氮气-稀有气体纯化器技术规范

PS8-MGS60-N/R
技术规范
PS8-MGS系列氮气/稀有气体纯化器，60 标准米3/小时
一般说明
MegaTorr® MGS 系列氮气/稀有气体纯化器是加强型最佳化设计, 以较小的外形提供亚十亿分率的的性能。

赛斯纯气体公司在超高纯度管道设计、先进工艺材料分析和现代集成控制系统等方面积累了多年经验, 研制开发了这一系列的纯化器来满足低投资、高可靠性和高性能的要求。

PS8-MGS系列纯化器采用特殊设计的催化和吸附工艺, 为半导体工艺的应用提供超高纯气体。

一氧化碳、二氧化碳、氢气、水和氧气的出口杂质含量被降低至十亿分之几(ppb)
以下的数量级。

吸附容器在净化和再生模式之间交替运行, 在一步工艺中把杂质去除至亚ppb水平, 提供了
连续净化。

吸附容器的再生是在较高的温度下通过净化后的工艺气体与低浓度氢气的混合气体的反向吹扫来完成的。

标准性能
●全自动微处理器控制器连续地监控系统的运行，提供故障检测、温度控制和阀定序
，以保证纯化器的可靠性，并使操作人员的介入减少到最低程度。

●HMI(人机界面 ) 显示阀动作、净化顺序、系统温度、加热器功率大小、警告和报警
状态。

•闭环温度控制对预加热器和吸附器再生过程提供精确的温度控制, 使加热器寿命和电源效率最大化
●气体电预热器能使吸附床再生过程中的净化效率最大
●标准用户接口连接：
报警继电器- 故障安全继电器触点能远程检测报警/警告的发生。

气体继电器故障安全继电器能指示纯化器的状态
●带有门的全金属外壳带有可拆卸的面板，便于进入系统。

●氢气混合装置能提供再生气体的混合和控制。

•最小流率是赛斯公司能保证出口气体纯度符合要求的最低流率, 且是为了支持再生而必须从气体源得到的最小流率。