国产镀膜机作业指导书
电镀作业指导书
电镀作业指导书1. 介绍电镀是一种常用的表面处理技术，通过在金属表面形成一层金属覆盖层，提高其耐腐蚀性、硬度和美观度。
本指导书旨在提供电镀作业的详细步骤和操作要求，确保作业过程安全、高效。
2. 准备工作2.1 确保操作场所通风良好，排除火源和易燃物。
2.2 确保操作人员佩戴个人防护装备，如防护眼镜、手套和防护服。
2.3 检查电镀设备和工具的完好性，确保电源安全可靠。
3. 材料准备3.1 选择适合的电镀液，根据被处理金属的种类和要求确定电镀液的成分和浓度。
3.2 准备电镀液所需的化学品和添加剂，确保其质量合格。
3.3 准备金属工件，确保其表面清洁、无油污和杂质。
4. 作业步骤4.1 清洗工件4.1.1 将金属工件浸泡在去油剂中，去除表面的油污和杂质。
4.1.2 用清水冲洗工件，确保去油彻底。
4.1.3 将工件浸泡在酸性溶液中，去除金属表面的氧化物和污垢。
4.1.4 再次用清水冲洗工件，确保酸性溶液完全清除。
4.2 预处理4.2.1 将工件浸泡在活化剂中，提高其表面的活性和粗糙度。
4.2.2 再次用清水冲洗工件，确保活化剂完全清除。
4.3 电镀4.3.1 将工件悬挂在电镀槽中，确保与阳极连接。
4.3.2 调节电镀槽中的电流密度和温度，根据工件的尺寸和要求确定合适的数值。
4.3.3 将电镀液倒入电镀槽，确保液位覆盖工件表面。
4.3.4 开启电源，开始电镀过程，根据工件的要求设定电镀时间。
4.4 后处理4.4.1 关闭电源，取出电镀好的工件。
4.4.2 用清水冲洗工件，确保电镀液完全清除。
4.4.3 将工件浸泡在防锈剂中，提高其耐腐蚀性。
4.4.4 将工件晾干或用热风吹干。
5. 质量控制5.1 对电镀液进行定期检测，确保其成分和浓度符合要求。
5.2 对电镀工件进行外观检查，包括光泽度、平整度和无明显缺陷。
5.3 进行耐腐蚀性测试，确保电镀层的质量和稳定性。
6. 安全注意事项6.1 严禁在电镀作业过程中吸烟或使用明火。
镀膜机操作说明书
(3)半自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，在触摸屏上面按住自动按钮不放，几秒钟后，按钮会在自动和半自动之间转换，将按钮调至半自动，然后按下控制面板左边的自动按钮。程序会自动控制到J6灯亮（显示屏上会显示不停闪动的可镀），需手动操作整个蒸发过程，以及剩余操作。
7.漏气的排查：主要是在粗抽或者精抽时会出现真空度一直抽不上去的现象。一般需要一人盯住真空计上面的真空度，另外一人根据当时工作的泵在其各个接口处滴撒乙醇，乙醇滴到哪个接口时真空度急剧上升则说明该阀门漏气。
镀膜机日常维护：
1.镀膜机的粗抽泵油和扩散泵油一般3个月换一次：都得拆开用乙醇擦洗，然后换新油。
2.镀膜机的腔体在每次真镀上产品前必须对铝屑等杂质进行清扫。腔体的不锈钢挡板需2周左右用烧碱洗一次。挡板清洗后，第一次真镀以前，要手动抽真空半小时左右，以将挡板上的水汽及其它的可挥发杂质除掉。
3.镀膜机的蒸发工艺参数设定：从电压上来说，蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.蒸发3个过程；从时间上来说蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.熔融保持4.蒸发5.蒸发保持等5个阶段。一般来说，电压的设定按照过程要逐渐增大，但是最大为6.0V。电压与各个时间的设定值要需要参照镀出来的产品是否发黄、飞铝等问题来调整。（蒸发与蒸发保持阶段的时间与压力的减小一般不造成真镀后的产品附着力不佳的情况。
2.水路开启：打开楼上冷却塔的扇叶冷凝。
3.电路开启：检查电柜箱的闸刀是否送上（一般情况下是送上的），开启镀膜机右边的电源总闸——调至ON档位，在镀膜机正上面的控制面板上，按下电源控制，开启真空计、按下粗抽泵，开启前置阀，检查水泵是否在工作，水路是否通畅，过几分钟至J1灯亮后开启扩散泵。待扩散泵开启约45Min后可以进行真镀操作。
电镀作业指导书
电镀作业指导书一、引言电镀作业是一种常见的表面处理工艺，用于提高金属制品的耐腐蚀性、外观美观度和机械性能。
本指导书旨在为电镀作业人员提供详细的操作步骤和注意事项，以确保电镀作业的质量和安全。
二、作业准备1. 设备准备：a. 电镀槽：根据作业要求选择适当的电镀槽，并确保其清洁、完好无损。
b. 电源设备：检查电源设备的工作状态和安全性能，确保其正常运行。
c. 温度控制装置：根据电镀液的要求，调节温度控制装置至合适的温度范围。
d. 配件：准备好所需的电极、导线、夹具等配件，并确保其干净、无损。
e. 个人防护装备：佩戴防护手套、护目镜、防护服等个人防护装备。
2. 电镀液准备：a. 根据作业要求选择合适的电镀液，并按照厂家提供的配方准确配制。
b. 检查电镀液的pH值、浓度和温度，确保其符合要求。
c. 检查电镀液的搅拌设备和过滤装置，确保其正常工作。
三、作业操作1. 准备工件：a. 清洗工件：将待电镀的工件进行清洗，去除表面的油污和杂质。
b. 防护处理：根据需要，在工件表面进行防护处理，如钝化、酸洗等。
2. 工件固定：a. 使用夹具或导线将工件固定在电极上，确保工件与电极之间有良好的接触。
b. 确保工件表面与电极之间不会发生接触，避免出现电镀不均匀的问题。
3. 电镀操作：a. 将固定好的工件放入电镀槽中，确保工件完全浸入电镀液中。
b. 根据作业要求，调节电镀槽中的电流密度、电压和时间等参数。
c. 控制电镀液的温度和搅拌速度，保持其在合适的范围内。
4. 检查工件：a. 定期检查工件的电镀层厚度、均匀性和质量，确保其符合要求。
b. 如发现电镀层存在问题，及时调整电镀参数或进行修复处理。
四、安全注意事项1. 个人防护：a. 佩戴防护手套、护目镜、防护服等个人防护装备，避免直接接触电镀液和有害物质。
b. 避免长时间暴露在电镀液的蒸汽和气味中，保持良好的通风环境。
2. 设备安全：a. 定期检查电源设备和温度控制装置的工作状态，确保其安全可靠。
IR镀膜标准作业书 B2
工站工具工具台灯细沙皮、无尘布吸盘勺子、吸尘器、刀片吸尘器、刀片3 确认套环4 确认光控，晶控，APS5 选程序6 放置产品吸盘吸尘器，刀片膜料APS COIL APS 偏压温度蒸发速率8 取产品TI3O51.25--1.35A100V120℃0.35nm/s9 清洁腔体SIO2 1.45--1.55A 150V 120℃0.8nm/s光度计，翘曲平台，塞尺填写相关记录轻拿轻放，两个人共同确认膜料水平与坩埚口齐平直接影响产品外观直接影响产品翘曲在更换阳极筒的同时，用手电筒检查APS内部，如有异物，应清扫两人共同确认，要打开程序确认主要参数，见本SOP左下角镀膜前后的产品一律放在黄光区清洗和镀膜的间隔时间超过2小时，或者发现玻璃表面有脏污，必须重工清洗人员进入喷砂房作业后需至更衣室更换干净手套，并在风淋室清洁后方可进入镀膜区如果人手足够，第一步入站检查和第二步腔体清洁可以同时进行，但是在准备上片的时候，机台必须清洁保养完毕，吸尘器关闭背对真空室门，开门，然后等半分钟再进行操作。
防止吸入氮气造成的身体不适。
在开门前应确保polycold处于待机状态，如果还在制冷状态，应先按F4-S3除霜坩埚挡板及护板,APS阳极筒每炉更换一次，polycold护板和APS保护锡纸每两炉换一次WOC IR 镀膜标准作业书页 次2014-11-5制作部门1350镀膜机、吸尘器，刀片、勺子、吸盘，光度计，翘曲平台，塞尺，细沙皮备注WOC镀膜机种待镀膜产品文件编号初版发行日期新版发行日期B22/2WOC 事业部QT-WI-OCR-102005文 件 名 称版 本2012-11-1210.1 每炉取光控片和1片wafer测试上、中、下三处的光谱曲线，每炉每片测试翘曲。
10.2 每炉取2片监控片，做三次回流焊。
10 产品检测品质注意事项说明1. 程序和镀膜面必须两人共同确认并做相应记录；2. 腔体清洁应本着从上到下，从里到外的顺序操作；3. 不镀膜的时候，须保持抽真空状态。
国产镀膜机作业指导书
国产镀膜机作业指导书1. 目的/范围规范镀膜操作工艺，确保安全生产。
2. 定义/缩写词NA3. 参考文件NA4. 职责与权限本文件适用于高意光学镀膜中心镀膜工种，在所有工程师商讨通过之后有权改动其中内容。
文件制定、执行者姜海，镀膜总工艺李全民对此文件有最终解释权。
5. 工具及设备国产镀膜机及配件、分光光度计。
6. 作业内容1膜厚控制方式：过正极值法、定值法和晶控法。
2镀膜操作步骤：2.1镀膜员工基本要求：每天早晨开机之前了解一天内所要镀的产品，镀每一灶之前都要检查核对派工内容，检查产品或试镀品的生产任务单号、数量、镀膜指标，跟据相应的指标找出《镀膜生产工艺卡》，无相应镀膜生产记录表，操作员有权利拒绝镀膜。
2.2开机：2.2.1确认总电源、总气路、总循环水正常工作，开启镀膜机总电源。
(重要环节/语言很难描述的环节)2.2.2北仪：依次开（维持泵）、机械泵、前级阀、扩散泵，扩散泵温度到设定温度（须预热60分钟以上才能正常工作）。
南光：依次开机械泵、预阀、扩散泵（1#镀膜机260℃，7#镀膜机230℃，8#镀膜机240℃），各阀门开关间隔5秒。
2.2.3依次开启真空计、晶控仪、膜厚控制仪、气体流量显示仪、光源（预热80分钟，非正常工作下电流值调至工作状态的一半）、单色仪控制器、工转电源、计时器和照明。
2.3热机2.3.1如果超过8小时未开机，除7#镀膜机，其余都需要热机。
各机台大清洗之后，必须热机。
2.3.2 按照此文件依次执行抽低真空、抽高真空、镀膜前准备等各步骤，开烘烤到100℃恒温10分钟。
2.3.3开启离子源、电子枪，使机器处于镀膜状态，镀Ta2O5膜料10nm ，镀膜之后关闭电子枪，离子源，此操作为检验镀膜机各设备是否处于正常工作状态。
2.3.4按此文件执行镀膜后步骤，以上步骤具体内容详见下文。
2.4抽真空前准备：2.4.1北仪：按充气阀对真空室充气，充气完毕关充气阀。
南光：按放气阀对真空室充气（此时系统报警，十秒钟后报警消失，无报警系统镀膜机省略此步骤），充气完毕关放气阀。
电镀作业指导书
电镀作业指导书一、任务背景电镀是一种常见的表面处理工艺，通过在金属表面镀上一层金属或合金，可以提高材料的耐腐蚀性、硬度和美观度。
为了确保电镀作业的质量和安全，制定本指导书，详细介绍电镀作业的流程、要求和注意事项。
二、作业流程1. 准备工作a. 确保作业场所通风良好，并配备必要的防护设备，如防护眼镜、手套和呼吸器等。
b. 检查电镀设备和工具的完好性，确保正常运行。
c. 准备所需的电镀液、阳极和阴极等材料。
2. 表面处理a. 清洗金属工件，去除表面的油污和杂质。
b. 酸洗处理，去除氧化层和金属表面的污染物。
c. 洗净工件，确保表面干净无尘。
3. 电镀操作a. 将清洗后的工件放置在电镀槽中，确保与阳极接触良好。
b. 设置适当的电流密度和电镀时间，根据工件的尺寸和要求进行调整。
c. 注意控制电镀液的温度和搅拌速度，保持稳定的工艺参数。
d. 定期检查电镀液的成分和浓度，根据需要进行补充和调整。
4. 后处理a. 将电镀完成的工件从电镀槽中取出，用清水冲洗去除残留的电镀液。
b. 检查工件的表面质量，如有不良现象，及时进行修复或重新电镀。
c. 进行必要的抛光、清洗和干燥等处理，使工件达到要求的光洁度和外观。
三、作业要求1. 安全要求a. 作业人员必须佩戴防护设备，并接受相关的安全培训。
b. 严禁在电镀作业过程中吸烟、饮食或使用手机等可能引发火灾的行为。
c. 定期检查电镀设备和电源线路，确保其安全可靠。
2. 质量要求a. 严格按照工艺要求进行电镀操作，确保工件的表面光洁、均匀和无缺陷。
b. 检测电镀层的厚度和附着力，确保达到要求的技术指标。
c. 进行必要的质量记录和检验，以便追溯和改进作业质量。
3. 环境要求a. 控制电镀液的废液排放，采取合适的处理措施，以减少对环境的影响。
b. 定期清洁作业场所，防止电镀液和废液的溢漏和扩散。
四、注意事项1. 注意个人防护，避免接触电镀液和废液，以免引起皮肤和呼吸道等健康问题。
电镀作业指导书
电镀作业指导书引言概述:电镀是一种常见的表面处理技术，它通过在金属表面涂覆一层金属膜来改善其外观和性能。
然而，电镀作业需要严格的操作规范和技术要求，以确保安全和质量。
本文将介绍电镀作业的指导书，以帮助操作人员正确进行电镀作业。
正文内容:1. 准备工作1.1 确定电镀目标：在进行电镀作业之前，首先需要明确需要电镀的金属和所需的电镀层的厚度和性质。
1.2 检查设备和材料：确保电镀槽、电源、电极和电镀液等设备和材料完好无损，并按照操作规范进行校验和清洁。
2. 操作步骤2.1 准备工件：将待电镀的金属清洗干净，去除表面的油污和氧化物。
2.2 预处理：根据需要，可进行酸洗、碱洗、除锈等预处理步骤，以提高电镀层的附着力。
2.3 电镀操作：将处理好的金属放入电镀槽中，连接电极和电源，调整电流和电镀时间，进行电镀作业。
2.4 清洗和干燥：电镀完成后，将金属从电镀槽中取出，进行清洗和干燥，以去除残留的电镀液和水分。
3. 安全注意事项3.1 防护措施：操作人员应佩戴防护手套、护目镜等个人防护装备，以防止电镀液对皮肤和眼睛的伤害。
3.2 通风设施：电镀作业应在通风良好的环境中进行，以避免有害气体的积聚和操作人员的中毒风险。
3.3 废液处理：废液应按照相关法规进行处理，以防止对环境造成污染。
4. 质量控制4.1 厚度检测：使用合适的测量仪器，对电镀层的厚度进行检测，以确保达到设计要求。
4.2 耐腐蚀性测试：对电镀层进行耐腐蚀性测试，以评估其在不同环境条件下的抗腐蚀性能。
4.3 外观检查：对电镀层的外观进行检查，包括均匀性、光泽度和无明显缺陷等。
5. 故障排除5.1 电流不稳定：检查电源和电极的连接，确保良好的接触，排除电流不稳定的原因。
5.2 电镀层不均匀：调整电镀槽中的电极位置和电流分布，以获得均匀的电镀层。
5.3 电镀层剥落：检查预处理步骤是否充分，确保金属表面的清洁和附着力，以避免电镀层剥落的问题。
总结:电镀作业是一项需要严格遵循操作规范和技术要求的表面处理技术。
电镀作业指导书
电镀作业指导书一、背景介绍电镀作业是一种常见的表面处理工艺，通过在金属表面涂覆一层金属或合金，以增加金属的耐腐蚀性、美观性和机械性能。
为了确保电镀作业的质量和安全，制定本指导书旨在提供详细的作业步骤和注意事项。
二、作业准备1. 确保作业场所通风良好，避免有害气体积聚。
2. 提供必要的个人防护装备，包括防护眼镜、防护手套、防护服等。
3. 检查电镀设备的工作状态和安全性能，确保其正常运行。
4. 准备所需的电镀液、电极和辅助设备。
三、作业步骤1. 准备工件：将待镀件清洗干净，去除表面的油脂和污垢。
2. 预处理：根据工件的材质和要求，进行适当的预处理，如酸洗、碱洗等。
3. 电极选择：根据工件的形状和尺寸，选择合适的电极，并确保其与工件有良好的接触。
4. 电镀液配置：按照电镀液的配方，准确称取所需的化学品，并按照比例混合。
5. 调节工艺参数：根据工件的要求和电镀液的特性，调节电流密度、温度、时间等工艺参数。
6. 作业操作：将工件悬挂在电极上，确保工件与电极之间的距离适当。
启动电源，开始电镀作业。
7. 监控作业过程：定期检查电镀液的浓度、温度和PH值，并根据需要进行调整。
8. 完成作业：根据电镀液的工艺要求，控制电镀时间，确保工件达到所需的镀层厚度。
9. 清洗工件：将电镀后的工件从电极上取下，用清水彻底冲洗，去除电镀液残留。
10. 检验质量：对电镀后的工件进行质量检验，包括外观检查、厚度测量等。
四、注意事项1. 严格遵守操作规程和安全操作规定，确保作业人员的人身安全。
2. 电镀液的配制和调节应准确无误，避免因工艺参数不当导致质量问题。
3. 作业过程中要注意电镀液的浓度、温度和PH值的监控和调整，确保作业质量稳定。
4. 作业结束后，及时清洗和维护电镀设备，保持设备的正常运行。
5. 作业现场要保持整洁，避免杂物进入电镀液中，影响作业质量。
6. 作业人员要经过专业培训，并持有相关证书，具备一定的电镀作业经验。
五、常见问题解决方法1. 电镀液浓度过高或过低：根据工艺要求，调整电镀液的配方比例。
电镀作业指导书
电镀作业指导书一、背景介绍电镀是一种常见的表面处理技术，通过在金属表面涂覆一层金属或合金，以提高其耐腐蚀性、美观性和耐磨性。
本指导书旨在提供电镀作业的详细步骤和注意事项，以确保作业安全和质量。
二、作业准备1. 确定电镀材料：根据客户需求和产品要求，选择合适的电镀材料，如镍、铬、锌等。
2. 准备基材：确保基材表面干净、光滑，无油污、氧化物等杂质。
3. 准备电镀设备：包括电镀槽、电源、电极、电镀液等设备和材料。
4. 确定电镀工艺参数：根据电镀材料和基材的特性，确定适当的电流密度、温度、时间等工艺参数。
三、作业步骤1. 清洗基材：将基材浸入去离子水中，去除表面的油污和杂质，然后用酸性溶液进行酸洗，去除氧化物。
2. 防护处理：在基材表面涂覆一层防护剂，以防止电镀液对基材的腐蚀。
3. 镀前处理：将基材浸入活化溶液中，去除残留的防护剂和酸洗剂，使基材表面更容易被电镀液吸附。
4. 电镀操作：将基材悬挂在电镀槽中，连接电源和电极，调节电流密度和温度等参数，开始电镀过程。
根据需要，可进行多次电镀以增加镀层厚度。
5. 镀后处理：将电镀好的产品取出，用清水冲洗去除电镀液残留，然后进行烘干和抛光等处理，以获得所需的表面光洁度和质感。
四、作业安全注意事项1. 个人防护：作业人员应佩戴防护手套、眼镜、口罩等个人防护装备，以防止电镀液对皮肤和眼睛的刺激和伤害。
2. 通风设施：作业场所应具备良好的通风设施，以排除电镀液中产生的有害气体和蒸汽。
3. 废液处理：废液应妥善处理，遵守环保法规，防止对环境造成污染。
4. 火源防控：电镀作业场所应远离明火和易燃物品，以防止火灾事故的发生。
5. 应急措施：作业场所应配备相应的急救设备和应急处理方案，以应对突发情况。
五、质量控制1. 电镀液配制：严格按照配方比例和工艺要求，正确配制电镀液，以确保镀层质量。
2. 工艺参数控制：严格控制电流密度、温度、时间等工艺参数，以保证镀层的均匀性和质量。
3. 检测方法：采用合适的检测方法，如厚度测量、耐腐蚀性测试等，对电镀层进行质量检验，确保符合产品要求。
镀膜机操作说明书
镀膜机日常维护：
1.镀膜机的粗抽泵油和扩散泵油一般3个月换一次：都得拆开用乙醇擦洗，然后换新油。
2.水路开启：打开楼上冷却塔的扇叶冷凝。
3.电路开启：检查电柜箱的闸刀是否送上（一般情况下是送上的），开启镀膜机右边的电源总闸——调至ON档位，在镀膜机正上面的控制面板上，按下电源控制，开启真空计、按下粗抽泵，开启前置阀，检查水泵是否在工作，水路是否通畅，过几分钟至J1灯亮后开启扩散泵。待扩散泵开启约45Min后可以进行真镀操作。
2.镀膜机的腔体在每次真镀上产品前必须对铝屑等杂质进行清扫。腔体的不锈钢挡板需2周左右用烧碱洗一次。挡板清洗后，第一次真镀以前，要手动抽真空半小时左右，以将挡板上的水汽及其它的可挥发杂质除掉。
3.镀膜机的蒸发工艺参数设定：从电压上来说，蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.蒸发3个过程；从时间上来说蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.熔融保持4.蒸发5.蒸发保持等5个阶段。一般来说，电压的设定按照过程要逐渐增大，但是最大为6.0V。电压与各个时间的设定值要需要参照镀出来的产品是否发黄、飞铝等问题来调整。（蒸发与蒸发保持阶段的时间与压力的减小一般不造成真镀后的产品附着力不佳的情况。
二、真镀操作
1.真镀操作流程：
换钨丝——换铝丝——上产品——关门——关前置阀——开启粗抽阀——（至J5灯亮）关粗抽阀——开前置阀——开精抽阀——（至J6灯亮）开蒸发开关——调节蒸发电流——蒸发电流复位——关蒸发开关——关精抽阀——（10S左右后）按下工作室放气——开门。
2.操作说明：
电镀作业指导书
电镀作业指导书一、引言本指导书旨在提供电镀作业的详细步骤和操作规范，以确保电镀过程的安全性、高效性和质量。
本指导书适用于各种电镀工艺和材料的作业，包括但不限于金属电镀、塑料电镀等。
二、作业前准备1. 确定电镀工艺和材料：根据客户需求和产品要求，选择合适的电镀工艺和材料。
2. 准备设备和工具：确保电镀设备和工具的完好无损，并进行必要的维护和保养。
3. 准备化学药品和溶液：根据电镀工艺要求，准备所需的化学药品和溶液，并按照安全操作规范进行储存和标识。
4. 搭建作业环境：确保作业场所干燥、通风良好，并设置必要的安全设施，如防护眼镜、防护手套等。
三、作业步骤1. 清洗和除油：将待电镀的工件进行清洗和除油处理，以去除表面的污垢和油脂，保证电镀层的附着力。
2. 酸洗：根据电镀工艺要求，将工件浸泡在适当的酸性溶液中，去除表面的氧化物和锈蚀物。
3. 激活：将经过酸洗的工件浸泡在激活溶液中，以提高金属表面的活性，增强电镀层的附着力。
4. 镀前处理：根据不同的电镀工艺，进行必要的镀前处理，如钝化、活化等。
5. 电镀：将经过前期处理的工件浸泡在电镀槽中，通过电解作用，在金属表面形成均匀的电镀层。
6. 清洗：将电镀完成的工件进行清洗，去除电镀过程中产生的杂质和残留的化学药品。
7. 干燥和固化：将清洗干净的工件进行干燥处理，并根据需要进行固化，以提高电镀层的耐磨性和耐腐蚀性。
8. 检验和质量控制：对电镀完成的工件进行外观检查和性能测试，确保电镀层的质量符合要求。
四、安全注意事项1. 严格遵守化学药品的储存和使用规范，确保化学品的安全性和稳定性。
2. 在作业过程中，必须佩戴适当的防护设备，如防护眼镜、防护手套等，以防止化学药品的溅射和接触。
3. 作业场所必须保持干燥、通风良好，以防止化学药品的蒸发和积聚。
4. 严禁在作业场所吸烟、饮食或使用易燃物品，以防止火灾和爆炸的发生。
5. 作业人员必须经过专业培训，了解电镀工艺和操作规范，并严格按照要求进行作业。
镀膜机操作指引
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客户型号
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工序号 工 序 名 称
标准作业指导书
Standard Operation Procedure
文件编号 版本
工序编号
SOP-镀膜 A
001
工站名称
镀膜机操作指引
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页数
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作业步骤
图片
作业说明
备注
/ 镀膜机整体图示
蒸发器温控（保护）
冷阱温控（保 护）
/
镀膜机操作面板 各按钮说明
当，膜会渗到连接器的
端子上。
客户名称
/
客户型号
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工序号 工 序 名 称
标准作业指导书
Standard Operation Procedure
文件编号 版本
工序编号
SOP-镀膜 A 001
工站名称
镀膜机操作指引
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页数
6/10
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作业步骤
图片
作业说明
备注
14.c 贴胶布
14.d
用胶布将保护盖与连接器之间 注意：胶布不可沾到电
客户名称
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客户型号
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工序号 工 序 名 称
21
打开盖子，取出 钢网
标准作业指导书
Standard Operation Procedure
文件编号 版本
工序编号
SOP-镀膜 A 001
工站名称
镀膜机操作指引
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页数
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作业步骤
图片
作业说明
备注
大约5分钟后（排完气），可以 打开Chamber密封盖子，取出钢 网，检查线与钢网接触面是否 完好；
16.d
电镀作业指导书
电镀作业指导书一、背景介绍电镀是一种常用的表面处理工艺，通过在金属表面形成一层金属或合金的薄膜，以提高材料的耐腐蚀性、导电性和美观性。
本作业指导书旨在提供电镀作业的详细步骤和操作要求，确保操作人员能够正确、安全地进行电镀作业。
二、操作准备1. 确认所需电镀材料和设备的完整性和可用性。
2. 检查电镀槽和电镀液的质量，确保其符合要求。
3. 穿戴个人防护装备，包括防护眼镜、手套、防护服等。
4. 确保操作环境通风良好，以避免有害气体的积聚。
三、操作步骤1. 准备工件a. 清洗工件表面，去除油污和杂质。
b. 检查工件表面是否平整，如有凹凸不平或损伤，应进行修复。
c. 清洗工件后，立即进行电镀，以避免重新污染。
2. 装夹工件a. 使用适当的装夹工具将工件固定在电镀槽中。
b. 确保工件与阳极或阴极正确连接，以确保电流的正常通行。
3. 设置电镀参数a. 根据工件的材料和要求，设置适当的电压、电流密度和电镀时间。
b. 根据电镀液的要求，调整电镀液的温度和pH值。
4. 进行电镀a. 将工件完全浸入电镀槽中，确保工件表面均匀暴露在电镀液中。
b. 打开电源，开始电流通行。
c. 根据设定的电镀时间，进行相应的电镀操作。
d. 定期检查电镀液的质量和工件的电镀效果，如有问题及时调整。
5. 完成电镀a. 在电镀时间结束后，关闭电源，停止电流通行。
b. 将工件从电镀槽中取出，用清水冲洗，去除表面残留的电镀液。
c. 对电镀后的工件进行检查，确保电镀层的质量和外观符合要求。
四、安全注意事项1. 操作人员应接受相关的电镀操作培训，熟悉操作流程和安全规范。
2. 在操作过程中，严禁在电镀槽中放入非电镀材料，以避免产生危险。
3. 注意个人防护，避免电镀液溅入眼睛或皮肤，如有接触，应立即用清水冲洗。
4. 严禁在电镀作业区吸烟或使用明火，以防止发生火灾或爆炸。
五、常见问题及解决方法1. 电镀层出现气泡或不均匀解决方法：检查电镀液的温度和pH值是否合适，调整电镀参数。
OTB作业指导书(1)
OTB 板式 PECVD 作业指导书
温州中硅科技有限公司
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电池生产部
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6.8 镀膜后外观监测 下料操作人员随时密切关注已镀膜片的外观情况， 将存在色差、 沾污、 黄斑、 手印、叠片等不合格片挑出，数量较多时应立即停止上料，并及时通知工艺和巡 检人员。 6.9 膜厚折射率数据监控 6.9.1 a）薄膜厚度：88±3nm（目前工艺要求） ； b）薄膜折射率：2.06±0.03(目前工艺要求)； c）监控频率：薄膜厚度和折射率的测量，每两个小时每条线测量一次；根据测 量情况再调试工艺 6.9.2 合格的镀膜片填好流程单后，下传给丝网印刷工序；不合格片需要进行返 工处理。 PECVD 法制氮化硅（SiNx）减反射膜，要保证了生产质量的稳定性，必须 要求薄膜表面均匀无色差，无粉尘，各项监控数据在规定范围之内。PECVD 工 艺卫生的好坏直接影响到生产质量。保持良好的工艺卫生，对维护设备性能，保 持工艺稳定，保证生产的顺利进行有相当重要的作用。
OTB 板式 PECVD 作业指导书
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6.6上貨前須注意事項 6.6上貨前須注意事項 6.6.1步骤一: 确认主机台 先确认主机台DEPx 2400 DEPx 2400的HMI主画面机台状态为Production模式( (所有区域为绿
6.10 不合格片的处理 发现色差、白斑、黑点、划痕等不合格片。数量较少时（每板少于 3 片，每 批少于 10 片） ，应当认真核对不合格片的数量及不合格类型，并在流程卡和工序 记录表上记录清楚；数量较多时，应立即通知上料人员停止上料，报告在线工艺 人员和巡检人员以待解决。
(整理)镀膜机操作说明书
关机准备：
关扩散泵——（1h后）关粗抽泵——关前置阀——关真空计——关镀膜机右边的电源总闸——关冷却塔扇叶冷凝——关压缩空气系统。
大纲要求关机操作说明：
(1)关扩散泵后，为了下次使用的抽真空时间不至于太长，一般将腔体抽成负压，一般操作为关掉扩散泵后，关门、关前置阀、开启粗抽阀、待真空度到100Pa左右后，关粗抽阀、开前置阀。1h后关粗抽泵、前置阀以及剩余操作。
(2)自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，按下控制面板左边的自动按钮。剩余过程会在15Min左右由程序自动完成至开门。
(3)半自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，在触摸屏上面按住自动按钮不放，几秒钟后，按钮会在自动和半自动之间转换，将按钮调至半自动，然后按下控制面板左边的自动按钮。程序会自动控制到J6灯亮（显示屏上会显示不停闪动的可镀），需手动操作整个蒸发过程，以及剩余操作。
四、镀膜机的日常维护
（三）安全评价的内容和分类镀膜机常见问题排查：
（2）可能造成轻度环境影响的建设项目，编制环境影响报告表，对产生的环境影响进行分析或者专项评价；1.真镀的产品发蓝一般是扩散泵油有问题。
2.真镀产品返油是扩散泵油或者水冷不够的问题。
（4）化工、冶金、有色、建材、机械、轻工、纺织、烟草、商贸、军工、公路、水运、轨道交通、电力等行业的国家和省级重点建设项目；3.真镀产品发黄一般是由粗抽泵的油太脏或者蒸发的电压过高或者蒸发保持时间过长造成的。
(2)腔体抽成负压完成后，一定要检查前置阀、粗抽泵要处于开启状态。否则会导致扩散泵内的油被烧坏。
1.筛选环境影响：环境影响被筛选为三大类，一类是被剔除、不再作任何评价分析的影响，如内部的、小的以及能被控抑的影响；另一类是需要作定性说明的影响，如那些大的但可能很不确定的影响；最后一类才是那些需要并且能够量化和货币化的影响。(3)镀膜机的水路与气路在关粗抽泵以前不能关掉，水路关掉会导致扩散泵冷却不够而扩散泵油被烧坏；气路关掉会导致各个阀门关不紧而空气进入氧化扩散泵油。
电镀操作作业指导书
电镀操作作业指导书1. 介绍1.1 目的本操作指导书旨在提供电镀操作过程中的一般指导，帮助操作人员正确、安全地进行电镀作业。
1.2 适用范围本指导书适用于各种电镀作业，包括但不限于金属电镀、塑料电镀等。
2. 安全措施2.1 穿戴个人防护装备进行电镀操作前，必须穿戴适当的个人防护装备，包括化学防护手套、护目镜、防护服等。
个人防护装备的选择要根据所使用的化学药剂和操作环境进行。
2.2 通风条件电镀作业需要在通风良好的环境下进行，以确保有害气体的排除。
如果操作环境无法提供足够的通风条件，应使用合适的排风设备。
2.3 防火措施电镀作业中使用的一些化学药剂具有易燃性，因此在操作区域应设有灭火器，并确保操作人员了解灭火器的使用方法。
3. 设备准备3.1 设备检查在进行电镀操作前，需要检查所使用的设备是否完好，并确保设备的电气连接正确。
3.2 清洁设备在使用之前，应对设备进行清洁，并确保清除表面的杂质和残留物。
3.3 校准设备对电镀设备进行定期校准，确保其工作状态符合要求。
4. 操作步骤4.1 操作前准备在操作之前，需要对所使用的化学药剂进行妥善的存储和标记，以避免混淆和错误使用。
4.2 表面处理对待镀对象的表面进行适当的处理，确保其表面洁净，去除油污和杂质。
4.3 化学药剂配制根据所需的电镀效果，准备适当的化学药剂。
注意药剂的配制比例和操作温度。
4.4 电镀操作将待镀对象浸入化学药剂中，连接电源进行电镀操作。
根据所需的镀层厚度，设定适当的电流和电镀时间。
4.5 清洗和后处理将电镀完成的对象取出，经过适当的清洗和后处理。
清洗过程中可以使用去离子水或中性清洗剂。
5. 操作注意事项5.1 注意个人安全在电镀操作过程中，要注意个人安全，避免化学药剂和电流对皮肤和眼睛的直接接触。
5.2 注意通风确保操作区域的通风良好，及时排除有害气体。
5.3 注意清洁在操作过程中，要定期清洁设备和操作区域，确保无杂质和残留物的干扰。
镀膜岗位作业指导书 10
能擅自处理。任何非技术人员严禁调整、拆卸镀膜机任何部件。 ⒂ ⒃ ⒄ 在设备运行中必须严守岗位， 负责对各种仪表数据进行全面监控， 并按要求填写监控记录。 每件原膜镀完时要清理吸附在冷阱管上的水珠，将水盒中的水倒净。 每次清理时要清理蒸发室的档板或管上沉积的铝， 再用吸尘器将真空室吸干净， 并要涂上 石墨乳以方便下次清理。 ⒅ 仔细检查各电极使用状况，调整好电极间隙，如果电极达到极限或损坏应马上更换，以保 证正常生产。 ⒆认真做好交接班记录过程检验记录， 并向接班人员介绍本班的运行状况和应注意事项。 并如 实填写生产记录卡或加工记录卡，将卸下的接头部胶住和记录卡转入复卷工序。 5.2 曙光镀膜机 5.2.1 技术要求（与 5.1.1 条款相同） 5.2.2 操作要求 ⑴接班时，首先对设备进行全面检查，水、电、气、油是否在规定要求内，确保机械正常运行。 a)水压：2.5～3kg ⑵ b) 电压：360～400V c)气压：4～5kg
3.1 镀膜车间是镀膜岗位的归口管理部门，车间主任负责指导各操作员的执行工作。 3.2 生技部经理负责领导镀铝车间的控制与管理工作。 4 工作流程
接生产记录卡 按要求进行镀铝 接加工记录卡卡 过程参数监督 流转下道工序
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工作程序与内容
5.1 进口镀膜机 5.1.1 技术要求 a) 镀铝层要均匀、光亮。 b) 铝层牢固度，A 级 100%，B 级大于或等于 95%，小于 100%。 c) 镀层表面不能有起皱及不能有油污。 d) A 级砂眼每平方米少于 1 个，不能有纵向拉丝；B 级每平方米砂眼 2—5 个，有少量纵向拉丝。 5.1.2 操作要求 ⑴ 接班时首先对设备全面的检查；水、电、气、油是否在规定要求内，确保机械正常运行。 a)水压：2.5～3kg b)电压：360～400V c) 气压：4～8 kg
镀膜机作业指导书
晶控自动镀膜系统作业指导书1．镀膜机开、关机操作开机1．打开主电源。
2．将“运行/待机”开关打道“待机”位置。
3．打开显示器和计算机电源，待计算机启动完成。
4．开机械泵。
5．开扩散泵。
6．将“运行/待机”开关打道“运行”位置。
7．扩散泵预热30分钟后可以工作了。
关机1．关闭扩散泵冷却30分钟2．将“运行/待机”开关打道“待机”位置。
3．关闭计算机4．关闭机械泵5．关闭主电源2.运行参数设置晶片初始频率：输入被镀晶片的中心频率，例如：12160－－12170KHZ应输入12165KHZ；如果要加镀高频片，先进行频率修正，然后在晶片初始频率中输入加镀高频片的中心频率。
注意加镀完毕后要及时把晶片初始频率修正回原始值。
晶片目标频率：输入镀到的目标频率，例如：12M晶体镀到1000PPM，晶片目标频率应输入12012KHZ；3.579M晶体镀到700PPM，晶片目标频率应输入3581.5KHZ单面镀膜时间：用于时间镀膜时钼舟打开的时间，时间长短以能将所有的银全部蒸发完为标准。
机台修正系数：用来调整计算的理论膜厚值与实际膜厚值的差异的。
在第一次镀某个系列晶片的时候，第一锅可以设为1，当前标晶频率：程序实测的标晶当前的频率。
标晶目标频率表示标晶应该达到的频率，达到这一频率后，被镀晶片也会达到目标频率了，以KHz为单位。
镀膜速率：标晶当前的变化速度，以Hz/S为单位。
数值大小与电流有关。
延时倒计时表示在所有延时程序中动态显示延时时间和剩余的延时时间。
当剩余时间变为0时，本次延时结束，以KHz为单位。
镀膜总时间为自动镀膜或取消自动镀膜的总的时间。
当前实测高真空度值和当前实测低真空度值为实测的高真空和低真空值。
串口通讯的真空计显示测量真空度值；指针表不显示。
3静态参数设置。
轰击真空预置：若真空计型号为指针，设置为0表示在低真空轰击，设置为大于0的整数，表示在高真空轰击。
若真空计型号为串口，设置为0表示在低真空轰击，设置1―100(RF离子轰击)，表示在高真空轰击。
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1. 目的/范围规范镀膜操作工艺，确保安全生产。
2. 定义/缩写词NA3. 参考文件NA4. 职责与权限本文件适用于高意光学镀膜中心镀膜工种，在所有工程师商讨通过之后有权改动其中内容。
文件制定、执行者姜海，镀膜总工艺李全民对此文件有最终解释权。
5. 工具及设备国产镀膜机及配件、分光光度计。
6. 作业内容1膜厚控制方式：过正极值法、定值法和晶控法。
2镀膜操作步骤：2.1镀膜员工基本要求：每天早晨开机之前了解一天内所要镀的产品，镀每一灶之前都要检查核对派工内容，检查产品或试镀品的生产任务单号、数量、镀膜指标，跟据相应的指标找出《镀膜生产工艺卡》，无相应镀膜生产记录表，操作员有权利拒绝镀膜。
2.2开机：2.2.1确认总电源、总气路、总循环水正常工作，开启镀膜机总电源。
(重要环节/语言很难描述的环节)2.2.2北仪：依次开（维持泵）、机械泵、前级阀、扩散泵，扩散泵温度到设定温度（须预热60分钟以上才能正常工作）。
南光：依次开机械泵、预阀、扩散泵（1#镀膜机260℃，7#镀膜机230℃，8#镀膜机240℃），各阀门开关间隔5秒。
2.2.3依次开启真空计、晶控仪、膜厚控制仪、气体流量显示仪、光源（预热80分钟，非正常工作下电流值调至工作状态的一半）、单色仪控制器、工转电源、计时器和照明。
2.3热机2.3.1如果超过8小时未开机，除7#镀膜机，其余都需要热机。
各机台大清洗之后，必须热机。
2.3.2 按照此文件依次执行抽低真空、抽高真空、镀膜前准备等各步骤，开烘烤到100℃恒温10分钟。
2.3.3开启离子源、电子枪，使机器处于镀膜状态，镀Ta2O5膜料10nm ，镀膜之后关闭电子枪，离子源，此操作为检验镀膜机各设备是否处于正常工作状态。
2.3.4按此文件执行镀膜后步骤，以上步骤具体内容详见下文。
2.4抽真空前准备：2.4.1北仪： 按充气阀对真空室充气，充气完毕关充气阀。
南光：按放气阀对真空室充气（此时系统报警，十秒钟后报警消失，无报警系统镀膜机省略此步骤），充气完毕关放气阀。
2.4.2打开真空室门，取下产品和陪镀片，清扫真空室内的粉尘(注意做卫生前一定要用离子源盖盖住离子源头，以免灰尘落入离子源中造成短路或打火，卫生完成后要记得取走离子源盖并且用吸尘器吸一遍离子源表面的灰尘)。
北仪：将用过的光控片取出，放到回收出，将擦好的光控片放在监控盘中，检查光路是否照射在光控片正中心，如果没有及时调整。
南光：将用过的光控片取出（六个光控片为一个单元，当六位都用完之后更换整盘光控片），放到回收出，将擦好的光控片放在监控盘中，检查光路是否照射在光控片正中心，如果没有及时调整更换光控片。
晶控片检查：按住两侧卡簧小心取出晶控片装载盒（当晶控仪显示晶控片寿命小于94%时，更换晶控片），倒出晶控片，放在回收盒内，取新的晶控片放入装载盒中，按住两侧卡簧小心把装载盒放回晶控探头中，依次按abort 、reset 、start(必须在手动控制状态)键后晶控寿命显示为99或98，并且无报警，说明更换成功，然后退出控制状态。
添加膜料具体步骤详见《镀膜膜料作业指导书》。
检查光路，并吸除光路中的灰尘（如果有垢吸除不了，应用光学擦拭用的绸布沾酒精对表面进行清洁，如果仍然清洁不了，影响通光，通知设备人员进行更换或取出抛亮）。
检查单色仪（入射光狭缝宽度0.72mm ，出射光狭缝宽度0.12mm ）、电子枪挡板、电子枪偏转（X 、Y ）、离子源接线，如有异常应及时修复（所列检查项目详见《镀膜自检表》）。
2.4.3关闭真空室门，空抽一分钟后充气，静置五分钟。
2.4.4打开真空室门，将工件盘装入真空室，同时根据需要装上已经擦拭的陪镀片，陪镀片材料和数量按照各机台相应《镀膜生产工艺卡》中规定放置。
参照《镀膜操作自检表》的装件的核对各项工作是否已经完成，经相关人员确认自检无误后关闭真空室门。
2.5抽真空：2.5.1北仪：开机械泵，开预抽阀，(未使用维持泵的应先关前级，再开预抽)，当真空抽至P=100Pa时，开光栏阀（无光栏阀的省去这一步）。
南光：关闭预阀，开低阀，当真空室内真空度（真空计左端读数）抽至6Pa时，关闭低阀。
2.5.2北仪：室真度抽至30Pa时，开罗茨泵，抽至3Pa时(无罗茨泵抽到7Pa)，关闭预抽和光栏阀，开前级阀、高阀。
高阀开后热镀工艺要开启烘烤并设定温度及预设电流。
南光：开预阀，当扩散泵冷阱真空度（真空计右端读数）抽至小于5.0×10-1Pa时，开高阀（此时要求真空室内真空度小于8Pa）。
注意：如果开预阀后马上开高阀，扩散泵冷阱真空度则低于真空室内真空度，这样会导致扩散泵油进入真空室（“返油”），严重影响镀膜质量，所以一定要按以上要求操作。
开截止阀Ⅰ、Ⅱ，如果需要热镀，则开烘烤计时、烘烤电压，将烘烤电压或电流缓慢调至预定值，同时开工转电压，并调至50V，烘烤相关设定按《镀膜生产工艺卡》规定设置。
2.5.3北仪：当镀膜室真空抽至2×10-2Pa时，关闭罗茨泵(无罗茨泵的省去这一步)，当镀膜室真空抽至本底真空时，并且有烘烤要达到恒温时间，两条件同时具备时，然后提高工件旋转至镀膜时要求转速，准备镀膜。
南光：待真空抽至本底真空时准备开始镀膜。
2.6镀膜前准备：2.6.1北仪：开启光控膜厚仪电源，光源电源，以及光电倍增管高压电源开关，将光信号调到预定值（见相应《镀膜生产工艺卡》），打开电子枪电源，对电子枪进行预热。
南光：开扫描电源、枪灯丝电源，通过调节预置将灯丝电流调到0.4A，3分钟之后开高压，提高工件盘旋转电压至150V±5V，调节膜厚控制仪灵敏度到预定值，调节监控波长到预定值，并做光源、电源、电压、电流检查。
2.6.2开流量计Ar 、O 2开关，缓慢增加各气体流量到预定值（无流量计则按《镀膜生产工艺卡》中规定的真空度来调节充气量）。
2.6.3按5.1进行电子枪的开启，详细的参数设定见各《镀膜生产工艺卡》。
2.6.4将坩埚旋转到预定位置后，缓慢增加束流，调整电子枪横纵座标旋钮，直至坩埚内膜料全部熔化。
2.6.5以上所调参数按《镀膜生产工艺卡》设置。
2.7镀膜：2.7.1将膜厚控制仪数值调到固定值，打开挡板，通过铅玻璃观察光斑位置，以免光斑打到坩埚边缘引起短路，切忌用眼睛直接观看电子枪束流和离子源灯丝。
时刻观察束流、蒸发速率、膜厚仪参数及离子源参数，如有波动，及时调整，所有参数应认真、准确填写在《镀膜生产记录表》中。
2.7.2光控：膜厚控制仪达到预定数值（或极值）时，及时关闭挡板，降低束流直至为零，记录相关数据后，按第一层镀膜步骤镀第二层，直至镀完所有膜层。
晶控：程序编写由工程师完成，跟据《镀膜生产工艺卡》各层设定好程序，将厚度信息写入PROCESS 及TOOLING 和RATE 信息写入MATERIAL ，并由PROCESS 调用相应的MATERIAL（如果已经存在，可以直接调用，如果不存在，需要实验确定有关参数），《镀膜生产工艺卡》中必须有调用程序名称。
中途出现异常按abort ，不要按reset ，故障恢复后按两次start 可继续镀膜。
操作员镀前跟据《镀膜生产工艺卡》核对晶控设定是否符合工艺参数，如有疑问中止进行并及时反馈给工程师。
打开挡板后，通过铅玻璃观察光斑位置，以免光斑打到坩埚边缘引起短路，切忌用眼睛直接观看电子枪束流和离子源灯丝。
全自动步骤：将手动开关转为自动。
按晶控START→跟据《镀膜生产工艺卡》按↑或↓选择相应过程→再按START，开始镀膜，直到程序自动结束。
半自动：按START→跟据《镀膜生产工艺卡》按↑或↓选择相应过程(晶控厚度设定均很厚)→再按START→，跟据光控或晶控，第一层达到厚度按下触发按钮，晶控自动进入下一层→，跟据光控或晶控，第二层达到厚度按下触发按钮，晶控自动进入下一层……如此直到最后一层镀完。
手动：设定程序均为单层,晶控厚度设定均很厚，按START→跟据《镀膜生产工艺卡》第一层材料按↑或↓选择程序(第一层)，→厚度达到工艺规定值时手动关挡板，→关闭电子枪挡板,降低束流到0，并按ABORT→RESET，开始下一层，按START→跟据《镀膜生产工艺卡》第二层材料按↑或↓选择程序(第二层)，→厚度达到工艺规定值时手动关挡板……如此直到最后一层镀完。
2.8镀膜后工作：2.8.1按5.6进行电子枪的关闭操作。
2.8.2按6.6进行离子源的关闭操作。
2.8.3北仪：冷却10分钟之后，依次关真空计、高阀、前级阀、机械泵，（如果没有使用维持泵的要关闭高阀但是不关闭前级阀或预阀和机械泵以保证前级真空）将工件旋转速度降至慢速旋转。
南光：关流量计Ar、O2开关，截止阀Ⅰ、Ⅱ，冷却10分钟之后。
将工件盘旋转电压降低至25±5V。
2.8.4北仪：热镀要等待冷却温度低于《镀膜生产工艺卡》设定温度后充气，冷镀要冷却10分钟后关高阀，1分钟后充气（以冷却离子源及电子枪配件，防止氧化及产品表面的尘埃被固化形成点子），开真空室门。
南光：如果热镀，降烘烤电压至零，并关闭烘烤电压和烘烤计时，并确认实际温度低于《镀膜生产工艺卡》设定温度。
冷却20分钟后关闭高阀，1分钟后开放气阀。
充气时间为9-11分钟，超过11分钟要检查充气口是否堵塞，过滤布是否很脏，及时清理。
没到9分钟要检查充气口过滤布是否太薄而导致过滤效果不明显，增加过滤布层数直至满足充气时间为止。
预计真空室暴露半个小时以上时，要关门空抽。
2.8.5测量陪镀片，附上填好的《镀膜指标测量交接表》和《生产派工表》，将镀好的产品取出，测完光学指标后，交由相关人员下盘装好送检。
所有陪镀片（光控片）要保留一个月，以备查找。
2.8.6 重复以上的步骤，开始下一炉的作业。
2.9关机：北仪：在整机停止工作前，扩散泵必须冷却80分钟以上，才能关闭总电源，水源，气源。
南光：依次关闭真空计、晶控仪、膜厚控制仪、气体流量显示仪、光源、单色仪控制器、工转电源、计时器和照明。
待扩散泵温度冷却到130℃时（80分钟以上），关闭镀膜机电柜内总电源。
关闭冷却水阀门、空压机电源、冷阱电源。
3注意事项：3.1白光纤必需用高温胶固定在工件盘上，避免工件盘转动时夹具翘起，夹具边缘也要用高温胶封住，防止膜料镀到光纤线上。
3.2镀膜机只要有水气电的开启就必须有人到机台后方巡逻，如在巡逻过程中发现异常，要及时通知领班和机修。
4清洁规范：4.1日常清洁：4.1.1机台前半部机器表面，用布擦拭灰尘。
1次/每天早晨4.1.2机台后半部机器表面，用布擦拭灰尘。
1次/周4.1.3空压机放水、清洁 1次/每天早晨4.2定期清洁：4.2.1更换电子枪灯丝 1次/80小时（北仪）；1次/25小时（南光）4.2.2更换霍尔源阴极灯丝 1次/10小时4.2.3更换考夫曼源灯丝 1次/25小时（阴极灯丝、中和灯丝）4.2.4清洗霍尔源阳极、栅网，用砂纸（600#）打磨后再用酒精擦拭并用电吹风吹干 1次/年4.2.5吸尘器清洗、检查 1次/周4.2.6清洗百叶窗和高阀盖 1次/2月4.2.7热偶温度计清洁 1次/半年4.2.7.1在做卫生前先对温度进行测量（另用热偶温度计测量，测量完先不要取下，备步骤C用）。