镀膜基础知识简介
镀膜工艺简介.pptx
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2.磁控溅射镀膜的定义
电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的
氩离子和电子，电子飞向基片，氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量
的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在基片上成膜。
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3.辉光放电的定义
辉光放电是指在稀薄气体中，两个电极之间加上电压时产
生的一种气体放电现象。
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直流溅射：适用于金属材料
射频溅射：是适用于各种
金属和非金属材料的一种
溅射沉积方法
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4.真空溅射镀膜的优缺点
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三、真空离子镀膜
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4.热蒸发原理及特点
热蒸发是在真空状况下，将所要蒸镀的材料利用电阻加热达到熔化温
度，使原子蒸发，到达并附着在基板表面上的一种镀膜技术。
特点：装置便宜、操作简单广泛用于Au、Ag、Cu、Ni、In、Cr等导体
材料。
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5.E-Beam蒸发原理
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1.真空离子镀膜的定义
在真空条件下，利用气体放电使气体或蒸发物质离化，在气体离
子或被蒸发物质离子轰击作用的同时，把蒸发物或其反应物蒸镀在
基片上。
离子镀把辉光放电、等离子体技术与真空蒸发镀膜技术结合在
一起
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镀膜是什么
镀膜是什么简介镀膜是一种表面处理技术，通过在物体表面上涂覆一层薄膜，以提高其性能和耐用性。
镀膜可以应用于各种材料和物体上，包括金属、塑料、陶瓷等。
它被广泛应用于工业、科学研究和日常生活中。
镀膜的目的镀膜主要有以下几个目的：1.增加耐腐蚀性：某些金属容易被氧化或腐蚀，通过镀上膜可以保护物体表面，延长使用寿命。
2.增加硬度和耐磨性：一些物体在使用过程中会受到磨损，镀膜可以提供额外的保护层，增加物体的硬度和耐磨性。
3.改善外观：镀膜可以改变物体的外观，包括颜色、光泽和质感，使其更具吸引力。
4.增加导电性和导热性：某些表面处理技术可以在物体表面形成导电或导热层，提高其导电性或导热性。
5.改善光学性能：镀膜可以改善物体的光学性能，如透过率、折射率和反射率，以满足特定的需求。
镀膜的常见类型常见的镀膜类型包括：1.金属镀膜：金属镀膜是将金属材料沉积在物体表面，常见的金属包括铬、镍、铜和铝等。
金属镀膜可以提供耐腐蚀和外观改善的功能。
2.阳极氧化膜：阳极氧化是将物体浸入电解液中，通过施加电流形成一层氧化膜。
这种膜能够提升耐耗性和硬度，常见于铝和钛等金属上。
3.真空蒸发膜：真空蒸发是将固态材料加热至其熔点，使其蒸发并沉积在物体表面。
这种方法常用于制作光学镜片和涂层等。
4.溅射膜：溅射是通过向固态材料加高能粒子施加电子束或离子束，使其从源材料中脱离并沉积于物体表面。
这种方法广泛应用于制造电子器件和薄膜太阳能电池等。
5.化学镀膜：化学镀膜是通过在物体表面形成一层化学反应产生的薄膜。
这种方法常用于改善物体的耐腐蚀性和外观。
镀膜的应用镀膜技术在许多领域有着广泛的应用，包括但不限于以下几个方面：1.汽车工业：镀膜可以应用于汽车的表面保护和外观改善。
例如，镀膜可以增加汽车车身的抗腐蚀能力，降低氧化和褪色的风险，并改善车身的光泽度。
2.建筑工业：镀膜可以用于建筑物外墙的涂料和涂层，以提高抗风化、耐腐蚀和防污能力。
此外，有些镀膜可以反射阳光，以提高建筑物的能效。
镀膜材料基础知识
镀膜材料基础知识镀膜材料基础知识镀膜技术是一种利用物理或化学方法将薄膜材料覆盖在物体表面以提高其性能和美观度的技术。
镀膜材料在各个领域中具有广泛的应用，例如电子、医疗、汽车、建筑等。
本文将介绍镀膜材料的基础知识，包括定义、分类、应用和优缺点等。
一、定义镀膜材料是指通过物理或化学方法在物体表面形成一层薄膜的材料。
这层薄膜可以是金属、非金属、聚合物或陶瓷等，其厚度通常在纳米到微米范围内。
镀膜材料的作用是提高物体的表面性能，如耐磨、抗腐蚀、导电等，或赋予物体特殊性质，如光学、磁性、热性能等。
二、分类根据性质和用途，镀膜材料可分为以下几类：1、金属涂层：常用金属有铝、钛、锆等。
金属涂层具有良好的导电、导热和耐腐蚀性能，广泛应用于电子、建筑等领域。
2、聚合物涂层：聚合物涂层具有优异的耐磨、耐腐蚀和抗老化性能，适用于汽车、医疗等领域。
3、陶瓷涂层：陶瓷涂层具有高硬度、高耐磨、高耐腐蚀性能，常见于刀具、模具等领域。
4、其他涂层：如宝石涂层、玻璃涂层、钻石涂层等，具有特殊的美观和装饰效果。
三、应用领域镀膜材料广泛应用于各个领域：1、电子领域：提高芯片的散热性能和稳定性，提高电子设备的可靠性和寿命。
2、医疗领域：提高医疗器械的耐磨、抗腐蚀性能，提高手术器械的生物相容性和安全性。
3、汽车领域：提高汽车的外观美观度和耐久性，提高发动机的性能和燃油经济性。
4、建筑领域：提高建筑物的防水、防腐蚀性能，提高玻璃的隔热、隔音性能。
四、优点镀膜材料具有以下优点：1、提高表面性能：镀膜材料可以提高物体的表面性能，如耐磨、抗腐蚀、导电等。
2、降低成本：通过镀膜技术，可以在廉价基材上实现高性能，从而降低成本。
3、环保：镀膜技术通常采用环保材料和工艺，对环境和人类健康无害。
4、提高美观度：镀膜材料可以赋予物体美观的外观和纹理，提高产品的吸引力和附加值。
五、缺点尽管镀膜材料具有许多优点，但也存在以下缺点：1、脆性：镀膜材料通常较脆，容易受到外力冲击而破裂。
电镀行业技术资料大全
电镀行业技术资料大全电镀工艺是一种将金属或合金附着到物体表面的技术，被广泛应用于汽车制造、电子设备、饰品和家用器具等行业。
通过电镀，可以赋予物体耐腐蚀、提高导电性和美化表面等特性。
本文将介绍电镀行业的一些基础知识、工艺和材料。
第一部分：电镀基础知识1. 电镀原理：电镀技术基于电解质溶液中金属离子的还原和沉积过程。
在电化学反应中，阳极溶解的金属离子通过电解质溶液传导，被阴极上的物体吸附并还原为金属。
2. 电镀过程：电镀过程通常包括四个步骤：准备工作、预处理、电解质溶液配置和电镀操作。
其中准备工作包括清洗、去油和去除表面氧化物等；预处理可能涉及激活、中间处理和活化等步骤；电解质溶液根据需要选择；电镀操作包括设定电流密度、镀液温度和镀液搅拌等。
第二部分：电镀工艺分类1. 酸性电镀：酸性电镀常用于对铜、银、金等金属进行镀膜。
酸性电镀液通常采用硫酸、硝酸或氯化酸作为主要电解质，并在温度较高的条件下进行。
2. 碱性电镀：碱性电镀适用于对锌、镍和铅等金属进行镀膜。
碱性电镀液中通常含有氢氧化钠、氢氧化钾和碳酸氢钠等碱性物质。
3. 中性电镀：中性电镀可以适用于不同种类的金属，如镀银、镀铜和镀镍等。
中性电镀液采用pH值接近中性的溶液，并且在中性条件下进行电镀。
第三部分：电镀常用材料1. 电解质溶液：电解质溶液是电镀过程中起到传导电流、供应金属离子和调节反应速率的关键材料。
常见的电解质物质包括硫酸铜、硫酸镍和硫酸锌等。
2. 金属盐：金属盐是制备电解质溶液时必需的原料。
金属盐可从矿石或废弃物中提取，经过纯化处理得到。
3. 电极：电极是电流在电镀过程中的传导路径。
阳极用于金属的溶解和离子输送，而阴极用于金属的还原和沉积。
电极通常由铁、铜、铬或不锈钢制成。
第四部分：电镀行业技术发展趋势1. 绿色电镀技术：随着环境保护意识的提高，绿色电镀技术备受关注。
绿色电镀技术主要包括水镀、电磁控制镀和无氰电镀等，这些技术能够减少环境污染和废弃物产生。
镀膜基础必学知识点
镀膜基础必学知识点
以下是关于镀膜基础知识点的一些必学内容：
1. 镀膜的定义：镀膜是指在材料表面上通过化学或物理方法将一层物
质覆盖在其上，以改变材料的性质或外观。
2. 镀膜的目的：镀膜的主要目的是保护基材、增强其性能并改善外观。
3. 镀膜的分类：根据镀膜方法的不同，镀膜可以分为化学镀膜、物理
镀膜和电化学镀膜等。
4. 化学镀膜：化学镀膜是利用化学反应在基材表面生成一层无机或有
机物质的方法。
常见的化学镀膜有磷化、化学镀铜、化学镀镍等。
5. 物理镀膜：物理镀膜是利用物理原理将薄膜材料蒸发或溅射到基材
上形成膜层的方法。
常见的物理镀膜有蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀
膜等。
6. 电化学镀膜：电化学镀膜是利用电解液中的金属离子通过电化学反
应沉积在基材上形成膜层的方法。
常见的电化学镀膜有电镀铜、电镀镍、电镀铬等。
7. 镀膜的性能：镀膜可以提高基材的硬度、耐腐蚀性、耐磨性、导电
性等性能，从而延长其使用寿命。
8. 镀膜的应用：镀膜广泛应用于各个行业，如电子、机械、汽车、航
空航天等领域，常见的镀膜应用包括电子元器件镀膜、汽车零部件镀膜、模具镀膜等。
以上是镀膜基础必学知识点的一些内容，希望对你有所帮助。
光伏镀膜知识点总结
光伏镀膜知识点总结一、光伏镀膜的基本原理光伏镀膜是指在光伏电池的表面上涂覆一层特殊的材料，以增加光伏电池的光吸收能力和光电转换效率。
通常使用的镀膜材料包括抗反射膜、透明导电膜和保护膜等。
光伏镀膜的基本原理是通过镀膜材料的光学特性，使光伏电池表面的光反射率减小，光透射率增加，从而提高光伏电池的光电转换效率。
二、光伏镀膜的分类根据不同的功能和应用场景，光伏镀膜可以分为抗反射膜、透明导电膜和保护膜等。
抗反射膜主要用于降低光伏电池表面的光反射率，提高光伏电池的光吸收能力；透明导电膜主要用于提供透明导电功能，使光伏电池具有较好的透明性和导电性；保护膜主要用于保护光伏电池表面，防止表面受到外界环境的侵蚀和损坏。
三、光伏镀膜的关键技术1. 抗反射膜技术抗反射膜是光伏镀膜中的关键技术之一，其主要作用是降低光伏电池表面的光反射率，提高光伏电池的光吸收能力。
目前常用的抗反射膜材料包括SiO2、TiO2等，采用溅射、溶胶凝胶等工艺制备技术，可以制备出具有良好抗反射性能的抗反射膜。
2. 透明导电膜技术透明导电膜是光伏镀膜中的另一个关键技术，其主要作用是提供光伏电池良好的透明性和导电性。
目前常用的透明导电膜材料包括氧化锌（ZnO）、氧化铟锡（ITO）等，采用溅射、溶胶凝胶等工艺制备技术，可以制备出具有良好透明性和导电性的透明导电膜。
3. 保护膜技术保护膜是光伏镀膜中的另一个重要技术，其主要作用是保护光伏电池表面，防止表面受到外界环境的侵蚀和损坏。
常用的保护膜材料包括聚乙烯膜、聚甲醛膜等，采用涂覆、溅射等工艺制备技术，可以制备出具有良好的保护性能的保护膜。
四、光伏镀膜的主要应用光伏镀膜技术在光伏电池生产中具有广泛的应用，主要包括单晶硅、多晶硅、非晶硅等不同类型的光伏电池。
抗反射膜主要应用于降低光伏电池表面的光反射率，提高光伏电池的光吸收能力；透明导电膜主要应用于提供光伏电池较好的透明性和导电性；保护膜主要应用于保护光伏电池表面，防止表面受到外界环境的侵蚀和损坏。
光学镀膜基础知识PPT
Ø消偏振分光膜（单波长，宽带的NPBS)
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u滤光片
• 一般，我们把改变光束性质或颜色的膜叫做滤光膜 • 常见的有：
Ø干涉截止滤光片
• 用于分离两个波段 ，故又称二向色镜 。在分色、合色， 隔紫外、隔红外等 场合运用广泛。
• a.性能指标图 • b.应用用途： • 冷光膜、舞厅里色
彩变幻的旋转灯等
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Ø带通滤光片
• 带通滤光片 • 在光学薄膜学，1899年出现
1. 机械泵 2. 并路阀 3. 电阻规1 4. 罗茨泵 5. 预阀 6. 扩散泵 7. 低温冷阱 8. 冷阱压缩机 9. 压缩空气 10. 低阀 11. 高阀 12. 电阻规2 13. 电离规 14. 晶振探头
1.1 为什么要镀膜？
l 举个简单的例子，比如我们佩带的镀膜眼镜片。为什么 要镀膜？
Ø 减反射膜(增透膜)，为多层膜。
•
无论树脂或玻璃镜片其透光率都不能达到100%，会有部分光线被镜片的两个表
面反射回来，折射率越高的镜片反射率也越高。树脂4%、玻璃4.3%。
•
镜片的反射可使光线透过率减少并在视网膜形成干扰像而影响成像的质量，并
的法布里-玻珞干涉仪，是一 种最有意义的进展，它是干 涉带通滤光片的一种基本结 构。
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Ø金属滤光片 • 金属滤光膜的一般
特性曲线 • 示例图片：
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镀膜玻璃基础知识
1、热反射镀膜玻璃1-1.什么是可见光透过率？1-2.什么是可见光反射率？1-3.什么是太阳能透过率？1-4.什么是太阳能反射率？1-5.什么是U值？1-6.什么是冬季U值的条件？1-7.什么是夏季U值的条件？1-8.什么是遮阳系数？1-9.什么是相对热增益？1-10.什么是热应力破裂？1-11.影响热应力的几个方面是什么？1-12.什么是热反射玻璃？1-13.热反射玻璃的特性是什么？1-14.单向透明玻璃的应用？1-15.什么是风荷载能力？1-16.破碎概率的控制范围是多大？1-17.基片（玻璃原片）的种类有多少？1-18.耀皮公司的镀膜玻璃牌号是如何表示的？1-19.热反射玻璃按膜的颜色划分有那些？1-20.太阳辐射、可见光、紫外光、红外光的光谱波段范围是多少？1-21.太阳辐射能量中，可见光、紫外光、红外光的能量分配如何？2、LOW-E玻璃2-1. 玻璃主要有哪几种复合产品？2-2.什么是遮阳系数Sc，它反映的是哪一部分传热？2-3.遮阳系数高好，还是低好？2-4.什么是U值？它反映的是哪一部分传热？2-5.透过玻璃传递的总热能有几部分构成？如何表示？2-6.太阳辐射由哪几部分构成？2-7.远红外热辐射是否直接来自太阳？2-8.室内有远红外热辐射吗？2-9.远红外热辐射是如何透过玻璃的？2-10.如何区别远红外热辐射、近红外线辐射？2-11.什么是LOW-e玻璃？2-12.LOW-e玻璃有哪些特点？2-13.为什么LOW-e膜层可反射热量？2-14.LOW-e玻璃与热反射玻璃在功能上有何区别？2-15.成熟的镀膜玻璃工艺有哪几种？2-16.LOW-e玻璃是否可单片使用？2-17.LOW-e玻璃的性能是否一样？2-18.耀皮集团生产的LOW-e玻璃有几个系列？2-19.哪种LOW-e玻璃适用于北方寒冷地区？2-20.哪种LOW-e玻璃适用于南方温热带地区？2-21.所有LOW-e玻璃看起来是否都显得一样？2-22.LOW-e玻璃夜晚是否仍然其作用？2-23. LOW-e玻璃在夏季、冬季分别是如何起作用的？2-24.如何估算LOW-e玻璃节省的电费？2-25.中空玻璃哪个表面最适于镀LOW-e膜层？第2层或第3层？2-26.氩气如何起作用？氩气是否危险？2-27.紫外线有何负作用？2-28.LOW-e玻璃可衰减多少紫外线？2-29.LOW-e玻璃对室内的植物有何影响？2-30.遮阳物、树木及遮蓬等是否影响LOW-e玻璃性能的发挥？2-31.LOW-E玻璃朝向哪个方向安装最好？2-32.LOW-E膜层可持续多久？2-33.LOW-E玻璃与着色玻璃结合使用有何效果？2-34.怎样判别中空玻璃上是否装有LOW-E玻璃？2-35.用户是否需做些什么来维护LOW-E玻璃产品？3、钢化玻璃3-1.什么是钢化或半钢化玻璃？耀皮公司控制在什么水平？3-2.钢化或半钢化玻璃具有哪些特点？3-3.耀皮集团的钢化产品采用哪种方式加工？3-4.钢化玻璃生产线的最大加工能力及最大加工规格？3-5.钢化玻璃表面为什么有时会出现彩虹现象？3-6.钢化玻璃为什么会自爆？3-7.钢化玻璃爆边、爆角后是否立即爆裂？4、夹层玻璃4-1.什么是夹层玻璃？有何特点？4-2.耀皮公司的夹层线从哪个国家引进？4-3.夹层玻璃的生产过程如何？4-4.夹层生产线中的“合片室”的作用是什么？高压釜的作用是什么？4-5.什么是“煮沸试验”有什么作用？4-6.什么是脱胶现象？脱胶是怎样造成的？4-7.夹层玻璃是否能防火？是否可以隔音？4-8.夹层玻璃是否能够保护家具和陈列品不褪色？为什么？4-9.为什么有些安装好的夹层玻璃会产生裂纹？如何防止？4-10.在国标GB9962-88中规定的夹层玻璃的弯曲度是多少？4-11.在抗风压设计中，夹层玻璃的调整系数是多少？4-12.在玻璃的选择中，哪些场合宜选用夹层玻璃？4-13.各种组合的夹层玻璃在抗冲击性能方面如何？4-14.耀皮公司的夹层玻璃、防弹玻璃分别符合什么标准？且满足国际什么标准？4-15.耀皮公司的夹层玻璃和防弹玻璃与国内同类产品比较有什么优势？4-16.耀皮公司使用的PVB胶片的产地、品种、厚度、规格？4-17.钢化夹层玻璃选用PVB胶片的厚度至少应是多少？4-18.夹层玻璃与钢化玻璃相比的优缺点？4-19.什么是“干法”？什么是“湿法”？哪种工艺好？为什么？4-20.行业标准JGJ102-96《玻璃幕墙工程技术规范》中是否允许干法和湿法生产的夹层玻璃都可以用于幕墙？4-21.夹层玻璃有哪些特性？5.中空玻璃5-1.什么是中空玻璃？5-2.本公司生产的中空玻璃分别符合哪些标准？有哪些权威机构测试？5-3.中空玻璃的符合产品一般有哪几种？5-4.中空玻璃具有哪些特点？主要用于哪些场所？5-5.中空玻璃的双道密封分别指什么？分别有什么作用？5-6.中空玻璃的K值代表什么？单片玻璃与中空玻璃相比K值有什么区别，灌充氩气后能降低多少？5-7.LOW-E中空玻璃的U值比普通中空玻璃低多少？5-8.与单片玻璃相比，中空玻璃和充气中空分别可降低噪音多少？5-9.什么是露点？单片玻璃、中空玻璃和充气中空玻璃露点分别达到多少？5-10.中空生产线的生产能力及最大加工规格？5-11.单片玻璃与中空玻璃相比，其能量损失分别为多少？5-12.明框幕墙、隐框幕墙或半隐框幕墙，采用的封胶品种不同，为什么？6、镀银镜6-1.目前耀皮公司生产的镜片最大规格、厚度是多少？6-2.耀皮公司镀银镜的工艺特点？双层漆和单层漆相比有什么好处？6-3.耀皮公司制镜生产线是从哪个国家引进的？6-4.镜子“黑边”是怎么回事？6-5.镜子在切割、加工、安装、储存等过程中应注意哪些事项？6-6.镀银镜和镀镜相比哪个好些？为什么？6-7.镀银镜的抗蒸气性、抗盐雾性如何？6-8.什么是安全镜？6-9.为了保证质量，“耀皮公司”哪些原材料是进口的？6-10.镀银镜如何做盐雾试验？有什么作用？6-11.耀皮公司生产的镀银镜、安全镜分别符合什么标准？并且满足国际什么标准？6-12.“耀皮公司”与国内外同类产品比较有什么优势？7、基础知识7-1.当玻璃运到目的地时安全掉箱或卸货方面应注意哪些事项？7-2.在目的地掉箱或卸货时出现意外怎么办？7-3.当玻璃运到目的地时，怎样核查玻璃颜色代号与用户要求是否一致？7-4.当玻璃运到工地时如何指导用户选择场地存储玻璃？7-5.在工地存储玻璃时，应怎样指导用户堆放？7-6.A型架有什么用处？7-7.露天存储玻璃应注意哪些事项？7-8.潮湿的地方为什么不能存储玻璃？7-9.如何指导用户正确开箱？7-10.玻璃箱内的使用说明书有什么用处？7-11.玻璃箱内包玻璃的塑料薄膜有什么用处？7-12.玻璃之间的泡沫塑料薄膜有什么用处？7-13.玻璃箱端头的标志签有什么用处？7-14.玻璃箱头的箱票有什么用处？7-15.玻璃上粘贴的塑料薄膜有什么用处？7-16.玻璃箱外部的钢带有什么用处？7-17.玻璃箱外部应有几条钢带？7-18.搬运中钢带脱开怎么办？7-19.开箱后发现玻璃破裂怎么办？7-20.如何指导用户切割玻璃？7-21.玻璃切割后玻璃应怎么堆放？7-22.耀皮公司的镀膜玻璃按深加工工艺划分，有那几大类？7-23.镀膜玻璃有那些特点？7-24.钢化镀膜玻璃有那些特点？7-25.中空镀膜玻璃有那些特点？7-26.夹层镀膜玻璃有些特点？7-27.日常如何清洗镀膜玻璃？7-28.用户再加工如何清洗镀膜玻璃？7-29.如何安装镀膜玻璃？7-30.如何选定结构胶？7-31.施工中如何保护镀膜玻璃？7-32.镀膜玻璃是否有遮挡红外线的功能？7-33.什么是干涉色？膜厚是否影响干涉色？7-34.膜面污染是否影响颜色？7-35.在用户施工过程中，那些环节容易造成膜面划伤？7-36.镀膜玻璃应严禁与那些物质直接接触？7-37.如何分辨膜面？7-38.已切割的镀膜玻璃采取磨边、钻孔等加工后应如何处理？7-39.镀膜玻璃在包装的要求是什么？7-40.建筑用镀膜玻璃按加工工艺方式分几大类？哪类最流行最好？7-41.耀皮公司生产镀膜玻璃的是什么？引进的生产设备是哪些国家的？7-42.耀皮公司镀膜玻璃为什么比其它厂家的更贵原因之一是什么？7-43.耀皮公司镀膜玻璃同其它厂家的产品比较有那些优点？7-44.机器清洗镀膜玻璃的要求是什么？7-45.室内装修应注意什么？7-46.镀膜玻璃生产热应力破碎的主要原因是什么？7-47.发现质量问题后怎么办？8、结算知识1、热反射镀膜玻璃1-1.什么是可见光透过率？在可见光谱（380纳米至780纳米）范围内，透过玻璃的光强度的百分比。
汽车美容基础产品知识-镀膜、镀晶
汽车美容店基础知识手册-镀膜、镀晶特别注意：新喷漆面一般情况下，2个小时后便可提车，24小时之后便可洗车，3-7天后便可进行抛光，而如果要进行封釉、镀膜处理，却需要等待2个月左右的时间。
1、汽车镀膜简介镀膜，分为有机镀膜和无机镀膜。
真正的汽车镀膜应该是无机镀膜，也就是永远不会氧化的水晶玻璃镀膜。
只有无机镀膜，才是覆盖在汽车表面的镀膜层，不会被紫外线、酸雨等外界因素氧化而消失掉。
通常车辆每隔1年左右建议做一次汽车漆面镀膜。
这样的无机水晶玻璃镀膜，可以为漆面全方位提供高效的保护，增加漆面硬度和平滑度，提高防污性能，隔绝外界酸雨、鸟粪等的腐蚀。
还可以使旧车彻底地翻新，起到色彩增艳、增亮的效果。
有机镀膜成乳白色或透明胶水状，火点可燃，成分主要为树脂，是容易被氧化的有机物，因而不能与无机镀膜相提并论。
有的称为镀晶，只是不同的叫法而已，其实就是汽车镀膜！2、汽车镀膜效果（1）汽车镀膜具有抗氧化、防老化的作用，施工后在车漆表面形成坚硬的无机（二氧化硅玻璃晶体）镀膜层，与车漆紧密结合，提高漆面硬度和平滑度，将漆面与空气完全隔绝，并且无外力因素永不脱落。
（2）能够大大的提高车漆表面清漆的光泽度，使车漆看上去更加鲜艳、光彩夺目。
（3）耐腐蚀。
坚硬的非有机（玻璃晶体）膜层自身不会氧化的同时也防止外界的酸雨、飞虫、鸟粪等对车漆的腐蚀致密的玻璃晶体膜具有超强抗腐蚀性，镀膜能有效防止酸雨等腐蚀性物质对车漆造成的损害，同时防止车漆的褪色。
（4）耐高温。
玻璃晶体本身具有耐高温的特质，能有效反射阳光将外部的热辐射进行有效反射，防止高温对车漆的伤害。
（5）防划痕。
坚硬的非有机（玻璃晶体）膜层可以将车体表面的硬度提高到7H ，远高于车蜡或釉2H-4H 的硬度，能更好的保护车漆不受沙砾的伤害。
（6）易清洗。
电离子镀膜具有超强的自洁性和拨水性，不易沾附灰尘、污泽，清洗时只用清水即可达到清洗的效果，使车辆保持高清洁度和光泽度。
（7）超持久强大的韧性和延伸性，通常保护车漆表面亮度，形成镜面效果2年以上，远远超过打蜡和封釉。
镀膜材料基础知识
镀膜材料基础知识镀膜材料是一种用于改善物体表面性能的材料，通过在物体表面形成一层薄膜，可以实现抗划伤、耐高温、防腐蚀等功能。
镀膜材料可以广泛应用于电子产品、光学设备、航空航天等领域。
下面介绍镀膜材料的基础知识。
1.镀膜材料的分类：镀膜材料可以根据其成分和性质的不同进行分类。
常见的镀膜材料包括金属镀膜材料、陶瓷镀膜材料、聚合物镀膜材料等。
金属镀膜材料：主要包括铬、镍、铜、银、铝等。
金属镀膜材料具有良好的导电性和导热性，可以保护基底材料免受氧化、腐蚀等损害。
陶瓷镀膜材料：主要包括氧化锆、氧化铝等。
陶瓷镀膜材料具有较高的硬度和耐磨性，可以提高物体的耐磨损性能。
聚合物镀膜材料：主要包括聚氨酯、环氧树脂等。
聚合物镀膜材料可以形成一层保护膜，改善物体的耐刮擦性能和耐腐蚀性能。
2.镀膜的制备方法：常见的镀膜制备方法包括化学镀、物理镀和电化学镀。
化学镀：是将金属盐溶液中的金属离子还原成金属，通过气体或溶液中的化学反应将其沉积在基底材料表面形成薄膜。
物理镀：是通过物理方法，在真空环境中将金属原子蒸发或溅射到基底材料表面形成薄膜。
物理镀的优点是可以获得均匀、致密的薄膜。
电化学镀：是通过电解池中的电流，将金属离子沉积在基底材料上。
电化学镀可以控制薄膜的厚度和成分，并具有高效的镀层生长速率。
3.镀膜的特性：镀膜的性能取决于其厚度、成分、结构和制备方法等因素。
厚度：镀膜的厚度决定了其性能，一般情况下，较厚的镀膜具有更好的防护性能，但也会增加材料的成本。
成分：镀膜的成分对其性能有重要影响。
金属镀膜材料可以提供良好的导电性和导热性，陶瓷镀膜材料可以提供较高的硬度和耐磨性。
结构：镀膜的结构决定了其致密性和结合力。
致密结构的镀膜可以增强其防腐蚀性能和机械强度。
制备方法：不同的制备方法可以影响薄膜的成分和结构。
根据需要选择合适的制备方法，以获得满足要求的镀膜。
4.镀膜的应用：镀膜材料广泛应用于各个领域。
在电子产品中，镀金、镀银、镀锡等金属镀膜用于提供良好的导电性和防腐蚀性能。
光学镀膜基础知识
光学镀膜基础知识
光学镀膜是一种在物体表面上形成一层薄膜，以改变光在物体表面上的反射、透射和吸收的特性的技术。
它可以提高光学元件的透光率、抗反射能力和耐刮擦性能，同时还可以改变光的颜色和光谱特性。
以下是光学镀膜的基础知识：
1. 光学镀膜类型：有透射镀膜、反射镀膜和滤光镀膜等不同类型的光学镀膜。
2. 镀膜材料：常用的镀膜材料包括金属、氧化物、硫化物和氟碳化物等。
不同的材料可以实现不同的功能，如增强透射、减少反射、调节色彩等。
3. 镀膜原理：基本的镀膜原理是利用光学干涉的现象。
通过控制镀膜材料的厚度，可以实现不同波长光的干涉效果，从而达到改变光的传输和反射性能的目的。
4. 镀膜性能评价：光学膜层的性能评价常包括透射率、反射率、满足特定光学要求的光谱特性等。
5. 常见的光学镀膜技术：包括真空蒸发、溅射镀膜、离子镀膜等不同的技术。
每种技术都有其特点和适用性，选择合适的技术可以获得高质量的光学镀膜。
6. 应用领域：光学镀膜广泛应用于光学元件、光学仪器、电子
设备、眼镜等领域。
它可以改善光学仪器的性能，提高成像和传输质量，也可以实现特定的光学效果和功能。
总之，光学镀膜是一门复杂而重要的技术，通过掌握光学镀膜的基本知识，可以更好地理解和应用光学元件。
镀膜基础知识
真空蒸发镀膜原理
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真空蒸发镀膜过程67源自真空离子镀的定义8
真空离子镀的原理及过程
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真空离子镀的原理及过程
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真空离子镀的特点
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真空离子镀的特点
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真空离子镀的特点
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真空离子镀的特点
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真空离子镀的特点
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磁控溅射原理
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磁控溅射原理
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磁控溅射的主要特征
2、磁控溅射的主要特征
简易的计算公式如下：
电浆必须在一定的气压在才能存在。
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磁控溅射的构成
3. 4 溅射系统
真空系统 电源系统
供气系统
腔体Chamber
冷却水系统
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磁控溅射的机理 3.4 溅射原理 阴极表面：
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磁控作用
磁控的作用与构型: –电子沿磁力线螺旋运动； –增加了电子运动的路径； –提高了电子与气体分子的碰撞概率； –运动路径的增加与电子运动方向和磁场夹角有关；
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磁控下电子轨迹 磁控下电子运动轨迹
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磁控溅射的靶材
磁控溅射靶的构型 •平面磁控溅射靶： –大面积、不受形状限制； –适合流水线生产 •柱状磁控溅射靶： –360o溅射，沉积几何简单； –薄膜均匀性好 •磁控溅射枪： –更换靶材料容易； –适合实验室使用；
27
27
END Thanks
2
真空镀膜技术简介
PVD(Physical Vapor Deposition)的定义
1、物理气相沉积，是指在真空条件下，用物理的方法使材料沉积在基体上 的薄膜制备技术
2、PVD镀膜主要分为如下四大类： （1）真空蒸发镀膜 （2）真空离子镀膜 （3）真空溅射镀膜（磁控溅射） （4）分子束外延镀膜
镀膜基础知识简介
旋片泵工作原理
Ultimate in Vacuum since 1952
第10页 页
吸气口 排气口 转子/油密封 滑片/弹簧
10
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扩散泵工作原理
Ultimate in Vacuum since 1952
第11页 页
2000C时油蒸汽压30~50Pa，平均速度达到超音速 油分子质量比气体大很多，在碰撞中几乎不改变运动方向
载车滚轮
ULVAC设计 ULVAC设计
12
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传动系统传动系统-磁流体
什么是磁流体
磁流体又称磁性液体，是一种对磁场敏 感的可流动的液体磁性材料
磁流体密封原理
Ultimate in Vacuum since 1952
第13页 页
是利用磁流体对磁场的响应特性而实现的。 如图所示，磁流体密封件由永磁体，转轴， 磁极，磁流体和磁气回路组成。由于磁极齿 尖处，在密封间隙内形成一个“O”型液体 密封环，将密封间隙充满达到密封目的
ultimateinvacuumsince19521第1页爱发科光电薄膜科技深圳有限公司theappleiphoneultimateinvacuumsince19522第2页爱发科光电薄膜科技深圳有限公司一成膜技术简介二真空磁控溅射原理三ito导电薄膜简介四ito导电玻璃生产工艺简介内容ultimateinvacuumsince19523第3页爱发科光电薄膜科技深圳有限公司1真空镀膜真空镀膜技术是指将待镀金属非金属或塑料靶材安装于真空室内采用加热或离子轰击等方法加热或轰击待镀材料使待镀材料蒸发或被轰击出来并飞到靶材对面的基板上物理组合或化学反应成所需薄膜的一种成膜技术真空镀膜技术是指将待镀金属非金属或塑料靶材安装于真空室内采用加热或离子轰击等方法加热或轰击待镀材料使待镀材料蒸发或被轰击出来并飞到靶材对面的基板上物理组合或化学反应成所需薄膜的一种成膜技术2几种常见的技术物理气象沉积physicalvapordeposition化学气象沉积chemicalvapordeposition电子束蒸发电子束蒸发ebeamdeposition等离子体辅助cvdplasmaenhancedcvd溶胶凝胶溶胶凝胶solgel喷雾热分解spraypyrolysis分子束外延分子束外延molecularbeamepitaxy脉冲激光沉积pulsedlaserdeposition金属有机化学气相沉积metalorganicchemicalvapordeposition磁控溅射磁控溅射magnetronsputtering原子层外延atomiclayerepitaxy化学浴沉积化学浴沉积chemicalbathdeposition成膜技术简介ultimateinvacuumsince19524第4页爱发科光电薄膜科技深圳有限公司设备特点
镀膜镀晶基本知识
镀膜分类汽车镀膜产品可分为以下几类：一、树脂类镀膜产品特点是成膜性好，附着力强，价格便宜而被广泛应用，但其硬度与光泽度不好，同时抗氧化性能、抗腐蚀性能及耐候性都很差，因此逐渐被淘汰。
二、氟素类镀膜产品成膜性好，耐腐蚀，耐候性，耐磨损的性能都非常优越。
但其最大的缺点是附着力差，几乎所有物质都不与特氟龙涂膜粘合。
因其无法与漆面长期附和，所以使它的保护时间就变得非常短。
三、玻璃纤维素镀膜玻璃纤维素是一种化学高分子材料，因为其具有高密度的化学特性，所以被应用在汽车美容领域。
此类产品的主要成分是聚硅氧烷，成膜后会形成Sio2俗称的玻璃，因此也叫玻璃质的镀膜。
玻璃纤维素镀膜，具有光泽度高、抗氧化、耐酸碱、抗紫外线的特点，用来给漆面镀膜后，漆面光泽度很好，并把漆面与外界隔绝开来，起到了较好的保护作用。
其缺点是，不能提高漆面硬度，不能抵御物理性损伤漆面。
原材料成本高昂，同时施工工艺相对复杂。
四、无机纳米镀膜这是近几年出现的镀膜新材料，它采用进口原料和先进的纳米交联反应新技术，由纳米无机材料配制而成，纳米材料独有的特性能给车漆提供完美的保护。
它的主要成分为纳米氧化铝、纳米氧化硅；纳米级别的粒子为球形，润滑性极高，因此施工后漆面手感极其润滑。
而氧化铝、氧化硅是天然宝石、水晶的主要成分，因此膜层的硬度、耐磨性极高，而且本身非常稳定，长期不氧化。
能长效保持漆面的镜面效果。
因此也称为“液体水晶”。
该镀膜最大的特点就是，不但能隔绝漆面与外界的直接接触，起到防氧化、防水、防高温、防紫外线、防静电、防酸碱等基本作用，还能大大提升漆面的硬度和光泽度，这是其它的汽车镀膜所欠缺的功能。
当然，提高漆面硬度并不能让漆面刀枪不入，而是在正常的使用中，诸如洗车、行进的时候，有效的防止坚硬的沙粒对漆面的划伤，有效减少漆面螺旋纹又称太阳纹等，使车漆持久如新。
镀膜作用1、汽车镀膜具有防止漆面氧化、老化的作用，真正的电镀膜剂不含石油成份，而且施工后会在车漆表面形成坚硬的非有机（玻璃晶体）膜层，与车漆紧密结合，永不脱落。
真空镀膜(PVD)工艺知识介绍
真空镀膜（PVD）工艺知识介绍简介真空镀膜（Physical Vapor Deposition，简称PVD）是一种常用于表面修饰和功能改善的工艺。
通过在真空环境中蒸发或溅射物质来形成薄膜，将薄膜沉积在基材上，以改变基材的性质和外观。
本文将介绍PVD工艺的原理、应用和优势。
PVD工艺原理在PVD工艺中，基材和目标材料被放置在真空环境中。
通过热蒸发或物理溅射的方式，目标材料从固态转化为气态。
这些气体分子会沉积在基材上，形成一层薄膜。
PVD工艺常用的方法有热蒸发和物理溅射。
热蒸发是将目标材料加热至其沸点以上，使其转化为气态，然后沉积在基材上。
而物理溅射则是通过向目标材料表面轰击高能粒子，将其击打下来沉积在基材上。
PVD工艺的应用PVD工艺在多个领域得到了广泛应用。
装饰性涂层PVD工艺可以制备具有不同颜色、质感和光泽度的涂层，用于装饰各种产品，如钟表、珠宝、手袋、饰品等。
常见的装饰性涂层有黄金色、玫瑰金色、银色和黑色等。
防腐蚀涂层PVD工艺可以形成陶瓷涂层、金属涂层或复合涂层，这些涂层具有良好的耐腐蚀性能，可保护基材免受化学腐蚀、氧化和磨损的影响。
这些涂层常用于汽车、航空航天、电子产品等领域。
功能性涂层PVD工艺还可以制备具有特殊功能的涂层，如光学涂层、导电涂层和磁性涂层。
光学涂层可用于改善光学性能，导电涂层可用于制作导电膜，磁性涂层可用于制造磁性材料。
PVD工艺的优势相比其他表面处理工艺，PVD工艺具有以下几个优势：高质量涂层PVD工艺可以制备高质量的涂层，具有高硬度、低摩擦系数、耐磨损和耐腐蚀等特性。
这些特性使得PVD涂层在各种应用中表现出色。
环保节能PVD工艺不需要使用有机溶剂和其他有害化学物质，对环境友好。
同时，PVD 涂层具有较高的附着力和耐用性，可延长基材的使用寿命，减少资源消耗。
精密控制PVD工艺可以实现对涂层厚度、成分和结构的精确控制。
通过调整工艺参数，可以得到所需的涂层特性，以满足不同应用的需求。
真空镀膜基础知识
真空镀膜设备
真空镀膜机设备图示
汽车车灯真空镀铝生产流程图
来料检验（抽检）
静电除尘
净化除油
手动除尘
喷涂底漆
常温自流平
IR预烘
UV固化
真空镀铝
离子轰击
镀SIO保护膜
检验及包装
来料检验
净化除油
手动除尘
手动除尘：对塑料制品使用特殊化学物品对产品进行擦拭，达到去除产品表面灰尘为目的。
静电除尘
基片与靶材同在真空腔中。 蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。 现行涂装厂使用的真空镀膜设备原理为蒸发镀膜原理。
☆☆☆涂装真空镀膜基础知识培训
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目录
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04
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06
真空镀膜应用之范围：
光学
• 反射镜、增透膜、濾光片
• 天文望远镜、建筑玻璃、相机、灯具
• 导电膜、绝缘膜、保护膜
• 逻辑元件、运算器、磁片、CCD
• 透明导电膜、摄像管导电膜
• LCD、录像磁头
电子电路
显示器
元件
• 蒸发镍、铝、金属陶瓷
真空术语解释
真空度单位 通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。 1托＝1/760大气压＝ห้องสมุดไป่ตู้毫米汞柱 托与帕的转换 1托＝133.322帕 或 1帕＝7.5×10-3托
1643年，意大利物理学家托里拆利(E.Torricelli)首创著名的大气压实验，获得真空。 极限真空 真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
光学镀膜基础知识_概述及解释说明
光学镀膜基础知识概述及解释说明1. 引言1.1 概述光学镀膜是一种在光学器件上应用的技术，通过在物体表面涂覆一层薄膜来改变物体对光的反射、折射和透过性质。
这项技术被广泛应用于激光器、太阳能电池、眼镜镜片等领域。
本文将介绍光学镀膜的基础知识，并解释其原理和应用。
1.2 文章结构本文分为四个部分进行论述。
首先，在引言中我们将简要概述光学镀膜技术，并介绍文章的结构。
其次，在第二部分中，我们将深入探讨光学镀膜的基础知识，包括原理介绍、材料选择和镀膜工艺流程。
接着，在第三部分中，我们将详细解释光学镀膜的相关概念和现象，包括反射和折射现象解释、光学薄膜的工作原理解析以及镀膜在光学器件中的应用解读。
最后，在结论部分中，我们将总结所述的光学镀膜基础知识，并强调其在光学领域中的重要性和应用前景，同时提出未来研究方向建议。
1.3 目的本文旨在提供关于光学镀膜的基础知识，帮助读者了解光学镀膜技术的原理、材料选择以及镀膜工艺流程。
通过解释光学现象和光学器件中的应用，我们希望读者可以更好地理解并应用光学镀膜技术。
此外，本文也将探讨该技术在未来的研究方向，并引导读者进一步深入相关领域的研究。
2. 光学镀膜基础知识：2.1 原理介绍:光学镀膜是一种通过在物体表面涂覆一层光学材料来改变其光学性质的技术。
其原理基于反射、折射和干涉等现象。
当光线从一个介质进入另一个介质时，由于两个介质的光密度不同，会发生反射和折射的过程。
利用这些现象，可以通过选择合适的材料并采用适当的工艺流程，在物体表面生成具有特定光学性能的镀膜层。
2.2 材料选择:在进行光学镀膜时，需要选取合适的材料作为镀膜层。
常用的材料包括金属、半导体和二氧化硅等。
根据需要调节器件的反射率、透过率以及波长选择性等要求，选择不同的材料组合来达到预期效果。
2.3 镀膜工艺流程:实施光学镀膜涉及多个工序，包括基片清洗、底层/高反射层沉积、保护层应用等步骤。
首先，需要对待处理的基片进行清洗，以确保表面没有杂质影响膜层的质量。
镀膜基础知识讲义PPT课件
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二.各种膜係介紹 單層減反射膜
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AR-Coating
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輔正膜
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IR膜
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IR膜
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高反膜
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三.硬体系统 鍍膜機臺內部結構
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離子源助鍍
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鍍膜機類型
類型 LP900(EBA) LP1050EBA LP1300EBA
SID1100 RAS1100
數量
廠家
備注
12(2+1+4+5)
金屬AL,Ag,Cr……
.
23
監控系統
工作原理 通過專用的軟體來縮小設計鍍 膜厚度和實際鍍膜厚度之間的 差值
.
24
監控控制系統示意圖
LP900EBA 石英膜厚監控
LP1300EBA 透過式光學監控
石英膜厚儀
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25
膜厚系統控制界面1
蒸 鍍 中 畫 面
!
.
26
監控系統控制界面2
, !
制通蒸
過鍍
自完
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34
个人观点供参考，欢迎讨论！
臺灣龍翩 有單層膜和多層膜
6(5+1)
臺灣龍翩
29(6+5+3+3+6+6) 臺灣龍翩
1
日本SHINCRON
3
日本SHINCRONБайду номын сангаас
TOTAL
51
臺
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14
鍍膜機构造五大系統
排氣系統 控制系統 蒸鍍系統 監控系統 輔助系統
.
15
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三、ITO作导电膜简介 ITO作导电膜简介
Ultimate in Vacuum since 1952
第21页 页
掺锡氧化铟（即Indium Tin Oxide, 简称ITO）材料是一种n型半导体材料，由于具有高的导电 率、高的可见光透过率、高的机械硬度和化学稳定性，因此它是液晶显示器（LCD）、等离子显 示器（PDP）、电致发光显示器（ EL/OLED）、触摸屏（Touch Panel）、太阳能电池以及其它电子仪 表的透明电极最常用的材料。 ITO的结晶结构：
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溅射电源系统
Ultimate in Vacuum since 1952
第17页 页
DC电源 电源 可镀材料 靶材形状 频率 结构 可靠性 设备价格 导电材料ITO ，金属 导电材料 平面单靶 0 hz 简单 好 便宜
RF电源 电源 非导电材料SiO2 非导电材料 平面单靶 13.65 Mhz 复杂 较好 贵
第16页 页
1.For a higher rate, ☆Arrange two MGs in a row.
・Because ITO is a sintering-type target, a sinteringtarget gets damaged with power density increase. ↓ ・ Applying power is increased; therefore, two MGs are provided in order to prevent power density increase to an erosion.
载车滚轮
ULVAC设计 ULVAC设计
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传动系统传动系统-磁流体
什么是磁流体
磁流体又称磁性液体，是一种对磁场敏 感的可流动的液体磁性材料
磁流体密封原理
Ultimate in Vacuum since 1952
第13页 页
是利用磁流体对磁场的响应特性而实现的。 如图所示，磁流体密封件由永磁体，转轴， 磁极，磁流体和磁气回路组成。由于磁极齿 尖处，在密封间隙内形成一个“O”型液体 密封环，将密封间隙充满达到密封目的
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STD-1200c设计特点（2） STD-1200c设计特点（ 设计特点
基片架传送结构
上部磁铁 上部磁
1
Ultimate in Vacuum since 1952
第12页 页
设计原理
采用磁铁间上向吸引原理。 采用磁铁间上向吸引原理。
2
特点
减少基片架与滚轮的摩擦力， 减少基片架与滚轮的摩擦力 ， 从而减少粉尘、颗粒的产生。 从而减少粉尘 、 颗粒的产生 。 有利于获得高品质膜层。 有利于获得高品质膜层。 基片架两侧没有侧部磁铁等 干涉物， 干涉物 ， 避免基片架高速进 入腔体时的基片架与腔体磁 铁入口部干涉。 铁入口部干涉。
旋片泵工作原理
Ultimate in Vacuum since 1952
第10页 页
吸气口 排气口 转子/油密封 滑片/弹簧
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扩散泵工作原理
Ultimate in Vacuum since 1952
第11页 页
2000C时油蒸汽压30~50Pa，平均速度达到超音速 油分子质量比气体大很多，在碰撞中几乎不改变运动方向
2、几种常见的技术
化学气象沉积( 物理气象沉积(Physical Vapor Deposition)、化学气象沉积 Chemical Vapor Deposition)、 、 电子束蒸发(E-Beam Deposition ) 、等离子体辅助CVD (Plasma Enhanced CVD )、 等离子体辅助CVD 电子束蒸发 、 溶胶－ 喷雾热分解(Spray Pyrolysis) 、 溶胶－凝胶 (Sol-Gel)、 、 喷雾热分解 分子束外延(Molecular Beam Epitaxy)、脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition)、 分子束外延 金属有机化学气相沉积(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)、 金属有机化学气相沉积 、 磁控溅射(Magnetron Sputtering) 、原子层外延 原子层外延(Atomic Layer Epitaxy)、 磁控溅射 、 化学浴沉积（ 化学浴沉积（Chemical Bath Deposition）|
环型刻蚀轨道 Erosion orbit
x E
2mE eH2 xmE eH2 2xmE eH2
z H
电子运动轨迹
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y
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ULVAC高信赖性 ULVAC高信赖性 W-α Cathode
高信赖性 W-α Cathode
Ultimate in Vacuum since 1952
MF电源 电源 非导电材料SiO2 非导电材料 孪生靶 40 Khz 复杂 较好 更贵
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知名电源
Ultimate in Vacuum since 1952
第18页 页
直 流 AE 流 MF
交流RF电源
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旋片泵工作原理
Ultimate in Vacuum since 1952
＋
MG swing
2. For more frequent use and better
efficiency, ☆Optimize settings of MGs
・MG swing distance and erosion pitch are
Design drawing
16 optimized in order to make an erosion profile, red sections in design drawing on the left.
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成膜技术简介
1、真空镀膜
第3页 页
真空镀膜技术是指将待镀金属、 室内， 真空镀膜技术是指将待镀金属、非金属或塑料靶材安装于真空 室内，采用 加热或离子轰击等方法加热或轰击待镀材料， 加热或离子轰击等方法加热或轰击待镀材料，使待镀材料蒸发或被轰击出来 并飞到靶材对面的基板上物理组合或化学反应成所需薄膜的一种成膜技术
第19页 页
吸气口 排气口 转子/油密封 滑片/弹簧
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扩散泵工作原理
Ultimate in Vacuum since 1952
第20页 页
2000C时油蒸汽压30~50Pa，平均速度达到超音速 油分子质量比气体大很多，在碰撞中几乎不改变运动方向
20
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第1页 页
The Apple iPhone
1
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内容
Ultimate in Vacuum since 1952
第2页 页
一、成膜技术简介 二、真空磁控溅射原理 三、ITO导电薄膜简介 ITO导电薄膜简介 四、ITO导电玻璃生产工艺简介 ITO导电玻璃生产工艺简介 2
技术优势： 技术优势：
ULVAC成熟的 成熟的ITO/MAM/SiO2镀膜工艺有助 成熟的 镀膜工艺有助 于客户生产导入期的缩短 ULVAC多功能研发技术优势有助于客户电容 多功能研发技术优势有助于客户电容 屏技术更新与市场跟进 ULVAC深圳的样板线可提供前期的客户打样、 深圳的样板线可提供前期的客户打样、 深圳的样板线可提供前期的客户打样 镀膜技术培训等， 镀膜技术培训等，投资风险小
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磁控溅射原理
Ultimate in Vacuum since 1952
第15页 页 磁控溅射与一般阴极溅射的最大的不同是：通过磁场对电子束缚作用，增长电子运动轨迹，从而 增加了电子与Ar原子的碰撞机率，提高了Ar+产额，提高了靶材溅子在正交的电磁场中受洛仑兹力的作用： F = −eE − e（V × H） 在此力的作用下沿着环型蚀刻区做摆线运动
STD-1200c用泵组
Ultimate in Vacuum since 1952
第7页 页
LR系列干泵
7
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罗兹泵工作原理
Ultimate in Vacuum since 1952
第8页 页
共轭双转子 同步旋转 正反旋转 高速旋转 转子间隙0.1~0.3mm 无油 抽速大
21
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ITO薄膜的基本性能 3.1 ITO薄膜的基本性能
Ultimate in Vacuum since 1952
第22页 页
ITO（ =9:1）的微观结构， 里掺入Sn Sn后 Sn元素可以代替 元素可以代替In 晶格中的In元素而以SnO In元素而以 ITO（In2O3:SnO2=9:1）的微观结构，In2O3里掺入Sn后，Sn元素可以代替In2O3晶格中的In元素而以SnO2的 形式存在，因为In 中的In元素是三价，形成SnO 时将贡献一个电子到导带上， In元素是三价 形式存在，因为In2O3中的In元素是三价，形成SnO2时将贡献一个电子到导带上，同时在一定的缺氧状态下产 20至1021cm-3的载流子浓度和10至30cm2/vs的迁移率。这个机理提供了在10-4Ω·cm数量级的 生氧空穴，形成10 的载流子浓度和10 10至 vs的迁移率 这个机理提供了在10 的迁移率。 cm数量级的 生氧空穴，形成10 低薄膜电阻率，所以ITO薄膜具有半导体的导电性能。 ITO薄膜具有半导体的导电性能 低薄膜电阻率，所以ITO薄膜具有半导体的导电性能。 ITO是一种宽能带薄膜材料 其带隙为3.5 4.3ev。紫外光区产生禁带的励起吸收阈值为3.75ev 是一种宽能带薄膜材料， 3.53.75ev， ITO是一种宽能带薄膜材料，其带隙为3.5-4.3ev。紫外光区产生禁带的励起吸收阈值为3.75ev，相当于 330nm的波长 因此紫外光区ITO薄膜的光穿透率极低。 的波长， ITO薄膜的光穿透率极低 330nm的波长，因此紫外光区ITO薄膜的光穿透率极低。同时近红外区由于载流子的等离子体振动现象而产生 反射，所以近红外区ITO薄膜的光透过率也是很低的，但可见光区ITO薄膜的透过率非常好。 ITO薄膜的光透过率也是很低的 ITO薄膜的透过率非常好 反射，所以近红外区ITO薄膜的光透过率也是很低的，但可见光区ITO薄膜的透过率非常好。 由以上分析可以看出，由于材料本身特定的物理化学性能，ITO薄膜具有良好的导电性和可见光区较高的 由以上分析可以看出，由于材料本身特定的物理化学性能，ITO薄膜具有良好的导电性和可见光区较高的 光透过率。 光透过率。