空气洁净度标准

国家标准GB50073-2001

注：①每个采样点应至少采样3次。

②本标准不适合用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性及生命性。

③根据工艺要求确定1-2种粒径。

④1 m³=35.314ft³(立方英尺)，1 ft³=0.02832 m³

⑤所谓100、10000、100000级，是在1立方英尺空气中微粒子个数，因此，100级换算成m³，则有：

100×35.314=3531.4个/ m³

10000级则为353140个/ m³

100000级则为3531400个/ m³

国际标准ISO14644-1

表1：洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级

注：由于涉及测量过程中的不确定性，故要求用三个有效的数据来确定浓度等级水平。