综述
个人综述怎么写

个人综述怎么写
个人综述是对个人经历、能力、目标等方面的总结和概述。
以下是撰写个人综述的一些建议:
1. 简洁明了:个人综述应简洁明了,用几句话来概括你的个人信息、专业背景和求职目标。
2. 强调亮点:突出你的特长和优势,例如具备的特殊技能、行业经验、领导力或与职位相关的独特背景等。
3. 表达目标:说明你的职业目标和发展方向,以展示你对目标的清晰认识和职业规划。
4. 举例子:用一些具体的例子和成果来支持你的个人综述,这些例子可以体现你在过去的工作、学习或志愿者活动中取得的成功和经验。
5. 诚实真实:确保你的个人综述真实准确地反映你的能力和背景,避免夸大或夸张自己的成就。
6. 自信积极:用积极的语言和态度来展示你的自信和个人魅力。
7. 适应不同场合:根据不同的目标场合,可以调整和修改个人综述,以使其与特定的工作职位或项目需求相吻合。
最重要的是,个人综述应该简明扼要地介绍你自己,使读者对你的能力和潜在贡献有一个清晰的了解。
1 综述的定义和特点

1 综述的定义和特点综述是查阅了某一专题在一段时期内的相当数量的文献资料,经过分析研究,选取有关情报信息,进行归纳整理,作出综合性描述的文章。
综述的特点:①综合性:综述要"纵横交错",既要以某一专题的发展为纵线,反映当前课题的进展;又要从本单位、省内、国内到国外,进行横的比较。
只有如此,文章才会占有大量素材,经过综合分析、归纳整理、消化鉴别,使材料更精练、更明确、更有层次和更有逻辑,进而把握本专题发展规律和预测发展趋势。
②评述性:是指比较专门地、全面地、深入地、系统地论述某一方面的问题,对所综述的内容进行综合、分析、评价,反映作者的观点和见解,并与综述的内容构成整体。
一般来说,综述应有作者的观点,否则就不成为综述,而是手册或讲座了。
③先进性:综述不是写学科发展的历史,而是要搜集最新资料,获取最新内容,将最新的信息和科研动向及时传递给读者。
综述不应是材料的罗列,而是对亲自阅读和收集的材料,加以归纳、总结,做出评论和估价。
并由提供的文献资料引出重要结论。
一篇好的综述,应当是既有观点,又有事实,有骨又有肉的好文章。
由于综述是三次文献,不同于原始论文(一次文献),所以在引用材料方面,也可包括作者自己的实验结果、未发表或待发表的新成果。
综述的内容和形式灵活多样,无严格的规定,篇幅大小不一,大的可以是几十万字甚至上百万字的专著,参考文献可数百篇乃至数千篇;小的可仅有千余字,参考文献数篇。
一般医学期刊登载的多为3000~4000字,引文15~20篇,一般不超过20篇,外文参考文献不应少于1/3。
2 综述的内容要求选题要新:即所综述的选题必须是近期该刊未曾刊载过的。
一片综述文章,若与已发表的综述文章"撞车",即选题与内容基本一致,同一种期刊是不可能刊用的。
说理要明:说理必须占有充分的资料,处处以事实为依据,决不能异想天开地臆造数据和诊断,将自己的推测作为结论写。
层次要清:这就要求作者在写作时思路要清,先写什么,后写什么,写到什么程度,前后如何呼应,都要有一个统一的构思。
综述的名词解释

综述的名词解释综述(Review)是一种对某个主题、领域或问题进行全面回顾、总结和评价的文体,属于学术或科学研究中常见的一种写作形式。
通过综述文章,读者可以了解某一领域的研究进展、理论成果以及相关问题的讨论,从而促进学术交流和知识积累。
本文将对综述的定义、类型、写作方法和重要作用进行综合解释,以便读者更好地理解和运用这一学术文体。
一、综述的定义和特点综述是一种对某一领域、主题或问题进行系统的回顾、总结和评价的文体形式。
与其他常见的学术论文形式(如实证研究、理论研究或案例分析)相比,综述注重整合已有的研究成果和观点,具有较高的概括性和总结性。
通过对大量学术文献的阅读和分析,撰写者可以提供一份全面而客观的综述,使读者对某一领域的相关研究了解更加深入。
综述的特点在于广度和深度。
广度指的是综述所涉及的研究范围广阔,能够整合并概括该领域的主要研究成果和观点。
深度指的是综述需要对每一个研究成果或观点进行评价和讨论,深入剖析其中的关键问题和争议点。
综述的写作不仅要具备对研究文献的系统梳理和整合能力,还需要拥有批判性思维和分析能力,以明确分析已有研究的优点和不足之处,为读者提供可靠和有价值的信息。
二、综述的类型综述可以根据研究领域、目标读者以及文献来源等不同因素分为多种类型,常见的综述类型包括以下几种:1. 文献综述 (Literature Review):这种类型的综述通过对既有文献的回顾和总结,往往是对某一领域的研究现状进行梳理。
作者需要展示已有研究的主要发现、理论和方法,并分析存在的问题和未来的研究方向。
2. 系统综述 (Systematic Review):系统综述利用系统化的方法,全面纳入和评估相关研究的结果,并进行定量或定性的分析。
它们往往以明确的研究问题为基础,通过预先制定的研究协议来筛选文献、提取数据和进行统计分析。
3. 综合综述 (Integrated Review):综合综述旨在整合不同研究方法和来源的证据,结合定性和定量的数据,对某一领域的研究问题进行全面探讨和解答。
综述论文范文doc

综述论文范文之宇文皓月创作一、综述概述1.什么是综述:综述,又称文献综述,英文名为review。
它是利用已发表的文献资料为原始素材撰写的论文。
综述包含“综”与“述”两个方面。
所谓综就是指作者必须对占有的大量素材进行归纳整理、综合分析,而使资料更加精炼、更加明确、更加条理分明、更有逻辑性。
所谓述就是评述,是对所写专题的比较全面、深人、系统的论述。
因而,综述是对某一专题、某一领域的历史布景、前人工作、争论焦点、研究现状与发展前景等方面,以作者自己的观点写成的严谨而系统的评论性、资料性科技论文。
综述反映出某一专题、某一领域在一定时期内的研究工作进展情况。
可以把该专题、该领域及其分支学科的最新进展、新发现、新趋势、新水平、新原理和新技术比较全面地介绍给读者,使读者尤其从事该专题、该领域研究工作的读者获益匪浅。
因此,综述是教学、科研以及生产的重要参考资料。
2.综述的类型:根据搜集的原始文献资料数量、提炼加工程度、组织写作形式以及学术水平的高低,综述可分为归纳性、普通性和评论性三类。
(1)归纳性综述:归纳性综述是作者将搜集到的文献资料进行整理归纳,并按一定顺序进行分类排列,使它们互相关联,前后连贯,而撰写的具有条理性、系统性和逻辑性的学术论文。
它能在一定程度上反映出某一专题、某一领域的当前研究进展,但很少有作者自己的见解和观点。
(2)普通性综述:普通性综述系具有一定学术水平的作者,在搜集较多资料的基础上撰写的系统性和逻辑性都较强的学术论文,文中能表达出作者的观点或倾向性。
因而论文对从事该专题、该领域工作的读者有一定的指导意义和参考价值。
(3)评论性综述:评述性综述系有较高学术水平、在该领域有较高造诣的作者。
在搜集大量资料的基础上.对原始素材归纳整理、综合分析、撰写的反映当前该领域研究进展和发展前景的评论性学术论文。
因论文的逻辑性强,有较多作者的见解和评论。
故对读者有普遍的指导意义,并对读者的研究工作具有导向意义。
论文综述是什么

论文综述是什么
论文综述是在撰写学术论文时,对已有研究文献进行综合评述和总结的过程。
综述的目的是为了了解和掌握研究领域的最新进展,梳理相关研究的演变脉络,并识别出尚未解决的问题和研究机会。
论文综述一般包括以下几个方面的内容:
1. 研究目的和背景:综述应提供一个简要的介绍,明确研究的目的和背景,并说明该领域的研究重要性。
2. 文献筛选和收集:综述应包括收集、筛选和评估相关文献的过程,确保选择的文献具有代表性和高质量。
3. 文献综合和总结:综述的核心是将已有文献进行综合,概括和总结相关研究的主要观点、研究方法、结果和结论。
这部分要根据不同研究主题进行分组整理,并着重比较和分析不同研究的异同点。
4. 问题识别和未来研究机会:在综述的结尾,应对文献中存在的问题和未解决的研究机会进行识别和分析,并提出未来研究的建议。
综述的写作需要系统性和全面性,要求作者具备丰富的研究素材和深入的领域知识。
同时,合理的论文综述也是撰写高水平学术论文的基础。
综述 总结

综述总结综述是一种总结和概括已有文献、研究或其他信息的方法。
它通过归纳和整合已有知识,提供给读者一个全面和详细的概述,并帮助读者理解和评价相关主题或问题。
综述通常由研究者、学生和专家编写,用于传播研究成果、做科研或学习的参考。
综述的写作需要遵循一定的结构和方法。
首先,要选择一个明确的主题或问题,以确保综述的目的明确。
其次,要收集相关的文献和信息,包括已经发表的论文、书籍、报告以及互联网上的资源。
然后,对收集到的文献进行筛选和评估,选择具有权威性和可信度的来源,并且对领域内的研究趋势和进展进行分析和总结。
最后,根据选定的主题或问题,将已有的文献整合起来,提供一个详尽、完整并有逻辑的综述。
综述的重要性不言而喻。
它可以为读者提供一个对特定主题或领域的全面了解,并为他们的研究工作提供基础和指导。
此外,综述还可以帮助研究者识别目前的研究热点和趋势,为他们的研究提供新的思路和方向。
对于学生来说,综述是进行文献综合分析和写作的重要工具,也是扩展知识面和提高学术素养的途径。
综述常见的类型包括:文献综述、方法综述、系统综述和综述文章。
文献综述是最常见的一种,它通过收集、评估和总结已经发表的文献来概述某一特定主题或问题的研究进展。
方法综述是对已有研究中使用的方法和技术进行总结和评估,为研究者提供选择适当研究方法的参考。
系统综述是对已有文献和研究进行全面、系统和严格的评估和总结,以回答一个既定的研究问题。
综述文章则是对某一特定主题的全面讨论和分析,从多个角度对该主题进行综合总结。
综述的写作具有一定的挑战性。
首先,需要花费足够的时间来收集和评估相关的文献和信息。
其次,要在整合已有文献时保持客观和中立的态度,并确保综述的准确性和可信度。
此外,写作综述需要具备良好的组织和表达能力,以确保综述的逻辑性和连贯性。
在撰写综述时,需要注意一些关键要点。
首先,要尽量使用最新的、最权威的文献和信息,以确保综述的准确性和可靠性。
其次,要避免片面或偏颇的观点,而是对已有的研究进行全面和客观的评估。
论文综述范文(共10篇)

论文综述范文(共10篇)篇一:论文综述范文论文研究背景和文献综述研究背景是写在第一段吗?需要写“研究背景”这四个字吗?文献综述是怎么综述啊?写些什么内容?最好有例文~论文顺序:题目,摘要,背景,方法,结果,讨论,引文.综述:对一项课题近年来最近的研究结果进行整合归纳,并加以自己的见解和表述.篇二:论文综述范文有关化学实验与化学教学方面的文献综述范文有没有?别到这儿来问,找文献综述的话,去考研那儿,一定有.论文报告那里会更多.篇三:论文综述范文毕业论文,我把一篇别人的整个抄袭下来,但是每句都换种说法,这样算抄袭吗?查重能过不能?例子:原文:反式脂肪酸是具有反式构型双键的一类不饱和脂肪酸的总称,其广泛,存在于大量的油脂及油脂食品中。
近年流行病学调查研究表明,反式脂肪酸对人类健康有很大的危害,这引起了大众和科学家的广泛关注。
本文综述了反式脂肪酸的存在现状、主要及对健康的主要危害,并从氢化技术、油脂精炼技术、交酯化反应及基因改良技术等方面介绍了减少油脂加工中反式脂肪酸产生的措施。
修改:反式脂肪酸又叫做反式脂肪或脂肪酸,它是具有反式构型双键的一类不饱和脂肪酸的总称。
反式脂肪酸是一种人工产物,其广泛,在大多数的油脂以及油脂食品中都存在反式脂肪酸。
根据长期的研究表明反式脂肪酸对于人类的健康有很大危害。
本文主要讲了反式脂肪酸的存在现状、、对健康的主要危害以及如何减少食品中的反式脂肪酸查重不过是对比一般每个数据库有不同的标准,比如连续多少个字相同就算,但是你用自己的话说出了别人的意思,只要字顺序不一样,是查不出来的篇四:论文综述范文求案例分析类经济学论文的具体写作框架!我选的题目是“对综合金融经营初步实践的分析——以平安集团为例”.像这种“对某分析以什么为例”的论文应该怎么写啊.完全下不去手.求具体的框比如应该先阐述什么,然后再写什么,中间要引用什么东西之类的.一定要具体啊!个人意见:1.文献综述是必须的,理论基础不能少2.问题的背景:宏观经济环境、金融改革不能少前两个是问题怎么来的以及表现(为什么要进行金融综合经营,可结合国际发展趋势)3.平安集团的发展历史,集团定位,业务拓展(...篇五:论文综述范文论文开题报告国内外研究综述怎么写就是找几篇和你的论文主题差不多的国内外期刊论文,总结出每个论文的作者和主题思想,写在你的综述里就行了.比如:某人对于某问题,从什么角度研究.这样的句子就行了.记得参考文献里要列出这些论文来.【论文综述范文】篇六:论文综述范文课程论文不少于5000字,其中综述部分为1000字.就是你总共要写一偏5000字的论文,而1000字需要用来论述你写的题目国内外研究的现状是什么,已经有了那些成果,在哪些问题上还有不足,然后你可以从不足中寻找到一个突破口作为你研究的论文的方向.【论文综述范文】篇七:论文综述范文找一篇政治论文(范文)运用《经济生活》的有关知识,结合生活实际的一篇政治论文,字数不少于800字.大多数中国人都不认为自己是纳税人,尤其是没有经济的学生.吃的、用的都依赖于父母,除了骑车的每年要交的几块钱自行车税以外,我还要交什么税呢?难到每年年头的一千几百块的压岁钱还得打税?他会很肯定地说纳税这”义务”与我没什么关系.最初的我也曾抱着这种观点.谁是纳税人近几年来,越来越多地从报刊上看到”我是纳税人”““是纳税人的钱养活了你,你就得为我服务”的看法.但也有报刊发表表示相反的观点,说”我们一般的都没有达到缴纳个人所得税的标准,还不算是纳税人”且”纳税的主体是企业,为纳税人服务是为纳税企业服务.”这把我也搞糊涂了.”为纳税人服务”就只是为少数的”有钱人”服务?这范围太少了吧?今年春节,一件事提醒了我----我们就是纳税人.春节前,花街上摆满了卖应节物品的地摊,而且有不少是放假的学生开的我姐姐的同学也开了一挡,邀请了姐姐和我去帮忙.刚铺开摊子,就来了一个”要钱”的人一一据说是管理部门的,每个摊位收5o元.来收的50元地租里,含有百分之多少是属于地税的.事后又从姐姐口中得知我们卖的花和小玩意在批发的时候,价格是比较低的,经过了几个中间环节,才变成现在出售的价格,如销售的开支、零售税、地税、人工等.也就是说在出售的价格里或多或少都包含有一些税款的成份,而买这些东西的消费者等于都间接交了税,换句话说买卖商品的消费者和经营者都直接或间接与纳税发生关系.说了大半天,原来大多数群众都是纳税人,你是,我是,他也是.纳税人有权利亦有义务人的认识过程总是从”不认识到认识再到更深入的了解.”经过学习,我进一步了解到:每个人都与税收有密切的关系.每个人早上一起来就路”税”打交道,衣食住行都离不开税收.你所在的学校,所喜爱的广播站和电视台,上至国家机关的经费,下至失业者所收的救济金均来自财政支出,而税收是财政收入的主体,占财政收入的90%以上,所以这些经费绝大部分都出自税收.我们每天都享受着税收的惠泽.广大的群众在购买商品或接受服务时,都与纳税发生了关系.由于我国在零售环节方面实行价税合一的标价方法,使消费者意识不到自已是纳税人,其实在商品流转中所含的税款占我国税收收入比重达60%以上.广大的消费者就正是国家最主要的纳税人.我们是纳税人,就有纳税人应有权利.站在自私一点的立场上看,我们所交纳的税款里包含了我们的血和汗.既然交纳了就希望受惠,不能让那些不称职的人把我们交的的血汗钱白白花去了.权利和义务是统一的,既然有权利,亦应该有义务.从个人上看,或许现在我们所纳的只是少量的流转税,但当有一天我们有数以讯计的收入,你会光荣的去交纳个人所得税吗?如果我有这么的一天,我会自觉去纳税.那你呢?你会吗?闻说经济发达国家的人以纳税为荣,不能纳税为耻.那我国呢?我国逃税、偷税的企业和个人又是怎么想的呢?朋友,你虽然是纳税人,但当你是高收入的话,你还愿意当一个纳税人吗?篇八:论文综述范文求《飘》中斯嘉丽婚姻观的文献综述,1500字英文的哦!本人急交英语本科论文文献综述,感激不尽!等待ing哦!HavingreadthenovelGoneWithTheWindwrittenbyAmericanwritermargaretmitchell,Iwasdeeplyshocked. The novel, which margaret spent aboutyears on,notonly created a myth,but also showherown personal charmtoworld. Novel”s underground isbasedonthecivilWarwhich happenedintheUnited States, according tothe changesoftheWarstartsthe circumstances, soithasdividedthemacrohistoryintomicrohistoryofpersonal experience. Wecanrealisethatmisty thinking of margaret through characters changesof people. Heroine Scarlett isasimplebutvery complex figure.onthe surface shekindsofgoodquality,quiet, good-hearted, fullofabilitylikehermother Aland,butthevastmajorityofcases,therestless temperamenrdher behavior. contacting heratfirst,Ithought thatsheisjusta beautiful, stubborn andproud princess. She”ssobeautiful that almostalltheyoungmeninthebookare tempated byher.Sheseemstohave become accustomed todealingwithin these young men, like acold hot fire but locked of love to blame, which almost makes many men crazy. Shestrong cravingsinallthegood things,andshewantstotakeawayalltheboy”sSuchblatant selfishness seems exaggerated.her exaggerated and performance doesn”t workonRhett ButlerandAshley Wilkes, andmakesa completely different effects. Scarlett can”t graspheartofAshley Wilkes, whoisoutofher control. Tomy surprise, she produced some mystical love toward him.Butnigmatic Rhett Butler,she gainthefeelingofhate. Thesetwo feelings, asthemain themeofthenovels from beginning toend.hearts aroundher,evenherolder sister”s valentine”s .Scarlett”s hastymakesherpayagreatprice!Inordertoshowthatsheisnot“no buyer”to Ashley Wilkes, sheget married with charlesa Hamilton whoshe doesn”t like. Soon after thewarbrokeout,charlesdie,Scarlett becomeawidow.Atthattime,sheisjustawillfulchild, consequences and responsibility don”tseemtohaverelationstoher.Duetoherrebelious character,the “moral standard”doesn”tworkonher,butkeepwidowlifeawayfromand boring. Soshe continues toshowherown charmandstill attracts alotofmen.Warhas changed Scarlett,italsoenablesmetoabetter understanding towardher.ShekillstheNorthen solidersatthecritical moment,andcreatscausein extreme poverty.Itallreflectsherstrong, courage, indomitable. Inordertoprotectherfamiliesand industries, shehadtomarried withFrank kennedy, which showsherspiritofsacrifice tous. Business established period,herunique wisionofthe economic,commercial talent,thespiritofdaringto struggle, infact,those advantages arevery commonof traditional women,buteasily overlookedthepast time. Scarlett isaproud woman after all,sheturnablindeyetomany beautiful things around her,as melanie Hamilton Wilkes”love,andRhett Butler”s care,notto mention the treasure! Instead, she constants topursuit the Unreallove toward Ashley. Whenshe grasps, melanie Hamilton Wilkeshas been dead, Rhett Butler”s love burst. But Scarlett isstillso strong,seemsthatnobodycanseethroughher.Iamsodeeply shockedbythe indomitable spiritofScarlett facing difficulites. Butattainherendbyhook,Ifeel offensive. AndIamsoangrywithher infatuation attitudetoAshley Wilkes. WhilemorecareRhettButlergivetoScarlett, themorejoyIget.Butatlast,Rhettfell dispointment andleft Scarlett,apity!Ithink everyoneofushasherown desires, each personis serching forherown happniess .desirewillbeadriving forceforus,andthedesirecan improvethe development of culture. Science and technology mayleadtocrimeandwar. Though desires mayhavesomebadeffectsonus,itvery important. Wewill pursueourhappiness,althoughwetheremightbesomedifficultiesanddisputes,weshouldnotgiveupourdesire!篇九:论文综述范文我在阳光下成长记录册如何填写【我的成长综述】部分,请举一个例子.可以按照平时的纪律,生活,学习,思想状况等方面逐个叙述.篇十:论文综述范文初中数学建模论文范文,急题目范围符合初一水平,要小,要熟悉摘要:席位分配是日常生活中经常遇到的问题,对于企业、公司、、学校政府部门都能解决实际的问题.席位可以是代表大会、股东会议、公司企业员工大会、等的具体座位.假设说,有一个学校要召集开一个代表会议,席位只有20...。
综述的写法

综述的写法1.什么是综述综述 一、综述概述 1.什么是综述:综述,又称文献综述,英文名为review。
它是利用已发表的文献资料为原始素材撰写的论文。
综述包括“综”与“述”两个方面。
所谓综就是指作者必须对占有的大量素材进行归纳整理、综合分析,而使材料更加精炼、更加明确、更加层次分明、更有逻辑性。
所谓述就是评述,是对所写专题的比较全面、深人、系统的论述。
因而,综述是对某一专题、某一领域的历史背景、前人工作、争论焦点、研究现状与发展前景等方面,以作者自己的观点写成的严谨而系统的评论性、资料性科技论文。
综述反映出某一专题、某一领域在一定时期内的研究工作进展情况。
可以把该专题、该领域及其分支学科的最新进展、新发现、新趋势、新水平、新原理和新技术比较全面地介绍给读者,使读者尤其从事该专题、该领域研究工作的读者获益匪浅。
因此,综述是教学、科研以及生产的重要参考资料。
2.综述的类型:根据搜集的原始文献资料数量、提炼加工程度、组织写作形式以及学术水平的高低,综述可分为归纳性、普通性和评论性三类。
(1)归纳性综述:归纳性综述是作者将搜集到的文献资料进行整理归纳,并按一定顺序进行分类排列,使它们互相关联,前后连贯,而撰写的具有条理性、系统性和逻辑性的学术论文。
它能在一定程度上反映出某一专题、某一领域的当前研究进展,但很少有作者自己的见解和观点。
(2)普通性综述:普通性综述系具有一定学术水平的作者,在搜集较多资料的基础上撰写的系统性和逻辑性都较强的学术论文,文中能表达出作者的观点或倾向性。
因而论文对从事该专题、该领域工作的读者有一定的指导意义和参考价值。
(3)评论性综述:评述性综述系有较高学术水平、在该领域有较高造诣的作者。
在搜集大量资料的基础上.对原始素材归纳整理、综合分析、撰写的反映当前该领域研究进展和发展前景的评论性学术论文。
因论文的逻辑性强,有较多作者的见解和评论。
故对读者有普遍的指导意义,并对读者的研究工作具有导向意义。
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生长GaN 的垂直喷淋式MOCVD 反应器设计综述 1 绪论人类社会发展和文明进步的过程中,材料一直扮演着一个极其重要的角色,半导体材料更是现代科技进步中不可或缺的一环。
以硅(Si)和锗(Ge)为代表的第一代半导体材料推动了晶体管和集成电路的发展,促进了计算机技术的进步;以砷化镓(GaAs)为代表的第二代半导体材料则成为了制作光电子器件的基础。
与前两代半导体材料相比,第三代半导体具有更宽的带隙、更好的导热性、更大的击穿电压,在克服了一系列制约其发展的因素之后,近十几年来取得了令人瞩目的迅猛发展。
宽禁带半导体材料氮化镓(GaN)作为第三代半导体材料的典型代表,在光电子、高温、大功率器件和高频微波器件应用领域具有广阔的市场前景,是国防工业、信息产业、高新技术产业赖以生存的基础性材料,更加成为了目前全球半导体材料研究的前沿和热点。
1.1 GaN 的发展历史GaN 是在1928年被人类首次发现的,约翰逊(Johnson)等人利用金属镓(Ga)和氨气(NH 3)在高温条件下合成了GaN 材料,这种新的材料很快吸引了研究人员的关注。
利尔曼(Lirman)等人在1932年首次报道了GaN 晶体的基本结构。
但由于GaN 体单晶材料异常难于获得,在相当长的一段时间里,GaN 材料的研究进展缓慢。
直到近30年后的1959年,马鲁斯卡(Maruska)等人利用氢化物气相外延的方法,首次成功的获取了GaN 的单晶薄膜并研究了它的基本性质,发现了GaN 是一种禁带宽度为3.39eV 的直接带隙半导体材料。
这一研究成果为GaN 材料的发展注入了新的活力,重新激发了研究人员对GaN 材料研究的热情。
二十世纪70年代初期,Pankovo 等人成功地利用GaN 材料制成了金属.半导体型GaN 发光二极管(LED);80年代初,采用蓝宝石(32O Al )作为衬底外延生长GaN 薄膜的思想被Y .Ohki 等人首次提出,但因为GaN 材料与蓝宝石衬底之间存在较大的热失配和晶格失配,所以难以制备没有裂纹并且表面十分光滑GaN 外延薄膜。
为解决这一问题,研究人员提出了缓冲层的概念,Yoshida 等人研究发现,外延薄膜和衬底之间的失配可以通过在衬底和外延层之间生长A1N 缓冲层的方法来缓解,这样可以提高外延膜的光电特性;1986年,研究人员发现可以利用MOCVD 技术生长高质量的GaN 外延层,H .Amano 等人成功地在蓝宝石衬底上利用此方法制备出了没有裂纹的且表面十分光滑的GaN ;不久之后,H.Amano 等人又通过利用电子束进行照射掺镁(Mg)的GaN ,首次实现了P 型掺杂,获得了P 型GaN 单晶,解决了长期以来P 型参杂难以实现的问题。
1991年,Nakamura 等人对MOCVD 反应室进行了改进,设计出了新型的MOCVD系统,并用此系统获得了高质量的GaN 外延薄膜;日本日亚(Nichia)公司以蓝宝石为衬底率先研制出了GaN蓝光LED,随后生产出了第一只蓝光发光二极管的商业产品,不久实现了GaN基蓝、绿光LED的商品化,在世界范围内掀起了研究GaN的热潮。
1993年,M.A.Khan等人采用了薄AIN作为成核层,蓝宝石作为衬底,用LP.MOCVD的方法,成功制备了非故意掺杂厚度为600nm的n-GaN层,并以此作为晶体管的沟道层,首次获得了GaN金属.半导体场效应管(MESFET),为GaN基器件的发展开辟了新的道路1997年,日亚公司又大大提高了蓝光激光二极管的工作寿命,使其超过了一千个小时。
次年,美国APA光学公司在世界上首次实现了GaN基UV探测器的商品化。
随后,Nichia公司又率先实现了InGaN基蓝紫色激光器的商品化,自此GaN 产品的商业化进程日新月异,仅发表的文献数量就呈增指数增长,可以说GaN 已经成为了宽禁带半导体材料中耀眼的新星。
1.2 GaN的基本性质1.2.1 GaN的物理特性氮化镓有三种晶体结构,分别为纤锌矿、闪锌矿和岩盐矿结构。
其中六方纤锌矿结构是稳态结构,立方闪锌矿结构是亚稳态结构,而只有在极端高压下才会出现立方岩盐矿结构。
图1.1(a)为纤锌矿结构的氮化嫁,纤锌矿结构属于六方晶系,每个晶包含六个嫁原子和六个氮原子,晶格常数为a=0.3189nm, c=0.5185nm,纤锌矿结构沿C轴镓原子与氮原子构成的双层原子密排面以ABABABAB方式堆积。
图 1.1(b)为闪锌矿结构的氮化嫁,闪锌矿结构属于立方晶系,每个晶包包含四个镓原子和四个氮原子,它是沿(111)方向双层原子密排面以ABCABCABC方式堆积。
图1.1(c)为岩盐矿结构的氮化镓。
图1.1 (a)纤锌矿结构的氮化嫁;(b)闪锌矿结构的氮化嫁;(c)岩盐矿结构的氮化嫁1.2.2 GaN的化学特性室温下,氮化镓的化学性质很稳定,耐酸碱,耐腐蚀,不溶于水,不与浓的无机酸反应,稍与稀酸作用,在热碱溶液中以非常缓慢的速度溶解。
GaN具有高稳定性,在空气中加热到800 ℃开始氧化,1050 ℃开始分解。
氮化嫁的这种高热稳定性使得它在高温和大器件上有着广泛的应用。
氮化镓在氯化氢或氢气的气氛下在高温中呈现出不稳定的特性,在氮气气氛下最为稳定。
近年来,氮化镓作为第三代半导体材料,由于具有禁带宽度大,载流子带间跃迁产生的辐射波短的特点,在蓝光和紫外发射器件上具有很高的应用价值。
己成为最先进的半导体材料之一,广泛应用于制作激光二极管和发光二极管。
1.2.3 GaN的电学特性氮化镓的电学性质受载流子浓度和电子迁移率的影响,是影响器件性能的主要因素。
常温下,未掺杂的氮化镓载流子浓度在1017-109cm-3的范围内,电子迁移率为900 cm2/Vs。
由于非故意掺杂的GaN均为n型,呈现出高电导性,表现出n型半导体特性。
非故意掺杂GaN的n型本征载流子浓度较高,因此限制了P型GaN的发展。
1.2.4 GaN的光学特性氮化镓的光学性质引起了人们极大的关注,主要原因是氮化镓基材料的禁带宽度可通过固溶体的制备使其从0.6 eV ( InN)到3.4 eV((GaN)再到6.2 eV (ALN)之间连续变化,其发光波段覆盖了从近红外到可见光区(红、黄、绿、蓝)再到深紫外区。
这一特性使得氮化镓基材料非常适合制作发光二极管(LEDs)和激光二极管(LDs)等光学器件。
在日常生活中,氮化镓作为光源应用十分广泛,例如白光照明、太阳能照明系统、大屏幕彩色显示系统等。
由于受到材料生长技术和工艺的影响,制备高质量的氮化镓单晶材料很困难,往往会存在各种杂质和缺陷。
因此氮化镓除了带间跃迁发光以外,还会有由于杂质和缺陷态的发光产生,主要是黄色发光,发光机理是浅施主-深受主符合发射。
浅施主能级主要是由镓空位及氮的氧替位引起的。
1.3 GaN材料的应用氮化镓是一种理想的发光器件材料,发光效率高。
主要应用在氮化镓基发发光二极管(LEDs )、激光二极管(LDs)和紫外光探测器等。
氮化镓基蓝光激光二极管在很多方面有着广泛的应用,例如光探测器、激光打印、材料加工等。
发光二极管具有很多优点:工作温度稳定性好、抗震、体积小、响应速度快等。
发光二极管己经广泛应用于大屏幕、交通信号灯、电视、笔记本电脑显示屏等。
近年来,随着高亮度LED产品的出现和全彩化LED显示屏迅速兴起,极大地促进了LED的应用研究。
这是由于应用于LED显示屏的发光器件必须一致性好,能满足亮度、视角和混色效果等要求。
随着对氮化镓基器件的研究深入,超高亮度蓝光、绿光和白光的发光二极管己经商品化,其中白光二极管被称为“绿色光源”,是最有价值的光源之一。
氮化镓是高频、高温,大功率器件的最佳材料,在很多领域有着广泛应用。
氮化镓基电子器件包括:高电子迁移率晶体管、异质结金属半导体场效应管、金属一半导体场效应管等。
氮化镓基电子器件在高温辐射、自动化、雷达与通信、航空航天等很多领域发挥着巨大的作用。
由于氮化镓基材料,噪声低、边带可调,禁带宽度大,对紫外光探测有极高的灵敏度,因此是制作紫外光探测器的重要材料。
氮化镓基紫外光探测器广泛应用在臭氧检测、激光探测器、火焰传感、定位焊接等很多反面。
1.4 GaN材料的制备方法到目前为止,GaN块体材料仍难以进入实际应用领域。
这是因为,绝大多数GaN基器件的诞生,都依赖于GaN薄膜生长技术的发展,而传统用来生长GaN薄膜的方法——金属有机物化学气相沉积(MOCVD)、分子束外延法(MBE),氢化物气相外延(HYPE)都存在着各自的局限性。
因此有的学者开始研究用其它新型方法来生长GaN薄膜,这些工艺方法主要有反应离化团簇束沉积(RICBD)、磁控溅射(MS)、热壁外延(HWE),溶胶一凝胶法((Sol-Gel)等方法,下面详细讨论MOCVD 法。
1.4.1 GaN-MOCVD设备的发展现状金属有机化学气相沉积( metal organic chemical vapor deposition , 简称 MOCVD) , 是将稀释于载气中的金属有机化合物导入反应器中 , 在被加热的衬底上进行分解、氧化或还原等反应 , 生长薄膜或外延薄层的技术。
此技术是在1968年由美国洛克威尔公司Manasevit 和Simpson 等人提出的制备化合物半导体薄膜单晶的一项新技术。
现已在半导体器件、金属、金属氧化物、金属氮化物等薄膜材料的制备和研究方面得到广泛应用。
GaN- MOCVD设备非常复杂,我国尚处于研发阶段,国外已经推出多种商用机型[5]。
GaN- MOCVD设备的系统框图如图1.2所示:图1.2 MOCVD 系统框图作为LED 芯片生产过程中最为关键的设备,MOCVD 的核心技术长期被欧美企业所垄断,严重制约了中国LED 产业的健康发展。
对于国外MOCVD 系统发展而言,随着化合物半导体器件(如 GaAs MMIC 、 InP MMIC 以及GaN 蓝光LED)市场的不断扩大,MOCVD 系统的需求量不断增长。
国际上实力最为雄厚的MOCVD 系统制造商有:德国Aixtron 公司、美国的Emcore 公司(其MOCVD 已被Veeco 兼并)、英国的Thomass(1999年被Aixtron 兼并)等。
因为MOCVD 系统最关键的问题就是保证材料生长的均匀性和重复性,因此不同厂家的MOCVD 系统最主要的区别在于反应室结构。
Aixtron 采用行星反应(Planetary Reactor),Emcore 采用TurboDisc 反应室(该业务己出售给Veeco 公司)、Thomas Swan(该公司于2003年2月份被Aixtron 兼并)采用 Closed Coupled Showerhead(CCS)反应室。
而国内拥有的进口MOCVD 系统700台左右,其中 Aixtron MOCVD 系统和Emcore MOCVD 系统占绝大多数,有少量的 Thomas Swan MOCVD 系统、法国ASM MOCVD 系统和日本RIPPON SANSO MOCVD 系统,主要用于GaN LD/LED 的研究和制造。