半导体设备维修心得体会

设备维修心得体会

设备维修工作是一项技术性很强的工作，今天叫我谈谈维修工作的一些经验、技巧，我也谈不出什么东西，只是谈谈我在设备维修工作中一些心得体会，和大家进行交流，仅供大家参考，有错误的地方请大家指出。我所讲的这些，只是起一个抛砖引玉作用，希望大家能将平时在设备维修工作中积累的好经验、好方法展现给大家，相互交流、相互学习，共同提高。

今天的介绍分为（一）设备维修人员基本要求（二）设备维修基本方法（三）几种常用器件好坏判别（四）如何读图，基本电路分析（五）几个维修实例5个部分。

一.设备维修人员基本要求

设备维修是技术性很强的一项工作，现在不少大学设有设备维修专业。专门对大学生传授设备维修方面的专门知识，研究设备维修新方法、新思路、新设备。

我们公司的大部分设备是日本、美国等外国生产的设备，一般是上世纪80年代后的产品，大多采用了微机控制、可编程控制器、机电一体化、高真空、高能粒子磁控等等技术，技术相当复杂。这就要求维修人员要有相当的微机、机电一体化、光学、真空的获得和测量、高能粒子等等基础知识。

设备维修是一项枯燥的工作，又是艰苦工作。每天就是给故障设备治病，有时面对故障，束手无策。甚至很长时间找不到故障的确切原因。这就需要设备维修人员要有敬业精神，爱岗敬业，

坚忍不拔，孜孜不倦，刻苦探索。

设备维修是一门不断发展、不断更新的应用技术。设备维修技术是由二部分组成：基础理论和实践经验的积累融合。基础理论知识固然重要，如何灵活应用基础知识正确分析错综复杂故障现象，如何能迅速准确判断故障原因，这就要求我们在维修工作中不断总结，不断提高。要将现场维修经过自己加工提升，变成自己的经验积累。同时，由于科学技术的飞速发展，各种新工艺、新器件、新材料、新技术不断涌现，这就要求我们不断学习，不断充电，用新知识、新技术不断充实自己，刷新自己。

设备出现的故障各式各样，错综复杂，而我们每个人发现问题分析问题的方法都有其局限性，难免有时会陷入束手无策、进退两难的窘境。如果我们大家团结协作，各抒己见，取长补短，许多问题不难解决。这就需要我们维修人员要有团队精神、协作精神。

二.设备维修的基本方法

设备维修人员和医生差不多，就是给设备治病。遇到设备出现故障，首先是

1.仔细观察，基本确定故障范围。一台设备坏了，首先要仔细的看，仔细的闻。有没有电子元件烧坏，如电阻烧变形，保险丝烧断，电解电容器电解液冒出来了，有没有焦糊味………等等。

元器件烧坏只是故障现象，用同样规格元器件更换烧坏元器件，有时能解决问题，有时还会继续烧。通过仔细观察，基本确定故障范围，继续寻找故障的根本原因。

2.清除设备各部件的沉积的灰尘，以使各电路板、接插件连接良好。

a.我们公司的设备平时维护保养做的比较差，设备内部积灰严重，在通电之前，必须去除设备内部的灰尘。五寸工厂可能好一点，四寸工厂设备内部积灰比较普遍。例如四寸的探针台、计算机测试系统就是如此。建议设备内部每年要做一次除尘，用吸尘器或干燥的压缩空气除去设备内部灰尘。如果设备内部大量积灰，灰尘又吸收空气中的水分，造成设备内部漏电、短路，或者影响高频电路的分布参数，严重影响设备的安全运行。

b.检查各连接插头是否接触良好。

我们检修的设备大多是二手设备，一般运行了一、二十年，许多插头、连接器存在接触不良。我们要仔细将各插头、连接器用触点清洗剂、无水乙醇清洗干净，去除氧化层。有的插头插座和电路板连接的焊脚出现氧化虚焊，需要去除氧化层，用烙铁重新焊一遍，消除虚焊接触的隐患。去年四寸的减薄机故障，显示器显示内容不对，主要原因是电缆连接插座的焊脚和电路板氧化虚焊。

最近，四寸一台探针台步进电机在AUTO方式，步进电机不能正常运行，也是由于虚焊引起。

3.通电检查控制系统的各路供电电压，测量有关器件工作点并综合分析，缩小故障查找范围。

a.设备通电之前，要查清楚设备的供电电压，千万不能弄错。110V不能插到220V,避免造成更

大故障。

TTL数字电路、微机控制部分电压5V±0.2V。

CMOS数字电路供电电压有5V,9V,12V,15V……

运算放大器供电电压有单电源供电5V,12……等等，双电源供电电压有±6V,±12V,±15V等等。

继电器供电电压有5V,6V,12V,15V.24V等等。

电源电压正常是设备正常运行的最基本条件，这是设备维修的一个重点。我们平时维修的设备故障60%以上是电源故障。在电源故障中，由于我们的设备不少已使用了十年以上，电解电容电解液干枯，电容量变小，漏电增加，退耦能力减少，以至不少微机运行过程不稳定，常常死机，我们首先要检查的应该是+5V±0.2V电源，这一点我们不能忽视。

d.对单板机、单片机它的信号传送、检测、处理都是动态进行的，维修比较困难。如果单板机、单片机出现故障，我们首先检查其供电电压、CPU的复位电路、时钟振荡电路。时钟脉冲可用示波器检测，读出其频率、脉宽、占空比是否符合CPU要求。检测有关TP点信号波形，以便分析对比。如果对某一块电路板怀疑，可用备用板或同样的电路板替换，看看结果有没有变化。电路板替换，IC替换，这是常用的一种维修方法。

e.对线性电路，无非是由一些晶体管、电阻、电容、运算放大器组成。我们可通过测量关键器件的工作点来判断。晶体管工作在线性状态，EB压降大致为0.7伏，BC结一定为反偏。晶体管工作在开关状态，EB结也为反偏，可为-0.01—-0.7V不等，该电压由占空比和脉冲频率决定。如果某一晶体管工作点不正常，先用数字万用表粗略判断晶体管，再查其偏置电路。如果偏置电路没有问题，应将晶体管卸下来，再用QT-2测一下BVceo、Icbo、Iceo，万用表测晶体管只是大致判断。准确判断晶体管好坏，应用QT-2检测。

运算放大器的基本功能和晶体管相似，可工作在线性放大状态，也可工作在开关状态。

运放工作在放大状态，二个输入端压降很小，有的几乎一样。输出电压在正负电源之间，并和正负电源有一定压差。运放工作在开关状态，二个输入端压降较大，输出不是接近正电源，就是接近负电源。对于单运放判断其好坏，可以自己做一个测试工具，如下图A：

在万用面包板焊一个8脚IC插座，按图焊上电阻、电位器。将IN端接地，调W1，输出为零。如果IN端接1V电压，OUT端得到2V电压，那么这个运放是一个好运放。图A是比例放大器。U1工作在线性放大状态。

或按图B在面包板上IC插座

在U3、U4二个IC插座插上uA741,或管脚和741一样的运算放大器，加电后，如果在TP1端出现方波，在TP2端出现三角波，则这二个运放是好的，否则对应的运放不是好的。从图B中看出U3有二个反馈网络，R3、W1组成正反馈，积分器U4和R2相移回路。TP1输出方波，TP2输出三角波。U3、U4工作在开关状态。