上海微高精密机械工程有限公司提供用于高亮度照明LED的步进光刻机

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上 海 微 高精 密 机 械 工 程有 限 公 司 提 供 用 于高亮度照明 L ED 的步 进 光 刻 机
“ 作为新 一轮 高科 技产 业发 展 的焦 点 , 誉 为全 被
世界 最有机会 、 受追捧 的产业 。 最 随着 L D制 造工艺 E 技术 的发展 ,特 别是对 于高性 能 L D 照 明芯片 图形 E 化衬底 ( S ) 言, P S而 传统 的接 触式 曝光模 式 已不 能满 足 的要求 。微高公 司根据 市场 需求 , NI N 公司 对 KO 生产 的 i 7系列机 型进行 了改造 ,改造 后 的设备 具备 的接触 接近 式曝 光具 备更 高的分 辨率 、生 产率 和 图
面, 结构深 度 可 以达 到 6 0p 以上 。 0 . m
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施 正 荣博 士及 Geh r u e r a d Ra tr先 生 出任 S MI全球 董 事 会 成 员 E
S MI 日前 正 式宣 布 ,无锡 尚德 太 阳能 电力 E 于 首 次进 入 S MI 球 董事 会 。加之 此 前加 入董 事会 E 全 的 德 国 弗莱 堡 夫 琅 和 费太 阳 能系 统 研 究 所 所 长 E — i eR We e 教 授 , 几位 专 家 的加 入 对 推 动 全球 c br k 这
及其相关市场 的工艺和测试设备 , 已成为业 界领 军者 。
该公 司 曰前宣布 ,西钛微 电子所 引进 的成套 S S设 US
备 已全部成功安装并投入 生产 。西钛微 电子科技有 限
公司位于中 国江苏省 昆山市经济 技术开发区 ,主要生 产全球用手机 、 笔记本 电脑和安保 用微 型摄像头模块 。 S S US 提供 的 2 0 0 mm光 刻机 、 合对准机 、 键 涂胶机 、 喷 胶机 和晶圆片键合机均 已成功用于西钛 的晶圆级摄像 头封 装生产 。 US co e S S rT c已通过该项 目, Mi 将产 品线 衍 生至图像传感器封装和 晶圆片级摄像头封装工艺 。
全 自动 2英 寸、 3英寸 晶片传输 、 曝光 功能 , 对传 统 相

照 明芯片 生产 厂 家提 供 了更 好 的选 择 。
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控 股 有 限公 司创 始 人 , 事 长 兼 首席 执 行 官施 正 荣 董 博 士 和 Q C l E首 席 运 营 官 兼 董 事 会 成 员 G r . e sS l e—
h r a tr 生 出 任 S MI 球 董 事 会 董 事 。 同 adR ue 先 E 全 时 , E 前 任 全 球 董 事会 主席 及 产 业 领 袖 E e S MI dS . g l 生被授 予 S MI a先 E 荣誉 理 事 一职 。
施 正 荣博 士和 G radR ue 先 生 是 批代 表 eh r a t r
光 伏 技术 的革 新 , 进 光伏 应 用 市场 的 开 放 , 扩 促 及 大 S MI 全 球 太 阳 能 光 伏 领 域 的影 响 力 和 领 导 E 在
力具 有重 要 意义 。 E V G o p 专注 于服 务太 阳 S MI ru , P
能光 伏 制造 领 域 的 企业 , 全 球有 4 0多家 会 员公 在 0 司 , 到 了 S MI 球各 地 区 光 伏顾 问委 员会 的大 得 E 全
力支 持 。
太 阳 能 光 伏 制 造 企 业 加 入 S MI 球 董 事 会 的董 E 全 事, 同时施 正荣 博 士 的加 入 也代 表 了中 国企 业领 袖

准 精 度 的光 刻 机 、 在键 合 过 程 中高 精 度温 控 和产 生
极 其 均 匀 压 强 的 键 合 机 、 US co e S SMi T c特 有 的 喷 r 胶 机 , 机 器使 用 革新 性 的光 刻 胶 沉 积 方 式 , 光 该 使
刻 胶 均 匀 涂 布 于 平 坦 和 具 有 大 角 度 斜 坡 的结 构 表
相 比传 统 的 摄像 头 模 块 , 晶圆级 摄 像头 封 装 技
术 可有 效 减 小摄 像 头尺 寸 , 它将 广泛 运 用 于新 一 代 移动 设 备 , 如手 机 和 P DA。这 项技 术被 认 为是 三 维 封 装 技 术首 次 成功 运用 于 量产 。S S co e U SMi T c为 r 西钛 提供 了最 新科 技 且最 有 效 率 的生 产 设备 : 高对
形 一致性 , 完全满足 当前 L D生产 的最高要 求。 E
同 时 ,该 公 司 已完 全 掌 握 了 L D 照 明 晶片 曝 E 光 的工 艺技 术 。 目前 国 内在 高亮 度 L D照 明芯 片 制造 才 开 始 E 起步 , 该项 技 术 的突 破 , 国 内有 志 于 高 性 能 L D 为 E

电 子 工 业 专 用 设 备
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S SM ir T c进 一 步 在 晶 圆 级 摄 像 头 封 装 领 域 拓 展 业 务 US eo e
S S co e 公司长年致力于提供半导体行业 US Mi T c r
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