激光器种类及应用
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代表:Ar 激光器,
输出波长:最强的是 0.488 μm的蓝光和0.5145 μm 的绿光, 输出功率:达 500 MW cm2,最大可达 150 W,可见光谱中连续输出功率最大的气体激光
能量转换效率:千分之几 所需泵浦功率高,需加冷却水、热交换器等。
用途:彩色电视、全息照相、信息存储、 快速排字、理论研究、医学、染料激光 器泵浦源。
准分子激光器激光波长(nm)
放电激发的准分子激光器结构与TEA型CO2激光器基本相同。 很难维持放电的长期稳定性,而要求脉冲宽度为几十ns的高速放电。 卤素气体活性很强,气体容易恶化,必须用耐腐蚀材料制作,并要定期更换气体。 通常采用He、Ne将由压力数千帕的稀有气体和压力数百帕的卤素气体组成的混合气 体稀释成数百千帕的混合气体作为激光工作物质,所形成的激光器输出能量为数百微 焦耳,发光效率1%,重复频率数千赫兹。
(2)纵向泵浦,泵浦光束与染料光束同轴; (3)倾斜入射式泵浦,泵浦光束与染料激光束成一锐角。
(a)脉冲激光激励型
(b) 连续激光器激励型 层流式染料激光器结构示意图
固体激光器
激光工作物质:生长期间人为掺入杂质原子的晶体。 特点:体积小,结构稳,易维护,输出功率大且适于调Q 产生高功率脉冲、锁模产生超短脉冲 典型例子:红宝石激光器、Nd:YAG(掺钕的钇铝石榴石激 光器)、钛蓝宝石激光器等。
半导体激光器
3.量子阱半导体激光器 两个高势能的阱壁夹住一个低势能阱底就构成了一个势阱,双异质结构就是这样 一个半导体势阱。这类势阱中,当有源区的厚度被减少到同电子的德布罗意波的波长 差不多(约10nm)时,就会发生量子尺寸效应,此时的势阱就称为量子阱。
•量子阱半导体激光器: 有源区由多个夹层状量子阱结构重叠而构成的半导体激光器,
半导体激光器
2.异质结半导体激光器 由两种不同带隙的半导体材料薄层,如GaAs和AlGaAs,所组成的一种夹心结构。 高带隙势垒可以阻止注入载流子向注入端深层扩散,从而增加反转粒子数密度, 改善激光器的温度特性,缩短有源区厚度,降低阈值电流密度。
与同质结半导体激光器相比,异质结半导体激光器具有有源层厚度薄、阈值 电流密度低、内部损耗低、电-光转换量子效率高、可通过改变混晶比调节输出 波长等一系列优点。
(a)直流放电型
Βιβλιοθήκη Baidu(b) TEA型
(c)波导型
气体激光器
4.准分子激光器 工作物质:稀有气体或稀有气体与卤素气体的混合气体, 输出波长处于紫外波段的高效脉冲激光器,通常作为分光、激光加工、光刻的光源。 一般稀有气体非常稳定,很难与其他原子结合形成分子, 一旦被激发易与其他原子结合形成分子——准分子, 准分子:激发态很稳定,基态不稳定立即分解,因而可获得理想的反转分布。 稀有气体与卤素气体的不同组合所得激光波长(nm)不同。
气体激光器
发光波长:0.6328m红光,3.39m、1.15m红外光。通常腔镜选取0.6328m 输出功率:较小(几mW到100mW) 能量转换功率:较低(0.01%) 单色性好,谱线宽度很窄,频率稳定度高,方向性好,发散角小,相干长度达几十公里 应用:精密计量、准直、测距、通讯、跟踪及全息照相等。 2.离子气体激光器 工作物质:离子气体。 输出波长:大多在紫外和可见光区域,输出功率比原子气体激光器高。
Nd:YAG激光器结构示意图
半导体激光器
工作物质:半导体材料(主要是化合物半导体) 泵浦:电流注入
特点:输入能量最低,效率最高,体积最小,重量最轻,可以直接调制,结构简单, 与集成电路生产工艺兼容,价格低廉,可靠性高,寿命长等
目前销售总数量已占各种激光器的99%,成为世界激光器市场上的绝对主流。
•应变量子阱阵列激光器: 略微改变重叠层材料的晶格常数可使量子阱的材料层形成应变,由此构成的激光器。
液体激光器
激光工作物质:液体。 可分为无机液体激光器和有机液体激光器。染料激光器最有代表性, 优点:波长连续可调(调谐范围从紫外直到红外)、价格低、增益高、效率较高、制备容易、
激光均匀性好、输出功率可与固体和气体激光器相比、 可以循环操作、利于冷却。
典型例子:若丹明6G染料激光器。
泵浦:,波长稍短于激光器输出波长的光泵, 泵浦方式:(1)横向泵浦,泵浦光束与染料激光束垂直;
1.同质结半导体激光器
是更复杂、更高性能半导体激光器的基本结构,简单、直观而 精练地体现了半导体激光器的工作原理,便于建立清晰的概念。
• 激光工作物质: 由半导体材料构成的有源区:Ⅲ-V族化合物,如GaAs,InP直接带隙结构, 导带底与价带顶都在K空间的同一位置,注人的电子-空穴带间的光跃迁 无需声子参与,跃迁几率很大,有很高的发光效率。
激光器的种类
气体激光器
以气体为工作物质的激光器。 目前应用最广泛的一类激光器:小功率He-Ne激光器,大功率二氧化碳激光器等。 大多数能连续工作,激励过程中涉及能级较固定,采用气体放电中的电子碰撞激发。 根据能级跃迁类型,又分为原子、离子、分子、准分子型气体激光器。
1.原子气体激光器 工作物质:中性气体原子。 典型代表:He-Ne激光器。其激活介质按He:Ne=1:10填充,氖提供激光跃迁能级。
气体激光器
3.分子气体激光器 工作物质:中性气体分子的激光器。
代表:CO2 激光器,其能级与分子的振动和转动有关。充气: 1: 4 : 5 CO 2 : N 2 : He
输出波长:10.6 μm 红外,正处于光通信“大气窗口”中,常被用作地面和空间光通信 光源 效率:高达30%, 输出功率:近似与管子长度成正比,很易从1米长激光器中获得100W连续功率输出 脉冲激光器输出功率可达千兆瓦量级。 又可分为直流放电型、横向放电大气压(TEA) 型和波导型
• 粒子数反转分布——通过 p-n结正向大注入途径来实现: 正向偏压下,大量电子和空穴分别通过耗尽层注入到p侧和n侧, ——导带中存在电子而价带空,形成粒子数反转分布。
• 谐振腔——一般通过解理形成: GaAs等材料折射率很高,解理面大约反射35%的入射光,可形成的一对优质F-P腔, 若再在两腔面分别镀以反射膜和增透膜,则可以进一步提高腔运行效果
输出波长:最强的是 0.488 μm的蓝光和0.5145 μm 的绿光, 输出功率:达 500 MW cm2,最大可达 150 W,可见光谱中连续输出功率最大的气体激光
能量转换效率:千分之几 所需泵浦功率高,需加冷却水、热交换器等。
用途:彩色电视、全息照相、信息存储、 快速排字、理论研究、医学、染料激光 器泵浦源。
准分子激光器激光波长(nm)
放电激发的准分子激光器结构与TEA型CO2激光器基本相同。 很难维持放电的长期稳定性,而要求脉冲宽度为几十ns的高速放电。 卤素气体活性很强,气体容易恶化,必须用耐腐蚀材料制作,并要定期更换气体。 通常采用He、Ne将由压力数千帕的稀有气体和压力数百帕的卤素气体组成的混合气 体稀释成数百千帕的混合气体作为激光工作物质,所形成的激光器输出能量为数百微 焦耳,发光效率1%,重复频率数千赫兹。
(2)纵向泵浦,泵浦光束与染料光束同轴; (3)倾斜入射式泵浦,泵浦光束与染料激光束成一锐角。
(a)脉冲激光激励型
(b) 连续激光器激励型 层流式染料激光器结构示意图
固体激光器
激光工作物质:生长期间人为掺入杂质原子的晶体。 特点:体积小,结构稳,易维护,输出功率大且适于调Q 产生高功率脉冲、锁模产生超短脉冲 典型例子:红宝石激光器、Nd:YAG(掺钕的钇铝石榴石激 光器)、钛蓝宝石激光器等。
半导体激光器
3.量子阱半导体激光器 两个高势能的阱壁夹住一个低势能阱底就构成了一个势阱,双异质结构就是这样 一个半导体势阱。这类势阱中,当有源区的厚度被减少到同电子的德布罗意波的波长 差不多(约10nm)时,就会发生量子尺寸效应,此时的势阱就称为量子阱。
•量子阱半导体激光器: 有源区由多个夹层状量子阱结构重叠而构成的半导体激光器,
半导体激光器
2.异质结半导体激光器 由两种不同带隙的半导体材料薄层,如GaAs和AlGaAs,所组成的一种夹心结构。 高带隙势垒可以阻止注入载流子向注入端深层扩散,从而增加反转粒子数密度, 改善激光器的温度特性,缩短有源区厚度,降低阈值电流密度。
与同质结半导体激光器相比,异质结半导体激光器具有有源层厚度薄、阈值 电流密度低、内部损耗低、电-光转换量子效率高、可通过改变混晶比调节输出 波长等一系列优点。
(a)直流放电型
Βιβλιοθήκη Baidu(b) TEA型
(c)波导型
气体激光器
4.准分子激光器 工作物质:稀有气体或稀有气体与卤素气体的混合气体, 输出波长处于紫外波段的高效脉冲激光器,通常作为分光、激光加工、光刻的光源。 一般稀有气体非常稳定,很难与其他原子结合形成分子, 一旦被激发易与其他原子结合形成分子——准分子, 准分子:激发态很稳定,基态不稳定立即分解,因而可获得理想的反转分布。 稀有气体与卤素气体的不同组合所得激光波长(nm)不同。
气体激光器
发光波长:0.6328m红光,3.39m、1.15m红外光。通常腔镜选取0.6328m 输出功率:较小(几mW到100mW) 能量转换功率:较低(0.01%) 单色性好,谱线宽度很窄,频率稳定度高,方向性好,发散角小,相干长度达几十公里 应用:精密计量、准直、测距、通讯、跟踪及全息照相等。 2.离子气体激光器 工作物质:离子气体。 输出波长:大多在紫外和可见光区域,输出功率比原子气体激光器高。
Nd:YAG激光器结构示意图
半导体激光器
工作物质:半导体材料(主要是化合物半导体) 泵浦:电流注入
特点:输入能量最低,效率最高,体积最小,重量最轻,可以直接调制,结构简单, 与集成电路生产工艺兼容,价格低廉,可靠性高,寿命长等
目前销售总数量已占各种激光器的99%,成为世界激光器市场上的绝对主流。
•应变量子阱阵列激光器: 略微改变重叠层材料的晶格常数可使量子阱的材料层形成应变,由此构成的激光器。
液体激光器
激光工作物质:液体。 可分为无机液体激光器和有机液体激光器。染料激光器最有代表性, 优点:波长连续可调(调谐范围从紫外直到红外)、价格低、增益高、效率较高、制备容易、
激光均匀性好、输出功率可与固体和气体激光器相比、 可以循环操作、利于冷却。
典型例子:若丹明6G染料激光器。
泵浦:,波长稍短于激光器输出波长的光泵, 泵浦方式:(1)横向泵浦,泵浦光束与染料激光束垂直;
1.同质结半导体激光器
是更复杂、更高性能半导体激光器的基本结构,简单、直观而 精练地体现了半导体激光器的工作原理,便于建立清晰的概念。
• 激光工作物质: 由半导体材料构成的有源区:Ⅲ-V族化合物,如GaAs,InP直接带隙结构, 导带底与价带顶都在K空间的同一位置,注人的电子-空穴带间的光跃迁 无需声子参与,跃迁几率很大,有很高的发光效率。
激光器的种类
气体激光器
以气体为工作物质的激光器。 目前应用最广泛的一类激光器:小功率He-Ne激光器,大功率二氧化碳激光器等。 大多数能连续工作,激励过程中涉及能级较固定,采用气体放电中的电子碰撞激发。 根据能级跃迁类型,又分为原子、离子、分子、准分子型气体激光器。
1.原子气体激光器 工作物质:中性气体原子。 典型代表:He-Ne激光器。其激活介质按He:Ne=1:10填充,氖提供激光跃迁能级。
气体激光器
3.分子气体激光器 工作物质:中性气体分子的激光器。
代表:CO2 激光器,其能级与分子的振动和转动有关。充气: 1: 4 : 5 CO 2 : N 2 : He
输出波长:10.6 μm 红外,正处于光通信“大气窗口”中,常被用作地面和空间光通信 光源 效率:高达30%, 输出功率:近似与管子长度成正比,很易从1米长激光器中获得100W连续功率输出 脉冲激光器输出功率可达千兆瓦量级。 又可分为直流放电型、横向放电大气压(TEA) 型和波导型
• 粒子数反转分布——通过 p-n结正向大注入途径来实现: 正向偏压下,大量电子和空穴分别通过耗尽层注入到p侧和n侧, ——导带中存在电子而价带空,形成粒子数反转分布。
• 谐振腔——一般通过解理形成: GaAs等材料折射率很高,解理面大约反射35%的入射光,可形成的一对优质F-P腔, 若再在两腔面分别镀以反射膜和增透膜,则可以进一步提高腔运行效果