅为主要 材料的基片上，进行沉积与腐蚀的工艺过程。 半导体加工技术使MEMS的制作具有低成本、 半导体加工技术使MEMS的制作具有低成本、 大批量生产的潜力。
1）光刻加工技术。光刻加工是用照片复印的 方法将光刻掩模上的图形印制在涂有光致抗 蚀剂（光刻胶）的薄膜或基材表面，然后进 行选择性腐蚀，刻蚀出规律图形。 2）体微型机械加工技术。体微型机械加工就 是一种对硅衬底的某些部位用腐蚀技术有选 择地除去一部分形成微型机械结构的工艺， 常用的主要有湿法腐蚀和干法腐蚀。 3）表面微型机械加工技术。表面微型机械加 工技术是在硅表面根据需要生长多层薄膜， 采用选择腐蚀技术，去除部分不需要的膜层， 在硅表面上形成是需要的形状，甚至是可动 部件
MEMS发展的目标在于，通过微型化、集成 MEMS发展的目标在于，通过微型化、集成 化来探索新原理、新功能的元件和系统，开 辟一个新技术领域和产业。MEMS可以完成 辟一个新技术领域和产业。MEMS可以完成 大尺寸机电系统所不能完成的任务，也可嵌 入大尺寸系统中，把自动化、智能化和可靠 性水平提高到一个新的水平。21世纪MEMS 性水平提高到一个新的水平。21世纪MEMS 将逐步从实验室走向实用化，对工农业、信 息、环境、生物工程、医疗、空间技术、国 防和科学发展产生重大影响。
微机电系统工程专业认识
微机电系统工程专业认识介绍微机电系统工程（Microelectromechanical Systems Engineering，简称MEMS）是一门涉及微纳技术、机械工程和电子工程的交叉学科。
通过微纳加工技术，它将微型传感器、微型执行机构和微型电子电路集成在一起，实现微米级或纳米级尺寸的器件和系统。
本文将介绍微机电系统工程的发展背景、应用领域、专业课程和前景。
发展背景微机电系统工程源于20世纪70年代的芯片工艺技术。
随着半导体技术的发展，研究人员开始尝试将机械结构集成到芯片上，从而实现微小化、低成本和高性能的传感器和执行机构。
随着纳米技术的兴起，微机电系统工程发展迅速，并在多个领域得到广泛应用。
应用领域微机电系统工程在许多领域都有广泛的应用。
其中包括： - 生物医学领域：用于生物标记、药物传递、体内监测等。
- 无线通信领域：用于振荡器、滤波器、天线等。
- 汽车工业：用于汽车传感器、气囊系统、刹车系统等。
- 空间探索：用于微型卫星、航天器等。
- 环境监测：用于气象仪器、空气质量监测等。
专业课程微机电系统工程作为一门交叉学科，其专业课程包括： - 微电子学基础：介绍半导体材料与器件的基本原理和制造工艺。
- 机械工程基础：包括力学、热力学、流体力学等基础知识。
- 微机电系统设计：介绍微机电系统的设计原理和方法。
- 微纳加工技术：介绍微纳加工工艺和设备。
- 传感器与执行机构：介绍各种传感器和执行机构的原理和应用。
- 信号处理与控制：介绍信号处理和控制技术在微机电系统中的应用。
前景随着智能化设备的普及和技术的不断进步，微机电系统工程的应用前景非常广阔。
微机电系统的小尺寸、低功耗和高性能使其在物联网、智能家居、医疗健康等领域有着广泛应用的潜力。
此外，随着纳米技术的发展，微机电系统的尺寸将进一步缩小，功能将进一步增强，所能应用的领域也将进一步扩展。
结论微机电系统工程是一门融合了微纳技术、机械工程和电子工程的交叉学科。
微机电系统分析报告
微机电系统分析报告微机电系统（Micro-electro-mechanical systems, MEMS）是一种以微米尺度的微观机械设备、电路和系统为基础的技术体系。
该系统结合了电子、机械和材料科学，具有体积小、重量轻、功耗低和集成度高等特点，广泛应用于无线通信、医疗诊断、汽车控制、环境检测等领域。
本报告将从微机电系统的概念和分类、工作原理和应用等方面进行分析。
一、概念和分类微机电系统是一种利用微纳技术和集成电路技术制造微米级尺度的机械设备的系统。
它通常由微感知器件、微执行器件和微电子器件等组成，通过微机电传感器、微机电执行器实现对信号的检测和控制。
根据应用领域的不同，微机电系统可以分为加速度传感器、气压传感器、陀螺仪、压力传感器、光学器件等多个类别。
二、工作原理微机电系统通过微机电传感器将物理量转化为电信号，再经过微处理器的处理实现信号的放大和转换。
以加速度传感器为例，它采用压阻式或电容式传感方式，将物体的加速度通过微电子器件转化为电信号，再通过微处理器进行分析和处理。
三、应用领域微机电系统在无线通信、医疗诊断、汽车控制、环境检测等领域均有广泛应用。
在无线通信领域，微机电系统可以实现手机的运动感应和摄像头的自动对焦等功能；在医疗诊断领域，微机电系统可以用于心脏病监测和药物释放等应用；在汽车控制领域，微机电系统可以实现车辆稳定控制和平衡感应等功能；在环境检测领域，微机电系统可以用于气体浓度传感和水质检测等应用。
四、优势和挑战微机电系统具有体积小、重量轻、功耗低和集成度高等优势，可以实现高精度和多功能集成。
然而，微机电系统的制造和集成技术较为复杂，对设备和材料的要求较高，生产成本也相对较高。
五、发展趋势随着尺寸更小、功能更强的微机电系统的不断开发，微机电系统将逐渐应用到更多领域。
未来，微机电系统有望在智能家居、医疗治疗、军事安防等领域实现更广泛的应用。
综上所述，微机电系统是一种以微米级尺度的微观机械设备、电路和系统为基础的技术体系。
《微机电系统》课件
02
《微机电系统设计与制造》
03
《微机电系统应用》
THANKS
详细描述
新型的微型陀螺仪采用先进的微 制造工艺和新型材料，具有更高 的灵敏度和稳定性。未来，随着 技术的进步和应用需求的增长， 微型陀螺仪的发展前景将更加广 阔。
微型加速度计
总结词
详细描述
总结词
详细描述
微型加速度计是一种用于测 量物体运动状态的传感器， 也是微机电系统的重要应用 之一。
微型加速度计被广泛应用于 汽车安全气囊系统、手机游 戏控制、医疗器械等领域。 由于其具有体积小、重量轻 、响应速度快等优点，微型 加速度计在许多领域都得到 了广泛应用。
详细描述
微机械结构采用微型化的加工技术制作而成，具有体积小、重量轻、精度高等特点。常见的微机械结构有连杆、 齿轮、轴承等，它们在微执行器、微传感器等元件中发挥着重要作用。
微控制器
总结词
微控制器是微机电系统中的控制中心，用于实现系统的智能化和自动化。
详细描述
微控制器是一种集成度较高的集成电路芯片，具有数据处理、控制输出等功能。在微机电系统中，微 控制器负责接收传感器信号、处理数据和控制执行器动作，从而实现系统的自动化和智能化。
测试方法
对封装好的微机电系统进行性能测试，以确保其满足 设计要求。
可靠性评估
对微机电系统的寿命和可靠性进行评估，以确定其在 实际应用中的表现。
04
微机电系统的应用实例
微流体控制系统
总结词
微流体控制系统是微机电系统的一个重要应用， 它利用微小的流体控制元件和控制电路对流体进 行精确控制。
总结词
微流体控制系统的优点在于其高精度、低能耗、 低成本和易于集成等特性，使得它在许多领域具 有巨大的应用潜力。
微机电系统(MEMS)
何谓微机电系统(MEMS)为了说明什么是微机电系统MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)，首先来解释一下什么是机电系统。
20多年以前，汽车还是一个单纯的机械系统，后来随着电子技术的发展，汽车的很多零部件(例如电子点火器、燃油电子喷射装置、电控自动变速箱等)都依靠电子系统进行控制，因此现在的汽车实际上就是一个大的机械电子系统。
而微机电系统则是指微小的机械电子系统，例如比一粒花生米还要小的飞机或汽车，是由很多只有几百微米大小的零件组成的，而这些零件是用微电子等微细加工技术制备出来的，既包含机械部件又包含电子部件，因此我们称这类微小的机械电子系统为微机电系统。
微机械电子系统是微电子技术的拓宽和延伸，它是将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，并将微电子与机械融为一体的系统。
MEMS将电子系统和外部世界有机地联系起来，它不仅能感受运动、光、声、热、磁等自然界的外部信号，使之转换成电子系统可以识别的电信号，而且还能通过电子系统控制这些信号，进而发出指令，控制执行部件完成所需的操作。
MEMS主要包含微型传感器、执行器和相应的处理电路三部分。
作为输入信号的自然界各种信息首先通过传感器转换成电信号，经过信号处理以后(模拟/数字)再通过微执行器对外部世界发生作用。
传感器可以把能量从一种形式转化为另一种形式，从而将现实世界的信号(如热、运动等信号)转化为系统可以处理的信号(如电信号)。
执行器根据信号处理电路发出的指令完成人们所需要的操作。
信号处理器则可以对信号进行转换、放大和计算等处理。
美国AnalogDevice公司已经研制出很多种将集成电路与MEMS集成在一起的集成微加速度计、微陀螺等产品。
MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，它几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子技术、机械技术、光学、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等。
MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。
微机电系统(MEMS)的学习
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?光传感方式?成像系统(Imager)➢CCD➢CMOS?发光系统➢LED➢半导体激光器➢等离子➢生物发光?光调节器
传统的光传感器
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电容式微加速度计
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光学MEMS器件?定义➢Optical Transducers , MOEMS, Optical MEMS?分类➢传统的光传感器 、转换器√光传感 、成像 、发光器件（光电子） ➢利用光进行传感的器件√位置传感器 、光谱仪 、DNA芯片➢利用微机械加工方法形成的器 、环境 监控 、汽车都有广泛应用。2000年有120- 140亿美元市场相关市场达1000亿美元
2年后市场将迅速成长分子和原子级加工
MEMS 从顶层向下
大机器加工 小机器 , 小 机器加工微 机器
• 从底层向上
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用微电子加 工技术MEMS系统
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MEMS技术的应用?在生物医学方面 , 将光 、机 、 电 、液、生化等部件集成在一起 , 构成一个微型 芯片实验室 , 用于临床医学检测 , 为医 生甚至家庭提供简单 、廉价 、准确和快 捷的检测手段?光显示 、 高密度存储 、汽车 、 国防等微 系统
惯性器件?加速度计➢压阻式加速度计➢电容式加速度计 ➢压电式加速度计
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惯性器件
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研究领域?技术基础: 设计 、工艺加工(高深宽比多层微结构) 、微装配工艺 、微系统的测量等。?应用研究: 如何应用这些MEMS系统也是一 门非常重要的学问 。人们不仅要开发各种制造MEMS的技术 ， 更重要的是如何将MEMS器件用于实际系统 ， 并从中受益。
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体硅工艺
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?表面牺牲层与CMOS工艺集成➢ 结构单独制造 , 灵活性较大➢灵敏度高 、寄生小 、体积小➢简化封装和组装 , 可靠性高➢加工工艺复杂 , 成品率较低 ➢工艺兼容的材料种类较少
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X光过渡掩模板制造工艺流程图
B、 微电铸工艺
目前镍的微电铸工艺比较成熟，镍较稳定，且具有 一定的硬度，可用于微复制模具的制作。 由于金是LIGA掩模板的阻挡层，所以，在LIGA技 术中，金的微电铸技术非常重要。 有些传感器和执行器需要有磁性作为驱动力，所以， 具有磁性的铁镍合金的微电铸对 LIGA 技术也很重要。 其他如银、铜等也是LIGA技术常用的金属材料。 LIGA 的微电铸工艺技术难点之一，是对高深宽比 的深孔、深槽进行微电铸。
由于同步辐射X光深层光刻代价较高,无法进行大批量生产， 所以LIGA技术的产业化只有通过微复制技术来实现。目前微复 制方法主要有两种，注塑成型和模压成型，下图给出了注塑成 型和模压成型两种微复制方法的工作原理。其中注塑成型适用 于塑料产品的批量生产，模压成型适用于金属产品的批量生产
C、 微复制工艺
腐蚀速率与温度的关系（高HF区，无稀释）自下而 上 每 族 曲 线 对 应 的 配 比 为 ： 95%HF+5%HNO3 ， 90%HF+10%HNO3，85%HF+15%HN干法刻蚀具有分辨率高、各向异性腐蚀能力强、 选择比大，以及能进行自动化操作等优点。因此 ，干法刻蚀在体微加工中将逐渐占有重要地位。 •干法刻蚀的过程可分为以下几个步骤 ： （1）腐蚀性气体粒子的产生； （2）粒子向衬底的传输 (3）衬底表面的腐蚀； （4）腐蚀反映物的排除。 •干法腐蚀的种类有物理方法：离子腐蚀（溅射） Ion Etching(IE),离子束腐蚀Ion Beam Etching(IBE)；化学方法：等离子体腐蚀 Plasma Etching(PE)
9.2 MEMS制造技术
微电子机械系统是指采用微机械加工技 术和微电子技术相结合的工艺技术,可以批 量制作,集微型机构、微型传感器、微型执 行器以及信号处理和控制电路、接口、通 讯等于一体的微型器件或微型系统。
MEMS的制造技术主要包括两类技术：体微 加工和表面微加工。这两类加工技术的基本材 料都用硅，而加工工艺的基础都是集成电路制 造技术。本小节主要介绍如下几种加工工艺： 1.表面微加工技术，来自金属膜的概念。在硅 腐蚀的基础上，采用不同薄膜淀积腐蚀方法， 在硅片表面形成不同形状的层状微结构。 2. 体微加工技术 3. LIGA技术 4.键合工艺
5 键合技术 不利用任何粘合剂，将硅片和硅片、 硅片与玻璃、或其他材料紧密结合起来 的方法。
9.3 几种重要的MEMS器件
惯性器件
电容式微加速度计
光学MEMS器件
光开关
微机械1X2光开关
微机械1X8光开关
光开关
微机械22光开关
微机械2 2光开关
结束语
MEMS技术
MEMS技 术及其产 品的增长 速度非常 之高，并 且目前正 处在加速 发展时期
MEMS的分类
微传感器：
机械类：力学、力矩、加速度、速度、 角速度(陀螺)、位置、流量传感器 磁学类：磁通计、磁场计 热学类：温度计 化学类：气体成分、湿度、PH值和离 子浓度传感器 生物学类：DNA芯片
MEMS的分类
微执行器：微马达、微齿轮、微泵、微阀门、 微开关、微喷射器、微扬声器、微谐振器等 微型构件：微膜、微梁、微探针、微齿轮、微 弹簧、微腔、微沟道、微锥体、微轴、微连杆 等 微机械光学器件：微镜阵列、微光扫描器、微 光阀、微斩光器、微干涉仪、微光开关、微可 变焦透镜、微外腔激光器、光编码器等
MEMS — 微小型、智能、集成、高可靠
MEMS是人类科技发展过程一次重大的技术整合
微电子技术、精密加工技术、传感器技术、执行器技术
微小型化、智能化、集成化、高可靠性
MEMS能够完成真正意义上的微小型系统集成
在芯片上实现了力、热、磁、化学到电的转变
MEMS极大地改善了人类生活的质量
大批量、低成本的传感器生产方式给人们更多的保护
MEMS将会带动一个充满活力的产业迅速成长
不是钢铁、汽车、微电子，而是微系统
ADI公司 生产的微 加速度机 MEMS芯 片
MEMS技术的应用
MEMS在航空、航天、汽车、生物医学、 环境监控、军事以及几乎人们接触到的所有 领域中都有着十分广阔的应用前景
MEMS
9 微机电系统
9.1 微机电系统的基本概念
9.2 几种重要的MEMS器件
9.3 MEMS加工工艺 9.4 MEMS技术发展趋势
9.1 微机电系统的基本概念
9.1 微机电系统的基本概念
从广义上讲，MEMS是指集微型传感器、微型执行器、 信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于 一体的微型机电系统 MEMS技术是一种多学科交叉的前沿性领域，它几乎涉 及到自然及工程科学的所有领域，如电子、机械、光学、 物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等
电、光、 声、热、 磁力等外 界信号的 采集—各 种传感器
信息输入 与模/数 传输
信 息 处 理
信息输出 与数/模 转换
执 行 器 、 显 示 器 等
信息存储
一般意义上的系统集成芯片
广义上的系统集成芯片
微动力学 微流体力学 微热力学 微摩擦学 微光学 微结构学
研究领域
技术基础：设计、工艺加工(高深宽比多层 微结构)、微装配工艺、微系统的测量等。 应用研究：如何应用这些MEMS系统也是一 门非常重要的学问。人们不仅要开发各种 制造MEMS的技术，更重要的是如何将MEMS 器件用于实际系统，并从中受益。
MEMS技术的应用
在生物医学方面，将光、机、电、液、 生化等部件集成在一起，构成一个微型 芯片实验室，用于临床医学检测，为医 生甚至家庭提供简单、廉价、准确和快 捷的检测手段 光显示、高密度存储、汽车、国防等微 系统
MEMS技术的应用
美国提出的硅固态卫星的概念图，这个卫星除了蓄电池外， 全由硅片构成，直径仅15cm
4、表面微加工 与体微加工相比较，表面微加工技术对于 微小结构的尺寸更易控制。下图给出了表面微 加工的基本过程。
表面微机械加工原理示意图
(1)表面微加工使用的材料是一组相互匹配的结构层、 牺牲层材料
(2)表面微加工的特点 与体微加工相比较，在表面微加工中，硅片本身不 被刻蚀。没有孔穿过硅片，硅片背面也无凹坑。
KOH、H2O和（CH3）2CHOH（异丙醇，即IPA） 首先将硅氧化成含水的硅化合物 KOH+ H2O=K++2OH-+H+ Si+2OH-+4 H2O Si(OH)2然后与异丙醇反应，形成可溶解的硅
Si (OH ) 6(CH3 )2 CHOH [Si (OC3H7 )6 ] 6H 2O
从根本上解决信息系统的微型化问题 实现许多以前无法实现的功能
今天的MEMS与40年前的集成电路类似， MEMS对未来的社会发展将会产生什么影 响目前还难以预料，但它是21世纪初一个 新的产业增长点，则是无可质疑的
研究领域
理论基础：随着 MEMS 尺寸的缩小，有些宏观 的物理特性发生了改变，很多原来的理论基础都 会发生变化，如力的尺寸效应、微结构的表面效 应、微观摩擦机理等等，
2 6
2
络合物不断离开硅的表面
B、硅体的各向同性刻蚀
硅各向同性腐蚀最常用的腐蚀液为HF-HNO3加水或 者乙酸系统(通常称为HNA系统) ，其腐蚀机理： 硝酸与硅发生氧化反应生成二氧化硅，然后由HF 将二氧化硅溶解 Si+HNO3+HF=H2SiF6+HNO2+H2O+H2 水和乙酸（CH3COOH）通常作为稀释剂，在HNO3 溶液中，HNO3几乎全部电离，因此H+浓度较高，而 CH3COOH是弱酸，电离度较小。
3 LIGA体微加工技术
四个工艺组成部分：LIGA掩模板制造工艺；X光深 层光刻工艺；微电铸工艺；微复制工艺。 LIGA掩模板必须能有选择地透过和阻挡X光，一般 的紫外光掩模板不适合做LIGA掩模板。
LIGA掩模板的X光透光薄膜材料的性能及其优缺点
LIGA技术的工艺流程
A、X光深层光刻工艺
需平行的X光光源。由于需要曝光的光刻胶的厚度要达到几百 微米，用一般的X光光源需要很长的曝光时间。同步辐射X光光 源不仅能提供平行的X光，并且强度是普通X光的几十万倍，这 样可以大大缩短曝光时间。
两种微复制方法的工作原理
D、LIGA技术的扩展
1、牺牲层LIGA技术 在微机械制造领域，很多情况下需要制造可活动的 零部件，例如微阀、微马达和微加速度计等。利用牺 牲层LIGA技术可制造活动的微器件，下图给出了牺 牲层LIGA技术工艺原理图。
牺牲层LIGA技 术工艺原理图
2、 LIGA套刻技术 LIGA技术中，利用套刻技术获得含有台阶的微 结构，该技术在第一次光刻、微电铸的基础上进行 第二次套刻技术可获得的微变速齿轮。 3、倾斜曝光技术 在LIGA技术中，可以通过倾斜曝光获得一些特殊 的图形。
微惯性传感器及微型惯性测量组合能应用于制导、 卫星控制、汽车自动驾驶、汽车防撞气囊、汽车防 抱死系统(ABS)、稳定控制和玩具 微流量系统和微分析仪可用于微推进、伤员救护 MEMS系统还可以用于医疗、高密度存储和显示、 光谱分析、信息采集等等 已经制造出尖端直径为5m的可以夹起一个红细胞 的微型镊子，可以在磁场中飞行的象蝴蝶大小的飞 机等
9.2.1 体微加工
硅的体微加工技术主要包含硅的湿 法和干法刻蚀技术。
1 湿法腐蚀技术
如果在单晶硅各个方向上的腐蚀速率是均匀的 称为各向同性刻蚀，而腐蚀速率取决于晶体取向的 则称为各向异性腐蚀。在一定的条件下腐蚀具有一 定的方向跃居第一，是硅单晶片腐蚀过程中的重要 特征之一。
A、KOH、EDP腐蚀系统（各向异性腐蚀）
9 微机电系统
Micro-ElectroMechanical Systems
引
信息系统微型化
系统体积大大减小 性能、可靠性大幅度上升 功耗和价格大幅度降低