分立器件封装

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-完全覆盖包裹完毕 ,成型固化
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四.模封(Molding)
Molding 参数 Molding Temp:175~185°C;

Clamp Pressure:3000~4000N; Transfer Pressure:1000~1500Psi; Transfer Time:5~15s; Cure Time:60~120s;
目的: 让无铅电镀后的产品在高温下烘烤一段时间,目的在于 消除电镀层潜在的晶须生长(Whisker Growth)的问题; 条件: 150+/-5C; 2Hrs;
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九.测试、打标(Testing/Marking)
Wedge:第二焊点。指金线在Cap的作用下,在Lead Frame上形成的焊接 点,一般为月牙形(或者鱼尾形);
W/B四要素:压力(Force)、超声(USG Power)、时间(Time)、温度 (Temperature);
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三.键合(Wire bond)
EFO打火杆在磁 嘴前烧球
Cap下降到芯片的Pad上 ,加Force和Power形成 第一焊点
Cap牵引金 线上升
Cap运动轨迹形成良 好的Wire Loop
Cap下降到Lead Frame形成焊接
Cap侧向划开,将金 线切断,形成鱼尾
Cap上提,完成一次 动作
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三.键合(Wire bond)
利用高纯度的金线(Au)
、铜线(Cu)或铝线(Al)把 Pad 和 Lead通过焊接的方法连接起来。Pad是芯片上电路的外接 点,Lead是 Lead Frame上的 连接点。 W/B是封装工艺中最为关键的一部工艺。

焊线方式
超声波楔形焊接 打火烧结球形焊接
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六.切筋(Cropping)
目的:去掉框架上unit之间的连接部分使unit分开。
注意:要查看是否有切到模封体。
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七.电镀/浸锡(Plating/Dipping)
利用金属和化学的方法,在Leadframe的表面 镀上一层镀层,以防止外界环境的影响(潮湿 和热)。并且使元器件在PCB板上容易焊接及 提高导电性。 电镀一般有两种类型: Pb-Free:无铅电镀,采用的是>99.95%的高纯 度的锡(Tin),为目前普遍采用的技术,符合 Rohs的要求; Tin-Lead:铅锡合金。Tin占85%,Lead占 15%,由于不符合Rohs,目前基本被淘汰; 标准:引脚90%以上挂锡,plating 工艺厚度 (5-20um),dipping 工艺厚度(7-30um)
通过Saw
)上,使得即使被切割开后,不会散落;
Blade将整片Wafer切割成一个个独立的Dice,方便后面的 Die Attach等工序; Wash主要清洗Die Saw时候产生的各种粉尘,清洁Wafer;
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Wafer
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键合
QC 目检
QC 目检
切筋
去毛刺
模封
浸锡/电镀
烘烤
测试、打标
包 装 入 库
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一.划片(Die saw)
Wafer Mount 晶圆安装 Wafer Saw 晶圆切割 Wafer Wash 清洗
将晶圆粘贴在蓝膜(foil
一.划片(Die saw)
设备
设备disco DFD651 双刀切片机
主要切割参数
刀高
水温15-25℃ 水流速度 主轴转速30~50K 进刀速度 刀片寿命1800m
Saw Blade rpm
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一.划片(Die saw)
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三.键合(Wire bond)
材料及参数:
Capillary:陶瓷劈刀。W/B工艺中最核心的一个Bonding Tool,内部为 空心,中间穿上金线,并分别在芯片的Pad和Lead Frame的Lead上形成第 一和第二焊点;
EFO:打火杆。用于在形成第一焊点时的烧球。打火杆打火形成高温,将 外露于Capillary前端的金线高温熔化成球形,以便在Pad上形成第一焊 点(Bond Ball); Bond Ball:第一焊点。指金线在Cap的作用下,在Pad上形成的焊接点, 一般为一个球形;
Before Plating
After Plating
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八.烘烤(Baking)
晶须,又叫Whisker ,是指锡在长时间 的潮湿环境和温度 变化环境下生长出 的一种须状晶体, 可能导致产品引脚 的短路。
晶须
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五.去毛刺(Deflash)
Before After
目的:Deflash的目的在于去除Molding后在管体周围Lead之间 多余的溢料; 方法:弱酸浸泡,高压水冲洗;铜粉流冲击。
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Foreign
material
框架 X-ray void
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三.键合(Wire bond)
设备OEM360/7200
OEM360
OE7200
Al wire
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二.粘片(Die bond)
设备ESEC2007/2009
主要参数
顶针高度 抓片速度 贴片速度 贴片时间 Cavity 点锡量
Solder wire /PbSnAg 92.5/5/2.5 tool
设备
为了防止外部环境的冲击,利用EMC
把Wire Bonding完成后的产品封装起 来的过程,并需要加热硬化。
主要成分:环氧树脂及各种添加剂(固
化剂,改性剂,脱模剂,染色剂,阻燃剂) 等。
主要功能:在熔融状态下将芯片与框架
包裹起来,提供物理保护和电气保护,防 止外界干扰。
塑封料(EMC)
保存条件:-5℃,使用前需常温24小时。
电参数测试,外观平整度检查,标注厂家,产品型号等。 注意:防止好次品混料。
十.包装(Package)
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Thank you Q&A
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封装流程
王连新 2015.4.16
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封装简介
1.概念
封装,Package,是把集成电路装配为芯片最终产品的过程,简单地说,就是把 生产出来的集成电路裸片(Die)放在一块起到承载作用的基板上,把管脚引出来, 然后固定包装成为一个整体。 “封装”主要关注封装的形式、类别,基底和外壳、引线的材料,强调其保 护芯片、增强电热性能、方便整机装配的重要作用。
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四.模封(Molding)
模封过程
-L/F置于模具中, 每个Die位于Cavity 中,模具合模。 -块状EMC放入模具 孔中
-高温下,EMC开始 熔化,顺着轨道流 向Cavity中
-从底部开始,逐渐 覆盖芯片
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二.粘片(Die bond)
芯片拾取过程: 1、Ejector Pin从wafer下方的foil顶起芯片,使之便于 脱离蓝膜; 2、Collect/Pick up head从上方吸起芯片,完成从Wafer 到L/F的运输过程; 3、Collect以一定的力将芯片Bond在点有焊锡的L/F 的Pad上,具体位置可控; 4、Bond Head Speed根据Dice大小调节
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三.键合(Wire Baidu Nhomakorabeaond)
Wire Bond的质量控制:
Wire Pull、Stitch Pull(金线颈部和尾部拉力) Ball Shear(金球推力)
Wire Loop(金线弧高)
Ball Thickness(金球厚度) Crater Test(弹坑测试)
轨道温度
最高410℃
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二.粘片(Die bond)
管控参数
Tilt
>60um height(10-80um)
Solder Void Chip
(single<5% total<10%) die
Crack
管控参数
模封不全 气孔气泡 崩边 漏胶 分层 封装外形尺寸
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外观不良
分层检查
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TOSHIBA 封装尺寸管控
ST封装尺寸管控
备注:不同的封装厂有自己的管控标准,但差别不大。
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管控参数
正崩(>2.5um) 背崩(<60um) Chip
die
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二.粘片(Die bond)
Solder dispense 点锡 Die Attach 芯片粘接 Solder Cure 焊锡固化
点锡过程: 1、Leadframe 通过轨道运送到点锡头正下方 2、Dispenser 点锡到L/F pad 3、Cavity tool 将融化的焊锡压成方形
2.分类
按材料分:金属封装,陶瓷封装,塑料封装 按照与PCB连接方式:PTH与SMT
按照外形:TO
、SOT、SOIC、TSSOP、QFN、QFP、BGA、CSP等.
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TO247/TO220封装流程
划片
粘片
Thickness Size
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三.键合(Wire bond)
线径延展性
拉力测试
推力测试
化学腐蚀
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