发电机出口断路器检修规程
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6.5.4.3
6.5.4.4
附 录
(资料性附录)
设备规范及
表
序号
项目
参数
1
额定电压
24KV
2
额定电流
22000A
3
主变侧电容
260цF
4
发电机侧电容
130nF
5
额定短路工作顺序
CO-30min-CO
6
负荷电流操作顺序
CO-3min-CO
7
CB额定操作SF6压力(20)
0.62MPa
8
最大分闸时间
75mS
目次
前
本标准的编制原则和要求依据《电力企业标准编制规则》DL/T800—2001、《电力企业标准编制规则》DL/T838—2003、《水利电力技术标准编写规定》SL01—97。
本标准附录A为资料性附录,附录B为规范性附录。
本标准由二滩水力发电厂检修部提出。
本标准由负责解释。
本标准由批准。
本标准由审核。
新更换的表计必须校验合格
14
拆卸空压机系统
所有拆卸部件应作好标记并保存好
15
滤过器装置检查
取下的所有部件应完好无损,必要时应更换
16
冷却器ຫໍສະໝຸດ Baidu查
冷却器应清洗干净,并将拆卸过的螺丝紧固
17
弹性安装系统检查
将拆卸过的螺丝紧固
18
空压机系统回装检查
已拆卸的螺丝回装后必须用螺纹锁固胶处理;在新密封圈上必须涂一层薄薄的润滑脂;若空压机运行10年后则逆止阀的密封垫、压缩弹簧和O型密封圈需更换;安装新的活塞环涨圈和新的活塞环时,确保每个连接点都与下一个连接错位90度
本标准的主要起草人:赵巧洪。
发电机出口断路器检修规程
1
本规程规定了二滩水电站发电机出口断路器的A级检修、B级检修、C级检修、D级检修的项目、技术要求、检修工艺、注意事项等方面的内容。
本规程适用于二滩水电站发电机出口断路器的检修工作,其它检修工作和运行工作亦可参考使用。
2
IEC标准
GB15.384-85.3 《交流高压断路器国家标准》
4.4.1.1.5
4.4.1.2
一般每年1次。
4.4.1.3
发生下列情况时,断路器也应该停止运行进行检查和检修,检修项目应根据具体情况确定。
4.4.1.3.1
4.4.1.3.2
4.4.1.3.3
4.4.2
检修周期与工期(见表1)。
表1检修周期与工期
序号
检修类别
检修周期
检修工期
备注
1
D级检修
巡回检查
1周
6.2.2.7
6.2.3
6.2.3.1
6.2.3.2
6.2.3.3
6.2.3.4
6.2.3.5
6.2.3.6
6.2.3.7
6.2.4
6.2.4.1
6.2.4.2
6.2.4.3
6.2.4.4
6.2.4.5
6.2.4.6
6.2.5
6.2.5.1
6.2.5.2
6.2.5.3
6.2.5.4
6.2.6
6.2.6.1
表3项目及质量标准
序号
检修项目
质量标准
1
外观检查
各螺栓应紧固,电容器无漏油、橡胶伸缩套无积灰、老化,SF6和空压机压力正常,断路器及地刀分、合闸位置指示正常;储气罐无锈蚀、破裂,连管接头处密封良好,无漏气;GCB冷却系统风机叶片无损坏,转动灵活,冷却水管无漏水,进、出风管的阀片开度适当;空压机进气孔及散热孔无堵塞,叶轮完好无损,滤过器无堵塞现象,两台空压机电动机的各自累积运行小时数统计差距不大
19
拆卸地刀电动机驱动装置
所有拆卸部件应作好标记并保存好
20
联锁装置检查
联锁装置应正常
21
蜗杆和滑动机构检查
所有拆卸的螺丝回装后都应涂螺纹锁固剂
22
回装地刀电动机驱动装置
回装是要按拆卸时的标记回装,所有转动部分都应涂润滑油
6
6.1
6.1.1
6.1.2
6.1.3
6.1.4
6.1.5
6.1.6
6.1.7
A级检修、B级检修项目工艺及质量标准(见表4)。
表4项目及质量标准
序号
检修项目
质量标准
1
SF6气体回收并抽真空
回收的SF6气体装于干净密闭容器内
2
断路器解体
保护好外露的密封面,拆出的绝缘子应无机械损伤、腐蚀;绝缘子装入内装有吸附剂的气密性容器内
3
连接体外壳组件解体、检修
各部件清洁、干燥,无尘、无磨损。所使用吸尘器的滤网,清洁布,均要作为有毒物,进行特别处理。更换内绝缘子;临安装前,才能从防潮包中取出新的内绝缘子
DL/T615-15.35.37《交流高压断路器参数导则》
《二滩水电站发电机出口断路器系统说明书》
3
3.1
二滩水电站的发电机出口断路器维护检修工作分为A、B、C、D 四个等级。
3.1.1
A级检修是指对发电机出口断路器进行全面的解体检查和修理,以保持、恢复或提高设备性能。
3.1.2
B级检修是指针对发电机出口断路器某些设备存在问题,对部分设备进行解体检查和修理。B级检修可根据设备状态评估结果,有针对性地实施部分A级检修项目或定期检修项目。
停机
拉开500KV进线隔离开关
拉开发电机出口断路器
拉开断路器两侧PT
拉开断路器控制回路电源开关
拉开厂高变断路器
SF6报警回路闭锁
合上发电机出口断路器地刀
合上厂高变断路器地刀
合上500KV进线隔刀地刀
表
项目
内容
注意事项
8.认真做好现场记录工作
3.1.3
C级检修是指根据设备的磨损、老化规律,有重点的对发电机出口断路器进行检查、评估、修理、清扫。C级检修可进行少量零件的更换、设备的消缺、调整、预防性试验等作业以及实施部分B级检修项目或定期检修项目。
3.1.4
D级检修是指当发电机出口断路器总体运行状况良好,而对主要设备的附属系统和设备进行消缺,包括巡检和日常维护。D级检修除进行附属系统和设备的消缺外,还可根据设备状态的评估结果,安排部分C级检修项目。
6.1.8
6.1.9
6.1.10
6.1.11
6.1.12
6.1.13
6.1.14
6.1.15
6.1.16
6.1.17
6.1.18
6.2
6.2.1
6.2.1.1
6.2.1.2
6.2.1.3
6.2.1.4
6.2.1.5
6.2.2
6.2.2.1
6.2.2.2
6.2.2.3
6.2.2.4
6.2.2.5
6.2.2.6
8
组装操作机构外壳组件上的连接体外壳组件
更换密封环;活塞不能被推离中心;不要倾斜连接体外壳组件,确认连接体外壳组件和绝缘子的法兰面是平行的;连接杆在活塞组件中从合闸到分闸过程中,没有在任何位置上被卡住
9
组装底座组件上带连接体外壳组件的操作机构外壳组件
环形绝缘子要清洁、干燥;安装完环形绝缘子后8小时之内断
路器必须抽真空;密封环要更换
10
组装顶盖
更换干燥剂袋组件;干燥剂袋件装入操作机构外壳顶盖中后,应在1小时之内对断路器极抽真空;更换密封环
11
充SF6气体并进行试验
SF6气体微水含量应小于150μL/L
12
水冷却器清扫检查及管路疏通,箱体内部刷防锈漆
冷却器管路畅通,防锈漆均匀、光滑
13
更换压力表、流量计、温度控制器、浮子开关
3.2
本规程中提到的检修周期均是发电机出口断路器新投运或检修后投入运行至下一次检修之间的时间间隔。
4
4.1
4.1.1
4.1.2
4.1.3
4.2
4.2.1
4.2.2
4.3
4.3.1
4.3.2
4.3.3
4.3.4
4.4
4.4.1
4.4.1.1
4.4.1.1.1
4.4.1.1.2
4.4.1.1.3
4.4.1.1.4
9
合闸时间
50 ±5mS
10
分闸时间
49 ±3mS
11
空压机启动
0.93MPa
12
空压机停止
0.96MPa
13
压缩空气额定动作压力
0.96MPa
14
低压闭锁(开关合)(压力)
0.85MPa
15
低压闭锁(开关分)(压力)
0.81MPa
16
断路器型号
HEK6
17
操作机构型号
SADHE
18
冷却器型号
KAHE30-LW
4.2测定电容器的介损值,应满足规定。
4.3测定电容值,应满足规定
5
GCB风机电机测试
直流电阻相间差不应超过2%,线间差别不应超过1%;绝缘电阻均大于0.5MΩ
6
空压机电机测试
直流电阻相间差不应超过2%,线间差别不应超过1%;绝缘电阻均大于0.5MΩ
7
冷却器管路疏通及锈蚀处理
冷却器管路畅通且无锈蚀
5.3
附 录
(规范性附录)
维护检修安全措施和注意事项
表
序号
检修类别
安全措施
1
D级检修
巡检
日常维护
根据设备
2
C级检修
停机
拉开500KV进线隔离开关
拉开发电机出口断路器
拉开厂高变断路器
拉开断路器两侧PT
拉开断路器控制回路电源开关
合上500KV进线隔刀地刀
合上厂高变断路器地刀
合上发电机出口断路器地刀
3
A、B级检修
6.3.1
6.3.2
6.3.3
6.3.4
6.3.5
6.3.6
6.3.7
6.3.8
6.3.9
6.4
6.4.1
6.4.2
6.4.3
6.4.4
6.4.5
6.4.6
6.4.7
6.4.8
6.5
6.5.1
6.5.1.1
6.5.1.2
6.5.1.3
6.5.1.4
6.5.1.5
6.5.1.6
6.5.1.7
6.5.1.8
4
操作机构外壳解体、检修
不要损坏操作机构外壳;消除并磨光操作机构外壳上的所有磨痕
5
组装底座
不要损伤连接头的密封面,更换所有打开的密封环和密封圈
6
组装连体外壳
安装时,内绝缘子要清洁、干燥;安装内绝缘子后断路器应在8小时内抽真空
7
组装操作机构外壳
在活塞组件装进操作机构外壳之前,活塞密封必须手动精确地定中心;更换所有的密封圈,若其它部件有磨损也应更换
2
设备清扫
各设备及盘柜表面清洁无灰尘,内无遗留物
3
端子紧固
线头应与端子接触牢固、无松动脱落现象,线号标识清晰正确
5
压力表校验
压力表校验应满足规定
6
GCB本体试验
GCB本体的各项试验应满足规定
7
SF6微水含量应小于300μL/L
4
电容器试验:1)绝缘电阻测试;
2)介损测试;
3)电容值测试
4.1测定电容器的绝缘电阻值,应满足规定。
空压机启动压力:0.93MPa,停止压力:0.96MPa
2
各部位螺栓应紧固
3
检查是否有异常气味
正常情况应无异常味道
4
断路器及接地开关的指示与实际位置是否一致
断路器及接地开关的指示与实际位置应一致
6
正常时发出嗡嗡的声音
7
各阀门开启位置正确
8
检查冷却器检漏仪里是否有积水
5.2
C级检修项目及质量标准(见表3)。
6.2.6.2
6.2.6.3
6.2.6.4
6.2.6.5
6.2.6.6
6.2.6.7
6.2.6.8
6.2.6.9
6.2.6.10
6.2.7
6.2.7.1
6.2.7.2
6.2.7.3
6.2.7.4
6.2.8
6.2.8.1
6.2.8.2
6.2.8.3
6.2.9
6.2.9.1
6.2.9.2
6.2.9.3
6.3
6.5.1.9
6.5.1.10
6.5.1.11
6.5.1.12
6.5.1.13
6.5.1.14
6.5.1.15
6.5.2
6.5.2.1
6.5.2.2
6.5.2.3
6.5.2.4
6.5.2.5
6.5.2.6
6.5.2.7
6.5.2.8
6.5.3
6.5.3.1
6.5.3.1.1
6.5.3.1.2
6.5.3.1.3
0.5天
例行
日常维护
经常性
1天
表1(续)
序号
检修类别
检修周期
检修工期
备注
2
C级检修
1年
5天
按计划实施
3
A、B级检修
符合条件
20天
随机组计划实施
5
5.1
巡回检查和日常维护(见表2)。
表2项目与质量标准
序号
项目
质量标准
1
GCB SF6气体及压缩空气压力是否正常
SF6额定压0.62MPa(20℃),SF6报警压力:0.57MPa,
6.5.3.2
6.5.3.2.1
6.5.3.2.2
6.5.3.2.3
6.5.3.2.4
6.5.3.2.5
6.5.4
6.5.4.1
表6SF6中的杂质含量标准
名称
指标
水份含量(H2O)
≤65μL/L
空气含量(O2+N2)
≤1%
CF4含量
≤500μL/L
水解氟化物
≤1μL/L
酸含量
≤0.3μL/L
6.5.4.2
6.5.4.4
附 录
(资料性附录)
设备规范及
表
序号
项目
参数
1
额定电压
24KV
2
额定电流
22000A
3
主变侧电容
260цF
4
发电机侧电容
130nF
5
额定短路工作顺序
CO-30min-CO
6
负荷电流操作顺序
CO-3min-CO
7
CB额定操作SF6压力(20)
0.62MPa
8
最大分闸时间
75mS
目次
前
本标准的编制原则和要求依据《电力企业标准编制规则》DL/T800—2001、《电力企业标准编制规则》DL/T838—2003、《水利电力技术标准编写规定》SL01—97。
本标准附录A为资料性附录,附录B为规范性附录。
本标准由二滩水力发电厂检修部提出。
本标准由负责解释。
本标准由批准。
本标准由审核。
新更换的表计必须校验合格
14
拆卸空压机系统
所有拆卸部件应作好标记并保存好
15
滤过器装置检查
取下的所有部件应完好无损,必要时应更换
16
冷却器ຫໍສະໝຸດ Baidu查
冷却器应清洗干净,并将拆卸过的螺丝紧固
17
弹性安装系统检查
将拆卸过的螺丝紧固
18
空压机系统回装检查
已拆卸的螺丝回装后必须用螺纹锁固胶处理;在新密封圈上必须涂一层薄薄的润滑脂;若空压机运行10年后则逆止阀的密封垫、压缩弹簧和O型密封圈需更换;安装新的活塞环涨圈和新的活塞环时,确保每个连接点都与下一个连接错位90度
本标准的主要起草人:赵巧洪。
发电机出口断路器检修规程
1
本规程规定了二滩水电站发电机出口断路器的A级检修、B级检修、C级检修、D级检修的项目、技术要求、检修工艺、注意事项等方面的内容。
本规程适用于二滩水电站发电机出口断路器的检修工作,其它检修工作和运行工作亦可参考使用。
2
IEC标准
GB15.384-85.3 《交流高压断路器国家标准》
4.4.1.1.5
4.4.1.2
一般每年1次。
4.4.1.3
发生下列情况时,断路器也应该停止运行进行检查和检修,检修项目应根据具体情况确定。
4.4.1.3.1
4.4.1.3.2
4.4.1.3.3
4.4.2
检修周期与工期(见表1)。
表1检修周期与工期
序号
检修类别
检修周期
检修工期
备注
1
D级检修
巡回检查
1周
6.2.2.7
6.2.3
6.2.3.1
6.2.3.2
6.2.3.3
6.2.3.4
6.2.3.5
6.2.3.6
6.2.3.7
6.2.4
6.2.4.1
6.2.4.2
6.2.4.3
6.2.4.4
6.2.4.5
6.2.4.6
6.2.5
6.2.5.1
6.2.5.2
6.2.5.3
6.2.5.4
6.2.6
6.2.6.1
表3项目及质量标准
序号
检修项目
质量标准
1
外观检查
各螺栓应紧固,电容器无漏油、橡胶伸缩套无积灰、老化,SF6和空压机压力正常,断路器及地刀分、合闸位置指示正常;储气罐无锈蚀、破裂,连管接头处密封良好,无漏气;GCB冷却系统风机叶片无损坏,转动灵活,冷却水管无漏水,进、出风管的阀片开度适当;空压机进气孔及散热孔无堵塞,叶轮完好无损,滤过器无堵塞现象,两台空压机电动机的各自累积运行小时数统计差距不大
19
拆卸地刀电动机驱动装置
所有拆卸部件应作好标记并保存好
20
联锁装置检查
联锁装置应正常
21
蜗杆和滑动机构检查
所有拆卸的螺丝回装后都应涂螺纹锁固剂
22
回装地刀电动机驱动装置
回装是要按拆卸时的标记回装,所有转动部分都应涂润滑油
6
6.1
6.1.1
6.1.2
6.1.3
6.1.4
6.1.5
6.1.6
6.1.7
A级检修、B级检修项目工艺及质量标准(见表4)。
表4项目及质量标准
序号
检修项目
质量标准
1
SF6气体回收并抽真空
回收的SF6气体装于干净密闭容器内
2
断路器解体
保护好外露的密封面,拆出的绝缘子应无机械损伤、腐蚀;绝缘子装入内装有吸附剂的气密性容器内
3
连接体外壳组件解体、检修
各部件清洁、干燥,无尘、无磨损。所使用吸尘器的滤网,清洁布,均要作为有毒物,进行特别处理。更换内绝缘子;临安装前,才能从防潮包中取出新的内绝缘子
DL/T615-15.35.37《交流高压断路器参数导则》
《二滩水电站发电机出口断路器系统说明书》
3
3.1
二滩水电站的发电机出口断路器维护检修工作分为A、B、C、D 四个等级。
3.1.1
A级检修是指对发电机出口断路器进行全面的解体检查和修理,以保持、恢复或提高设备性能。
3.1.2
B级检修是指针对发电机出口断路器某些设备存在问题,对部分设备进行解体检查和修理。B级检修可根据设备状态评估结果,有针对性地实施部分A级检修项目或定期检修项目。
停机
拉开500KV进线隔离开关
拉开发电机出口断路器
拉开断路器两侧PT
拉开断路器控制回路电源开关
拉开厂高变断路器
SF6报警回路闭锁
合上发电机出口断路器地刀
合上厂高变断路器地刀
合上500KV进线隔刀地刀
表
项目
内容
注意事项
8.认真做好现场记录工作
3.1.3
C级检修是指根据设备的磨损、老化规律,有重点的对发电机出口断路器进行检查、评估、修理、清扫。C级检修可进行少量零件的更换、设备的消缺、调整、预防性试验等作业以及实施部分B级检修项目或定期检修项目。
3.1.4
D级检修是指当发电机出口断路器总体运行状况良好,而对主要设备的附属系统和设备进行消缺,包括巡检和日常维护。D级检修除进行附属系统和设备的消缺外,还可根据设备状态的评估结果,安排部分C级检修项目。
6.1.8
6.1.9
6.1.10
6.1.11
6.1.12
6.1.13
6.1.14
6.1.15
6.1.16
6.1.17
6.1.18
6.2
6.2.1
6.2.1.1
6.2.1.2
6.2.1.3
6.2.1.4
6.2.1.5
6.2.2
6.2.2.1
6.2.2.2
6.2.2.3
6.2.2.4
6.2.2.5
6.2.2.6
8
组装操作机构外壳组件上的连接体外壳组件
更换密封环;活塞不能被推离中心;不要倾斜连接体外壳组件,确认连接体外壳组件和绝缘子的法兰面是平行的;连接杆在活塞组件中从合闸到分闸过程中,没有在任何位置上被卡住
9
组装底座组件上带连接体外壳组件的操作机构外壳组件
环形绝缘子要清洁、干燥;安装完环形绝缘子后8小时之内断
路器必须抽真空;密封环要更换
10
组装顶盖
更换干燥剂袋组件;干燥剂袋件装入操作机构外壳顶盖中后,应在1小时之内对断路器极抽真空;更换密封环
11
充SF6气体并进行试验
SF6气体微水含量应小于150μL/L
12
水冷却器清扫检查及管路疏通,箱体内部刷防锈漆
冷却器管路畅通,防锈漆均匀、光滑
13
更换压力表、流量计、温度控制器、浮子开关
3.2
本规程中提到的检修周期均是发电机出口断路器新投运或检修后投入运行至下一次检修之间的时间间隔。
4
4.1
4.1.1
4.1.2
4.1.3
4.2
4.2.1
4.2.2
4.3
4.3.1
4.3.2
4.3.3
4.3.4
4.4
4.4.1
4.4.1.1
4.4.1.1.1
4.4.1.1.2
4.4.1.1.3
4.4.1.1.4
9
合闸时间
50 ±5mS
10
分闸时间
49 ±3mS
11
空压机启动
0.93MPa
12
空压机停止
0.96MPa
13
压缩空气额定动作压力
0.96MPa
14
低压闭锁(开关合)(压力)
0.85MPa
15
低压闭锁(开关分)(压力)
0.81MPa
16
断路器型号
HEK6
17
操作机构型号
SADHE
18
冷却器型号
KAHE30-LW
4.2测定电容器的介损值,应满足规定。
4.3测定电容值,应满足规定
5
GCB风机电机测试
直流电阻相间差不应超过2%,线间差别不应超过1%;绝缘电阻均大于0.5MΩ
6
空压机电机测试
直流电阻相间差不应超过2%,线间差别不应超过1%;绝缘电阻均大于0.5MΩ
7
冷却器管路疏通及锈蚀处理
冷却器管路畅通且无锈蚀
5.3
附 录
(规范性附录)
维护检修安全措施和注意事项
表
序号
检修类别
安全措施
1
D级检修
巡检
日常维护
根据设备
2
C级检修
停机
拉开500KV进线隔离开关
拉开发电机出口断路器
拉开厂高变断路器
拉开断路器两侧PT
拉开断路器控制回路电源开关
合上500KV进线隔刀地刀
合上厂高变断路器地刀
合上发电机出口断路器地刀
3
A、B级检修
6.3.1
6.3.2
6.3.3
6.3.4
6.3.5
6.3.6
6.3.7
6.3.8
6.3.9
6.4
6.4.1
6.4.2
6.4.3
6.4.4
6.4.5
6.4.6
6.4.7
6.4.8
6.5
6.5.1
6.5.1.1
6.5.1.2
6.5.1.3
6.5.1.4
6.5.1.5
6.5.1.6
6.5.1.7
6.5.1.8
4
操作机构外壳解体、检修
不要损坏操作机构外壳;消除并磨光操作机构外壳上的所有磨痕
5
组装底座
不要损伤连接头的密封面,更换所有打开的密封环和密封圈
6
组装连体外壳
安装时,内绝缘子要清洁、干燥;安装内绝缘子后断路器应在8小时内抽真空
7
组装操作机构外壳
在活塞组件装进操作机构外壳之前,活塞密封必须手动精确地定中心;更换所有的密封圈,若其它部件有磨损也应更换
2
设备清扫
各设备及盘柜表面清洁无灰尘,内无遗留物
3
端子紧固
线头应与端子接触牢固、无松动脱落现象,线号标识清晰正确
5
压力表校验
压力表校验应满足规定
6
GCB本体试验
GCB本体的各项试验应满足规定
7
SF6微水含量应小于300μL/L
4
电容器试验:1)绝缘电阻测试;
2)介损测试;
3)电容值测试
4.1测定电容器的绝缘电阻值,应满足规定。
空压机启动压力:0.93MPa,停止压力:0.96MPa
2
各部位螺栓应紧固
3
检查是否有异常气味
正常情况应无异常味道
4
断路器及接地开关的指示与实际位置是否一致
断路器及接地开关的指示与实际位置应一致
6
正常时发出嗡嗡的声音
7
各阀门开启位置正确
8
检查冷却器检漏仪里是否有积水
5.2
C级检修项目及质量标准(见表3)。
6.2.6.2
6.2.6.3
6.2.6.4
6.2.6.5
6.2.6.6
6.2.6.7
6.2.6.8
6.2.6.9
6.2.6.10
6.2.7
6.2.7.1
6.2.7.2
6.2.7.3
6.2.7.4
6.2.8
6.2.8.1
6.2.8.2
6.2.8.3
6.2.9
6.2.9.1
6.2.9.2
6.2.9.3
6.3
6.5.1.9
6.5.1.10
6.5.1.11
6.5.1.12
6.5.1.13
6.5.1.14
6.5.1.15
6.5.2
6.5.2.1
6.5.2.2
6.5.2.3
6.5.2.4
6.5.2.5
6.5.2.6
6.5.2.7
6.5.2.8
6.5.3
6.5.3.1
6.5.3.1.1
6.5.3.1.2
6.5.3.1.3
0.5天
例行
日常维护
经常性
1天
表1(续)
序号
检修类别
检修周期
检修工期
备注
2
C级检修
1年
5天
按计划实施
3
A、B级检修
符合条件
20天
随机组计划实施
5
5.1
巡回检查和日常维护(见表2)。
表2项目与质量标准
序号
项目
质量标准
1
GCB SF6气体及压缩空气压力是否正常
SF6额定压0.62MPa(20℃),SF6报警压力:0.57MPa,
6.5.3.2
6.5.3.2.1
6.5.3.2.2
6.5.3.2.3
6.5.3.2.4
6.5.3.2.5
6.5.4
6.5.4.1
表6SF6中的杂质含量标准
名称
指标
水份含量(H2O)
≤65μL/L
空气含量(O2+N2)
≤1%
CF4含量
≤500μL/L
水解氟化物
≤1μL/L
酸含量
≤0.3μL/L
6.5.4.2