【CN110015666A】一种高纯亚微米球形硅微粉的制备方法【专利】

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910357277.2

(22)申请日 2019.04.29

(71)申请人 江苏辉迈粉体科技有限公司

地址 212000 江苏省盐城市南洋镇凤洋村

一、二组1幢

(72)发明人 刘亚　陈光荣　

(74)专利代理机构 成都明涛智创专利代理有限

公司 51289

代理人 王巍敏

(51)Int.Cl.

C01B 33/18(2006.01)

(54)发明名称

一种高纯亚微米球形硅微粉的制备方法

(57)摘要

本发明涉及亚微米球形硅微粉技术领域，且

公开了一种高纯亚微米球形硅微粉的制备方法，

包括以下步骤，准备有机硅烷或有机硅烷的水解

物1-10份、水醇混合物1-100份和催化剂1-20份，

将水醇混合物1-100份放置到反应皿内，加入催

化剂1-20份，加入过程中保持10-50摄氏度反应

温度，添加过程中持续搅拌，搅拌频率为每分钟

100转，得到混合物1。该高纯亚微米球形硅微粉

的制备方法，制得的亚微米球形硅微粉粒径分布

均匀，无团聚以及大颗粒，具有良好的分散性，亚

微米球形硅微粉纯度极高可达电子级，金属杂质

元素含量极低，可控制在1ppm以下，无放射性元

素，亚微米球形硅微粉球形度好，球形率高，球形

颗粒表面光滑无孔洞为致密球体，表面积小，流

动性好。权利要求书1页 说明书5页 附图1页CN 110015666 A 2019.07.16

C N 110015666

A

权　利　要　求　书1/1页CN 110015666 A

1.一种高纯亚微米球形硅微粉的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)准备有机硅烷或有机硅烷的水解物1-10份、水醇混合物1-100份和催化剂1-20份；

2)将水醇混合物1-100份放置到反应皿内，加入催化剂1-20份，加入过程中保持10-50摄氏度反应温度，添加过程中持续搅拌，搅拌频率为每分钟100转，得到混合物1；

3)将步骤2制得的混合物1放置到反应皿内，加入有机硅烷或有机硅烷的水解物1-10份，添加过程中持续搅拌，搅拌频率为每分钟60转，添加完成后得到混合物2；

4)将步骤3制得的混合物2放入干燥机内，干燥温度为30-150摄氏度，干燥时间为1-24小时，干燥为粉体后收集粉体；

5)将步骤4制得的干燥粉体放置在窑炉内，设置500-1200摄氏度的温度煅烧1-15小时；

6)将煅烧后的粉体加入气流破碎机，设置压力0.1-0.2Mpa，破碎分解煅烧后的粉体，制得所求高纯亚微米球形硅微粉。

2.根据权利要求1所述的一种高纯亚微米球形硅微粉的制备方法，其特征在于：所述有机硅烷或有机硅烷的水解物1-10份可为甲基三甲氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、二甲基二甲氧基硅烷、硅酸乙酯或硅酸甲酯或者它们的水解物。

3.根据权利要求1所述的一种高纯亚微米球形硅微粉的制备方法，其特征在于：所述催化剂1-20份为表面活性剂、有机酸、无机酸、有机碱或无机碱。

4.根据权利要求1所述的一种高纯亚微米球形硅微粉的制备方法，其特征在于：所述水醇混合物1-100份的水醇比为0.01-100，步骤4中干燥出的水分回收，步骤4所述干燥机为真空干燥机或喷雾干燥机，步骤5所述窑炉为箱式炉、隧道窑或者辊道窑。

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