热解氮化硼(PBN)
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长舟8 inch
绝缘板(MOCVD) 8 inch
涂层类蒸发舟
石墨加热器
PBN/PG复合加热器
■主要参数:
性能单位数值
晶格常数µm a:2.504×10-10 c:6.692×10-10
表观密度g/cm3 2.10－2.15(板材) 2.15－2.19 (坩锅)
氦透过率cm3/s 1×10－10
显微硬度(Knoop)(ab平
面)
N/mm2 691.88
体积电阻系数Ω•cm 3.11×1011
抗张强度 (力|| “C”)N/mm2 153.86
抗弯强度(力|| “C”)N/mm2 243.63
(力⊥ “C”)N/mm2 197.76 弹性模量N/mm2 235690
热传导率W/m•k “a”方向“c”方向
(200℃)W/m•k60 2.60
(900℃)W/m•k43.70 2.80 介电强度(室温) KV/mm 56