静电防护管制作业

ESD防护
1、目的:
为明确规范公司ESD管制技术标准，以及在整个生产过程中提供ESD防
护及控制技术支持，完善公司ESD体系，从而达到提高客户满意度的最
终目的。

2、范围：
本规范适用于整个制造及运输过程。

3、定义：
ESD：Electrostatic Discharge静电释放。

EPA：静电防护区
ESSD：静电敏感元器件
静电：物体间因为相互摩擦而导致正负离子在接触表面聚集，当离子数量聚集到一定数量时，在表面产生电压，这就是静电。

4．程序：
4.1EPA区域的划分：
4.1.1EPA区必须具备以下基本环境要求：有明确的区域界限和防静电标
示，对区域内所有导体和人员可靠接地。

4.1.2EPA静电敏感度等级：
4.1.2.1静电敏感度等级防范要求为200V，应尽量避免200V以上静电
荷源，如无法避免，需采取有效方式消除。

4.1.2.2采用防静电标示与其它区域隔开，未采取有效防静电措施的人
员，物料，设备，工具等皆不能进入。

4.1.2.3进入静电防护区域的人员应做好防静电要求，包括防静电工衣，
静电鞋，静电帽，手腕带等测试合格后方可进入。

4.2EPA的ESD控制措施；
EPA控制措施按照下表实施：
ESD控制措施要求ESD控制措施要求静电电压控制标准小于200V辅助工具防静电要求防静电标示要求静电材料禁止带入EPA要求防静电地板或地垫要求区域封闭性可选防静电桌垫要求出口控制可选防静电腕带要求静电电压表可选防静电手套，指套要求表面电阻测试仪可选防静电工作服要求人体综合测试仪要求防静电工作鞋要求接地系统测试仪可选防静电工作椅要求离子风机要求防静电周转工具要求例子风机测试仪要求防静电包装材料要求防静电资料夹可选防静电烙铁要求防静电液要求防静电吸锡器要求办公区独立区域
防静电工作区，防静电包装材料，防静电周转工具和设备仪器的接地都
应该有防静电标示。

防静电标示的作用是警告任何靠近防静电区域的人
员，必须按照防静电的标准规范进行操作。

4.3.1任何防静电工作区都必须有明确的区域标示，除非此区域是在防静
电安全工作区内。

标示上应有注意说明，如“注意，静电安全工
作区”或同意语，不可用“注意”，“静电”，“危险”等词。

EPA标示所在位置及大小应保证至少在距离EPA区域外1米处可
见。

4.3.2应该使用黄黑相间的防静电地板胶带将每个防静电区域围起，并在
比较显眼的胶带的入口处和中间位置贴上EPA区域边缘标记，其
宽度为4-5cm，如下图所示。

（单位：Ω）
4.3.4 防静电器材，工具及静电敏感组件都应有明显的标示，如下图所示，
4.3.5 有直接接触静电敏感组件的设备需贴上静电敏感设备标示，如下图
所示
4.4 EPA 的工程环境的防静电规范；
4.4.1 EPA 环境要求：
EPA 区的温度应该控制在 18℃-30℃，湿度应该控制在 30%- 70%，区域内应配备温湿度计，并在每天开工前进行点检记录， 如点检结果不符合要求，应立即通知厂务进行处理，每月的温湿 度点检记录应分类保存，保存年限在两年以上。

4.4.2 地面的技术要求；
4.4.2.1 地板的防静电要求：为使人体静电能及时有效地通过地板泄漏
到大地上，要求地板具有一定的导电性能，如下表为各种地板的泄漏电阻。

地坪材料名称
泄漏电阻
地坪材料名称
泄漏电阻
石 4 9
10 -10 沥青 11 13
10 -10
混凝土 5 10 10 -10 聚氯乙烯 12 15 10 -10 一般刷漆地面
9 12 10 -10 导电性水磨石 5 7 10 -10 橡胶 9 13 10 -10 导电性橡胶 4 8 10 -10 木，木胶合板
10 13 10 -10
导电性聚氯乙烯
7 11 10 -10
4.4.2.2防静电地板的定期检查与维护保养；
检查测量应在标准温湿度条件下进行，当地面附有绝缘性的
油膜，树脂，橡胶或是其它脏污时，应根据实际情况定期清
除，清扫防静电地板时候不可使用绝缘性的地板蜡。

4.4.3EPA的防静电接地保护技术要求；
4.4.3.1接地线：接地主干线的截面积应不小于35mm2，支干线的截
面积应不小于16mm2,工作台及设备静电接地线应使用
截面积不小于1.25mm2的敷塑导线，并以黄绿色为宜。

4.4.3.2防静电设备的连接端子应确保接触可靠，易拆装，最好使用
插头座。

4.4.3.3接地电阻：指接地体与大地之间的接触电阻，静电保护接地
电阻应小于1Ω。

4.4.3.4地线的埋设：地线的埋设原则是埋设的地点土壤电阻系数越
小越好，接地体与土壤的接触面积要大，接触密度要高，接
触要紧。

应使用耐腐蚀的接地体金属，接地体与接地线焊接
要牢固，引线不要过长。

4.4.3.5静电接地线的定期检查与维护；
厂务部门为确保静电接地线有效接地，应定期对接地线进行
维护，对生锈的接地线要进行更换，对松动接触不良的接地
线要重新连接。

4.5EPA的人员防静电规范；
4.5.1各类人员的防静电知识培训要求及职责：所有有可能进入EPA及
可能接触静电敏感元器件的人员都必须接受ESD相关知识的培训，
这既是对每各员工的基本要求，也是减小静电危害最有效的途径。

4.5.1.1所有新进直接员工上岗前必须接受两个小时的ESD理论知识
培训，并讲解本规范内容，并考试合格者方可上岗。

4.5.1.2所有在职员工每年必须接受不少于两小时的ESD知识再培训，
培训的内容包括ESD新规范，新技术等。

4.5.1.3工艺人员必须接受较为专业的ESD知识培训，了解电子工业
生产过程中的防静电工艺技术，在实际生产过程中知道作业
人员落实防静电措施。

4.5.1.4质量管理人员必须接受较为专业的ESD知识培训，了解各种
ESSD的静电敏感性能及防护知识，监督静电防护工程的实
施，并评估其效果。

4.5.1.5采购部人员必须接受基本的ESD知识，熟悉ESSD品种，规
格，标示及防护方法，在物料采购及运输过程当中严格遵守
ESD防护规范。

4.5.1.6仓储转运人员必须接受ESD基本知识培训，懂得在储存和转
运过程中防护ESSD静电器件及相关的存放操作要求。

4.5.1.7检验和试验人员(包括外购件入厂检验试验和产品检验人员)必
须接受较为专业的ESD知识培训，熟练掌握ESSD的检测知
识和防静电器件的检测方法，严格按设计技术档要求和工
艺规程进行检验和试验。

4.5.1.8负责防静电接地和布生产线的人员，应接受较为专业的ESD
知识培训，熟悉防静电接地系统要求，掌握地桩、地线、及
其它防静电设施的敷设或安装。

4.5.1.9生产管理人员应了解ESD基本知识，严格按静电敏感器件
的设计档要求和工艺规程组织生产，并开展对生产员工的静
电防护日常教育。

4.5.1.10计量检定人员也应了解ESD基本知识，尤其是关于防静电仪
器的校验知识，要定期调校防静电检测器材，保证其安全、
有效。

4.5.1.11提高培训是针对ESD工作骨干人员组织的静电防护技术的高
级培训，适用于ESD小组成员、区域ESD责任人、各部门
ESD工作优秀人员和ESD责任人的预备人选等。

提高培训
由公司ESD负责人根据需要不定期举行。

提高培训的内容
主要是ESD标准的学习讨论ESD新技术的学习，ESD案
例学习和疑难问题讨论等。

4.5.2人体静电防护系统；
4.5.2.1防静电工作服（帽）：防静电工作服是指为防止静电荷积累，
用防静电织物作为面料而制成的工作服，样式有连体式、
分体式等。

防静电工作服主要用来泄放人体高绝缘性能的服
装所产生的静电或减少人体静电产生。

防静电工作服的主要
技术指标如下表。

防静电服使用要求:应根据所制造或操作的ESSD的静电敏感度的不同，选用不同等级的防静电布料和防静电工作服。

防静电工作服应在首次穿用前作防静电性能检测，只有测试合格方可投入使用，穿用一定时期后应对其防静电性能进行复测，防静电大褂衣和夹克衣每周应做一次防静电特性复测，对于检测不过关的防静电大褂衣和夹克衣应停止使用，更换新的。

4.5.2.2防静电工作鞋：作业人员必须穿防静电鞋，经过人体综合电
阻测试合格后，方可进入静电敏感区域工作。

防静电工作鞋
每半年应做一次防静电特性检测，对于检测不过关的防静电
工作鞋应停止使用，更换新的。

4.5.2.3防静电手套或指套：在EPA内，操作员工应戴上防静电手
套或指套，防静电手套或指套兼具防腐蚀的功能。

在不便
使用有绳防静电腕带的岗位，如流动操作岗位，须使用防静
电手套。

坐式操作，必须佩戴腕带。

防静电手套和指套较脏
时应及时清洗干净，手套使用期限为一月，到有效期后，统
一以旧换新，有破损统一更换。

4.5.2.2防静电腕带：防静电腕带是通过腕带与皮肤的直接接触和静
电线接地的方式，将人体皮肤表面静电泄放掉，由松紧圈
和接地组件构成。

松紧圈的要求是体积电阻率≤100Ωcm接地
组件必须串接一定数值的电阻，以确保操作者意外触及高电
压时不致发生人身伤害。

该电阻的选择原则是，一方面应保
证操作者在触及线电压时流过人体的电流不大于5mA，另一
方面又要保证人体所带的静电能通过该电阻很快泄放，使皮
肤上的静电压小于200V，一般该电阻阻值取为106Ω。

进入
静电敏感区域应将防静电环连接好，与皮肤完全接触，保证
防静电环正常有效的工作。

腕带佩带方法：将腕带扎于手腕
处，不能松动，手腕感觉四周握紧。

保证手腕带内表面与皮
肤良好接触，鳄鱼夹夹紧接地线。

每班开工前，每位员工都
应自检防静电环是否正常，并在《静电手环点检表》上作好
记录，只有测试合格，才可以进入静电敏感区域工作。

4.6静电敏感区域的防静电操作规范；
4.6.1所有的ESSD及其部件的操作必须在静电安全工作台上进行。

贮存
和运输ESSD及其部件时，应妥善进行防静电包装。

拒绝接受未包
装在防静电容器里的ESSD。

运输ESSD及其部件时，应将其放入
防静电包装内进行，必要时，应用离子风机来消除在运输过程中
产生的静电。

4.6.2新布置的生产线或工位等都应进行ESD认可，只有认可合格后，方
可给生产线使用。

4.6.3新投入防静电敏感区域的防静电材料，包括主料，辅料和包装材料
都应进行ESD认可，只有认可合格后，方可给生产线使用。

4.6.4新投入防静电敏感区域的防静电工具等都应进行ESD认可，只有认
可合格后，方可给生产线使用。

4.6.5不具备防静电功能的必备工具和用具，应放在防静电桌垫上，并应
置于离子风机的作用范围内。

4.7静电敏感区域的工作台、工装、设备以及防静电器材的防静电规范；
4.7.1基本防静电要求：防静电工作区内的各种设备、工具、工装仪器都
应实施静电防护措施，如接触元器件的部分应使用防静电材料(体
积电阻<1011Ω)，对非防静电材料(表面电阻>1011Ω)应采用静电中
和或涂抹防静电涂液、涂层等其它防护措施进行有效的接地(硬接
地软接地)。

4.7.2防静电工作台的技术要求：防静电工作台是防静电工作区的主要组
成部分，下面为标准的防静电工作台技术要求；
4.7.2.1工作台垫和地垫均应采用防静电材料。

静电台垫和地垫上任
意一点的系统电阻和表面电阻均为：1×104Ω~1×1011Ω静电
泄放至100V以下的时间小于1S。

4.7.2.2防静电腕带的泄漏电阻为1×106Ω±10％，静电泄放至100V
以下的时间小于0.1S。

4.7.2.3防静电工作椅:防静电工作椅上任意一点和人体接触的地方
（椅垫，靠背或扶手）到工作椅的任意一个导体脚轮的电阻
应该满足1×106Ω~1×109Ω（不依赖于相对湿度）；工作椅表
面的摩擦电压必须小于100V或高静电电压泻放到100V
以下的时间小于2秒。

4.7.2.4电离器：在不能有效泄放静电的场合，可采用电离器通过电
离空气产生的正负离子，来防止和中和在元器件上及其它物
体上的电荷积累。

要求电离器对静电电压的消除能力大于
100V/S。

电离器的平衡度要求小于±15V，静电消散时间要
求从1000伏下降到100伏的时间要求小于2秒（中档风
量）。

4.7.2.5增湿器：当相对湿度较低时，可恰当的使用增湿器，通过恒
定的潮湿气流，防止静电荷积。

但此方法不适于非密封电子
元器件。

操作时要注意因湿度增加而导致的有害影响。

4.7.2.6接地系统：包括限流电阻和连接端子，应连接可靠，并具有
一定的载流能力。

限流电阻阻值的选择应保证漏泄电流不超
过5mA，下限阻值应为1MΩ。

防静电工作区必须有安全
可靠的防静电接地装置，接地电阻小于4Ω。

防静电地线不
得与电源零线相接，不得与防雷地线共享。

另外，工作台面、
地垫、其它ESD保护设施均应通过限流电阻接至公共地线，
腕带应通过工作台顶面接地点与地线连接。

工作台不能相互
串联接地，而应分别接地。

4.7.3工作台的电气要求；
静电源静电电位泄放至100V以下的时间小于1S，静电防护操
作系统的电阻上限为1011Ω，防静电操作系统的泄放电流不得超
过5mA，为此防静电操作系统的电阻下限为104Ω绝缘体上的静
电采用电离器中和加以消除。

4.7.4防静电工作台的接地要求；
4.7.4.1防静电工作台的台垫和地垫，分别串联1MΩ+\-10%的电阻接
地(即软接地)。

4.7.4.2防静电工作台垫和地垫上任意一点与地线配置系统间的电阻
小于1×1011Ω。

4.7.4.3接地电缆应采用中间无接头、且具有足够的机械强度。

4.7.4.4多台防静电工作台的接地线不能相互串接。

4.7.4.5防静电工作台上的测试仪器、稳压电源、电动工具、和电离
器等所有外部零件表面、屏蔽面均应接地，对地线配置系统
电阻值不大于2Ω，所有接地点应集中接于一点，就近牢固
搭接至地线系统上，稳压电源尽可能远离工作台。

4.7.4.6为带有金属外壳的便携工具及仪器、设备提供的电源插头座，
应选用安全型，以使其配接时工具和设备的金属外壳能够
自动接地且接地脚要首先接地，断电时接地脚最后断开。

4.7.5落地设备的防静电技术要求；
4.7.
5.1落地设备如SMT、清洗机、流水线等等应采用硬接地，即
直接或通过一个低阻抗同防静电地线相连设备的接地线应采
用截面积不小于1.25mm2的敷塑导线，接地线颜色以黄绿色
线为宜。

4.7.
5.2具有自动传送带或滚筒式的流水线，线体应统一接入大地网，
并使线体上任一点与大地的接地电阻均小于4Ω。

4.7.
5.3流水线的自动传送带应使用防静电材料(表面电阻小109Ω)，
并通过导线或导体与线体连接。

流水线的自动传送带常常通
过金属的传送轮接到线体，金属轮应定期清洁而保证皮带有
效接地。

4.7.
5.4流水线体上的工装板应通过静电导体与线体连接，达到与线
体等电位。

4.7.
5.5自动线体上按作业岗位需要，设置接地点，以便操作者能随
时连接防静电腕带。

4.7.6台式设备的防静电技术要求；
台式设备如元器件成型机、半自动或手工插件机等应通过台垫实
施软接地，即在放置台式设备的工作台面上铺设防静电台垫，并
将台垫有效接地。

4.7.7工具的防静电技术要求；
4.7.7.1带有金属外壳的便携工具及仪器、设备提供的电源插头座，
应选用安全型。

4.7.7.2防静电烙铁的金属外壳应接保护地，烙铁头必须具有硬接地
通路，烙铁头的接地电阻要求＜1.0Ω，由于烙铁头的高温
氧化问题，日常检查测试时烙铁头接地电阻＜20Ω可以接
受。

防静电烙铁手柄的绝缘电阻为1×107~1×108Ω.防静电
烙铁应使用万用表每月检查一次。

4.7.8制工具的防静电技术要求；
4.7.8.1橡胶、塑料、化纤、有机玻璃等高分子材料都具有很高的电
阻率，极易在使用过程中因接触-分离、摩擦、碰撞等作用
而产生、积累起很强的静电，诸如此类在工程中常用的丁基
橡胶、ABS塑料、PVC塑料、涤纶等材料都属工装慎用材料，
对这些材料必须进行防静电处理或用防静电材料取代。

4.7.8.2如果接触静电敏感元器件的部分使用了金属材料，则注意一
定要将工装进行软接地(例如放在防静电垫上接地)。

4.7.8.3如果由于特殊原因，工装上接触静电敏感元器件的部分使用
了非防静电材料(表面电阻>1011Ω)，则应该采用静电中和或
涂抹防静电涂液涂层等其它防护措施。

4.7.9防静电容器及周转设备技术要求；
4.7.9.1防静电包装材料：在静电敏感器件和印制板的包装和储存中，
为避免物料与高绝缘包装袋的摩擦而产生静电、受到ESD损
害，必须使用防静电包装袋。

同时，为避免外界强电磁场的
干扰与感应，必要时，应使用具有屏蔽作用的防静电袋。

防
静电包装袋每6个月检测一次，标准参照测试技术指针，测
试仪器是兆欧表。

实际操作请参考《ESD包装规范》。

4.7.9.2防静电容器(包括周转箱、元器件存放盒、印制板架等，周转
栈板类器具可参考货架ESD管制规格)：在电子产品生产中，
在各工位、各工序间用于传递和储存ESD和单板的各类容器，
以及用于产品包装发货的容器，都应具备防静电性能，而
不允许使用金属和普通塑料容器。

必要时，存放部件用的周
转箱应接地。

防静电容器每6个月检测一次，标准参照测试
技术指针，测试仪器是兆欧表。

4.7.9.3防静电周转车：转运、暂存ESD或含有ESD的整、部件产品时，
应使用有防静电性能的周转车。

为保证接地良好，可在车底
加装接地金属链使用中，应避免导电车轮脱离地面的情况出
现，还应作好标识，定期清洁导电轮，一般每周一次。

4.8EPA内特殊情况处理；
4.8.1原则上不允许高静电产生材料进入EPA区域，因实际需求必须进入
EPA的高静电产生材料需要进行适当的控制，使静电风险减至最
小。

EPA内存在高于100V的静电源必须采取正确的防静电处理措
施，如显示器、键盘、工具和装备上的静电源、特别是必须进入
EPA的高静电生产物料（如不防静电的包装材料）。

防静电处理
的主要措施有离子化、防静电剂、屏蔽、接地等。

工装和装备中、
操作测试过程中有静电难以消散的静电源应考虑使用静电消除装
置（如离子风机）或防静电剂。

对于客观情况造成的EPA区内
的高静电情况，可以采取分区隔离的方法，保证EPA内任何充
电的或可充电电压超过200V的物体应该保持距离静电敏感器件
30厘米以上，并使EPA外部的高静电源远离EPA1米以上距
离。

4.8.2针对我公司的实际情况，在EPA区内需要设立专门的静电控制区，
如办公区、包装和拆包区、周转工具区等，这些区都有高静电发
生材料和设备，如CRT显示器、档夹、包装胶带、不防静电泡
沫、不防静电托盘等。

必须划分明显的区域，且用黄底黑字的地
板胶带将该区围起，并设立明显的指示牌标志，告诫高静电产生
材料、工具、设备等不得在该区外使用。

高静电产生材料、工具、
设备和ESD生产区至少保持1米以上的距离，ESD不得在无包
装的情况下带入该区。

5、相关窗体：
7.1《ESD防护管制规格表》
7.2《ESD总线接地点检表》
7.3《静电手环点检表》
7.4《静电电压记录表》
7.5《静电接地电阻点检表》
7.6《表面电阻系数记录表》。