EDS采谱解谱说明图例

EDS采谱、解谱说明图例

1. 双击Amptek，选择设备类型DP5，点击Connect

2. 点击菜单MCA中Acquisition Setup，或功能键F9，点击MCA选项，将Slow Threshold中的Percent调整至合适大小值，此阈值是为了防止采集到低能区过高的噪声信号。

3. 点击MCA菜单下的Start Acquisition采集信号，或F3功能键。

4. 采集信号如下，若信号太弱，计数过少，可以适当延长采集时间，计数越多，结果越好

5. 采集之后对已知元素峰进行校准，点击Analyze菜单中的Calibrate，或F5功能键

6. 选取元素特征峰的道数，并键入相应的能级，具体参数详见桌面

Ase-r&a.txt文档

7. 校准之后可以继续采集其他样品的信号。为了观察结果，事先调入元素谱库，点击Analyze菜单下Load Library

8. 在library文件夹中选择Xray-ka1

9. 点击Analyze菜单下Peak Search选项

10. 点击Search All

11. 查看校准结果，并可以查看半峰宽、计数面积等结果。

12. 保存文件。

13. 双击半定量分析软件图标

14. 已经采集过信号，不必再连接采集设备，选No

15. 新建采谱程序

16. 设置待分析元素(AutoID)

17. Always Prsent为必选待分析元素，Never Present为不分析元素。

18. 点击File菜单下Open打开保存的文件

19. 打开文件

20. 打开文件后自动弹出图形窗口

21. 点击Process菜单下的AutoID进行能级标示

22. 能级标示后图形窗口中所有的特征峰均被标示出来，若想观察细节可以用Spectrax Controls菜单的控制键进行放大、移动等操作。

23. 点击Spectrum下的All进行能谱图的数据拟合处理

24. 待数据处理完毕后，点击Process菜单下的Analyze进行数据分析，并得到结果。

25. 可以将分析结果通过Print To File输出为文本文件。

26. 输出结果如下。