ESD工程师教材第八部分体系认证公开课讲义
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（3） 配置满足测试要求并经周期计量合格的测试仪器. 注意：上列仪器（除f项）都要配置,并有完整计量和使用说明书档案. ※8.2.7 管理与质量体系（包括质量管理手册）审查要求
本部分依据ANSI/ESDS20.20（2007） 的 6.0、6.1、6.2、6.3、7.0、7.7.3、 8.3、附录A（4）和IEC61340-5-1（99）的4、5、6、7、8、9、10章节. ※8.2.7.1质量手册内容 编写的质量手册（参照静电放电手册TR20.20）应能提供指导原则和方案,使 建立的EPA防静电系统符合ESDS20.20或IEC61340-5-1的相关要求并能监测， 同时能根据发展而进行修改.
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企业各级管理人员
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采购、物管人员
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操作、维护职工
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设备安装维修人员
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其他涉及人员
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8.2.2 SSD敏感度分级和标志要求
如企业没有特殊要求，本节可不作为认证的内容。本部分依据 ANSI/ESDS20.20～《附录B敏感度测试》（表4、表5），IEC61340-31～3.
8.2.6.12 自动取放设备（仪器、仪表、生产设备）审查要求
8.2.6.13 手持工具审查要求
本章根据GJB3007《防静电工作区技术要求》、IEC61340-5-1（99）ANSI/ESDS20.20 附录A（3） 、 《ESD STM13.1》.
（1） GJB3007规定：电烙铁头至保护接地线之间电阻＜20（产品测试：SJ/T10694、 ESD S20.20（99））；
8.2.6.2 EPA地坪审查要求 本节依据ANSI/ESDS20.20《静电放电控制项目》表格3，IEC61340-5-《地 板》.
（1） 地坪对地电阻＜1×109Ω（产品测试ESD S7.1，认证测试TR53.IEC613405-1表3，测试方法：IEC61340-4-1）.
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8.2.6.3 座椅审查要求 本节依据ANSI/ESDS20.20《静电放电控制项目》表格3，IEC61340-5-1～ 《座椅》.
两年记录 .
2
8.2.1.2 培训内容及所涉及人员 培训内容及所涉及人员可参照下表.
表8.2
培训人员 ESD协调
静 电 危 害 。 静 电 防 护 原 理
静 电 放 电 模 型 与 失 效 分 析
防 静 电 工 作 区 构 成
防 静 电 工 艺 与 质 量 管 理
防 静 电 产 品 和 工 程 检 验
8
么么么么方面
Sds绝对是假的
8.2.6.8 防静电包装容器（各类软包装，盒、箱、垫等）审查要求 本节依据ANSI/ESDS20.20。8.4节、 ESD S541，IEC61340-5-1～表4《包 装》.
（1） ESD S20.20规定：导静电型≤1×104Ω/□；静电耗散型1×104Ω/□～＜ 1×1011Ω/□（测试方法：ESDS11.11、S11.12）；屏蔽型＜50nJ（测试方 法ESD S11.31）。低起电型（测试方ADV11.2）；
防静电系统质量体系认证教材 防静电质量体系审核员培训教材
电子工业防静电体系认证讲义
编写 孙延林
电子行业职业技能鉴定工作站
1
EPA防静电系统的质量体系认证
8.1 认证基本要求和范围
8.1.1 认证目的 8.1.2 认证范围 8.1.3 认证要求 8.1.4 认证指导 8.1.5 修改
8.2 认证项目和具体要求 ※8.2.1 职工培训要求
（1） ANSI/ESD S20.20 规定：线电阻0.8×106～1.2×106、带内表面＜ 1×105；带外表面＞1×107、人戴腕带时对地电阻＜3.5×107、弯曲试 验16000次后电性能符合要求（产品测试：ESDS1.1，认证测试TR53）；
（2） IEC61340-5-1规定：穿戴时对地电阻＜3.5×107、带内表面≤1×105； 带外表面＞1×107、线电阻＜5×106、弯曲试验16000次后电性能符合 要求（产品测试：等效采用ESDS1.1,认证测试:IEC61340-5-1 A1）.穿戴时下 限电阻值符合当地电气安全要求.
※8.2.6 防静电工作区（EPA）审查要求
8.2.6.1 EPA环境审查要求 ANSI/ESDS20.20-2007没有提出,本节依据ANSI/ESDS20.20（99）表1.
（1） EPA应有环境温、湿度控制系统,湿度保持在RH30%～70%范围,温度符 合企业规定要求,必要时现场随机检验.
注意：对于生产光电器件或太阳能电池企业必须提供环境洁净度和湿度测试 报告，并有环境控制系统.
（2） GJB3007规定 ：手持工具（镊子、钳子、刷子、改锥等）两端点之间电阻＜ 1×109（产品测试：SJ/T10694）;
（3）IEC61340-5-1（99）规定：手持工具（镊子、钳子、刷子、改锥等）两端点之间 电阻＜1×109或静电衰减时间±1000V～±100V，＜2s（产品测试：IEC61340-5-1 （99）附录A）
（1）对地电阻＜1×109Ω（测试方法：产品测试ESD S4.1，认证测试TR53. IEC61340-5-1表3、测试方法：IEC61340-2-3）； （2）或工作台对地电压＜200V（测试方法：ESD S4.2）. 8.2.6.5 工作鞋（束）审查要求
本节依据ANSI/ESDS20.20《静电放电控制项目》表格3，IEC61340-5-1～ 《鞋类》. （1）ESDS20.20规定: 对地电阻＜1×109Ω.IEC61340-5-1规定：导电鞋对地电阻 ＜1×105Ω；防静电鞋（束）电阻1×105Ω～1×108Ω（产品测试STM9.1，认 证测试TR53.IEC61340-5-1表2，测试方法：IEC61340-4-3）.
（2） IEC61340-5-1规定非环境系统电离器静电消除时间±1000V～±100V，＜ 20s,偏移电压＜±100V。环境系统电离器偏移电压＜±100V；环境系统电离 器静电消除时间±1000V～±100V，＜20s,（IEC61340-5-1表3，测试方法等 效采用STM3.1）；
（3） 电离器电气安全性能应达到GB4793《测量、控制和实验室用电气设备的 安全要求 第1部分：通用要求》规定； 臭氧和二氧化氮浓度应达到GBZ2.1 《工业场所有害因素职业接触限值－化学有害因素》规定值，臭氧浓度不 超过0.3毫克/立方米；
4
图8.1 接地连接点标识
※8.2.4 人员安全审查要求
图8.2 EPA内电气设备标识
本部分依据ANSI/ESD S20.20 ～5.0节《人员安全》；IEC61340-5-1 （99）～1.0、4.3.2、5.1.3节《范围》等,并参照IEC61010-1、60479、 60536.
（1） 要防止错误的接地方式和考虑其他安全保护措施.所有设备、仪器、 金属体要可靠与保护接地相接；
（2） IEC61340-5-1规定：导静电型表面电阻1×102Ω～＜1×105Ω；静电耗 散型1×105Ω～＜1×1011Ω（测试方法IEC61340-2-3）；屏蔽型＜50nJ （测试方法等效采用ESD S11.31）.
图8.3 包装标识
10
8.2.6.9 移动设备（手动、电动运转车、传输带）审查要求
本部分依据ANSI/ESD S20.20 ～7.2节《 培训计划》；IEC61340-5-1 （99）～8节《培训》. 8.2.1.1 培训审查要求 （1） 要求被审查的质量体系及管理手册中有操作职工和技术质量管理等人
员的分层次培训和考核管理条文； （2） 培训和考核记录有存档，其涉及ESD工作人员总数的95％.要求企业有
（1） ESD S20.20规定椅面对地电阻＜1×109Ω，IEC61340-5-1规定＜1×1010Ω （产品测试ESD STM12.1，认证测试TR53.IEC61340-5-1表3，测试方法： IEC61340-2-3）.
8.2.6.4 工作台和存放架（柜）审查要求 本节依据ANSI/ESDS20.20《静电放电控制项目》表格3， IEC61340-5-1～ 《工作表面和存放架（柜）》.
12
8.2.6.14 EPA其它项目审查要求 本节依据ANSI/ESDS20.20，IEC61340-5-1，IEC61340-5-2.
（1） EPA可是一个工作台、库房、厂房、工作站和设备，有明确界限,并在醒 目位置张贴图8.4所示标识（IEC61340-5-1）；
（2） EPA内不能放置与工作无关绝缘制品（杯子、鸡毛掸、塑料பைடு நூலகம்皮、垃圾 箱等其它塑料制品）.不能将普通作业区和EPA混杂在一起.所有非要用的绝 缘体，如塑料和纸制品（如咖啡杯，食品包装和私人物品等）必须从EPA中 移出.如果EPA所用SSD的静电敏感度很高时，电离或其它静电中和技术在 EPA内会被使用，来遏制绝缘体、没接地的导体、各种操作、工具产生的静 电.
本节依据ANSI/ESDS20.20《静电放电控制项目》表格3，IEC61340-5-1 表3。 （1） ESDS20.20规定对地电阻＜1×109Ω（产品测试：ESD S4.1，认证测试：TR53）； （2）IEC61340-5-1规定对地电阻＜1×109Ω（测试方法：IEC61340-5-1
8.2.6.10 腕带审查要求 本节依据ANSI/ESDS20.20《静电放电控制项目》表格3，IEC61340-5-1～表3.
11
8.2.6.11 手套、指套审查要求
本节依据SJ/T10694，IEC61340-5-1（99）.ANSI/ESDS20.20附录A （2）《ESD SP15.1》 可作参考.
（1） SJ/T10694规定：手套、指套内外两点之间电阻1×105～1×109（产品测试： SJ/T10694）；
（2） IEC61340-5-1（99）规定：静电衰减时间±1000V～±100V，＜2s（产品测试： IEC61340-5-1（99）附录A）.
8.2.6.7 离子静电消除器审查要求 本节依据ANSI/ESDS20.20《静电放电控制项目》表格3，IEC61340-5-1～ 《电离器》.
（1） ESDS20.20规定非环境系统电离器偏移电压＜±50V；静电消除时间和测 试距离由用户确定.环境系统电离器偏移电压＜±150V；静电消除时间和测 试距离有用户确定（产品测试STM3.1，认证测试TR53.电离器定期检验标准 ESD SP3.3）；
静 电 测 试 和 相 关 仪 表 知 识
环 境 工 程 、 离 子 消 除 技 术
人 身 安 全 和 接 地 技 术
标 志 、 包 装 、 存 储 、 运 输
标 准 化 、 制 度 、 采 购
企 业 防 静 电 培 训 和 考 核
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设计、技术、工艺人员、质量 管理
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8.2.6.6 工作服审查要求
依据ANSI/ESDS20.20《静电放电控制项目》表格3，IEC61340-5-1《服装》.
（1） ESDS20.20规定：表面点对点电阻＜1×1011Ω 、对地电阻 1×109Ω、穿戴电阻 ＜ 3.5×107Ω（产品测试STM2.1，认证测试TR53）；
（2） IEC61340-5-1规定点对点电阻＜1×1012Ω、对地电阻＜1×109Ω（测试方法等效采 用ESD S20.20 STM2.1）.
※8.2.3 EPA接地审查要求
本部分依据ANSI/ESDS20.20～8.1节《接地/等电位连接系统》（表 1）,IEC61340-5-1～《EPA地线设施》等. （1） ANSI/ESDS20.20要求 a 设备接地（导体）电阻＜1Ω（AC）； b 辅助接地（至设备接地导体）电阻＜25Ω（AC）；（IEC61340-5-1：＜ 2Ω）； c 防静电等电位接地电阻＜1×109 Ω； d 测试方法：接地电阻ANSI/ESD S 6.1；等电位接地电阻TR53. （2） 补充要求
（2）电气系统应有漏电保护或过电流、过电压保护装置；
（3）对EPA内对有危害人身安全的高电压设备，应有图8.2所示标识. 5
※8.2.5 人员接地审查要求
本部分依据ANSI/ESDS20.20～8.2节《人员接地》（表2）；IEC61340-5-1～ 《EPA操作》. （1） 通过腕带或工作服系统接地 （2） 通过鞋－地坪系统接地
本部分依据ANSI/ESDS20.20（2007） 的 6.0、6.1、6.2、6.3、7.0、7.7.3、 8.3、附录A（4）和IEC61340-5-1（99）的4、5、6、7、8、9、10章节. ※8.2.7.1质量手册内容 编写的质量手册（参照静电放电手册TR20.20）应能提供指导原则和方案,使 建立的EPA防静电系统符合ESDS20.20或IEC61340-5-1的相关要求并能监测， 同时能根据发展而进行修改.
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企业各级管理人员
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设备安装维修人员
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8.2.2 SSD敏感度分级和标志要求
如企业没有特殊要求，本节可不作为认证的内容。本部分依据 ANSI/ESDS20.20～《附录B敏感度测试》（表4、表5），IEC61340-31～3.
8.2.6.12 自动取放设备（仪器、仪表、生产设备）审查要求
8.2.6.13 手持工具审查要求
本章根据GJB3007《防静电工作区技术要求》、IEC61340-5-1（99）ANSI/ESDS20.20 附录A（3） 、 《ESD STM13.1》.
（1） GJB3007规定：电烙铁头至保护接地线之间电阻＜20（产品测试：SJ/T10694、 ESD S20.20（99））；
8.2.6.2 EPA地坪审查要求 本节依据ANSI/ESDS20.20《静电放电控制项目》表格3，IEC61340-5-《地 板》.
（1） 地坪对地电阻＜1×109Ω（产品测试ESD S7.1，认证测试TR53.IEC613405-1表3，测试方法：IEC61340-4-1）.
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8.2.6.3 座椅审查要求 本节依据ANSI/ESDS20.20《静电放电控制项目》表格3，IEC61340-5-1～ 《座椅》.
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8.2.1.2 培训内容及所涉及人员 培训内容及所涉及人员可参照下表.
表8.2
培训人员 ESD协调
静 电 危 害 。 静 电 防 护 原 理
静 电 放 电 模 型 与 失 效 分 析
防 静 电 工 作 区 构 成
防 静 电 工 艺 与 质 量 管 理
防 静 电 产 品 和 工 程 检 验
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么么么么方面
Sds绝对是假的
8.2.6.8 防静电包装容器（各类软包装，盒、箱、垫等）审查要求 本节依据ANSI/ESDS20.20。8.4节、 ESD S541，IEC61340-5-1～表4《包 装》.
（1） ESD S20.20规定：导静电型≤1×104Ω/□；静电耗散型1×104Ω/□～＜ 1×1011Ω/□（测试方法：ESDS11.11、S11.12）；屏蔽型＜50nJ（测试方 法ESD S11.31）。低起电型（测试方ADV11.2）；
防静电系统质量体系认证教材 防静电质量体系审核员培训教材
电子工业防静电体系认证讲义
编写 孙延林
电子行业职业技能鉴定工作站
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EPA防静电系统的质量体系认证
8.1 认证基本要求和范围
8.1.1 认证目的 8.1.2 认证范围 8.1.3 认证要求 8.1.4 认证指导 8.1.5 修改
8.2 认证项目和具体要求 ※8.2.1 职工培训要求
（1） ANSI/ESD S20.20 规定：线电阻0.8×106～1.2×106、带内表面＜ 1×105；带外表面＞1×107、人戴腕带时对地电阻＜3.5×107、弯曲试 验16000次后电性能符合要求（产品测试：ESDS1.1，认证测试TR53）；
（2） IEC61340-5-1规定：穿戴时对地电阻＜3.5×107、带内表面≤1×105； 带外表面＞1×107、线电阻＜5×106、弯曲试验16000次后电性能符合 要求（产品测试：等效采用ESDS1.1,认证测试:IEC61340-5-1 A1）.穿戴时下 限电阻值符合当地电气安全要求.
※8.2.6 防静电工作区（EPA）审查要求
8.2.6.1 EPA环境审查要求 ANSI/ESDS20.20-2007没有提出,本节依据ANSI/ESDS20.20（99）表1.
（1） EPA应有环境温、湿度控制系统,湿度保持在RH30%～70%范围,温度符 合企业规定要求,必要时现场随机检验.
注意：对于生产光电器件或太阳能电池企业必须提供环境洁净度和湿度测试 报告，并有环境控制系统.
（2） GJB3007规定 ：手持工具（镊子、钳子、刷子、改锥等）两端点之间电阻＜ 1×109（产品测试：SJ/T10694）;
（3）IEC61340-5-1（99）规定：手持工具（镊子、钳子、刷子、改锥等）两端点之间 电阻＜1×109或静电衰减时间±1000V～±100V，＜2s（产品测试：IEC61340-5-1 （99）附录A）
（1）对地电阻＜1×109Ω（测试方法：产品测试ESD S4.1，认证测试TR53. IEC61340-5-1表3、测试方法：IEC61340-2-3）； （2）或工作台对地电压＜200V（测试方法：ESD S4.2）. 8.2.6.5 工作鞋（束）审查要求
本节依据ANSI/ESDS20.20《静电放电控制项目》表格3，IEC61340-5-1～ 《鞋类》. （1）ESDS20.20规定: 对地电阻＜1×109Ω.IEC61340-5-1规定：导电鞋对地电阻 ＜1×105Ω；防静电鞋（束）电阻1×105Ω～1×108Ω（产品测试STM9.1，认 证测试TR53.IEC61340-5-1表2，测试方法：IEC61340-4-3）.
（2） IEC61340-5-1规定非环境系统电离器静电消除时间±1000V～±100V，＜ 20s,偏移电压＜±100V。环境系统电离器偏移电压＜±100V；环境系统电离 器静电消除时间±1000V～±100V，＜20s,（IEC61340-5-1表3，测试方法等 效采用STM3.1）；
（3） 电离器电气安全性能应达到GB4793《测量、控制和实验室用电气设备的 安全要求 第1部分：通用要求》规定； 臭氧和二氧化氮浓度应达到GBZ2.1 《工业场所有害因素职业接触限值－化学有害因素》规定值，臭氧浓度不 超过0.3毫克/立方米；
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图8.1 接地连接点标识
※8.2.4 人员安全审查要求
图8.2 EPA内电气设备标识
本部分依据ANSI/ESD S20.20 ～5.0节《人员安全》；IEC61340-5-1 （99）～1.0、4.3.2、5.1.3节《范围》等,并参照IEC61010-1、60479、 60536.
（1） 要防止错误的接地方式和考虑其他安全保护措施.所有设备、仪器、 金属体要可靠与保护接地相接；
（2） IEC61340-5-1规定：导静电型表面电阻1×102Ω～＜1×105Ω；静电耗 散型1×105Ω～＜1×1011Ω（测试方法IEC61340-2-3）；屏蔽型＜50nJ （测试方法等效采用ESD S11.31）.
图8.3 包装标识
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8.2.6.9 移动设备（手动、电动运转车、传输带）审查要求
本部分依据ANSI/ESD S20.20 ～7.2节《 培训计划》；IEC61340-5-1 （99）～8节《培训》. 8.2.1.1 培训审查要求 （1） 要求被审查的质量体系及管理手册中有操作职工和技术质量管理等人
员的分层次培训和考核管理条文； （2） 培训和考核记录有存档，其涉及ESD工作人员总数的95％.要求企业有
（1） ESD S20.20规定椅面对地电阻＜1×109Ω，IEC61340-5-1规定＜1×1010Ω （产品测试ESD STM12.1，认证测试TR53.IEC61340-5-1表3，测试方法： IEC61340-2-3）.
8.2.6.4 工作台和存放架（柜）审查要求 本节依据ANSI/ESDS20.20《静电放电控制项目》表格3， IEC61340-5-1～ 《工作表面和存放架（柜）》.
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8.2.6.14 EPA其它项目审查要求 本节依据ANSI/ESDS20.20，IEC61340-5-1，IEC61340-5-2.
（1） EPA可是一个工作台、库房、厂房、工作站和设备，有明确界限,并在醒 目位置张贴图8.4所示标识（IEC61340-5-1）；
（2） EPA内不能放置与工作无关绝缘制品（杯子、鸡毛掸、塑料பைடு நூலகம்皮、垃圾 箱等其它塑料制品）.不能将普通作业区和EPA混杂在一起.所有非要用的绝 缘体，如塑料和纸制品（如咖啡杯，食品包装和私人物品等）必须从EPA中 移出.如果EPA所用SSD的静电敏感度很高时，电离或其它静电中和技术在 EPA内会被使用，来遏制绝缘体、没接地的导体、各种操作、工具产生的静 电.
本节依据ANSI/ESDS20.20《静电放电控制项目》表格3，IEC61340-5-1 表3。 （1） ESDS20.20规定对地电阻＜1×109Ω（产品测试：ESD S4.1，认证测试：TR53）； （2）IEC61340-5-1规定对地电阻＜1×109Ω（测试方法：IEC61340-5-1
8.2.6.10 腕带审查要求 本节依据ANSI/ESDS20.20《静电放电控制项目》表格3，IEC61340-5-1～表3.
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8.2.6.11 手套、指套审查要求
本节依据SJ/T10694，IEC61340-5-1（99）.ANSI/ESDS20.20附录A （2）《ESD SP15.1》 可作参考.
（1） SJ/T10694规定：手套、指套内外两点之间电阻1×105～1×109（产品测试： SJ/T10694）；
（2） IEC61340-5-1（99）规定：静电衰减时间±1000V～±100V，＜2s（产品测试： IEC61340-5-1（99）附录A）.
8.2.6.7 离子静电消除器审查要求 本节依据ANSI/ESDS20.20《静电放电控制项目》表格3，IEC61340-5-1～ 《电离器》.
（1） ESDS20.20规定非环境系统电离器偏移电压＜±50V；静电消除时间和测 试距离由用户确定.环境系统电离器偏移电压＜±150V；静电消除时间和测 试距离有用户确定（产品测试STM3.1，认证测试TR53.电离器定期检验标准 ESD SP3.3）；
静 电 测 试 和 相 关 仪 表 知 识
环 境 工 程 、 离 子 消 除 技 术
人 身 安 全 和 接 地 技 术
标 志 、 包 装 、 存 储 、 运 输
标 准 化 、 制 度 、 采 购
企 业 防 静 电 培 训 和 考 核
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8.2.6.6 工作服审查要求
依据ANSI/ESDS20.20《静电放电控制项目》表格3，IEC61340-5-1《服装》.
（1） ESDS20.20规定：表面点对点电阻＜1×1011Ω 、对地电阻 1×109Ω、穿戴电阻 ＜ 3.5×107Ω（产品测试STM2.1，认证测试TR53）；
（2） IEC61340-5-1规定点对点电阻＜1×1012Ω、对地电阻＜1×109Ω（测试方法等效采 用ESD S20.20 STM2.1）.
※8.2.3 EPA接地审查要求
本部分依据ANSI/ESDS20.20～8.1节《接地/等电位连接系统》（表 1）,IEC61340-5-1～《EPA地线设施》等. （1） ANSI/ESDS20.20要求 a 设备接地（导体）电阻＜1Ω（AC）； b 辅助接地（至设备接地导体）电阻＜25Ω（AC）；（IEC61340-5-1：＜ 2Ω）； c 防静电等电位接地电阻＜1×109 Ω； d 测试方法：接地电阻ANSI/ESD S 6.1；等电位接地电阻TR53. （2） 补充要求
（2）电气系统应有漏电保护或过电流、过电压保护装置；
（3）对EPA内对有危害人身安全的高电压设备，应有图8.2所示标识. 5
※8.2.5 人员接地审查要求
本部分依据ANSI/ESDS20.20～8.2节《人员接地》（表2）；IEC61340-5-1～ 《EPA操作》. （1） 通过腕带或工作服系统接地 （2） 通过鞋－地坪系统接地