曝光机维护ppt课件

6. G R E A SE U P & C L E A N IN G
SEMI -ANNUALLY 1. P R E SSU R E G A U G E IN D IC A TIO N
2. IL L U M IN A TIO N IN TE N SITY , IL L U M IN A TIO N U N IFO R M ITY
2
1. 将Coater U/D, Chamber U/D, Chuck VAC三个阀门调至MANUAL档。
2. 降下Coater Chuck. 3. 降下Chamber. 4. 将Spin Chamber Arm Swatch 调至MAINT档,
并固定开关,防止人员作业时Chamber落下伤人。 5. 升起Chamber. 6. 关闭ER Stage CAB OFF SW,然后移动CAB，使清洗时有更大空 间。 7. 去掉Load Cup上的八个螺丝，去掉Load Cup. 8. 记住Load Cup上标记的位置，安装位置不对的话会出现摇摆的现象。 9. 拧下固定Thinner的螺丝，去掉Outer Cup. 10. 使用丙酮清洗Cup内部的PR。 注意:1. 一般不能用Acetone清洗Chuck, 但当Chuck上有PR胶时，需要用Acetone
5
概述：
第二部分 曝光机的 PM
目前曝光机进行的PM主要是月度的PM,它包括:
1. PRESSURE GAUGE INDICATION
2. ILLUMINATION INTENSITY , ILLUMINATION UNIFORMITY
3. FOCUS
4. STITCHING ACCURACY ; OVERLAY ACCURACY ; SDC CHECK
3. FO C U S
4. STITC H IN G A C C U R A C Y
5. O V E R L A Y A C C U R A C Y 2 (1,3号机 M A TC H IN G )
6. C L E A N IN G
QUARTERLY 1. P R E SSU R E G A U G E IN D IC A TIO N
ANNUALLY
1. P R E SSU R E G A U G E IN D IC A TIO N
2. IL L U M IN A TIO N IN TE N SITY , IL L U M IN A TIO N U N IFO R M ITY
3. D R 0
4. FO C U S
5. STITC H IN G A C C U R A C Y
3. C L E A N IN G
4. STITC H IN G A C C U R A C Y
MONTHLY
1. P R E SSU R E G A U G E IN D IC A TIO N
2. IL L U M IN A TIO N IN TE N SITY , IL L U M IN A TIO N U N IFO R M ITY
第三章 设备的PM
PM是预防性维护的缩写,就是要针对容易出现故障的部分进行检查, 和保养,预防故障的发生,最大限度的延长机器的寿命.下面将从track 设 备和曝光机设备这两个方面对设备PM进行总结。
1
第一部分 TRACK 机的 PM TRACK机的PM包括每月PM,季度PM，半年PM和年终PM.工作主要是清 洗设备，上润滑油，更换使用到期的部件
3. D R 0
4. FO C U S
5. STITC H IN G A C C U R A C Y
6. O V E R L A Y A C C U R A C Y 2 (1,3号机 M A TC H IN G )
7. D ISTO R TIO N STA B IL ITY
8. G R E A SE U P & C L E A N IN G
2. IL L U M IN A TIO N IN TE N SITY , IL L U M IN A TIO N U N IFO R M ITY
3. FO C U S
4. STITC H IN G A C C U R A C Y
5. O V E R L A Y A C C U R A C Y 2 (1,3号机 M A TC H IN G )
6. O V E R L A Y A C C U R A C Y 1
7. O V E R L A Y A C C U R A C Y 2 (1,3号机 M A TC H IN G )
8. D ISTO R TIO N STA B IL ITY
9. G R E A SE U P & C L E A N IN G
ER清洗： 1．将ER Arm Switch关闭。 2．用丙酮冲洗Nozzle，同时用Wiper吸取废液。 3．用IPA清洗一下Lift Pin, Vacuum Pin和载台。
4
Cup and Spin Chuck 清洗： 1. 将设备的外盖和内盖打开 2. 将Chuck盖上，进入设备用DIW冲洗内部 3. 用IPA进行擦拭 4. 再用DIW冲洗 5. 拿走Chuck并清洗Chuck和四壁
5. GREASE UP AND CLEANING
更详细的PM请见下表
6
类别
预防保养项目
WEEKLY
1. P R E SSU R E G A U G E IN D IC A TIO N
2. IL L U M IN A TIO N IN TE N SITY , IL L U M IN A TIO N U N IFO R M ITY
清洗，但清洗后必须再用IPA清洗一遍。 2. 一次用三张以上Wiper，以防被吸进排管中。
3
PR Nozzle 清洗 1. 升起Scan Arm. 2. 用Acetone冲洗喷嘴和嘴槽 3. 恢复Scan Arm的位置
注意：长时间不清洗PR Nozzle，凝固的PR 将堵住喷嘴， 喷嘴有可能突然喷出Thinner液体，溅射到玻璃上， 把PR胶溶解掉，造成不良。
7
2 PM项目说明:
PRESSURE GAUGБайду номын сангаас INDICATION
这个项目所做的内容就是检查机器的输入输出气体的压力,他们是: 1 dry air : 正常值:600-900kpa 2 clean air :正常值:600-900kpa 3 cooling are :正常值:400-900kpa 4 N2 :正常值:600-900kpa 5 VACUUM :正常值: >67 kpa 6 LAMP EXHUAST :正常值: >1.5 kpa 7 PCW :正常值: 20l/min 8 C-OIL :正常值: 0.07-0.21 Mpa