高冲击加速度传感器发展现状及趋势

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李科杰，何昀，张振海，林然，李治清
（北京理工大学，北京１０００８１）
摘要：为了给硬目标侵彻武器相关研究提供参考，本文综述了压阻式、压电式、电容式及热对流式传感器的国内外研究成果，总结了各类传感器的优缺点：压阻式线性度、灵敏度好、量程高，但受温度影响较明显；压电式具有良好的工作带宽，但零漂严重；电容式工作频带较宽，但在高冲击环境下线性度较差；热对流式采用了虚拟 “ 质量块” ，可达到较高量程，具有良好的抗冲击能力，但其温漂现象明显。总之，根据各类传感器的特点，由单芯片集成或多芯片组合的方式研制的三轴加速度传感器，已成为高冲击加速度传感器发展的主要方向。
第３５卷第４期
２０１３年８月
探测与控制学报
ＪｏｕｒｎａｌｏｆＤｅｔｅｃｔｉｏｎ＆Ｃｏｎｔｒｏｌ
ＶｏＩ＿３５ＮＯ．４
Ａｕｇ．２０１３
高冲击加速度传感器发展现状及趋势
ｂｅａｆｆｅｃｔｅｄｂｙｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｖａｒｉａｔｉｏｎ；ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｓｅｎｓｏｒｓｈａｄｗｉｄｅｂａｎｄｗｉｄｔｈｂｕｔｓｅｖｅｒｅｚｅｒｏ－ｄｒｉｆｔｓ；ｃａｐａｃｉｔｉｖｅ
ＬＩＫｅｊｉｅ，ＨＥＸｕ，ＺＨＡＮＧＺｈｅｎｈａｉ，ＬＩＮＲａｎ，ＬＩＺｈｉｑｉｎｇ
（Ｂｅｉｊｉｎｇｉｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００８１，Ｃｈｉｎａ）
关键词：侵彻武器；三轴；高冲击；加速度传感器；
中图分类号：ＴＰ２１２文献标志码：Ａ文章编号：１００８ — １１９４（２０１３）０４ — ０００６ — ０５
ＤｅｖｅｌｏｐｉｎｇＳｔａｔｕｓａｎｄＴｒｅｎｄｏｆＨｉｇｈＩｍｐａｃｔＡｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒ
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｏｐｒｏｖｉｄｅｒｅｆｅｒｅｎｃｅｆｏｒｓｅｎｓｏｒｓｏｆｈａｒｄｔａｒｇｅｔｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎｗｅａｐｏｎ，ｔｈｅｃｈａｒａｃｔHale Waihona Puke Baiduｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｐｉｅｚｏｒｅｓｉｓ —
ｔｉｖｅｓｅｎｓｏｒｓ，ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｓｅｎｓｏｒｓ，ｃａｐａｃｉｔｉｖｅｓｅｎｓｏｒｓａｎｄｃｏｎｖｅｃｔｉｖｅｓｅｎｓｏｒｓｗｅｒｅｄｉｓｃｕｓｓｅｄｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒ．Ｐｉｅ — ｚｏｒｅｓｉｓｔｉｖｅｓｅｎｓｏｒｓｈａｄｔｈｅａｄｖａｎｔａｇｅｓｏｆｇｏｏｄｌｉｎｅａｒｉｔｙ，ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙａｎｄｈｉｇｈｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｒａｎｇｅ，ｂｕｔｔｈｅｙｗｏｕｌｄ