VAS维护保养作业指导书讲解

VAS维护保养作业指导书NO 版次修订内容生效日期修订人1 1.0 首次发行。2014-11- 王晓玲

拟制/

王晓玲审核批准

面板厂

会签

1 目的

指导VAS设备正确保养，规范员工正确维修保养设备行为，确保设备正常运转及人员安全事故，有效降低其故障率，提高生产机械效率。

2 适用范围

适用于上海天马制造中心面板厂ODF工程师和技术员

3 职责

按照保养SOP对机台进行保养，使机台处于良好的作业状态。

4 定义

4.1 PM：Prevent Maintenance预防保养

4.2 Utility：厂务端提供的水、电、气之通称

4.3 TMP：分子泵.将腔体有低真空度抽到高真空度的泵

4.4 Chamber：腔体

4.5 Table 基板搭载平台；

4.6 Nozzle 喷嘴；

4.7 MANUL 手动模式；

4.8 AUTO 自动模式；

4.9 Pin：受取基板的装置，可以擎住基板并与基板一同上升或下降。

4.10 CDA：即Clean Dry Air，指洁净的干燥空气，用于驱动气动马达，或破真空。

4.11 VAC：即Vacuum，指真空。

4.12 PCW：即Process Cooling Water，指制程冷却水，用于对管路进行冷却。

4.13 Drain：即无压排水。

4.14 Main body: 机台主体部分。

4.15 Dry Pump: 抽真空用干泵，用于将腔体由大气状态抽到低真空度。

4.16 轻故障：只需要进行故障排除就能够马上重新工作的故障。

4.17重故障：在故障排除后必须进行重新启动才能重新工作的故障

维护/保养步骤注意事项

一、真空贴合机台开机步骤

1、开机前确认检查操作

1.1确认电源连接正常，电源指示灯为ON.

1.2确认其它各Utility连接正常。

2、开启设备电源及程序

2.1按下Power On 按钮，至Touch Panel亮，出现下图Touch Panel的

根目录界面。

图 1-1

此时会出现报警PC Community Error，原因是PLC与PC尚未建立通讯。

2.2长按UPS开关，将UPS打开

2.3将PC电源打开，双击桌面上的软件图标。此时T/P与PC间信号连接。

将报警PC Community Error Reset掉。

3、Pump 开启

3.1点击主界面的“Run ”后，选择“Init”选项。点击界面的“DP1”、“DP2”、“TMP”，此时DP1、DP2、TMP的电源被打开。如下图

图 1-2

3.2点击“Servo ready”、“Pump ready”。待两个按键变为绿色不再闪

烁时，说明Pump已开启完毕，Pump开启1小时后，工作状态稳定时，才可以将设备用于生产。

图 1-3

4、开机点检：

4.1根据真空贴合机《设备一级维护保养记录表》的内容进行点检。

二、真空贴全机台关机步骤

1、关机前确认检查操作

1.1确认上游无待投入在制品。

1.2确认自动运转已经终止。

1.3确认Robot和机台没有干涉，机台內无基板。

2 Pump关闭

2.1点击“Servo ready”、“Pump ready”。至该两个按钮处于灰色状态。此时Pump关机

2.2点击主界面的“Run”后，选择“Init”选项。点击界面的“DP1”、“DP2”、“TMP”，此时这三个按钮将处于灰色状态，下图为设备所有按钮均处于灰色状态。

图 2-1

3关闭设备电源及程序

3.1长按Power Off按钮三秒，机台电源关闭。

3.2关闭PC程序及PC电源。

3.3长按UPS power off按钮，关机动作完成

三、维护保养

3.1一级维护保养

见《真空贴合机台作业指导书》

3.2 二、三级维护保养

3.2.1保养前准备

3.2.1.1保养使用工具

超细无尘布，酒精（浓度99.9%），润滑油，气枪，Cleaning棒，扳手

3.2.2 设备状态确认

将设备模式切为Maintenance模式，将千斤顶放到指点位置,如图4-1所示：

图3-1

3.2.3 具体保养内容

3.2.4具体保养操作步骤及方法

3.2.

4.1 确认Utility 连接部有无松动。

查看各线和接口连接部，并用手轻轻摇动看是否松动。

周期

保养机构名称

项目 内容 耗时/分 1个月 Utility

检查Utility 连接部有无松动 确认Utility 连 接部有无松动 20 1个月 Air ，N2冷却水管道 Air ，N2冷却水有无泄露 查看Air ，N2冷却水

有无泄露 30 1个月 camera 镜头 camera 镜头检查 查看camera 镜头无

脏污 20 1个月 配管、气管 配线，气管检查 有无磨损或摩擦痕

迹 50 1个月 Chamber 及上下定盘 Chamber 及上下定盘清扫 各部清洗干净无异

物 120 1个月 离子除电棒针头 离子除电棒针头

清扫 使用酒精擦拭金属针头，再用气枪吹干 45 1个月 Pump 油液 Pump 油液液面

检查 在标线范围为内 20 1个月 V AS 的Z 轴 Z 轴 Sensor 动作

状态 原点over run senser

动作确认 30 1个月 PC 散热风扇 PC 散热风扇检

查 有无异音，转动是否

顺畅 30 3个月 EZ ，LZ 传动皮带 EZ ，LZ 传动皮带

确认 有无磨损，松动 50 6个月 丝杠 各丝杠注油 注润滑油 120 6个月 VAS 机导轨 各导轨注油 注润滑油 100 1年 TMP Drain TMP Drain 清扫 TMP 排气部分解洗

净

120 1年

filter

Filter 更换

更换Filter

100