静电防护管理规范版

静电防护管理规范

文件编号：

版本：

生效日期：2013-03-20

1 目的

防止静电对静电敏感器件造成早期损坏或缩短使用寿命；使ESD防护工作具有较强的可操作性。

2 适用范围

从静电敏感器件进货到产品形成的全过程

3 定义

3．1静电放电（ESD）

处于不同电位的两个物体之间，由于直接接触或者电场感应导致的电荷传输。

3．2静电敏感器件（ESDS）

在常规处理、测试或运输中可能会受到静电场或者静电放电损害的分立器件、集成电路或组件。

3．3静电的发生及带电

3．3．1静电的定义：物质是由分子组成，分子是由原子组成，原子是构成一切化学元素的最小微粒，由带正电的原子核和带负电的围绕原子核旋转的电子组成。在正常状况下，原子所带的正负电荷相等，所以对外表现出电中性。但是在某种条件下，当物质原子中的这种电平衡状态被打破，丢失或获得电子，物质即由电中性状态改变为带电状态。丢失电子，则表现为带正电；获得电子，则表现为带负电。这种物体表面所带过剩或不足的相对静止不动电荷，称之为静电。

3．3．2静电的产生：静电的产生有多种，这里主要讲述与电子制程紧密相关的接触起电、感应起电、剥离起电、摩擦起电；其它如：粉体带电、液体静电、气体带电、飞沫带电、喷出带电在此不进行讲述。3．3．2．1接触起电：当两种物质接触时，其间距小于×10-8cm 时在其间即发生电子的转移，界面两侧出现大小相等，符号相反的两种电荷

3．3．2．2感应起电：它是导体在外部静电场作用下，在不同部位表面感应出不同符号的电荷3．3．2．3剥离起电：两个接触非常紧密的物质，在外力作用下突然分开，由于剥离的原因使物体带电3．3．2．4摩擦起电：由于摩擦生热，热使离子（电子）的活性增加，容易向其他物体转移

3．3．3静电的危害

3．3．对人体产生电击：带了电的人体接近接地体时，会由于静电放电产生的瞬间冲击电流流过人体某一部位而引起电击。或者是原来不带电的人体接近一个带电物体时，带电物体对人体放电而引起的电击。3．3．对电子组件的损坏：对组件的损坏大体可分为两种失效模式：一、突发性完全失效即一次性击穿、烧毁，产品在拿取、传递、作业时由于静电放电造成的产品完全破坏，永久失效；二、潜在性缓慢失效即静电放电使产品造成毫无规律可循的潜在性失效，导致其可靠性下降。

3．4绝缘体与导体

3．绝缘体

绝缘体具有大表面电阻率，一般大于或等于1011Ω。产生静电时即使接地电荷也不会泄放到大地，物体仍处于带电状态。

如：普通塑料制品、乙烯等

3．4．2导静电体

导体一般表面电阻率≥102 Ω和＜105Ω范围，电荷具有良好的流动性，进行接地电荷会大量流向大

地，造成大电流而损坏电子元器件或击伤人体。 3．5防静电材料定义

3.5.1根据防静电材料的导电性能，可分为静电绝缘、耗散、导电、屏蔽四种。

静电绝缘材料：表面电阻率≥1011

Ω；

静电耗散材料：表面电阻率≥105

Ω和＜1011

Ω； 静电导电材料：表面电阻率≥102

Ω和＜105

Ω； 静电屏蔽材料：表面电阻率＜102Ω； 3.5.2 ESD 防护项目的表面电阻的要求

工作表面、存放架、电动车、手推车、周转箱、物料盒、周转架、地板、服装、鞋子、椅子等表面电阻为10

4 —

1010

Ω；

包装材料（如：胶袋、胶带、胶纸、包装纸、吸塑品等）的表面电阻为：105

≤R ＜1011

Ω。 3．6静电发生源

3．6．1 人：人是最大的静电发生源。人在作业过程中的任何操作都可能使人的皮肤、头发、衣服等带上静电。

3．6．2 环境：地板、工作台面、仪器设备等都是静电发生源。

3．6．3 材料：生产中的一些原材料、生产辅助材料、包装材料等也可能是静电发生源。

表1 常见物体的静电发生序列

＋

3．7漏电

测试工具如电批、电视机、功放、示波器；由于使用220V 电进行供电，会产生对地的漏电；漏电电压较低，不会超出供电电压；不会像静电那样具有几千伏的电压；但漏电电流较强，进行可靠设备接地后要求漏电电压AC 小于1V 。 3．8电子元器件的静电耐压

表2

一些器件类型的

静电敏感电压值

－

4 职责

工程部确定静电防护控制点、区域和控制要求；

电子仓负责静电敏感器件出库前的静电防护,IQA部负责静电敏感器件检验时的静电防护,生产车间负责生产过程中的静电防护；非生产物料仓库管理员负责对修理位和烧录IC位等使用工具，如镊子、烧录笔，防静电支架，防静电衣帽，防静电手套，指套等来料进行ESD抽检，静电衣帽每次抽检5%，静电手套/指套每次抽检1%，工具、支架等每次抽检10%，抽检结果记录在《防静电物料验收记录表》中。

工程部动力设备室负责对接地主干线的检测和维护,防静电地板表面电阻，防静电地板接地电阻的检测，每半年一次检测；各部门负责本部门静电地线与设备地线的检验和维护；

工厂各车间日常点检、周点检工作由生产车间指定人员 (一般由各生产线多能工或车间ESD专员)进行，生产线月点检由各车间/部门ESD专员在每月中旬进行，记录在《生产线ESD月点检表》中，车间主任/部门长审核确认，工程部、部品部、IQC、PMC仓库ESD专员由各车间主任/部门长指定；

IQA部负责制造中心ESD防护措施的抽检抽查；

对于一级EPA区域，需要定期的进行周度稽查、月度稽查、季度稽查、年度稽查；对于二级EPA区域，需要定期的进行月度稽查、季度稽查、年度稽查。检查与测量采用合适的仪器和方法、同时记录予以保存（记录保存时间：1年），使之与ISO9000的要求相符合。

静电防护的控制点和区域

电子仓库（包含IC房）、工程部分析室、IQA首件检验房、机芯生产车间、C/SKD车间、IQC机芯检验房、IQC部品检验房、SMT/PCB车间、总装车间与静电敏感器件相关的工位及修理工位；

工程部动力设备室负责对静电手环、电烙铁、电批等工、治具进行发放、管理、维修；

4．8 防静电手环、防静电鞋、防静电衣帽、防静电手套；

4．由各生产线指定专人每天进行点检和目视；同时将每个测试结果记录在《静电手环点检表》，《静电鞋点检表》等日常点检相关表格及《目视检查表》中；

4．对点检中发现的不良静电手环要求立即进行更换；同时记录在《ESD测试NG处理记录表》中；4．对点检中个别员工皮肤干臊引起接触电阻高使测试不通过的，可在作业员与静电手环金属片接触的皮肤处涂抹润肤保湿霜，2小时涂一次；