国产镀膜机作业指导书

1. 目的/范围

规范镀膜操作工艺，确保安全生产。

2. 定义/缩写词

NA

3. 参考文件

NA

4. 职责与权限

本文件适用于高意光学镀膜中心镀膜工种，在所有工程师商讨通过之后有权改动其中内容。文件制定、执行者姜海，镀膜总工艺李全民对此文件有最终解释权。

5. 工具及设备

国产镀膜机及配件、分光光度计。

6. 作业内容

1膜厚控制方式：过正极值法、定值法和晶控法。

2镀膜操作步骤：

2.1镀膜员工基本要求：

每天早晨开机之前了解一天内所要镀的产品，镀每一灶之前都要检查核对派工内容，检查产品或试镀品的生产任务单号、数量、镀膜指标，跟据相应的指标找出《镀膜生产工艺卡》，无相应镀膜生产记录表，操作员有权利拒绝镀膜。

2.2开机：

2.2.1确认总电源、总气路、总循环水正常工作，开启镀膜机总电源。 (重要环节/语言很难描述的环节)

2.2.2北仪：依次开（维持泵）、机械泵、前级阀、扩散泵，扩散泵温

度到设定温度（须预热60分钟以上才能正常工作）。

南光：依次开机械泵、预阀、扩散泵（1#镀膜机260℃，7#镀膜

机230℃，8#镀膜机240℃），各阀门开关间隔5秒。

2.2.3依次开启真空计、晶控仪、膜厚控制仪、气体流量显示仪、光源

（预热80分钟，非正常工作下电流值调至工作状态的一半）、单

色仪控制器、工转电源、计时器和照明。

2.3热机

2.3.1如果超过8小时未开机，除7#镀膜机，其余都需要热机。各机台

大清洗之后，必须热机。

2.3.2 按照此文件依次执行抽低真空、抽高真空、镀膜前准备等各步

骤，开烘烤到100℃恒温10分钟。

2.3.3开启离子源、电子枪，使机器处于镀膜状态，镀Ta2O5膜料

10nm ，镀膜之后关闭电子枪，离子源，此操作为检验镀膜机各设

备是否处于正常工作状态。

2.3.4按此文件执行镀膜后步骤，以上步骤具体内容详见下文。

2.4抽真空前准备：

2.4.1北仪： 按充气阀对真空室充气，充气完毕关充气阀。

南光：按放气阀对真空室充气（此时系统报警，十秒钟后报警消

失，无报警系统镀膜机省略此步骤），充气完毕关放气阀。

2.4.2打开真空室门，取下产品和陪镀片，清扫真空室内的粉尘(注意做

卫生前一定要用离子源盖盖住离子源头，以免灰尘落入离子源中

造成短路或打火，卫生完成后要记得取走离子源盖并且用吸尘器

吸一遍离子源表面的灰尘)。

北仪：将用过的光控片取出，放到回收出，将擦好的光控片放在

监控盘中，检查光路是否照射在光控片正中心，如果没有及时调

整。

南光：将用过的光控片取出（六个光控片为一个单元，当六位都

用完之后更换整盘光控片），放到回收出，将擦好的光控片放在

监控盘中，检查光路是否照射在光控片正中心，如果没有及时调

整更换光控片。

晶控片检查：按住两侧卡簧小心取出晶控片装载盒（当晶控仪显

示晶控片寿命小于94%时，更换晶控片），倒出晶控片，放在回

收盒内，取新的晶控片放入装载盒中，按住两侧卡簧小心把装载

盒放回晶控探头中，依次按abort 、reset 、start(必须在手动控制

状态)键后晶控寿命显示为99或98，并且无报警，说明更换成

功，然后退出控制状态。添加膜料具体步骤详见《镀膜膜料作业

指导书》。检查光路，并吸除光路中的灰尘（如果有垢吸除不

了，应用光学擦拭用的绸布沾酒精对表面进行清洁，如果仍然清

洁不了，影响通光，通知设备人员进行更换或取出抛亮）。检查

单色仪（入射光狭缝宽度0.72mm ，出射光狭缝宽度0.12mm ）、电子枪挡板、电子枪偏转（X 、Y ）、离子源接线，如有异常应及

时修复（所列检查项目详见《镀膜自检表》）。

2.4.3关闭真空室门，空抽一分钟后充气，静置五分钟。

2.4.4打开真空室门，将工件盘装入真空室，同时根据需要装上已经擦

拭的陪镀片，陪镀片材料和数量按照各机台相应《镀膜生产工艺

卡》中规定放置。参照《镀膜操作自检表》的装件的核对各项工

作是否已经完成，经相关人员确认自检无误后关闭真空室门。2.5抽真空：

2.5.1北仪：开机械泵，开预抽阀，(未使用维持泵的应先关前级，再开

预抽)，当真空抽至P=100Pa时，开光栏阀（无光栏阀的省去这

一步）。

南光：关闭预阀，开低阀，当真空室内真空度（真空计左端读

数）抽至6Pa时，关闭低阀。

2.5.2北仪：室真度抽至30Pa时，开罗茨泵，抽至3Pa时(无罗茨泵抽

到7Pa)，关闭预抽和光栏阀，开前级阀、高阀。高阀开后热镀工

艺要开启烘烤并设定温度及预设电流。

南光：开预阀，当扩散泵冷阱真空度（真空计右端读数）抽至小

于5.0×10-1Pa时，开高阀（此时要求真空室内真空度小于

8Pa）。注意：如果开预阀后马上开高阀，扩散泵冷阱真空度则

低于真空室内真空度，这样会导致扩散泵油进入真空室（“返

油”），严重影响镀膜质量，所以一定要按以上要求操作。开截

止阀Ⅰ、Ⅱ，如果需要热镀，则开烘烤计时、烘烤电压，将烘烤

电压或电流缓慢调至预定值，同时开工转电压，并调至50V，烘

烤相关设定按《镀膜生产工艺卡》规定设置。

2.5.3北仪：当镀膜室真空抽至2×10-2Pa时，关闭罗茨泵(无罗茨泵的

省去这一步)，当镀膜室真空抽至本底真空时，并且有烘烤要达到

恒温时间，两条件同时具备时，然后提高工件旋转至镀膜时要求

转速，准备镀膜。

南光：待真空抽至本底真空时准备开始镀膜。

2.6镀膜前准备：

2.6.1北仪：开启光控膜厚仪电源，光源电源，以及光电倍增管高压电

源开关，将光信号调到预定值（见相应《镀膜生产工艺卡》），

打开电子枪电源，对电子枪进行预热。

南光：开扫描电源、枪灯丝电源，通过调节预置将灯丝电流调到

0.4A，3分钟之后开高压，提高工件盘旋转电压至150V±5V，调