SPM-9600控制气氛型扫描探针显微镜WET-SPM系列

SPM-9600

控制气氛型扫描探针显微镜

WET-SPM系列

控制气氛中的SPM观察

在扫描型探针显微镜 SPM-9600系列基础上,通过选购控制气氛腔，就可以升级为可控气氛扫描型探针显微镜WET-SPM系列。这是SPM-9600系列独有的特长，该系列最大限度的采用了岛津独立自主开发的样品交换机构,前面操作、全自动驱近、开放式头部设计等，进而实现了腔体内使用。腔体采用手套箱结构，可在控制气氛下制备样品（切割、清洗、干燥等）和更换样品。通过与选购件组合使用，不仅可在特定气体气氛中进行SPM观察，而且，可在加热・冷却样品、控制气氛湿度・温度、向样品吹气的同时进行SPM观察。WET-SPM 是把表面的动态世界以纳米尺度展现给用户的划时代系统.

控制气氛腔 CH-II/CH-III

控制气氛腔 CH-II(无分子泵TMP)/CH-III(有分子泵TMP)是专为SPM-9600系列

设计的、与减震台一体化并且有手套箱的腔体系统。SPM单元可方便地从腔体背

面放入腔体中，从而由大气型SPM升级到控制气氛SPM，应用范围扩大 (日本国

专利第2612395号、美国专利No.5200616)。这样不仅可控制样品，还可控制周

围整个环境，因此，可在控制气氛下进行样品处理，并直接进行SPM观察。通过

大型观察窗和两个手套口，可在腔体内部自由地进行前处理。并且，通过追加对

应控制气氛腔的选配件，可作为原位(in-situ)SPM，实时跟踪在改变温度、湿度、

圧力、光亮、浓度等物理量时样品表面的变化。可很方便地从腔内取出或放入SPM单元，因此，可用作大气型和控制气氛型两用的SPM.

腔体构造图

主要技术规格

孔手套孔2个

大型观察窗1个

主机装卸口1个

样品装载口1个

抽气孔1个

备用孔4个

真空系统使用泵旋转机械泵(160 /min)

涡轮分子泵(50 /sec)（只限CH-III）真空度 1.3×10-3 Pa(1.0×10-5 Torr)（只限CH-III）气体导入系统一个系統自动控制

电气接头(7针)16个(包括8个备用 )

减震机构内置空气弹簧式减震台

※此信息仅供参考,如有变动恕不另行通知。