一种大型真空镀膜连续线腔体_CN209669345U

附图说明 [0011] 图1是本实用新型的立体图。 [0012] 图2是本实用新型的主视图。
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说 明 书
[0013] 图3是本实用新型的俯视图。
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具体实施方式 [0014] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚 、完整地描述 ，显然 ，所描述的实施例仅是本实 用新型一部分实施例 ，而不是全部的实 施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所 获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。 [0015] 结合附图1-附图3所示，本实施例中提供了一种大型真空镀膜连续线腔体，包括进 样室1；中间阀门2；第一缓冲室3；镀膜室4；第二缓冲室5；在进样室1的一端设置第一阀门6； 在进样室1的 另一端与中间阀门 2的 一端进行连接 ；中间阀门 2的中间设置密封阀 板7 ；在中 间阀门 2的 另一端连接第一缓 冲室3的 一端 ，在第一缓 冲室3的 另一端连接镀膜室4的 一端 ； 镀膜室4的另一端连接第二缓冲室5的一端，第二缓冲室5设置第二阀门8；这样，在连续工作 中 ，可以 在进样室1中放入镀膜产品 ；并关上第一密封门9然后开始抽取真空 ，等第一缓冲室 3的真空环境建立以后，然后通过传送系统将镀膜产品，并打开中间阀门2的状态下，送至第 一缓冲室3内 ，并关上中间阀门 2 ；此时 ，进样室1就可以 再次放入镀膜产品 ；待镀膜室4的真 空条件达到了镀膜所需的真空环境以 后 ，依靠传送系统就可以 将镀膜产品送至镀膜室4中 ； 开始镀膜 ，以 此同时 ，第一缓冲室3内已 经有镀膜产品等待镀膜 ，待镀膜完成以 后 ，将镀膜室 4中的产品送至第二缓冲室5，进行真空环境的去除缓冲，直至达到常压下，打开第四密封门 16，取出产品。从而实现了镀膜产品的连续生产。 [0016] 结合附图2、附图3所示，为了实现上述的技术效果，进样室1的前侧设置第一密封 门9；第一密封门9与进样室1铰链连接。在第一缓冲室3的前侧设置第二密封门10；在第二密 封门10设置第一主抽气口法兰11 ；用于连接主抽气装置 ，快速的 达到真空状态。在镀膜室4 的前端设置第三密封门12；在第三密封门12上面设置分子泵抽气口连接法兰13；在分子泵 抽气口 连接法兰13中间设置第一真空镀膜装置连接口14 ；用于安装镀膜装置 ，在第三密封 门13的下方设置第二真空镀膜装置连接口15。在第二缓冲室5的前侧设置第四密封门16；在 第四密封门设置第二主抽气口法兰17。 [0017] 结合附图3所示，为了更好的监控压力的变化，需要给压力传感器提供安装位置， 为此在进样室1、第一缓冲室3、镀膜室4以及第二缓冲室5的上方均设置压力检测口18。 [0018] 在本实施例中的大型真空镀膜连续线腔体内部连接成一直线状，在大型真空镀膜 连续线腔体内部设置一传输线19；用于进样室1至第二缓冲室5之间依次传递镀膜产品。 [0019] 作为本实用新型优选的实施例，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限 于上述示范性实施例的 细节 ，而且在不背离本实 用新型的 精神或基本特征的 情况下 ，能 够 以 其他的 具体形式实现本实 用新型 ，也是本实 用新型的 保 护范围 。因此 ，无论从哪一点来 看 ，均应将实施例看作是示范性的 ，而且是非限 制性的 ，本实 用新型的范围由所附 权利要求 而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊 括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。 [0020] 此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方
2 .如权利要求1所述的大型真空镀膜连续线腔体，其特征在于；所述的进样室的前侧设 置第一密封门 ；第一密封门与所述的进样室铰链连接。
3 .如权利要求1所述的大型真空镀膜连续线腔体，其特征在于，所述的第一缓冲室的前 侧设置第二密封门 ；在第二密封门设置第一主抽气口法兰。
4 .如权利要求1所述的大型真空镀膜连续线腔体，其特征在于，所述的镀膜室的前端设 置第三密封门 ；在所述的 第三密封门上面设置分子泵抽气口连接法兰 ；在分子泵抽气口连 接法兰中间设置第一真空镀膜装置连接口 ；在第三密封门的下方设置第二真空镀膜装置连 接口。
实用新型内容 [0003] 本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足之处，本实用新型实现了一种大型 真空镀膜连续线腔体 ，其特征在于 ，包括进样室 ；中间阀门 ；第一缓冲室 ；镀膜室 ；第二缓冲 室 ；在所述的进样室的一端设置第一阀门 ；在所述的进样室的 另一端与中间阀门的一端进 行连接 ；所述的中间阀门的中间设置密封阀 板 ；在所述的中间阀门的 另一端连接第一缓 冲 室的 一端 ，在所述的 第一缓 冲室的 另一端连接镀膜室的 一端 ；所述的 镀膜室的 另一端连接 第二缓冲室的一端，所述的第二缓冲室设置第二阀门。 [0004] 进一步；所述的进样室的前侧设置第一密封门；第一密封门与所述的进样室铰链 连接。 [0005] 进一步，所述的第一缓冲室的前侧设置第二密封门；在第二密封门设置第一主抽 气口法兰。 [0006] 进一步，所述的镀膜室的前端设置第三密封门；在所述的第三密封门上面设置分 子泵抽气口连接法兰 ；在分子泵抽气口连接法兰中间设置第一真空镀膜装置连接口 ；在第 三密封门的下方设置第二真空镀膜装置连接口。 [0007] 进一步，所述的第二缓冲室的前侧设置第四密封门；在第四密封门设置第二主抽 气口法兰。 [0008] 进一步，所述的进样室、第一缓冲室、镀膜室以及第二缓冲室的上方均设置压力检 测口。 [0009] 进一步，所述的大型真空镀膜连续线腔体内部连接成一直线状，在所述的大型真 空镀膜连续线腔体内部设置一传输线；用于所述的进样室至所述的第二缓冲室之间依次传 递。 [0010] 在本实用新型中的技术效果在于，大型真空镀膜连续线腔体能够被应用于真空镀 膜连续生产，满足真空镀膜连续生产对于镀膜腔体的要求。
权利要求书1页 说明书3页 附图2页
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权 利 要 求 书
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1 .一种大型真空镀膜连续线腔体，其特征在于，包括进样室；中间阀门；第一缓冲室；镀 膜室 ；第二缓冲室 ；在所述的进样室的一端设置第一阀门 ；在所述的进样室的 另一端与中间 阀门的 一端进行连接 ；所述的中间阀门的中间设置密封阀 板 ；在所述的中间阀门的 另一端 连接第一缓冲室的一端，在所述的第一缓冲室的另一端连接镀膜室的一端；所述的镀膜室 的另一端连接第二缓冲室的一端。
5 .如权利要求1所述的大型真空镀膜连续线腔体，其特征在于，所述的第二缓冲室的前 侧设置第四密封门 ；在第四密封门设置第二主抽气口法兰。
6 .如权利要求1所述的大型真空镀膜连续线腔体，其特征在于，所述的进样室、第一缓 冲室、镀膜室以及第二缓冲室的上方均设置压力检测口。
7 .如权利要求1-6中任一项所述的大型真空镀膜连续线腔体，其特征在于，所述的大型 真空镀膜连续线腔体内部连接成一直线状，在所述的大型真空镀膜连续线腔体内部设置一 传输线；用于所述的进样室至所述的第二缓冲室之间依次传递。
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说 明 书
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一种大型真空镀膜连续线腔体
技术领域 [0001] 本实用新型涉及大型真空镀膜设备，尤其涉及一种大型真空镀膜连续线腔体。
背景技术 [0002] 在现有的真空镀膜设备中均采用单台设备装置进行生产，在现有的单台设备中都 是采 用单台的 腔体 ，进行生 产 ，生产效率 低下 ，连续生 产需 要研 制大型真空镀膜连续线腔 体 ；如果要实现真空镀膜连续生产 ，就需要真空镀膜连续线腔体 ，在现有的 技术中 ，都是单 台腔体为主。为了实现连续生产，需要真空镀膜连续线腔体。
( 19 )中华人民 共和国国家知识产权局
( 12 )实 用新型专利
(21)申请号 201920091687 .2
(22)申请日 2019 .01 .21
(73)专利权人 上海福宜真空设备有限公司 地址 201821 上海市嘉定区招贤路778号4 幢
(72)发明人 熊凯 杨元才 褚景豫 王慧峰 钱鹏亮
(51)Int .Cl . C23C 14/56(2006 .01)
(10)授权公告号 CN 209669345 U (45)授权公告日 2019.11.22
( 54 )实用新型名称 一种大型真空镀膜连续线腔体
( 57 )摘要 本实 用新型公 开了一 种大型真空 镀膜连续
线腔体，包括进样室；中间阀门 ；第一缓冲室；镀 膜室 ；第二缓冲室 ；在进样室的 一端设置第一阀 门 ；在进样室的 另一端与中间阀门的一端进行连 接 ；中间阀门的中间设置密封阀 板 ；在中间阀门 的另一端连接第一缓冲室的一端，在第一缓冲室 的另一端连接镀膜室的一端；镀膜室的另一端连 接第二缓冲室的一端 ，第二缓冲室设置第二阀 门 ；在本实用新型中的技术效果在于，大型真空 镀膜连续线腔体能够被应用于真空镀膜连续生 产 ，满足真空镀膜连续生产对于镀膜腔体的要 求。