捷佳伟创致宁夏银星PD380A_4_镀膜设备技术协议-机械手(201009)

装载工位，机械手将自动完成装载至工位的全部动作；卸舟时机械手会自动将出炉的工位上的石墨舟取出
并放置在冷却平台上，人工只需从冷却平台取走石墨舟即可。全套动作由独立监控 PLC 控制，各种动作
通过电机与导轨配合自动完成，系统通过与管理计算机及到位传感器进行联锁，保护舟及反应片的安全。
选用四管 PECVD 设备，我们同时提供装卸片小车平台，方便操作人员进行石墨舟进出设备的操
⑶．计算机控制软件包 该计算机控制软件可存储多达每管 10000 条以上工艺曲线，每条工艺曲线可达 30 步，具有灵活的工艺程 序编辑功能，工艺运行时的工艺号、工艺步骤、工艺时间、实时时钟、各工艺参数（包括进出舟的状态、 阀的状态、气体流量、真空状态、射频功率、各端温度（超温报警及保护）、产品批号、产品数量、操作 者等，模拟工艺卡管理）均有英汉或图形显示。全部参数每隔一定时间自动存储，工艺完成可查看历史记 录。工艺中遇到瞬间停电、跳闸等情况时，计算机会自动存储当前状况。控制系统可按需要设置斜率升降 温及恒温，达到全自动控温的目的。可开放所有运行工艺数据给工厂管理中心，利于管理者对设备运行状 态、工艺运行结果的掌控。
作。
1.2.6 SiO2 工艺（可选）： 未来的太阳能电池减反射膜工艺路线，将往多层膜技术方向发展。多层膜的关键在于采用 N2O 进
行 SiO2 工艺。该设备可选 SiO2 工艺配置或预留 N2O 安装位置。
1.2.7 重要部件： 设备采用 AE 40KHz 10KW 高频电源。在 PECVD 中最重要的是采用脉冲式高频，保证 Si3N4 膜
3.2.2 推舟净化系统：
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1.2.2 针对国内外其他厂家炉口热量散发严重，温度反应慢、波动大的情况，改善了炉口保温设计，增 大炉口段的加热功率，从而可以在进出舟过程中实现快速温度恢复，保障工艺所需温度的稳定。
1.2.3 数字化控制，消除了模拟变量传输的干扰： (1). SiC 悬臂杆的进出料运动与软着陆的上下运动，均运用数字控制的 256 细分马达驱动器，防止运动过 程中的阻步、丢步现象，从而确保机械运动的高度稳定与重复性。 (2). 所有工艺气体（包括高纯 N2）均采用 MKS 数字式 MFC 的运用，确保了反应气体流量的控制精确、 稳定、无干扰，对工艺生产的重复稳定控制具有非常有益的帮助，可有效的提高工艺批次间的品质。
1.2 产品特点 1.2.1 5 段控温恒温区：在 1100mm 的恒温区范围内，采用 5 点炉壁热偶进行温控，温控元件采用高精 度智能温控器；完整的控制方案确保在中低温状态下，炉管内恒温区的持续与准确性。 注：应该说，温度的控制精度与良好的工艺温度梯度是 PECVD 温度控制的关键所在，其中尤为重要的是 平坦准确的温度梯度。我们通过细分 1100mm 的恒温区为 5 点控制，来达到更好的温度控制精度；另外通 过软件控制实现的斜率升降温有利于达到更好的温度梯度的平坦性。
2.15 压力控制：
VAT 数字自动调节阀+MKS 薄膜规 自动压力闭环控制
2.16 送舟方式
采用双 SiC 悬臂杆自动送片机构，舟速 1～3500mm/min 连续可调；舟定位精度≤±1mm；最大承载重量
为 18kg。软着陆工艺方式，工艺过程中 SiC 悬臂杆外置。
2.17 带装卸小车。自动装载机械手。
1.2.4 SiC 悬臂杆送取舟，石墨舟软着陆：SiC 悬臂杆在进入石英管前后，自动调整上下状态，装载或 卸载石墨舟。工艺反应过程中，SiC 悬臂杆离开了反应管。一方面，实现了工艺舟的软着陆，SiC 悬臂杆 可以做到不清洗；另一方面，从机械方式来讲，没有其他物件的阻挡，工艺片在石英管内的成膜过程更合 理。精心设计制造的软着陆装置，参考了国际多家设备商的优势，运行稳定可靠，基本实现免保养。
将反应舟放置在反应管内。工艺反应过程中，SiC paddle 外置。
自动装载机械手：
大规模工业生产的一个突出特点就是生产过程的高度自动化，PECVD 的自动装卸舟功能的实现将大
大的提高 PECVD 工序的自动化操作程度。自动化的另一个优势是将带来高度的重复性，避免了人工操作
的随意性对工艺产生的影响。
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1．概述
1.1 基本用途 本设备主要用于晶体硅太阳能电池制造中电池片的减反射膜生长。PECVD 的镀膜效果直接关系到电
池片的最终转换效率与电性能参数，目前管式 PECVD 是电池片减反射膜生长质量相对较好的设备方法， 该设备尤其适用于多晶电池片的工艺生产。
系统每管采用中国台湾研华工业平板触控计算机进行集中管理控制，程序操作简便，软件功能强大， 具备断电记忆能力。PECVD 的真空系统、气源系统、温控系统、射频电源、推舟系统，均由平板计算机 进行数字控制，另外每管采用稳定可靠的多功能 PLC 进行现场控制，可有效控制现场阀门等控制变量。
温度由独立的 5 个智能温度控制器实施精确控制，分 5 段对加热炉丝进行独立控制。控制过程中通过 通讯与计算机进行数据参数交换；该控制器也可独立于计算机之外，手动设置温度，因此完全可避免因计 算机故障而造成温度失控的可能。 ⑴．每管 Panel PC 一体化工业平板 15 吋触摸计算机（含 8 线电阻触摸屏）+ 每管单独三菱多功能 PLC
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3. 技术方案
3.1 设备基本组成 计算机控制系统、推舟净化系统、加热炉系统、气源系统、真空系统、射频电源 3.2 技术说明 3.2.1 计算机控制系统：
地址：广东省深圳市宝安区沙井镇蚝四林坡坑工业区 A4 栋
电话：0755－81449923ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
传真：0755－81449990
邮编：518125
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1.2.5 自动装卸舟： 大规模工业生产的一个突出特点就是生产过程的高度自动化，PECVD 的自动装卸 舟功能的实现将大大的提高 PECVD 工序的自动化操作程度，配合另置的自动或半自动装卸片机械，可以 大量的节省操作所需人工。自动化的另一个优势是将带来高度的重复性，避免了人工操作的随意性对工艺 产生的影响。我们自行设计研制的自动装卸舟机械手，通过独立的控制系统联机检测各个工位的工作状况， 适时的进行上下、平移及冷却平台放置处理，装舟时只需人工将装好片的石墨舟放置在冷却平台上并选择
优秀的工业控制计算机系统，稳定性、可靠性好。使用软键盘操作控制软件，不需操作键盘和鼠标。 每管采用单独的 PLC 进行现场控制，控制稳定可靠，抗干扰性能突出。
⑵．5 段温区采用进口智能温度控制器 采用带通讯的进口高档智能温控器分段对炉体进行独立控制,可精确控制各段炉丝的温度，控温精度可
达≤±2℃（400℃）。温控器既可独立于计算机之外，手动设置温度，又可通过与计算机通讯，按需要设置 斜率升降温，达到全自动控温的目的。温控器除了控制温度外还具有温度保护功能，根据需要手动设置温 度保护值适当高于使用温度值或为极限温度值，其温度保护动作精度可精确到 1℃。
2.8 升温时间：
RT→400℃≤25min
2.9 具有自动斜率升降温及恒温功能。
2.10 具有完善的超温、断偶、短路、流量、压力、水流、高频报警保护。
2.11 极限真空：
≤1Pa
2.12 工作压力：
1700mTorr
2.13 真空恢复时间：
AP→3Pa≤3min
2.14 系统漏气率：
关泵后，压力上升速率为≤1Pa/min
成，系统通过与管理计算机及到位传感器进行联锁，保护舟及反应片的安全。
我们同时提供装卸片小车平台，方便操作人员进行石墨舟进出设备的操作。
冷却部分： 通过顶部水冷散热器及净化风的吹扫，在柜体内部对工艺完毕的石墨舟及工艺片进行设备内部的预冷 却，有效的提高了生产效率及冷却效果。
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宁夏银星能源股份有限公司
PD-380A(4)型管式 PECVD
技术说明文件 201009
客户确认： CHINASC 确认：
2010 2010
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2.18 工艺过程由工业平板计算机全自动控制，直接在触摸屏上操作。
2.19 每管可存储 10000 条工艺曲线、每条曲线不少于 30 个拐点。
2.20 炉管数：
4 管/台.
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Run-Run ±3%
Refractive index 2.00-2.15 2.4 温度控制范围： 200～550℃，最大 600℃
2.5 温度控制方式： 5 段智能温度控制器+5 点外热偶控温