物理电子技术与系统简介
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3 真空检漏与真空系统 • 真空检漏
研究真空检漏的原理与方法以及氦质谱仪工作原理及其检漏技术
• 简介真空系统的抽气方程系统的简单计算
真空的基本概念
真空泛指在给定的空间内，气体压强低于一个 大气压的气体状态，也就是说，同正常的大气 压相比，是较为稀薄的一种气体状态。
地球表面上的一个大气压约为 105Pa Vacuum 一字源至于拉丁字，其原意为empty之意
Atmospheric air. : a mixiure of nitrogen and oxygen Kinetic theory of gases Volume temperaturc law of gases Propose first vacuum post lines Constant molecular density of gases First vacuum railways (Dublin) Mereury column vacuum pump Gas molecule velocity laws Mercury drop vacuum pump Compression vacuum gauge Carbon filament, incandescent lamp Cathode ray tube Equation of state of real gases Vacuum insulated flask
托是SI制定的，是一个确定的单位；mmHg依赖于 实施的条件，如温度、汞的品牌、当地的重力加速 度等，是个不确定的单位。
1Torr=1.333224*102Pa≈133Pa
真空技术发展历史
科学家Galielo 第一位利用活塞的方式在地球上产生接近真空
几年后，Torricelli发明了水银压力计(1643)
物理电子技术与系统
教师：赵小兰 联系：33356107 Email: gzxllscut.edu
物理电子技术与系统
课程内容：
1、物理电子学基本概念、定律及等离子体 物理和应用； 2、真空技术及其应用
课时：48课授＋16实验 实验安排：13－16周 梁添 成绩：60％期末＋20％实验＋20％作业考勤
1650年，von Guericke 发明了人类第一个泵。
此后，人类对于如何减低压力，并保持在低压力的研究便停顿了将近两百年。
McLeod发明了压缩式的真空压力计，整个研究发明开始活络起来。
1905年，Gaede设计了旋转式的泵，所用了封闭液体不是油而是水银， 至此以后热电偶式的压力计，扩散泵，离子式压力计wk.baidu.com以及液态氦的制 造都随着真空技术被改进之后逐渐衍生出来
课程内容
1 基础理论部分（物理电子学基础）： •气体分子在稀薄气体中的运动规律
研究空间气体分子的各种状态及各状态参量之间的关系，状态参量为： m, p, v, T
•固-气界面现象
研究气体在固体表面及在固体内部的运动规律
2 真空获得与测量（真空技术） • 真空获得 研究真空获得的方法及相关设备 • 真空测量 研究测量真空的方法及有关测量仪器
表一为真空技术演进的一个大事记，从该表我们可以大约明白真空技术 演进的过程。
从爱迪生电灯泡的钨丝在真空里可以延长寿命以及到航天员在真空的模 拟环境模拟外层空间的实验说明了真空技术已经与人类文明的历史有紧 不分开的关系了。
表1：真空技术发展大事记1
年代 1643 1650 l654 l662
1679
表1：真空技术发展大事记2
l895 1902 l904 1905 l906 1907 1909 1909 1913 1915 1915 1915 1915 1916 1916 1923 1935 1936 1937 1950 1953
Wilhelm Rocntgen A. Fleming Arthur Wehnelt Walfgang Gaede Mareello Pirani Lee de Forest W.D. Coolidge M. Knudsen W. Gaede W.D. Coolidge W. Gaede Irving Langmuir Saul Dushman Irving Langmuir O.E. Buckley F. Halweck W. Gaede Kcnneih Hickman F.M. Penning RT. Bayard and D. Alpert HJ Schwartz, R.G. Hcrb
真空度是对气体稀薄程度的一种客观量度。根 据真空技术的理论，真空度的高低通常都用气 体的压强来表示。
在国际单位制中，压强是以帕(Pa)为单位1Pa=1N/m2。 另外常用的单位还有托(Torr)、毫米汞柱(mmHg)、毫 巴 (mbar)、工程大气压(公斤／厘米2)等。
真空度的单位
帕：1Pa=1N/m2=1kg/(m.s2) 巴：1bar=103Pa 标准大气压：1atm=101325N/m2=101325Pa 托：1Torr=1/760(atm)=101325/760(Pa)
1675 l783 1802 1810 1811 1843 1850 1859 l865 l874 1879 l879 l881 l893
A.L. Lavoisier Daniel Bernoulli J.A. Charles J. Gay-Lussac Medhurst Amedeo Avogadro Clegg and Samuda Geissler and Tocpler J.K. Maxwell Sprengel H. McLeod T.A. Edison W. Crookes J. Van der Waats James Dewar
发明者 Evangelista Blaise Pascal Otto von Guericke Robert Boyle
Edme Mariotte
重大发明或著作 Totricelli Vacuum in the 760 mm mereury column Variation of Hg column with altitude Vacuum piston pumps, Magdeburg hemispheres Prssure-volume law of ideal gases
研究真空检漏的原理与方法以及氦质谱仪工作原理及其检漏技术
• 简介真空系统的抽气方程系统的简单计算
真空的基本概念
真空泛指在给定的空间内，气体压强低于一个 大气压的气体状态，也就是说，同正常的大气 压相比，是较为稀薄的一种气体状态。
地球表面上的一个大气压约为 105Pa Vacuum 一字源至于拉丁字，其原意为empty之意
Atmospheric air. : a mixiure of nitrogen and oxygen Kinetic theory of gases Volume temperaturc law of gases Propose first vacuum post lines Constant molecular density of gases First vacuum railways (Dublin) Mereury column vacuum pump Gas molecule velocity laws Mercury drop vacuum pump Compression vacuum gauge Carbon filament, incandescent lamp Cathode ray tube Equation of state of real gases Vacuum insulated flask
托是SI制定的，是一个确定的单位；mmHg依赖于 实施的条件，如温度、汞的品牌、当地的重力加速 度等，是个不确定的单位。
1Torr=1.333224*102Pa≈133Pa
真空技术发展历史
科学家Galielo 第一位利用活塞的方式在地球上产生接近真空
几年后，Torricelli发明了水银压力计(1643)
物理电子技术与系统
教师：赵小兰 联系：33356107 Email: gzxllscut.edu
物理电子技术与系统
课程内容：
1、物理电子学基本概念、定律及等离子体 物理和应用； 2、真空技术及其应用
课时：48课授＋16实验 实验安排：13－16周 梁添 成绩：60％期末＋20％实验＋20％作业考勤
1650年，von Guericke 发明了人类第一个泵。
此后，人类对于如何减低压力，并保持在低压力的研究便停顿了将近两百年。
McLeod发明了压缩式的真空压力计，整个研究发明开始活络起来。
1905年，Gaede设计了旋转式的泵，所用了封闭液体不是油而是水银， 至此以后热电偶式的压力计，扩散泵，离子式压力计wk.baidu.com以及液态氦的制 造都随着真空技术被改进之后逐渐衍生出来
课程内容
1 基础理论部分（物理电子学基础）： •气体分子在稀薄气体中的运动规律
研究空间气体分子的各种状态及各状态参量之间的关系，状态参量为： m, p, v, T
•固-气界面现象
研究气体在固体表面及在固体内部的运动规律
2 真空获得与测量（真空技术） • 真空获得 研究真空获得的方法及相关设备 • 真空测量 研究测量真空的方法及有关测量仪器
表一为真空技术演进的一个大事记，从该表我们可以大约明白真空技术 演进的过程。
从爱迪生电灯泡的钨丝在真空里可以延长寿命以及到航天员在真空的模 拟环境模拟外层空间的实验说明了真空技术已经与人类文明的历史有紧 不分开的关系了。
表1：真空技术发展大事记1
年代 1643 1650 l654 l662
1679
表1：真空技术发展大事记2
l895 1902 l904 1905 l906 1907 1909 1909 1913 1915 1915 1915 1915 1916 1916 1923 1935 1936 1937 1950 1953
Wilhelm Rocntgen A. Fleming Arthur Wehnelt Walfgang Gaede Mareello Pirani Lee de Forest W.D. Coolidge M. Knudsen W. Gaede W.D. Coolidge W. Gaede Irving Langmuir Saul Dushman Irving Langmuir O.E. Buckley F. Halweck W. Gaede Kcnneih Hickman F.M. Penning RT. Bayard and D. Alpert HJ Schwartz, R.G. Hcrb
真空度是对气体稀薄程度的一种客观量度。根 据真空技术的理论，真空度的高低通常都用气 体的压强来表示。
在国际单位制中，压强是以帕(Pa)为单位1Pa=1N/m2。 另外常用的单位还有托(Torr)、毫米汞柱(mmHg)、毫 巴 (mbar)、工程大气压(公斤／厘米2)等。
真空度的单位
帕：1Pa=1N/m2=1kg/(m.s2) 巴：1bar=103Pa 标准大气压：1atm=101325N/m2=101325Pa 托：1Torr=1/760(atm)=101325/760(Pa)
1675 l783 1802 1810 1811 1843 1850 1859 l865 l874 1879 l879 l881 l893
A.L. Lavoisier Daniel Bernoulli J.A. Charles J. Gay-Lussac Medhurst Amedeo Avogadro Clegg and Samuda Geissler and Tocpler J.K. Maxwell Sprengel H. McLeod T.A. Edison W. Crookes J. Van der Waats James Dewar
发明者 Evangelista Blaise Pascal Otto von Guericke Robert Boyle
Edme Mariotte
重大发明或著作 Totricelli Vacuum in the 760 mm mereury column Variation of Hg column with altitude Vacuum piston pumps, Magdeburg hemispheres Prssure-volume law of ideal gases