浅谈高效微尘过滤器使用寿命的另一种观点

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1 缘 起
Βιβλιοθήκη Baidu亚 翔 从 事面 板 厂 的环 境 检 测 ,始于 2 0 0 3年 。 至 今 已经 有 1 0年 了 。 我 们 所 接 触 的面 板 厂 , 有
Ar r a y 、C e l l 、也 有 C o l o r F i l t e r ,甚 至 mo d u l e 。区
域 含 括 大 陆及 台湾 。 就 面 板 厂 的厂 龄 , 有 1 0年 、8年 、5年 、2
年 等 等 。但 ,就 如 引言 所 述 ,除 非他 的产 品碰 上 了麻 烦 ,否 则还 真没 有碰 过主 动想要 更换 洁净 室里 面 的高效微 尘 过滤器 。
力损 火 ? 从 以上 的 描 述 , 已 经 大 略 把 标 的 说 明 白 了 , 我 们 关心 的是洁净 室里 面 的HE P A或U LP A的使用 寿
由 ,似 乎都 和压 力损 失 没有很 大 的关联 。
这就 有趣 了 。
守 在 洁净 室 最 外 面 关 卡 的 新 风 空 调箱 , 由于
比较脏 ,最 后一 道 的 H1 4 HE P A就真 的照普遍 的认
知 的压 力损 失 ,来进 行 更换 。 但洁 净室 里面 的 H E P A及 UL P A 呢 ?还 是看 压
2 0 1 3 ≮n
洁 净s 空调技 术 C C & A C ‘
第4 期
浅 谈 高 效微 尘 过 滤 器 使 用 寿 命 的 另一 种 观 点
亚 翔 系统 集 成科 技 ( 苏 州 )股 份 有 限公 司 杨政 谕
摘 要 透过 在某 些面板 厂 的环境 检测 结果 的分析 与发现 ,提供 另一种 有别于传 统对 高效微 尘过滤器使 用寿 命 的看 法。 这样 的观 点揭 示着 ,高 效微 尘过 滤器使 用寿 命 的评价 ,应该更 加全 面地 多方 面考察 。 关键词 微 尘过滤器 ;使用寿 命 ;环境 检测
An o t h e r S t a n dp oi n t on t h e S er v i c e L i f e o f P ar t i c u l a t e F i l t e r
Ya n gZ h e n g y u
Ab s t r a c t A n o t h e r s t a n d p o i n t d i f f e r e n t f r o m ̄ a it d i o n a l j u d g me n t b y p r e s s u r e d r o p f o r s e r v i c e l i f e o f h i g h p e f r o r ma n c e
, I :杨 政 谕 , 男 , l 96 8年
( 051 2) 67027000
E— ma i l :c y y a ng@ l k e ng . c o n. r c a

在 这 么 多 年 的环 境 检 测 经 验 下 ,我 们 已经 很
本 能地知道 哪些物 种会 是工 艺制程里 会使用 的化 学 品,哪些 又 不是 。
这 环 境检 测 ,也 不 是 普 遍认 知 的微 尘 颗粒 数
的检 测 ,而 是更难 捉摸 的环 境 中的气 体分子 。透 过
那 时对 高效 微尘 过滤 器使 用寿 命 的判 断 ,当时普遍 所 得 到的讯 息 ,是看 高效微 尘 过滤器 的压 力损 失 是
否过高。
过去在大 陆与台湾两地 的众多面板厂 的环境 检测里 , 发现 某些现 象 ,而 这些 现象 ,或 许值 得大 家重 新思
考 ,所谓 高 效微尘 过滤 器 的使用 寿命 ,应 该更加 全 面广 泛些 。 这 就 是 本 文 想 分 享 予业 界 。
时 至 今 日, 洁 净 室 里 配 备 着 很 多 监 测 仪 表 , 但 却似 乎很 少有人 去监测 高 效微尘 过滤器 的压 力损 失 ,当然 ,也非常 非 常少看 到有 人想 到要 换 高效微 尘 过滤 器 。除非 ,他 的产 品碰上 了麻 烦 ,但更 换 理
0 引 言

命 ,但 我 们 不 从 传 统 的压 力损 失来 谈 ,我 们 想 从 环 境检 测 的 角度 来 谈 。
直 以来 ,高 效 微 尘 过 滤 器就 是 洁 净 室 里 使
用 最大 宗 的材料 之一 。 犹记 得十 多年前 踏 入洁 净 室工 程这 个产 业 里 ,
p a r t i c u l a t e il f t e r .
Ke y wo r d s Pa r t i c u l a t e Fi l t e r :S e r v i c e Li f e : Env i r o n me n t Me a s u r e me n t
p a r t i c u l a t e f i l t e r i s p r o p os e d v i a he t in f d i n g s a n d a n a l ys i s i n e n v i r o n me n t me a s u r e me n t o f s o me o f F PD p l a n t s .S u c h a s t a n d p o i n t i n d i c a t e s a wh o l e a s pe c t o f c o n s i d e r a t i o n s i s n e c e s s a r y wh i l e a s s e s s i n g he t s e r v i c e l i f e o f h i g h p e r f o r ma n c e
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