能谱分析EDX-操作规范

能谱分析EDX

1.开始菜单------------，出现RTEM control界面。

2.确定物镜光阑已经退出。

3.调节放大倍数，使Mag.在SA倍以上（LA低倍下易探到Cu网，CPS值剧增）；调节样品位

置，使其不要在铜网边缘。

4.在RTEM Control界面中点IN，此时EDX探头将会伸入。

5.注意RTEM control下拉界面的Actual CPS值，调节到2000-3000。

调节方法：

（1）spot size增大，CPS减小（spot size一般>3）

（2）如果CPS值太小，调节Holder的角度（Search---stage右拉---Set Alpha 10o）

（3）如果还不行，调节聚光镜光阑（一般不用）。

6.在主程序中选择EDX菜单，点击view，进行谱峰浏览。

7.判断EDX各项指数正常，谱图中需要的元素能够出现谱峰。

8.一切正常，则可点击Acquire开始做能谱分析。再次点击Acquire停止分析。

<注意事项>

1.counts/s值最好大于800。

2.Dead time的数值不能为红色，若为红色，

表明光太强，需要将光斑发散，或者将spot size变小。

3.Dead time一般到20-30%最好

4.如果转动了Holder的角度，记住完成EDX后，把角度恢复。

EDX软件分析

1.点击软件右下方的图标，进入能谱分析界面TIA。

2.在View中调出元素周期表选择需要分析的元素。

3.点击Quantify进行定量分析。

4.数据保存

①点击谱图，选择File-Save As 保存原始数据为emi格式

②右击谱图，选择Export 输出格式为tif或bmp的图片。

③点击数据分析结果，选择File-Save As 保存数据分析

结果为txt格式。

软件右侧工具栏中最右侧第二个图标（实心的两个峰）peak定峰。

第5个图标（实心两个峰%）定量分析。