薄膜压力传感器的工作原理

薄膜压力传感器的工作原理

薄膜压力传感器的工作原理是将一个薄膜（如Pt-Ir）作为一个弹性元件，将受压力气体（如液体或气体）作为一个外力，对薄膜施加压力；上面固定一个有弹性特性的膜，用于检测受压力气体对薄膜施加的压力；在受压力气体施加压力时，两个膜表面会发生紧密贴合，从而引起一些物理和化学变化。

其中，物理变化表现为薄膜的尺寸变化。在上述变化过程中，由于膜的弹性特性，会产生电容变化，从而产生测量信号。此信号电容变化随压力的变化而变化，从而实现压力的测量。