ZZ1100箱式真空镀膜机说明书解析
真空镀膜机操作方法
真空镀膜机操作方法
真空镀膜机是一种常用的表面处理设备，主要用于在物体表面形成薄膜。
以下是一般的真空镀膜机操作方法的简要步骤：
1. 准备物体：将需要进行镀膜的物体清洁干净，确保表面没有灰尘、油脂或其它污染物。
2. 准备镀膜材料：根据需要的薄膜材料类型，准备相应的镀膜材料，一般为金属或者陶瓷材料。
3. 设置真空环境：将物体放置在真空镀膜室中，并确保室内的真空度达到所需的要求。
这通常需要使用真空泵和其他辅助设备。
4. 启动真空系统：打开真空系统的开关，开始抽取室内空气，直到达到设定的真空度。
5. 加热：在达到所需真空度后，加热镀膜材料使其蒸发。
加热的温度和时间取决于材料的性质和所需的薄膜厚度。
6. 沉积：薄膜材料从加热源蒸发出来后，会沉积在物体的表面。
这个过程需要一定的时间，以确保薄膜厚度均匀。
7. 冷却：在薄膜沉积完毕后，将镀膜室冷却至室温，以固化薄膜并使其附着在物体表面。
8. 释放真空：关闭加热源和真空系统，并逐渐恢复大气压力，最终打开镀膜室门让物体取出。
请注意，以上步骤是一个大致的操作流程，不同型号的真空镀膜机可能会有些差异。
在使用真空镀膜机之前，请务必详细阅读设备的操作手册，并根据实际情况进行操作。
镀膜机操作说明书
(3)半自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，在触摸屏上面按住自动按钮不放，几秒钟后，按钮会在自动和半自动之间转换，将按钮调至半自动，然后按下控制面板左边的自动按钮。程序会自动控制到J6灯亮（显示屏上会显示不停闪动的可镀），需手动操作整个蒸发过程，以及剩余操作。
7.漏气的排查：主要是在粗抽或者精抽时会出现真空度一直抽不上去的现象。一般需要一人盯住真空计上面的真空度，另外一人根据当时工作的泵在其各个接口处滴撒乙醇，乙醇滴到哪个接口时真空度急剧上升则说明该阀门漏气。
镀膜机日常维护：
1.镀膜机的粗抽泵油和扩散泵油一般3个月换一次：都得拆开用乙醇擦洗，然后换新油。
2.镀膜机的腔体在每次真镀上产品前必须对铝屑等杂质进行清扫。腔体的不锈钢挡板需2周左右用烧碱洗一次。挡板清洗后，第一次真镀以前，要手动抽真空半小时左右，以将挡板上的水汽及其它的可挥发杂质除掉。
3.镀膜机的蒸发工艺参数设定：从电压上来说，蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.蒸发3个过程；从时间上来说蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.熔融保持4.蒸发5.蒸发保持等5个阶段。一般来说，电压的设定按照过程要逐渐增大，但是最大为6.0V。电压与各个时间的设定值要需要参照镀出来的产品是否发黄、飞铝等问题来调整。（蒸发与蒸发保持阶段的时间与压力的减小一般不造成真镀后的产品附着力不佳的情况。
2.水路开启：打开楼上冷却塔的扇叶冷凝。
3.电路开启：检查电柜箱的闸刀是否送上（一般情况下是送上的），开启镀膜机右边的电源总闸——调至ON档位，在镀膜机正上面的控制面板上，按下电源控制，开启真空计、按下粗抽泵，开启前置阀，检查水泵是否在工作，水路是否通畅，过几分钟至J1灯亮后开启扩散泵。待扩散泵开启约45Min后可以进行真镀操作。
真空镀膜机操作规程
真空镀膜机操作规程真空镀膜机是一种高精度的设备，操作规程的合理执行可以确保设备的正常运行并保证产品的质量。
下面是一份真空镀膜机的操作规程，供参考：一、操作前准备1. 检查设备的电源和附属设施，确保运行环境安全正常。
2. 检查真空镀膜机内部是否有异物或污染物，清洁设备确保表面干净。
二、设备开启与调试1. 打开设备的电源，并按照操作手册正确操作所有开关与按钮，确保设备的正常运行。
2. 设备初次开启或长时间未使用后，需打开辅助泵进行抽真空，待真空度达到标准值后再进行下一步操作。
3. 真空镀膜机应设有校准装置，操作人员应根据实际需要进行相应的校准，确保设备的稳定性和精度。
三、样品处理与准备1. 将待镀膜的样品放置在有效位置，确保样品的平整，并避免样品之间的碰撞。
2. 样品表面应清洁干净，不存在污染和油渍，否则会影响镀膜质量。
四、真空镀膜操作1. 打开样品舱门，将样品放置在样品架上，确保样品与样品架之间没有杂质。
2. 关闭样品舱门，设定镀膜参数，如镀膜材料、镀膜时间、镀膜温度、反应气体等。
3. 执行真空镀膜程序，按照操作手册的步骤进行操作，确保每一个程序的稳定运行。
4. 在镀膜过程中，操作人员应经常观察反应室内的状态，如真空度、压力、温度等参数，并及时调整。
5. 镀膜结束后，将样品从样品架上取下，放置在准备好的容器中，注意避免样品与其他物体接触，避免污染。
五、设备关闭与清洁1. 关闭设备的各个开关和电源，确保设备停止运行。
2. 清洁设备内部，包括反应室和样品架，确保设备内部干净整洁。
3. 清洁设备外部，特别是控制面板和触摸屏，避免灰尘或污渍附着在上面。
4. 检查设备的附属设施，如冷却系统，确保其正常运行。
六、操作注意事项1. 操作人员应穿戴好相应的防护用品，如手套、口罩、护目镜等，确保工作安全。
2. 镀膜材料和反应气体应储存妥善，避免与火源、高温、湿度等有害物质接触。
3. 真空镀膜机应定期进行维护保养，如更换密封圈、清洁真空管道、校准仪器等。
真空镀膜机配置及技术参数
真空镀膜机配置及技术参数1.镀膜室内尺寸：直径Ф1350mm，高1100mm2. 极限真空度：5×10-3Pa（空载、干燥、洁净）3.恢复真空抽气时间：从大气抽至5×10-2Pa≤8min（空载、干燥、洁净）4.循环水量：7T/hr5.漏气率：小于0.7Pa/小时6.功率：60KVA7.加热功率24KW8.烘烤温度：小于400度2、真空镀膜机主要配置项目生产厂家说明真空室真空室结构采用碳钢制造，箱式单开门结构，门、壳体、加热管等用冷却水管冷却，真空室底板开数个Φ32.5mm安装孔，以便安装电子枪、气动挡板等部件，并预留3个备用孔。
真空室尺寸立式（直径×高度）：1350×1100㎜观察窗门上安装3只直径100mm的观察窗，带防强光及防污挡板防污衬板2套，厚1mm，304不锈钢制造工件架材料吊装伞式工件盘2套，采用碳钢制造，表面镀铬，直径约1100mm。
上旋转方式，转速3-30rpm。
开孔尺寸按客户要求。
粗抽南光2X-70旋片泵1台。
增压泵上海萃曼RTO-600罗茨泵1台精抽泵KT-630扩散泵1台抽气系统维持泵南光2X-15旋片泵1台加热系统铠装加热上烘烤为3组4KW加热管加热，侧烘烤采用3组4KW加热管加热。
合计24KW，PID控制，控温准确。
真空计成都正华ZDF-III型复合数显真空计控制方式抽真空、加热、电子枪蒸发等全部采用手动控制电器元件台湾士林，德力西等优质名牌电控系统报警系统电路过载，水压，气压不足报警电子枪采用成都产6KW电子枪一台。
蒸发系统坩埚水冷却4穴位坩埚膜厚监控系统 晶振 英富康 SQM-160（暂时未按装）离子源：霍尔源 需要的话，可以添加联系人：刘伟189****1899。
真空镀膜机操作指导
资料范本本资料为word版本，可以直接编辑和打印，感谢您的下载真空镀膜机操作指导地点：__________________时间：__________________说明：本资料适用于约定双方经过谈判，协商而共同承认，共同遵守的责任与义务，仅供参考，文档可直接下载或修改，不需要的部分可直接删除，使用时请详细阅读内容真空镀膜实验指导真空镀膜常用的方法有蒸发镀膜、射频溅射镀膜和离子镀膜等。
本实验通过介绍蒸发镀膜原理，掌握蒸发镀膜的操作方法。
真空镀膜技术在电真空、无线电、光学、固体物理、原子能和空间技术中有广泛的应用。
真空镀膜原理：蒸发镀膜机理蒸发镀膜是真空镀膜的一种，它是在高真空条件下将物质加热到沸腾状态，沸腾出来的原子或分子溅落在固体材料表面，形成一层或多层膜的方法。
凡是在沸腾温度下不分解或不变性的物质都可以用此法蒸镀成膜。
蒸发原子的成膜过程比较复杂，这里只能粗略描述如下：溅落原子首先被固体表面吸附，当表面温度低于某一临界温度时，原子开始“核化”——部分原子凝聚成团，出现若干“岛”，然后这些“岛”逐渐吸收周围的原子而长大，众多的“岛”相互连接成一片而成一块连续的膜。
蒸发镀膜的条件主要有两个，分别介绍如下：高真空我们希望蒸发出来的原子或分子不要受空气分子的阻挡而直接溅落到固体的表面，这样，蒸发镀膜的速度高，成膜质量也好。
相反，如果真空度低，有大量的空气分子存在，一方面，蒸发出来的原子或分子与空气分子碰撞，阻碍了膜材分子的扩散，降低了蒸镀的速度，影响了膜的均匀性，另一方面，空气的导热使得膜材的温度不能很快地升高，必然要加大加热功率；更有甚者，空气的存在可能使膜材的某些成分氧化，引起成分变性；在连接着抽气机的情况下，若不能很快完成镀膜，膜料将被抽走。
因此，蒸发镀膜需要在高真空条件下进行。
当然，真空度也不需要绝对地高。
事实上，只要分子的平均自由程大于膜材到基底的距离即可。
如果膜材到基底的距离为10 --20cm，根据自由程公式（d是分子的直径，n是分子数密度）不难估计真空度在Pa以上就可以满足要求。
真空镀膜机工作原理及结构介绍真空镀膜机的原理和各部件分析
真空镀膜机⼯作原理及结构介绍真空镀膜机的原理和各部件分析真空镀膜机⼯作原理及结构介绍，真镀膜机是现在制造真空条件使⽤最为⼴泛的设备。
其有关构成及各部件：机械泵、增压泵、油分散泵、冷凝泵、真空丈量系统.真镀膜机原理真空镀膜机主要指⼀类需要在较⾼真空度下进⾏的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离⼦蒸发，磁控溅射，MBE分⼦束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。
主要思路是分成蒸发和溅射两种。
真空镀膜机各部分的组成⼀、真空主体——真空腔依据加⼯商品请求的各异，真空腔的⼤⼩也不⼀样，现在使⽤最多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢资料制造，请求不⽣锈、坚实等，真空腔各部分有衔接阀，⽤来衔接各抽⽓泵浦。
⼆、辅助抽⽓系统此排⽓系统选⽤“分散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”构成排⽓流程为：机械泵先将真空腔抽⾄⼩于2.0*10-2PA摆布的低真空状况，为分散泵后继抽真空供给条件，以后当分散泵抽真空腔的时分，机械泵⼜配合油分散泵构成串联，以这么的⽅式完成抽⽓动作。
排⽓系统为镀膜机真空系统的重要部分，⾸要有由机械泵、增压泵(⾸要介绍罗茨泵)、油分散泵三⼤多数构成。
机械泵：也叫前级泵，机械泵是使⽤最⼴泛的⼀种低真空泵，它是⽤油来坚持密封效果并依托机械的⽅法不断的改变泵内吸⽓空腔的体积，使被抽容器内⽓体的体积不断胀⼤然后取得真空。
机械泵有很多种，常⽤的有滑阀式(此⾸要使⽤于⼤型设备)、活塞往复式、定⽚式和旋⽚式(此现在使⽤最⼴泛，这篇⽂章⾸要介绍)四种类型。
机械泵常常被⽤来抽除⼲燥的空⽓，但不能抽除含氧量过⾼、有爆炸性和腐蚀性的⽓体，机械泵通常被⽤来抽除永久性的⽓体，可是对⽔汽没有好的效果，所以它不能抽除⽔汽。
旋⽚泵中起⾸要效果的部件是定⼦、转⼦、弹⽚等，转⼦在定⼦⾥边但与定⼦不⼀样⼼轴，象两个内切圆，转⼦槽内装有两⽚弹⽚，两弹⽚中⼼装有绷簧，确保了弹⽚紧紧贴在定⼦的内壁。
真空镀膜机的原理和各部件分析真空镀膜机是⽬前制作真空条件应⽤最为⼴泛的真空设备，⼀般⽤真空室、真空机组、电⽓控制柜三⼤部分组成，排⽓系统采⽤“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。
真空镀膜机操作流程
真空镀膜机操作流程
一、准备工作。
1. 确认真空镀膜机的工作状态，检查设备是否完好。
2. 准备好需要镀膜的材料和目标物体。
3. 清洁目标物体表面，确保表面干净无尘。
二、开机操作。
1. 打开真空镀膜机的电源开关，待设备启动完成后进入下一步操作。
2. 启动真空泵，将系统抽真空至所需的工作压力。
三、镀膜操作。
1. 将待镀膜的材料放置在镀膜室内，注意安放位置和方向。
2. 打开镀膜室的加热系统，使其达到所需的温度。
3. 启动镀膜源，将镀膜材料加热至蒸发状态。
4. 控制镀膜源的蒸发速度和时间，确保均匀的镀膜层厚度。
5. 监控镀膜过程中的真空度和温度变化，及时调整参数以保证镀膜质量。
四、结束操作。
1. 关闭镀膜源和加热系统，停止镀膜操作。
2. 等待镀膜室内压力恢复至大气压，然后打开镀膜室门。
3. 将镀膜完成的物体取出，放置在通风处冷却。
4. 关闭真空泵和真空镀膜机的电源开关，完成操作。
五、清洁和维护。
1. 清洁镀膜室内表面和镀膜源，确保设备清洁。
2. 定期检查和维护真空镀膜机的各项部件，保证设备正常运转。
六、安全注意事项。
1. 在操作真空镀膜机时，要注意防止镀膜材料的挥发物对人体
的伤害，做好防护措施。
2. 注意设备的电气安全，避免触电和短路等事故发生。
3. 在操作过程中要严格遵守设备操作规程，确保人身和设备安全。
以上即是真空镀膜机的操作流程，希望能够对您的工作有所帮助。
如有任何疑问，请及时咨询设备厂家或专业人士。
真空镀膜机作业指导书
真空镀膜机作业指导书检查水路是否畅通，确定冷却塔、激进泵是否正常工作（水压需达到0、4Mpa以上）。
2，检查气路是否畅通，确定空压机是否正常工作（气压需达到0、5Mpa）3，开启电源开关，打开《开机》、《维持泵》开关，待真空计的热偶计读数在10pa以下时，打开《扩散泵温控仪1、2》《扩散泵1、2》四个开关。
即扩散泵升温（大约1小时左右）4，距加热时间约10分钟左右，开启低温捕集器，待6分钟冷却时间过后，按《F1》启动低温捕集器。
待温控仪上的设定温度达到时，即可正常生产操作。
二，生产操作1，确定真空室内膜料、离子源灯丝、工件架已按要求放置完毕。
2，开启《粗抽泵》，将抽气手自动档切换至自动档，打开《自动抽气》开关，待真空室大门吸合即可。
3，当罗茨泵自动开启时，按低温捕集器《F2》，开启捕集器制冷功能。
4，此操作应工艺的不同而有较大的变化，此处不一一详述，即为口述。
5，工艺完成后，关闭电子枪、离子源（必须先归零灯丝电流，再关电源）等开关，打开《自动充气》开关，待精抽阀闭合后，将抽气手自动档切换至手动档（此处必需注意除维持泵、扩散泵、粗抽泵、开机这四个开关是按下去的外，其他开关都不可按下，以免操作失误造成扩散泵暴露大气！），按捕集器F3，开启回温功能，待低温捕集器温度回温到30摄氏度以上，打开《充气阀》，待真空室门打开，关闭《充气阀》。
（注：《自动抽气》与《自动充气》开关严禁混淆）6，以上循环，即为正常操作流程。
三、停机1，将真空室门吸合，抽至一定真空，关闭除《停机》开关的所有开关。
（注：此停机开关，正常生产中严禁开启）2，待真空镀膜机冷却一小时后，方可关闭电源，空压机，冷却塔，激进泵。
注：以上所有操作必须严格执行，未经允许不可更改，若应操作失误造成镀膜机受到损坏，影响等因素，操作员将承担相应责任。
警告：本机器有多处高压变压器，电压高达8KV，为避免安全事故，未经允许不可开启电柜、真空室下的屏蔽门。
真空镀膜仪操作方法
真空镀膜仪操作方法
以下为真空镀膜仪的操作方法：
1. 准备工作：打开真空镀膜仪的主电源，确保设备正常启动。
检查真空仓内是否有杂质，如果有需要清理干净。
准备好需要镀膜的基板和所需的镀膜材料。
2. 将基板安装：将需要镀膜的基板固定在镀膜夹具上，确保基板与夹具之间没有杂质和空隙。
3. 真空抽气：打开真空泵，开始抽取镀膜仓内的空气，使真空度逐渐提高。
注意，真空度的提升需要一定的时间，一般需要几分钟到几十分钟不等。
4. 反射层镀膜：根据需要选择镀膜材料，将材料放入镀膜仓内的加热器中，并设置合适的加热温度。
当真空度达到设定值后，打开镀膜源的开关，让镀膜材料开始蒸发。
材料的蒸发会形成气体，沉积在基板上形成薄膜。
5. 辅助层镀膜（可选）：如果需要在基板上形成多层镀膜结构，可以在上述步骤完成后，更换镀膜源和镀膜材料，进行下一层的镀膜操作。
每层镀膜前都需要将真空度恢复到设定值。
6. 结束镀膜：当所需的镀膜层数达到要求后，关闭镀膜源的开关。
等待一段时间，让镀膜材料的蒸发停止。
7. 减压恢复：打开气阀，让室内的气体进入真空仓内，逐渐恢复正常气压。
此时可以打开真空仓门，取出镀膜好的基板。
8. 清洁维护：将真空仓内的杂质清理干净，注意避免使用刻蚀性强的清洁剂。
关闭设备主电源，关闭真空泵。
以上就是真空镀膜仪的基本操作方法，具体操作时应注意安全，并按照设备说明书和操作手册进行操作。
ZOX系列真空浸漆机说明书
ZOX系列小型真空浸漆机使用说明书ZOX系列小型真空浸漆机，广泛使用与电机，电器，变压器线圈及C。
O型铁芯的浸漆处理，具有提高线圈的机械强度，绝缘强度及防潮防霉等功能，同时也可用于化工，医药，木材等方面作真空处理。
一：操作说明1：加绝缘漆（1）打开1号阀，2号阀对贮漆罐抽真空，当真空度达到-0.080MPa时，关1号阀，开3号阀放气随手关掉。
（2）用钢丝软管与10号阀旁通阀下部连接，另一头插入绝缘漆容器中，打开旁通阀，绝缘漆通过软管自动吸入贮漆罐内。
（3）当真空度<-0.04MPa时，关闭旁通阀，再次对贮漆罐抽真空，待真空度达到-0.080MPa，再次吸漆，吸入漆的高度，通过液位计观察，应在液位玻璃管上部以下15cm为宜。
（4）切忌边抽真空，边吸入绝缘漆。
2：浸漆（1）将预烘完的工件放入浸漆缸的工件架上，启动液压站，合上缸盖，对浸漆缸抽真空，打开1号阀，5号阀，启动真空泵，当真空度达到-0.085MPa时，停止真空泵电源，同时关1号阀，开3号阀放气随手关掉。
（2）打开6号阀，7号阀，绝缘漆通过过滤器进入浸漆缸内，通过视镜观察，当绝缘漆浸没工件时，关闭6号阀，（7号阀打开后可作长通阀，清洗过滤器滤网时，可关阀切断与贮漆罐的联系）。
（3）工件在浸漆缸中处于真空状态浸漆，当真空度≤-0.065MPA 时，可对浸漆缸补充真空，操作方法如（1）（4）浸漆缸中的真空度在不低于-0.070MPA状态下，保持15-20分钟后打开9号阀，解除真空，并关闭5号阀。
（9号阀不关闭）3：回漆（1）对贮漆罐抽真空，打开1号阀，2号阀启动真空泵，当真空度达到-0.08MPA时，停止真空泵电源，并关闭1号阀。
开3号阀放气随手关掉。
（2）打开10号阀，绝缘漆被抽回到贮漆罐内，当真空度明显下降时（9号阀有吸气声），说明浸漆缸中的绝缘漆已被抽尽。
（3）根据绝缘漆的浓度，规定工件在浸漆缸中的滴漆时间，待工件上的残留漆滴尽后，启动液压站，打开缸盖。
真空镀膜机安全操作指导书
冷却；
6.6 经过培训合格后的操作员才可以操作设备；
6.7 如有发现设备异常请及时通知设备维护人员。
水泵指示灯 关机延时 见机指示灯
主水泵停止 主水泵启动
副水泵停止 副水泵启动
风机停止 风机启动
图1
冷却水控制箱
图2
镀膜机控制柜
真空镀膜机安全操作指导书
文件编号：WI-ZG-SB-077 版本/版次：A0 页 次：3/3
6.保养及注意事项
6.1 开启冷却水塔前先检查循环水是否足够，不足时要及时添加；
6.2 开启镀膜机前先检查真空泵油是否足够，不足时要及时添加；
6.3 蒸镀炉是干净度要求很高的设备，所以要时刻保持炉膛卫生，清洁用；
6.4 工件装好后要先手动快速转动转架,检查是否有产品掉落；
6.5 待扩散泵温度降到 80℃后,才可关闭工作电源、控制柜电源开关，如意外停止电也要及时人工
注：若选择手动状态，其操作与全自动相似，根据相应提示操作即可
真空镀膜机安全操作指导书
文件编号：WI-ZG-SB-077 版本/版次：A0 页 次：2/3
5.2 关机
5.2.1 清理炉内卫生后,关上炉门真空抽至 5*E1-4Pa,
5.2.2 点击触摸屏“后退”按钮一次,关罗茨泵(如图 2 示)；
5.2.3 点击触摸屏“后退”按钮一次,关滑阀泵(如图 2 示)； 5.2.4 点击触摸屏“扩散泵”三个字,关停扩散泵加热，三相电流表读数为零（如图 2 示）； 5.2.5 待扩散泵温度降到 80℃以下后,即可关闭工作电源、控制柜电源开关（如图 2 示）； 5.2.6 按下冷却水控制箱面板上水泵及风机停止开关(红色按钮),指示灯灭(如图 1 示)。
真空镀膜机安全操作指导书
真空镀膜操作流程
真空镀膜机操作流程
1打开冷凝水。
2调节好舟，放一颗银粒到舟（4号舟）上，放置石英片（镀银的面朝下）。
3 打开总电源，进入操作界面，将样品和4号舟的挡板复位。
4开电流，看电路是否连通。
5关闭通空气阀门，打开机械泵，开机械泵阀门，抽真空至10Pa以下。
6关闭机械泵阀门，打开分子泵，打开分子泵阀门，抽真空至6*10-5Pa。
7 开电流加热装置，电流缓慢增大30-40A,70-80A,打开旋转开关，将样品和4号舟的挡板打开，打开样品旋转装置。
8在电流缓慢增大过程中，打开膜厚度检测装置。
加至140A时，此时金属增发，开始镀膜。
等膜厚到达35nm-40nm时关闭电流。
9关闭分子泵阀门，在操作界面关闭分子泵，等转速降为0时，可关闭分子泵电源。
10打开放气阀，放气完毕，取出样品。
11关闭通空气阀门，打开机械泵，开机械泵阀门，抽真空至10Pa以下。
12关总电源，关冷凝水，实验结束。
(整理)镀膜机操作说明书
关机准备：
关扩散泵——（1h后）关粗抽泵——关前置阀——关真空计——关镀膜机右边的电源总闸——关冷却塔扇叶冷凝——关压缩空气系统。
大纲要求关机操作说明：
(1)关扩散泵后，为了下次使用的抽真空时间不至于太长，一般将腔体抽成负压，一般操作为关掉扩散泵后，关门、关前置阀、开启粗抽阀、待真空度到100Pa左右后，关粗抽阀、开前置阀。1h后关粗抽泵、前置阀以及剩余操作。
(2)自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，按下控制面板左边的自动按钮。剩余过程会在15Min左右由程序自动完成至开门。
(3)半自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，在触摸屏上面按住自动按钮不放，几秒钟后，按钮会在自动和半自动之间转换，将按钮调至半自动，然后按下控制面板左边的自动按钮。程序会自动控制到J6灯亮（显示屏上会显示不停闪动的可镀），需手动操作整个蒸发过程，以及剩余操作。
四、镀膜机的日常维护
（三）安全评价的内容和分类镀膜机常见问题排查：
（2）可能造成轻度环境影响的建设项目，编制环境影响报告表，对产生的环境影响进行分析或者专项评价；1.真镀的产品发蓝一般是扩散泵油有问题。
2.真镀产品返油是扩散泵油或者水冷不够的问题。
（4）化工、冶金、有色、建材、机械、轻工、纺织、烟草、商贸、军工、公路、水运、轨道交通、电力等行业的国家和省级重点建设项目；3.真镀产品发黄一般是由粗抽泵的油太脏或者蒸发的电压过高或者蒸发保持时间过长造成的。
(2)腔体抽成负压完成后，一定要检查前置阀、粗抽泵要处于开启状态。否则会导致扩散泵内的油被烧坏。
1.筛选环境影响：环境影响被筛选为三大类，一类是被剔除、不再作任何评价分析的影响，如内部的、小的以及能被控抑的影响；另一类是需要作定性说明的影响，如那些大的但可能很不确定的影响；最后一类才是那些需要并且能够量化和货币化的影响。(3)镀膜机的水路与气路在关粗抽泵以前不能关掉，水路关掉会导致扩散泵冷却不够而扩散泵油被烧坏；气路关掉会导致各个阀门关不紧而空气进入氧化扩散泵油。
真空镀膜机操作规程
真空镀膜机操作规程
《真空镀膜机操作规程》
一、操作前准备
1. 确保真空镀膜机各部件状态正常，无故障。
2. 根据需要选择合适的膜材料和工艺参数。
3. 做好个人防护措施，穿戴好工作服、手套和防护眼镜等。
二、开机操作
1. 按照机器说明书进行正确的电源连接和开机操作。
2. 检查真空镀膜机的真空泵及抽气装置是否正常运转。
3. 启动控制面板，设置相关参数并进行预热。
三、装载工件
1. 选择适当的工件夹具，将工件放置在夹具上。
2. 将工件夹具安装到真空室内的装载平台上。
四、真空镀膜过程
1. 关闭真空室门，启动真空抽气系统。
2. 当真空度达到要求后，开始进行镀膜过程。
3. 根据工艺要求，控制镀层的厚度和均匀度。
五、结束操作
1. 镀膜完成后，停止镀膜系统的工作，等待真空室内气压恢复至正常压力。
2. 打开真空室门，将工件夹具取出，检查镀膜质量。
3. 关闭真空镀膜机，进行清洁和维护工作。
六、安全注意事项
1. 操作人员需熟悉机器的性能和操作流程，严格按照规程操作。
2. 操作过程中要注意保持机器和周围环境的清洁整洁。
3. 遵守相关安全标准和操作规范，确保人身和设备安全。
七、其他
1. 出现紧急情况时，应立即停止操作并报告相关人员。
2. 遵守环保法规，妥善处理废弃的膜材料和废气废水等。
3. 对真空镀膜机进行定期的维护保养，确保设备的长期稳定运转。
以上就是《真空镀膜机操作规程》，希望操作人员能够严格按照规程进行操作，确保镀膜工艺的质量和安全。
ZZS1100-8型箱式真空镀膜机操作手册
箱式真空镀膜机A01操作手册操作规程一、开机前检查水、电、气。
依次接通总水源、总气源、总电源。
1水：水塔储水充足，水压约0.2~0.25MPa,水流约20~30 L/min 水温≤20℃。
2电：总功率约50KW，220V/380V，50HZ。
3气：气压0.6Mpa。
二、开机。
打开总电源开关(总电源信号灯亮）—→真空自动→开机。
扩散泵温度必须大于250℃（约预热1小时）。
打开高压电源及高压开关，氧气阀打开，氧气总压力必须大于2MPa，氧气输出压力控制阀必须小于0.5MPa（一般在0.2MPa左右）。
打开监控系统电源，打开坩埚电源。
三、蒸发室清洁。
按下取件按钮打开室门。
用吸尘器吸掉室体内部表面灰尘，活动挡板和坩埚清洁，电子枪清洁及保养，检查晶振片更换。
四、材料添加。
首先检查坩埚号是否与制程相对应；坩埚是否转换到位。
不同材料有不同的添加方法，某些材料首次添加需按层次添加（每添加一层都要进行融药），材料每次不可添加的过多，材料的添加与消耗成正比。
五、蒸镀前。
以上步骤完成后卡伞方可上架，关闭蒸发室门（检查制程）—→真空六、加温烘烤。
当真空度达到低真空（低真空信号灯亮，真空度为3.0E-0）方可开烘烤，同时真空镀必须高于10-2Pa。
按下按钮烘烤1—→烘烤2—→烘烤3—→工转（工转的电压为1V，烘烤温度达到设定值320℃时.必须稳定10分钟。
）七、融药。
真空度达到高真空（高真空信号灯亮，真空度为5.0E-3。
）坩埚转换到手动打下控制开关自动—→手动。
电子枪转换到手动打下控制开关EXT—→INT。
打开外控选择按钮ACC—→FIL。
融料时需注意事项：1、挡板是否在关闭状态。
1、电子枪功率逐渐上升，要高于镀膜时的设定值。
2、高功率时电子枪斑点不可在坩埚边上融料。
3、高功率时电子枪斑点不可过小，融好后需在坩埚中心位置停留10秒。
融完后按下外控按钮OFF。
电子枪转换到自动INT—→EXT，同时EMN —→SCAM—→POS转换到自动。
全自动真空离子镀膜机操作手册说明书
全自动真空离子镀膜机操作手册地址：中国广东省潮州市潮安区凤塘镇创高真空 备工艺厂电话：+86－0768*******+86－0768*******第一打开择需作系一章：用开控制电源需要用的用系统。
用户登陆源后，触用户名，在陆画面说明摸屏启动在密码窗明动进入止画口输入相画面。
在“应的密码“用户名”码后点击确下拉菜单确定键进入点单的单选入操击下拉菜单选择相应用户名输入相应的密码报警显示示设备冷却开关压缩空气开关工关工件加热开关工件加热关热时间设置镀膜计延时计数时关机时间设设置工艺选择择输入手动设置跳至当前工动镀膜气体置曲线画第五工五章：工工艺层数 度工艺参数数设置画面气号面说明体编号说明工艺状态显示延时开源时间设弧电设置氩气输入框此层镀膜第六本画绿色六章：IO 画面显示色代表此O 监控画示PLC 的此IO=ON画面说明的输入输出N出状态，红色代代表此IO ＝OFF第七章：开机步骤说明1、打开控制柜上主断路器2、打开控制电源开关后等待触摸屏启动3、选择相应用户名称4、输入相应用户密码后点击“确定”进入系统画面5、点击“功能画面”6、打开“冷却水泵”开关后返回系统画面7、打开维持泵开关8、打开扩散泵开关9、检查设备冷却水、压缩空气是否正常，等待扩散泵温度达到90摄氏度以上。
10、打开弧电源的总电源开关和气瓶开关12、打开“滑阀泵”13、设定好需要的工艺参数并选择14、打开“系统自动开关”和“镀膜自动”15、装好工件后关闭大门开始粗抽直到充气完成后开门取出工件第七章：关机步骤说明1、“系统自动”和“系统手动”开关关闭2、关闭弧电源的总电源开关3、关闭滑阀泵和扩散泵4、点击“功能画面”设定好自动关机时间（一般是120分钟）5、打开“自动关机”功能开关6、达到设定的时间后系统自动关闭“维持泵”和“冷却水泵”7、关闭总电源。
镀膜机作业指导书
晶控自动镀膜系统作业指导书1．镀膜机开、关机操作开机1．打开主电源。
2．将“运行/待机”开关打道“待机”位置。
3．打开显示器和计算机电源，待计算机启动完成。
4．开机械泵。
5．开扩散泵。
6．将“运行/待机”开关打道“运行”位置。
7．扩散泵预热30分钟后可以工作了。
关机1．关闭扩散泵冷却30分钟2．将“运行/待机”开关打道“待机”位置。
3．关闭计算机4．关闭机械泵5．关闭主电源2.运行参数设置晶片初始频率：输入被镀晶片的中心频率，例如：12160－－12170KHZ应输入12165KHZ；如果要加镀高频片，先进行频率修正，然后在晶片初始频率中输入加镀高频片的中心频率。
注意加镀完毕后要及时把晶片初始频率修正回原始值。
晶片目标频率：输入镀到的目标频率，例如：12M晶体镀到1000PPM，晶片目标频率应输入12012KHZ；3.579M晶体镀到700PPM，晶片目标频率应输入3581.5KHZ单面镀膜时间：用于时间镀膜时钼舟打开的时间，时间长短以能将所有的银全部蒸发完为标准。
机台修正系数：用来调整计算的理论膜厚值与实际膜厚值的差异的。
在第一次镀某个系列晶片的时候，第一锅可以设为1，当前标晶频率：程序实测的标晶当前的频率。
标晶目标频率表示标晶应该达到的频率，达到这一频率后，被镀晶片也会达到目标频率了，以KHz为单位。
镀膜速率：标晶当前的变化速度，以Hz/S为单位。
数值大小与电流有关。
延时倒计时表示在所有延时程序中动态显示延时时间和剩余的延时时间。
当剩余时间变为0时，本次延时结束，以KHz为单位。
镀膜总时间为自动镀膜或取消自动镀膜的总的时间。
当前实测高真空度值和当前实测低真空度值为实测的高真空和低真空值。
串口通讯的真空计显示测量真空度值；指针表不显示。
3静态参数设置。
轰击真空预置：若真空计型号为指针，设置为0表示在低真空轰击，设置为大于0的整数，表示在高真空轰击。
若真空计型号为串口，设置为0表示在低真空轰击，设置1―100(RF离子轰击)，表示在高真空轰击。
江西真空镀膜机操作规程
江西真空镀膜机操作规程1. 引言本文档旨在详细说明江西真空镀膜机的操作规程。
真空镀膜机是一种常用的表面处理设备，用于在不同材料表面形成镀层，提高材料的耐磨性、耐腐蚀性和外观质量。
正确的操作和维护能够确保设备的稳定运行，并且可以获得理想的镀层效果。
2. 设备概述江西真空镀膜机是一种高真空设备，包括真空室、镀膜源、抽气系统、温度控制系统等部分。
在操作之前，需要确保设备正常运行并具备以下条件： - 真空室内无杂质、水分和油脂； - 抽气系统正常工作； - 温度控制系统稳定。
3. 操作流程3.1 准备工作1.穿戴防护服、手套和护目镜，确保人身安全。
2.检查真空室内是否有杂质、水分和油脂，清洁内部表面。
3.打开抽气系统，排除真空室内的气体，待抽气系统达到所需真空度后关闭。
4.打开温度控制系统，设定所需温度。
3.2 将待处理材料装载至真空室1.将待处理材料放置于真空室内，并确保材料表面清洁。
2.关闭真空室门，并确保密封完好。
3.3 开始真空镀膜1.打开镀膜源，并将膜材料放置于源上。
2.通过控制镀膜源的加热功率和温度，使膜材料升华，形成蒸气。
3.控制真空室内的气压，将蒸气沉积在待处理材料表面，形成镀层。
4.根据材料类型和所需镀层厚度，设定合适的镀膜时间。
3.4 结束操作1.关闭镀膜源，并等待蒸气完全停止。
2.打开抽气系统，排除真空室内气体，降低气压至大气压。
3.打开真空室门，取出已处理材料。
4.清洁真空室内表面，并关闭设备。
4. 操作注意事项1.操作人员应接受必要的培训，并了解设备的正常操作方法。
2.操作人员应遵守相关安全操作规范，佩戴个人防护装备。
3.在操作之前，必须确保真空室内无杂质、水分和油脂，以免影响镀层质量。
4.镀膜源使用过程中要小心，避免碰撞和损坏。
5.温度控制系统应保持稳定，避免过高或过低的温度对材料造成损伤。
6.操作结束后，必须彻底清洁设备，及时检修和维护设备。
5. 维护保养1.定期检查和清洁真空室内的各个部件。
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1、概述本设备采用箱式结构，抽气系统后置，便于拆卸和维修。
整机表面平整，便于清洁，适合净化间安装。
蒸发室全部采用不锈钢制造，外有可通冷、热水的护罩，可对壁进行加热(热水器选配)或冷却。
蒸发室底板有足够的面积布置蒸发源和各种接头。
阀门采用气动，操作方便，使用可靠。
液氮冷阱和水冷挡板设计为一整体。
蒸发室抽气口也设置一光学密封机械挡板，因此可使蒸发室的油污染降低到极低的程度。
本设备配备的抽气元件抽速较大，因此具有抽气时间短，工作真空度高，生产周期短等特点。
本设备适用于镀制各种多层光学薄膜和电学膜。
是有关工厂、研究院和大专院校进行生产和科研的理想设备。
2、主要技术数据2.1真空：2.1.1极限真空：2×10-4Pa。
2.1.2恢复真空：从大气→2×10-3Pa≤10min。
2.2 蒸发室：2.2.1直径：内部为φ1100mm。
2.2.2内腔尺寸：φ1100×1300mm。
2.2.3底板上有45个φ33.5通孔和2个斜光路孔。
3.3工件夹具：2.3.1外径φ1000mm。
2.3.2锥形球面夹具：2.3.3夹具转速N=3～31r.p.m。
2.4基片烘烤：可安装上下烘烤装置或其中一种，上烘烤为电阻丝（管状加热器）18KW(350℃全烘烤)；下烘烤为碘钨灯8KW(选配)，最高烘烤温度350℃，有上下烘烤接口。
2.5电阻蒸发电极：由技术协议确定，功率5KW/只。
2.6 2.7离子轰击：轰击电压0—300V2.8抽气系统2.8.1 主泵：K-630高真空油扩散泵，抽速12000L/s2.8.2 前级泵：ZJP-300罗茨泵，抽速300L/s2.8.3 2X-70机械泵：抽速70L/s2.9光路系统：2.9.1透、反射光路。
2.9.2六位(12位)比较片，另留一石英探头位置。
2.10其它2.10.1电源：3相220V/380V 50Hz2.10.2总功率：约40KW2.10.3耗水：约30L/min2.10.4压缩空气：5～6Mpa2.10.5水压:0.2～0.25MPa2.10.6总重量：（包括控电柜）约5吨2.10.7外型尺寸：主机：1390×3500×2300（宽×深×高）控电柜：1400×600×2100（宽×深×高）3、工作原理及结构说明该镀膜机由主机、控电柜二部份组成。
3.1主机部分：该主机在形式上与一般钟罩式镀膜机比较有显著的不同。
它没有升降系统，这就带来很多方便。
它可使工作间的高度大大降低，工作间的墙可以把蒸发室与脏的机械部份分开，有利于工作间的净化、操作和维修都极为方便。
蒸发室的壁由于是固定的，因此测厚系统保持相对稳定。
3.1.1蒸发室：由箱体和门组成。
两者用铰链连接，“O”型真空橡胶圈密封，密封压力主要依靠作用于门上的大气压力，预压力通过门上的凸轮压紧机构和铰链弹簧产生。
门上有两个φ125mm的视镜座，安装有挡板装置，观察孔径φ125mm，观察蒸发室工作情况。
箱体和门全部用不锈钢制造，蒸发室由下列各部分组成：3.1.1.1工件驱动装置：由位于蒸发室外的直流电机、蜗杆、蜗轮减速器和离合器与位于蒸发室内的一对啮合齿轮和工件架等组成。
直流电机的转动，通过减速器减速，带动离合器，使工件架转动。
直流电机可以无级调速。
位于真空室内侧的大轴承带有水冷套，避免由于蒸发室内温度过高而引起卡死现象发生。
该装置可以安装球面帽形夹具，平面园盘夹具，行星夹具，扇形平面夹具，还可以安装其它形式的夹具，并且互换非常方便。
3.1.1.1.1帽形球面夹具：由骨架和一个球形盘组成，骨架固定在驱动装置的三根螺杆上。
3.1.1.1.2扇形球面夹具：由骨架和四个扇形球面盘组成，骨架固定在驱动装置的三根螺杆上。
3.1.1.2电阻蒸发源：4对，共有6个水冷电极，左右分布，由转换开关转换。
3.1.1.3离子轰击装置：由轰击棒和高压引入电极组成。
用来对工件进行离子清洁。
轰击功率由操作面板上的旋钮调节。
该装置仅对工件夹具轰击，为使工件受到均匀轰击，放电时，工件夹具必须转动。
3.1.1.4工件烘烤装置：最高烘烤温度可达350℃，温度可在最高温度下任意设定。
3.1.1.5烘烤引线座：安装于箱体的顶盖上，有4根接线柱，供烘烤电源接线使用。
3.1.1.6挡板机构：共2套，由摆动气缸，扇形挡板组成。
摆动速度可调，挡板高度和距蒸发室中心的距离可调。
挡板起始位置可调节夹块安装位置来调整。
挡板动作可由操作盒上的按钮来控制。
3.1.1.7多脚引线座：共2个安装于蒸发室底板上。
蒸发室和电子枪偏转线圈接线通过上下插座连接于此线引座上。
维修拆装下插座位置时，注意接线方向，不能插错，该引线座剩余接线柱留作其它引线备用。
3.1.1.8真空测量管座：位于箱体后上方，有多个。
供安装各种真空测量管。
3.1.1.9室体放气阀：1个，位于箱体后方，供蒸发室放气之用。
该阀体用通径为φ10mm的气动放气阀，放气口安装有消音器，防止异物在放气时进入蒸发室内。
3.1.1.10微调真空阀：位于箱体左侧，供蒸发室手动充气用。
最大充气量为200托·升/秒。
3.1.1.11自动充气系统：见压强控制仪说明3.1.1.12蒸发室照明灯：功率15W，为低压（6V）溴钨灯，供蒸发室照明用，安装位置可以移动。
3.1.1.13。
水冷管：紧帖于蒸发室外壁，用不锈钢管焊接制造。
该水冷管在蒸发室放气之前可通热水，使之迅速加热，防止水蒸汽聚在蒸发室内表面，在工件加热烘烤和蒸发源工作期间，可通冷水，保护真空密封橡胶圈。
3.1.2真空系统：该机真空系统置于后面，安装和维修都极为方便。
机械泵置于设备最左侧，安放在地面上，罗茨泵安装在骨架上，骨架可用地脚螺钉固定于地面的地基上，这样机械泵和罗茨泵的振动通过波纹管、真空橡胶管和地基消振，使机械振动尽量不影响主机蒸发室。
3.1.2.1高真空阀：高真空系统的一个主阀，直径为φ1000mm，气缸驱动。
在蒸发室放气之前，关闭高真空阀，切断蒸发室同扩散泵之间的通路，使扩散泵保持高真空状态，蒸发室就可进行下一工作周期的准备。
当蒸发室抽到所要求的低真空度时，打开高真空阀，可对蒸发室进行高真空抽气。
3.1.2.2冷阱：置于高真空阀下，扩散泵口之上。
该冷阱具有通导能力大，挡油效果好，结构紧凑等优点。
3.1.2.3油扩散泵：见K-630型高真空油扩散泵技术说明书。
3.1.2.4罗茨泵：见ZJP-300型罗茨泵技术说明书。
3.1.2.5机械泵：见2X-70型机械泵技术说明书。
3.1.2.6低真空阀：采用通径为φ100mm的气动阀，用来切断前级真空系统与蒸发室的通路，操作方便，使用安全可靠。
3.1.2.7预真空阀：采用通径φ100mm的气动阀，用来切断前级真空系统与高真空油扩散泵的通路，操作方便，使用安全可靠。
3.1.2.8机械泵放气阀：安装在机械泵管路前处，机械泵停止工作时，机械放气阀自动向机械泵放大气，防止机械泵返油。
3.1.3水冷系统：3.1.3.1扩散泵冷却水路分上下独立两路，并分别设有保护装置（水流监控器），当水流低于规定值时，扩散泵加热电源自动切断，同时报警，以保证扩散泵安全工作。
3.1.4监控光路系统3.1.4.1 比较片为6位(12位)，电动选位。
3.1.4.2可透射和反射3.1.4.3可接受红外光和可见光3.2控制柜：本设备的控电柜采用了大板构和新型可编程控制器（PLC），比以前的结构更合理，显示直观全面，操作简单，维修方便；通过优化的程序控制，避免了手动误操作，提高了设备的安全和可靠性。
3.2.1结构简述3.2.1.1控电柜正面为带锁的门板，板上安装了进口数字温控仪、电压表、电流表、电位器及操作开关和指示灯，通过表头和指示灯可观测机器工作参数和状态。
3.2.1.2控电柜内部为电器板，安装真空系统控制元件，工转调速器，烘烤，阻蒸，轰击调功器及转接用接线座。
3.2.1.3控电柜底板上安装轰击用变压器。
3.2.2工作原理及操作说明3.2.2.1真空系统操作见电器说明书3.2.2.2工件烘烤两组电源，上烘烤最大功率12KW，下烘烤8KW，用调功器控制，利用温控仪给出的反馈信号自动调节。
注意：烘烤时必须先启动工件转动，蒸发室抽至高真空。
3.2.2.3离子轰击最大使用功率1KW，空载电压3KV，最高轰击电流500mA，功率调节用一体化调功器。
开轰击时应关好控电柜门，关主机门、开动工转，真空室内应抽至低真空，慢慢旋动调节电位器，当打火严重电流表指针频繁摆动圈较大时，应停止调节，待轰击一段时间电流稳定后再继续，若有短路，自动过流保护会切断轰击电源，这时应将电位器回零，复位后，再重新启动。
3.2.2.4电阻蒸发两组电源，每组最大功率4.5KW，用调功器控制，各供一组蒸发源。
两个阻蒸变压器安装在主机底板上，次级有2组抽斗，并联联接，工作电压0～8V，电流0～600A。
阻蒸电源开关在面板上，调节电位器在操作盒上。
注意：开阻蒸时必须先启动工件转动，蒸发室抽至高真空。
3.2.2.5工件转动及其它工转调速用直流电机调速器控制，用面板上的电位器手动调节，可实现无级调速，工作电压DC0～200V。
热水由按钮及电器共同控制，功率4.5KW，照明由按钮控制。
3.2.2.6报警门板上有报警停止按钮，当气源低于工作压力及蒸发源水流异常时，报警器会报警，按停止报警可关闭报警器，处理完故障后再复位停止报警按钮。
4.安装和调试4.1拆箱：设备分三箱包装，主机装一箱，控电柜装一箱，备件装一箱，拆箱时取出装箱单和技术文件，按装箱单清点设备和备件，擦净表面灰尘和防锈油，与此同时检查设备搭运输过程有何损坏。
4.2将设备安装在工作位置。
相对位置如图3所示，机械泵和罗茨泵可以安装在主机后方，控电柜安放在主机右侧，具体位置由用户现场确定。
4.3安装测量规管4.4安装工件夹具4.5安装仪器、仪表及控电柜与主机各部位连接线包括测量插头等。
4.6接通电源4.7接通水源，水压不低于0.2Mpa，接通气源（供气压力0.6Mpa,工作压力0.4～0.45Mpa）4.8启动设备前应进行下列检查和调试。
4.8.1检查设备接地是否可靠，电气部份是否正确。
4.8.2取下机械泵皮带轮上的皮带，启动电机，检查电机运转方向与机械泵转箭头方向是否一至，然后再套上皮带。
4.8.3检查罗茨泵运转方向与箭头方向是否一致（详见罗茨泵使用说明书）。
4.8.4检查有关部件的连接螺钉是否拧紧，特别是真空系统的连接螺钉。
4.8.5检查各转动机构的传动是时否灵活，有无卡滞现象。
4.8.6打开蒸发室，对蒸发室内壁和内部零件进行清洁，检查蒸发室内各电极接线是否正确。
尤其注意电阻蒸发电极是否与防污板相碰。
4.8.7对蒸发室试抽真空，检查是否能达到应达到的真空指标。