单晶炉故障及处理事项
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功率KW 电压v 电流A
30KW
24.00
1272.79
60KW
33.33
1800.00
90KW
40.82
2204.54
120KW
47.14
2545.58
14
加热停止方面
副室炉盖没有降到位 主要在取挂钩 取肩 二段棒时 发生.
有 问 题 时
接近传 感器会 显示红 色
操 作 界 面 显 示 图
15
石墨件安装
旧程序 新程序
炉压偏高或有导气现象 以及步序切换后查看.
12
初始化后原点确认
在完成初始化后首先查看ORG灯后 查看I/O(输入/输出) 里面的MX0022 MX0025两项 .当这两项均显示红色 后表示初始化成功 确认了原点位置.
旧 程 序
新 程 序
13
加热方面
需要及时报维修的 1 发现电流表跳动(抖动) 2 加热电压 电流(过大)等异常情况
清理过后的密封圈：炉筒密封圈下部氧化 物堆积。
20
籽Baidu Nhomakorabea绳 密封圈判别
籽晶绳又称籽晶软 轴或钢丝绳，是是 提拉单晶的关键部 件，其好坏将直接 影响单晶的生长。 每次开炉前应检查 钢丝绳，确保其无 弯曲、断丝、毛刺 现象
弯 曲 钢 丝 绳
断 丝 钢 丝 绳
密封圈判别
O形圈要光滑，无破损、变 形、老化等现象。出现以上现 象必需更换
破损O形圈 翘 边 O 形 圈 变形O形圈
京运通摄像头
京运通摄像头和汉虹相同都是控 制单晶生长的重要部件，其观察 窗玻璃都应干净清洁。
注：京运通摄像头由于本身设计缺 陷，拆装炉时要注意其连接线是否 过短。拆炉时要将其拔下，避免拉 断、拉坏。
汉虹摄像头
观察窗镀金玻璃上应，干净清洁，无污渍。镀金玻璃上应用无酒精无尘纸 擦拭。 观察窗下高温玻璃上不能溅有大量硅料， 如有应通知维修查看，并更换。 其表面脏污，高温玻璃受损都将影响，摄 像头的监控，从而造成引晶、转肩、等径 自动控制失效。
连线脱落的手脉
正常的手脉
籽晶、坩埚无法升降
籽晶坩埚速度值设置错误会使坩埚、籽晶无法升降。
重锤安装
重锤安装：重锤中部、头部要拧紧，晃动无间隙。其安装不到位是晶棒晃动的 主要原因。
尾部松脱
头部松脱
炉内提肩二段导气
在取肩时因翻板阀没有盖到 位 而引起取挂钩 提肩或者 取二段棒时发生导气现象 我们盖阀时只需要轻轻转动， 阀挡手，盖到位即可（以手 上轻微感到有力为止），不 需要出死力气转到手轮转不 动为止，这样反而会引起机 械变形造成翻板盖不到位导 气。
炉内提肩二段导气
在取肩时因翻板阀没有盖到位 而引起取挂钩 提肩或者取二段棒时 发生导气现象. 提肩时翻版盖住,上炉室充氩气一半以上（500mt左右）时可以停止 上氩气,查看高位压力值是否明显减小,若减小速度很快则说明翻版 阀没有盖住.此时可以上副室重新抽空盖翻板，如若无效可以通知维 修处理。
11
压力：蝶阀控制
脏 污 的 观 察 窗 镀 金 玻 璃 及 受 损 的 高 温 玻 璃
京运通取光孔、热偶
取光孔安装时要注意安装位置， 不要将其装反而造成真空抽不下， 泄漏严重等故障
热偶要保证其内部有聚焦玻璃。 否则会影响单晶炉的温度感应，影 响单晶生长。
汉虹手脉
禁止有连线脱落的手脉线。发现需停 炉及时报维修处理。
石墨件安装时注意 托杆与挡料罩指间 的间隙. 防漏挡筒是否严重 变形 托杆与防漏挡筒上 氧化物是否过多.
16
氩气过充(760T以上)后处理方式
安全泄气阀
17
密封圈清理
氧化物误清入波纹管中： 氧化物清入波纹管中会使，磁流体寿命严重缩短，使液面抖动发生频繁
下波纹管内氧化物
18
清理密封圈
密封圈：各类管道密封圈擦拭应包括正反两面，大清时各密封圈要拉出清理 检漏泄漏太多是密封圈原因
30KW
24.00
1272.79
60KW
33.33
1800.00
90KW
40.82
2204.54
120KW
47.14
2545.58
14
加热停止方面
副室炉盖没有降到位 主要在取挂钩 取肩 二段棒时 发生.
有 问 题 时
接近传 感器会 显示红 色
操 作 界 面 显 示 图
15
石墨件安装
旧程序 新程序
炉压偏高或有导气现象 以及步序切换后查看.
12
初始化后原点确认
在完成初始化后首先查看ORG灯后 查看I/O(输入/输出) 里面的MX0022 MX0025两项 .当这两项均显示红色 后表示初始化成功 确认了原点位置.
旧 程 序
新 程 序
13
加热方面
需要及时报维修的 1 发现电流表跳动(抖动) 2 加热电压 电流(过大)等异常情况
清理过后的密封圈：炉筒密封圈下部氧化 物堆积。
20
籽Baidu Nhomakorabea绳 密封圈判别
籽晶绳又称籽晶软 轴或钢丝绳，是是 提拉单晶的关键部 件，其好坏将直接 影响单晶的生长。 每次开炉前应检查 钢丝绳，确保其无 弯曲、断丝、毛刺 现象
弯 曲 钢 丝 绳
断 丝 钢 丝 绳
密封圈判别
O形圈要光滑，无破损、变 形、老化等现象。出现以上现 象必需更换
破损O形圈 翘 边 O 形 圈 变形O形圈
京运通摄像头
京运通摄像头和汉虹相同都是控 制单晶生长的重要部件，其观察 窗玻璃都应干净清洁。
注：京运通摄像头由于本身设计缺 陷，拆装炉时要注意其连接线是否 过短。拆炉时要将其拔下，避免拉 断、拉坏。
汉虹摄像头
观察窗镀金玻璃上应，干净清洁，无污渍。镀金玻璃上应用无酒精无尘纸 擦拭。 观察窗下高温玻璃上不能溅有大量硅料， 如有应通知维修查看，并更换。 其表面脏污，高温玻璃受损都将影响，摄 像头的监控，从而造成引晶、转肩、等径 自动控制失效。
连线脱落的手脉
正常的手脉
籽晶、坩埚无法升降
籽晶坩埚速度值设置错误会使坩埚、籽晶无法升降。
重锤安装
重锤安装：重锤中部、头部要拧紧，晃动无间隙。其安装不到位是晶棒晃动的 主要原因。
尾部松脱
头部松脱
炉内提肩二段导气
在取肩时因翻板阀没有盖到 位 而引起取挂钩 提肩或者 取二段棒时发生导气现象 我们盖阀时只需要轻轻转动， 阀挡手，盖到位即可（以手 上轻微感到有力为止），不 需要出死力气转到手轮转不 动为止，这样反而会引起机 械变形造成翻板盖不到位导 气。
炉内提肩二段导气
在取肩时因翻板阀没有盖到位 而引起取挂钩 提肩或者取二段棒时 发生导气现象. 提肩时翻版盖住,上炉室充氩气一半以上（500mt左右）时可以停止 上氩气,查看高位压力值是否明显减小,若减小速度很快则说明翻版 阀没有盖住.此时可以上副室重新抽空盖翻板，如若无效可以通知维 修处理。
11
压力：蝶阀控制
脏 污 的 观 察 窗 镀 金 玻 璃 及 受 损 的 高 温 玻 璃
京运通取光孔、热偶
取光孔安装时要注意安装位置， 不要将其装反而造成真空抽不下， 泄漏严重等故障
热偶要保证其内部有聚焦玻璃。 否则会影响单晶炉的温度感应，影 响单晶生长。
汉虹手脉
禁止有连线脱落的手脉线。发现需停 炉及时报维修处理。
石墨件安装时注意 托杆与挡料罩指间 的间隙. 防漏挡筒是否严重 变形 托杆与防漏挡筒上 氧化物是否过多.
16
氩气过充(760T以上)后处理方式
安全泄气阀
17
密封圈清理
氧化物误清入波纹管中： 氧化物清入波纹管中会使，磁流体寿命严重缩短，使液面抖动发生频繁
下波纹管内氧化物
18
清理密封圈
密封圈：各类管道密封圈擦拭应包括正反两面，大清时各密封圈要拉出清理 检漏泄漏太多是密封圈原因