高真空机组项目设计方案(含设计图)

高真空机组项目设计方案（含设计图）

一、分子泵机组I设计方案

1、主要技术指标

1）极限压力：≤5×10-5 Pa

2）抽气速率： 1400L/S

3）装置与真空室连接：DN250 （CF250接口，向上水平）

2、分子泵机组I结构图

3、主要配置说明

1）P2：直联式真空泵 3台

2）P1：分子泵 2台

3) VI：气动高真空插板阀 2个

4) V2：气动高真空挡板阀（不锈钢） 2个

5) G1\G2：电阻、电离复合真空计 2台

6) 过度管道（长250mm，法兰DN250） 2根

7)不锈钢波纹管（长1m） 2根

8)控制柜（三项集成） 1套

9) 电源、测量、控制线（50米）配套相符

二、分子泵机组II设计方案

1、主要技术指标

1）极限压力：≤5×10-5 Pa

2）抽气速率： 450L/S

3）装置与真空室连接：DN150 （CF150接口，向上方向）2、分子泵机组II结构图

3、主要配置说明

1）P2：型直联式真空泵 1台

2) P1：型分子泵 1台

3）VI：气动高真空插板阀 1个

4）V2：气动高真空挡板阀（不锈钢） 2个

5）G1\G2：电阻、电离复合真空计 1台

6）过度真空管道等（长250mm，法兰DN150） 1根

7）不锈钢波纹管 1根

8）电源、测量、控制线（50米）配套相符