离子注入机简介
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ANALYZER
ARC
ACCELERATION
VAPORIZER
FLAG FARADAY
SOURCE MAGNET
SUPPRESSION
EXTRACTION (HV)
END STATION
FARADAY SYSTEM END STATION CONTROL
DISK FARADAY
4
★ 离子注入的原理
离子源产生的离子在吸极电压的作用下形成 束流，以一定的速度进入分析器磁场后受到洛仑 磁力发生偏转，选出我们所需的离子，通过加速 高压的作用获得一定的能量，离子通过透镜的聚 焦后，以一定的扫描方式打入硅片。
5
★ 离子源的工作原理
当离子源的灯丝通过足够大的直流电流时， 灯丝受热后发射的热电子在ARC 电压、源磁场的 共同作用下做螺旋状运动与工艺气体碰撞后，工 艺气体发生电离产生离子。
离子注入机简介
★ 离子注入机的种类
中束流 μA
350D NV6200A
NV10-80
大束流 mA
NV10-160 NV10-160SD NV10-180
2
★6200、NV10160、10180、10160SD简介 离子注入机按照真空系统分为三个部分 SOURCE BEAM LINE END STATION
8
★ FARADAY SYSTEM
FARADAY的作用是测量束流，通过DOSE控制器 精确地计量注入到硅片上的剂量。 BEAM SETUP：束流打在FLAG FARADAY IMPLANT：束流打在END STATION（350D）
束流打在DISK （NV1080）
9
谢谢！ 2006.8.2
10
3
各部分包括的控制器
SOURCE
BEAM LINE
6200
NV10160 NV10180 NV10160SD
FILAMENT
ANALYZER
ARCBaidu Nhomakorabea
SUPPRESSION
EXTRACTION
ACCELERATION
ACCEL / DECEL SUPPRESSION
Q-LENS X 、Y SCAN
FILAMENT
6
★ 质量分析器
洛仑磁力： F=qvB R=mv/qB 带电粒子进入磁场受到力的作用后发生偏转。 11B+、 31P+、 40Ar+、 75As+、 121Sb+ 350D：先分析后加速。 NV1080：先加速后分析。
7
★ Q-LENS 静电四极透镜
静电四极透镜：对离子进行聚焦作用。 加速后的离子在Q-LENS静电四极透镜的作用下被 聚焦成较小的束斑。