分子泵简介及应用
分子泵 真空泵
分子泵真空泵分子泵和真空泵是现代科学研究和工业生产中常用的真空设备。
本文将分别介绍分子泵和真空泵的原理、结构和应用。
一、分子泵分子泵是一种利用分子撞击和吸附原理将气体排出的高真空泵。
其主要由转子、静子和泵体组成。
1. 原理分子泵的工作原理是通过转子的高速旋转，将气体分子从入口端吸入泵体，然后在转子和静子之间的空间中发生多次碰撞。
由于气体分子之间的碰撞力很小，碰撞后会改变运动方向，最终被挤向泵体的出口端，从而实现气体的排除。
2. 结构分子泵的转子通常由许多叶片组成，叶片之间呈螺旋状排列。
在高速旋转的同时，转子上的叶片会与静子之间的壁面形成一个狭窄的通道，气体分子只能通过这个通道进入泵体。
静子通常是一个环形的结构，其内部有许多小孔，用于吸附气体分子。
3. 应用分子泵广泛应用于半导体制造、真空冷冻、航天科研等领域。
由于其高真空度和高抽气速度，能够有效排除气体中的杂质，保证真空环境的洁净度。
二、真空泵真空泵是一种将气体抽出封闭容器的设备，常用于实验室、化工、制药等领域。
根据工作原理的不同，真空泵可分为机械泵、扩散泵、栅极离子泵等多种类型。
1. 机械泵机械泵是一种利用机械运动将气体排出的真空泵。
其结构简单，由主泵和辅助泵组成。
主泵通常是离心泵或旋片泵，通过转子的旋转将气体抽出。
辅助泵主要用于增加真空泵的抽气速度。
2. 扩散泵扩散泵是一种利用气体分子的扩散运动将气体排出的真空泵。
其结构复杂，由扩散器、冷凝器和泵体组成。
扩散器通常是一个环形的结构，内部有许多小通道，气体分子通过这些通道扩散到冷凝器中被冷凝。
3. 栅极离子泵栅极离子泵是一种利用离子撞击气体分子将气体排出的真空泵。
其结构由栅极、阳极和泵体组成。
离子通过栅极加速后与气体分子碰撞，将其排出。
栅极离子泵具有高真空度和高抽气速度的特点。
真空泵的应用非常广泛，既可用于实验室的真空抽取，又可用于工业生产中的真空处理。
在高真空环境下，真空泵能够有效地排除气体，保证实验和生产的顺利进行。
分子泵介绍
分子泵介绍一、分子泵是什么呢？嘿呀，小伙伴们！今天咱们来唠唠分子泵这个超有趣的东西。
分子泵呀，就像是一个超级厉害的小助手，在很多高科技的领域里都发挥着大作用呢。
你可以把它想象成一个超级吸力器，不过它吸的可不是咱们平常能看到的东西哦。
它专门对那些分子级别的东西有强大的“掌控力”。
分子泵在真空技术里可是个明星呢，就像在一个微观的世界里当大英雄。
二、分子泵的工作原理这分子泵的工作原理可有点像一场精心编排的舞蹈。
它主要是利用高速旋转的叶片或者其他特殊的结构，让那些分子按照它的节奏动起来。
就好比是在一个超级小的舞池里，分子泵是领舞的，分子们就得跟着它的步伐走。
分子泵通过这种巧妙的方式，把那些原本在一个空间里乱蹦跶的分子给有序地“请”出去，这样就能达到制造真空或者维持真空环境的目的啦。
三、分子泵的种类1. 牵引分子泵这种分子泵就像是一个温柔的引导者。
它的结构和工作方式相对来说比较简单直接。
它就像用一根无形的绳子，一点点地把分子拉到它想要的地方去。
在一些对真空度要求不是超级高的场合，牵引分子泵就可以大显身手啦。
2. 涡轮分子泵涡轮分子泵可就像是一个超级精密的机械战士。
它有很多层像小风扇一样的叶片，这些叶片高速旋转起来，就像一阵超级旋风，分子们在这阵旋风里就只能乖乖听话了。
涡轮分子泵能够达到很高的真空度，在那些对真空环境要求极高的科学研究或者高端制造业里，那可是必不可少的。
四、分子泵的应用领域1. 半导体制造在半导体制造这个超级高科技的领域里，分子泵可是个大功臣。
大家都知道，半导体芯片的制造那可是容不得一点杂质的。
分子泵制造的真空环境，就像给芯片制造提供了一个超级纯净的空间，让那些微小的电路能够精确地被制造出来。
要是没有分子泵，我们现在的手机、电脑可能就不会这么先进啦。
2. 科学研究在实验室里，科学家们研究微观世界的时候，也离不开分子泵。
比如说在研究原子、分子的结构和性质的时候，需要一个非常稳定的真空环境，分子泵就能很好地满足这个要求。
分子泵简介及应用
分子泵简介及应用分子泵起源分子真空泵是在1911 年由德国人盖德(w · Gaede) 首先发明的，这种分子泵是在分子流区域内靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。
通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象。
因此，人们将盖德发明的分子泵称为牵引分子泵。
牵引分子泵的优点是起动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸汽，特别适于抽除较重的气体。
但同于它自身的弱点：抽速小，密封间隙太小，工作可靠性较差，易出机械故障等，因此除特殊需要外，实际上很少应用。
分子泵抽气原理分子泵输送气体应满足二个必要条件：1). 分子泵必须在分子流状态下工作。
因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时，其中气体分子的平均自由程则随之增加。
在常压下空气分子的平均自由程只有0.06 μm ，即平均看一个气体分子只要在空间运动0.06 μm ，就可能与第二个气体分子相碰。
而在1.3Pa 时，分子间平均自由程可达4.4mm 。
在分子流范围内，气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距。
当器壁由不动的定子叶片与运动着的转子叶片组成时，气体分子就会较多地射向转子和定子叶片，为形成气体分子的定向运动打下基础。
2). 分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。
具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。
分子泵的转速越高，对提高分子泵的抽速越有利。
实践表明，对不同分子量的气体分子其速度越大，泵抽除越困难。
例：H2 在空气中含量甚徽，但由于H2 分子具有很大的运动速度( 最大速度为1557m /s) ，所以分子泵对 H2 的抽吸困难。
通过对极限真空中残余气体的分析，可发现氢气比重可达85 ％，而分子量较大，而运动速度慢的油分子所占的比重几乎为零。
这就是分子泵对油蒸气等高分子量的气体的压缩比很高，抽吸效果好的原因。
分子泵简介讲义
管道连接
正确连接进气口、出气 口和其他相关管道，确
保密封良好。
校准与调试
按照厂家要求进行校准 和调试，确保分子泵正
常工作。
分子泵的日常维护保养
定期清洁
定期清洁分子泵的外部和内部 部件，保持其良好的工作状态
。
检查密封件
定期检查密封件是否老化或损 坏，及时更换。
润滑与保养
按照厂家要求进行润滑和保养 ，确保分子泵正常运行。
测试与验证
维修完成后进行测试和验证， 确保分子泵性能达标。
06
分子泵的发展趋势与展望
分子泵的发展趋势
高真空应用
随着科技的发展，高真空应用领域不断扩大，分子泵作为 高真空系统中的核心设备，其市场需求将持续增长。
节能环保
随着环保意识的提高，节能环保成为分子泵发展的重要趋 势。研发高效、低能耗的分子泵产品将成为行业发展的重 点。
分子泵简介讲义
汇报人： 日期:
目录
• 分子泵概述 • 分子泵的基本原理 • 分子泵的种类与结构 • 分子泵的性能参数与评价 • 分子泵的安装与维护 • 分子泵的发展趋势与展望
01
分子泵概述
定义与特点
定义
分子泵是一种利用分子之间的相互作用来传递能量的机械，其工作原理是通过 高速旋转的叶片或刷子将气体分子从入口加速到出口，从而实现气体压缩和排 放。
分子泵的种类与结构
分子泵的种类
干式真空泵
蒸汽喷射泵
利用机械方式直接将气体分子从真空 室中抽走，如旋片式真空泵、爪式真 空泵等。
利用高温蒸汽将气体分子从真空室中 抽走，如蒸汽喷射式真空泵等。
液环真空泵
利用液体在泵内形成液环，通过液环 与气体分子相互作用，将气体分子从 真空室中抽走，如水环式真空泵等。
分子泵技术
分子泵技术一、引言分子泵是一种常用的真空技术装置，广泛应用于科研实验、半导体制造、光学薄膜镀膜等领域。
本文将介绍分子泵技术的原理、结构和应用。
二、分子泵的原理分子泵利用分子间碰撞的动量传递来实现气体的抽取。
其原理主要包括静态效应和动态效应。
静态效应是指在泵内建立高速旋转的转子，使气体分子在转子叶片间碰撞，从而获得动量传递。
动态效应是指在转子叶片上形成的高速分子束，将气体分子从泵内抽出。
三、分子泵的结构分子泵主要由转子、定子和泵壳组成。
转子是分子泵的核心部件，由多个叶片构成，通过电机驱动高速旋转。
定子是转子的外包层，起到支撑和保护的作用。
泵壳则是整个分子泵的外壳，具有密封和连接作用。
四、分子泵的工作过程分子泵的工作过程可以分为启动阶段、抽气阶段和吸附阶段。
启动阶段是指通过电机将转子高速旋转，使转子叶片间形成高速分子束。
抽气阶段是指利用分子束将气体分子从泵内抽出。
吸附阶段是指在抽气过程中，少量气体分子未被抽出而被吸附在泵的表面。
五、分子泵的应用分子泵广泛应用于实验室科研、半导体制造和光学薄膜镀膜等领域。
在科研实验中，分子泵常用于真空环境的创建，以便进行高精度的测量和分析。
在半导体制造中，分子泵用于去除制造过程中产生的杂质气体，以保证半导体器件的质量。
在光学薄膜镀膜中，分子泵则用于创建纯净的真空环境，以保证薄膜的质量和光学性能。
六、分子泵的发展趋势随着科技的不断进步，分子泵技术也在不断发展。
目前，分子泵技术已经实现了小型化和智能化，使得分子泵更加便于使用和控制。
同时，随着材料科学和表面工程的发展，分子泵的材料和结构也在不断优化，以提高抽气速度和抽气效率。
七、总结分子泵技术是一种重要的真空技术装置，具有广泛的应用前景。
通过分子间碰撞的动量传递，分子泵可以实现对气体的抽取，广泛应用于科研实验、半导体制造和光学薄膜镀膜等领域。
随着技术的不断发展，分子泵将会更加小型化和智能化，为各个领域带来更多的便利和进步。
分子泵技术
分子泵技术一、引言分子泵是一种高真空泵，可用于实验室、半导体制造、航空航天等领域。
它通过利用分子流动的动力学原理将气体从一个区域抽到另一个区域，从而实现真空度的提高。
本文将介绍分子泵技术的原理、结构和应用。
二、原理分子泵的工作原理基于气体分子的运动规律。
当气体分子进入分子泵时，分子泵内部有一系列高速旋转的叶片或转子，通过与气体分子碰撞，将其动能转换为旋转动能，从而驱动气体分子沿着泵的轴向运动。
由于分子泵内部的压力较低，分子之间的碰撞概率相对较小，因此气体分子可以以较快的速度运动，从而被抽出系统。
三、结构分子泵由分子泵头和控制器两部分组成。
分子泵头是实现真空抽取的关键部分，通常由转子、定子和扩散泵组成。
转子和定子之间的间隙非常小，以保证气体分子只能沿轴向运动，而不能逃逸。
扩散泵用于将抽出来的气体排出系统。
控制器负责对分子泵进行电子控制和监测，以确保其正常运行。
四、应用1. 实验室研究：分子泵广泛应用于实验室的真空系统中，用于抽取空气、水蒸汽等气体，以提供高真空环境，保证实验的准确性和可靠性。
2. 半导体制造：在半导体制造过程中，需要在清洁室环境下进行，以避免杂质对芯片质量的影响。
分子泵通过抽取空气中的杂质气体，确保清洁室内的真空度，从而保证半导体芯片的质量。
3. 航空航天：在航空航天领域，分子泵被广泛应用于航天器的真空测试、推进系统和舱内环境控制等方面。
它可以提供高真空环境，确保航天器的正常运行。
五、发展趋势随着科技的不断进步，分子泵技术也在不断发展。
目前，磁悬浮分子泵、速度调节分子泵等新型分子泵正在逐渐取代传统的离心分子泵。
这些新型分子泵具有更高的抽取速度、更低的振动和噪音，以及更好的可靠性和可控性。
六、总结分子泵技术作为一种重要的真空技术，在科研和工业生产中发挥着关键作用。
通过利用分子的运动规律，分子泵可以有效地抽取气体，提供高真空环境。
随着技术的发展，新型分子泵不断涌现，为科学研究和工业生产提供更好的真空解决方案。
分子泵真空系统
分子泵真空系统
分子泵真空系统是一种用于产生高真空环境的设备，广泛应用于科研实验、半导体制造、光学薄膜涂覆等领域。
它通过利用分子流的动力学效应，将气体分子从系统中抽出，从而实现高真空的状态。
本文将从介绍分子泵的工作原理、优势和应用领域等方面进行阐述。
分子泵真空系统的工作原理主要基于分子流的动力学效应。
当气体分子与高速旋转的转子碰撞时，会发生弹跳和散射。
由于转子的高速旋转和分子之间的碰撞频率非常高，分子在碰撞后被抛出系统的概率远远大于重新进入系统的概率，从而实现气体分子的抽出。
与传统的机械泵相比，分子泵具有许多优势。
首先，分子泵可以实现更高的真空度。
由于其工作原理的特殊性，分子泵能够将气体分子抽出系统，从而形成更高的真空环境。
其次，分子泵的体积相对较小，占地面积小，适合安装在较小的空间内。
此外，分子泵还具有运行稳定、噪音低等特点，可以为实验提供良好的工作环境。
分子泵真空系统在许多领域都有广泛的应用。
在科研实验中，分子泵可以为实验提供高真空环境，确保实验结果的准确性和可靠性。
在半导体制造中，分子泵可以清除系统中的杂质气体，保证半导体器件的质量和性能。
在光学薄膜涂覆中，分子泵可以去除沉积在薄膜表面的气体分子，提高薄膜的质量和光学性能。
分子泵真空系统是一种重要的设备，可以实现高真空环境。
它的工
作原理基于分子流的动力学效应，具有高真空度、体积小、运行稳定等优势。
在科研实验、半导体制造、光学薄膜涂覆等领域都有广泛的应用。
通过使用分子泵真空系统，我们可以为各种实验和制造过程提供稳定、高质量的工作环境，推动科学技术的发展。
分子泵工业应用
10
分子泵简介
11
分子泵简介
12
分子泵简介
制灯性太阳能电池设备
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分子泵简介
科研装备
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分子泵简介
光盘生产线
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分子泵简介
LOW-E生产线
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分子泵简介
装饰镀
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二、分子泵在工业应用中的注意事项 1、安装前
19
安装前
800 700 600
10
10
抽速(L/s)
20
安装前
• 总体安装注意
1 安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。 2 打开泵高真空端法兰盖板，检查转子转动是否正常。 3 首次运转前，确认已装入润滑油。
21
安装前
• 进出口法兰、冷却水安装
a. 泵入口： 对正、附件、 对称拧紧 泵出口：防止错位 冷却水： 无漏水 入口水压0.2MPa 水温20±５℃ 水质
分子泵工业应用
齐 义
北京中科科仪技术发展有限责任公司
KYKY TECHNOLOGY DEVELOPMENT LTD.
一、分子泵简介 二、KYKY分子泵在工业应用中的注意事项 1、安装前 2、应用中
2
一、分子泵简介
3
分子泵简介
• 分子泵是动量传输真空泵。 抽气原理： 在分子流区域内依靠高速运动的刚体表面来 携带气体分子或传递动量给气体分子，使气 体分子产生定向运动，逐级压缩，从而实现 抽气目的。
高真空口对称均 高真空口对 匀拧紧 称均匀拧紧
b. c.
前极拧紧无泄 漏
循环水 不滴漏
22
安装前
• 电缆安装
a. 对正槽口插入 防止插针变形 b. 用螺母拧紧 边插边拧 c. 检查到位
分子泵的用途和分类
分子泵的用途和分类分子泵是一种利用分子束和高速旋转叶片来抽取气体的真空泵。
它可以提供非常高的真空度，常用于需要极高真空环境的科学研究和工业生产过程中。
以下将从分子泵的原理、用途和分类三个方面对其进行详细阐述。
一、分子泵的原理分子泵的工作原理主要基于分子束和旋转叶片的作用。
其结构包括一个旋转的叶轮、磁轴承、分子漏斗和抽出口等。
当分子泵启动时，叶轮开始高速旋转，通过离心力将气体分子弹出泵的抽出口。
此外，分子泵还通过分子束的直线运动来抽取气体。
在分子泵的抽出口处，气体分子受到高速分子束的撞击，并被推向真空系统内部。
因此，分子泵能够提供高真空环境。
二、分子泵的用途分子泵广泛应用于科学研究和工业生产的许多领域。
主要用途如下：1. 材料科学：在材料科学研究中，分子泵可用于制备纳米材料，如纳米颗粒、纳米管等。
通过提供高真空环境，分子泵能够控制制备过程中的气体污染，从而获得高质量的纳米材料。
2. 表面科学：在表面科学研究中，分子泵用于表面清洁和获得高纯度的表面。
通过使用分子泵，可以去除表面上的气体和杂质，使表面达到高真空状态。
这样，研究人员可以更准确地研究表面及其特性。
3. 真空冷却：在物理学实验中，分子泵可用于真空冷却。
真空冷却是一种通过抽取气体使物体温度降低的方法。
分子泵通过提供高真空环境来抽取气体，从而实现真空冷却。
4. 真空机械制造：在真空机械制造过程中，分子泵通常用于去除气体和杂质，以确保机械部件的质量和性能。
例如，在制造半导体设备和高精度仪器时，需要高真空环境来消除对器件性能的负面影响。
5. 核物理学研究：在核物理学研究中，分子泵用于提供高真空环境，以进行粒子束加速和研究。
通过提供高真空度，分子泵能够减少空气阻力对粒子束加速的干扰，提高实验的准确性和可靠性。
三、分子泵的分类根据分子泵的结构和工作原理，可以将其分为以下几类：1. 速度型分子泵：速度型分子泵是最常见的一类分子泵，也被称为扇叶分子泵。
它通过旋转的叶片产生高速分子束来抽取气体。
分子泵工作范围
分子泵工作范围
分子泵是一种高真空泵，主要用于实现超高真空环境。
其工作范围涉及到许多科学、工业和研究领域。
以下是分子泵的一些主要工作范围：
1.科学研究：
物理实验室：在物理实验室中，分子泵常用于提供超高真空环境，以进行粒子物理学、表面物理学和其他实验研究。
材料科学：在材料研究中，分子泵用于制备高纯度的样品，以进行材料性质的研究和分析。
2.半导体工业：
半导体制造：在半导体工业中，分子泵被广泛用于真空冷冻、薄膜沉积等工艺步骤，确保半导体器件的制备过程在极低的压力下进行。
3.航空航天工业：
太空模拟：分子泵用于模拟太空环境，测试航天器件在真空和低温条件下的性能。
4.医疗设备制造：
电子显微镜：在电子显微镜中，分子泵被用于创造高真空环境，以便观察生物组织和细胞的微观结构。
5.核磁共振（NMR）：
NMR实验室：在核磁共振实验室中，分子泵用于创建高真空环境，以保证NMR谱的准确性。
6.实验物理学：
核物理实验：在核物理实验中，分子泵用于提供超高真空环境，
以便进行粒子对撞和其他核物理实验。
7.光学薄膜沉积：
光学涂层：分子泵在光学薄膜沉积中被广泛应用，确保在真空中沉积的薄膜质量和透明度。
8.空间科学：
空间模拟：在航天器件测试中，分子泵可用于模拟太空环境，确保设备在真空条件下正常运行。
这些应用领域显示了分子泵在科学研究、工业制造和实验室实践中的广泛用途，提供了超高真空条件，以便于各种实验和工艺的进行。
大板分子泵
大板分子泵1. 介绍大板分子泵是一种用于真空技术的设备，主要用于将气体或蒸汽从真空系统中排除。
它是一种高效、可靠的真空泵，常用于半导体制造、光学薄膜沉积、电子显微镜等领域。
2. 工作原理大板分子泵基于分子碰撞和蒸发凝结原理工作。
其主要组成部分包括泵体、转子、静子和排气口。
•泵体：泵体是大板分子泵的主要部分，通常由不锈钢制成。
它包含了转子和静子的安装位置，以及进气口和排气口。
•转子和静子：转子和静子是大板分子泵的核心组件。
转子上固定有多个大板，静子上则有相应的凹槽。
当转子旋转时，气体分子会被挤压到转子和静子之间的空隙中，通过分子碰撞和蒸发凝结的作用，气体分子逐渐被排除。
•排气口：排气口是大板分子泵的出口，用于将排出的气体导出真空系统。
3. 特点与优势大板分子泵具有以下特点和优势：•高真空度：大板分子泵能够提供高真空环境，使其适用于对高真空度要求较高的应用。
•快速排气：大板分子泵具有快速排气能力，能够迅速将气体从真空系统中排除，缩短工作周期。
•高抽速：大板分子泵的抽速通常在几百到几千升/秒之间，能够满足大部分应用的需求。
•低维护成本：大板分子泵结构简单，无易损件，维护成本相对较低。
•低噪音：大板分子泵工作时噪音较低，不会对工作环境造成干扰。
4. 应用领域大板分子泵广泛应用于以下领域：•半导体制造：大板分子泵在半导体制造过程中用于清除气体和蒸汽，确保制造过程的洁净度。
•光学薄膜沉积：大板分子泵用于真空蒸发沉积光学薄膜，提供高真空环境，确保薄膜质量。
•电子显微镜：大板分子泵用于电子显微镜的真空系统，提供高真空度和快速排气能力，确保显微镜的正常工作。
•聚变研究：大板分子泵在聚变研究中用于提供高真空环境，确保实验的稳定性和准确性。
5. 维护与保养为了确保大板分子泵的正常工作和延长使用寿命，需要进行定期的维护与保养。
以下是一些常见的维护与保养措施：•清洁：定期清洁泵体、转子和静子，避免积聚灰尘和污垢影响泵的性能。
分子泵文档
分子泵概述分子泵是一种用于实现超高真空（UHV）环境的重要设备。
它通过利用连续的抽气技术，将气体从真空腔室中排放出去，从而实现高度净化和抽真空的效果。
本文将介绍分子泵的工作原理、结构特点以及应用领域。
工作原理分子泵主要依靠分子碰撞和扩散作用来实现抽气的过程。
当气体分子位于真空腔室中时，由于其热运动而产生碰撞。
当气体分子与泵的叶片或壁面发生碰撞时，部分分子被吸附到表面上，而另一部分则以较高的速度逸出，形成气体的扩散。
通过不断重复这个过程，真空腔室中的气体分子逐渐减少，从而达到理想的抽气效果。
结构特点1. 泵体分子泵的外壳通常由不锈钢或其他耐高温、耐腐蚀材料制成，以确保其工作的可靠性和长寿命。
2. 泵叶片泵叶片是分子泵中最关键和核心的部件之一。
它们通常由铝或其他高性能材料制成，具有良好的抗腐蚀性和热传导性能。
3. 电机分子泵通常由高速电机驱动，以使泵叶片以高速旋转。
电机要求具有较高的功率和稳定的运行特性，以确保分子泵的正常工作。
4. 磁力轴承磁力轴承是分子泵中常用的一种轴承形式，它利用磁力原理代替传统的机械轴承。
磁力轴承具有无接触、无磨损、低噪音等优点，能够使分子泵具有更长的使用寿命和更高的工作效率。
5. 抽气系统分子泵通常需要与其他抽气装置（如机械泵和涡流泵）配合使用，以提供更高效的真空抽取能力。
抽气系统的设计需要综合考虑泵的性能和被抽系统的需求，以实现最佳的抽气效果。
应用领域分子泵在许多领域中都发挥着重要作用，特别是在需要高度净化和超高真空环境的实验室和工业实践中。
1. 真空冶金分子泵在真空冶金领域中被广泛应用。
它可以用于提供超高真空环境，以减少氧、水蒸气和其他气体对熔融金属的污染，从而提高冶金过程的质量和产量。
2. 半导体制造在半导体工业中，分子泵扮演着关键的角色。
它可以用于清洗半导体器件表面，去除由制造过程产生的污染物，以确保器件质量和可靠性。
3. 真空包装分子泵也广泛应用于真空包装行业。
在食品、药品和其他易氧化物品的包装过程中，分子泵可以实现高度净化的包装环境，提高产品的质量和保质期。
分子泵的详细介绍
分子泵的详细介绍分子泵是一种常用于超高真空环境下的真空泵，它的主要工作原理是通过分子间的碰撞和反弹来将气体分子抽出。
在分子泵内部，气体分子因为电离而被加速，然后经过节流口进入排气室，在排气室内分子碰撞到高速旋转的转子而被抛出，最终把气体分子排出，并实现真空抽取。
分子泵的组成主要包括转子、分子板、冷阱和漏电阀等部件。
转子是分子泵内部的核心部分，它通常由多个叶片组成，通过电机驱动旋转，从而形成高速气流。
分子板是分子泵的关键组件，它采用特殊的材料制成，具有高度平整的表面，通过分子板上的小孔来加速气体分子，使其达到高能量状态，并抛离出真空腔室。
冷阱是用于捕获有害气体分子的部件，通过低温冷却来冷凝气体分子并将其固定在冷阱内，从而防止污染真空环境。
漏电阀则用于防止背流，保证真空系统的稳定和可靠工作。
分子泵的工作过程一般涵盖四个阶段：起动阶段、粗抽阶段、中抽阶段和漏抽阶段。
起动阶段是指分子泵在刚启动时的运行，此时需要将分子泵加热至较高温度，以去除阻挡气体分子的垂直势垒。
粗抽阶段是指分子泵迅速从大气压附近减压到低真空范围内。
在这个阶段，分子泵主要通过对大量分子的碰撞和抛离来实现抽取。
中抽阶段是指分子泵从低真空范围进一步减压至高真空范围。
在这个阶段，分子泵主要依靠小分子的高速运动和碰撞，以及与分子板表面间的反弹来抽取气体。
漏抽阶段是指真空系统已经达到高真空范围，此时分子泵以最大速率抽取气体分子，并最终将其排出系统。
分子泵具有抽取速率高、真空度高、清洁度高等优点。
同时，它还可以与其它真空泵，如机械泵和扩散泵等进行联用，以实现更高真空度的抽取。
然而，分子泵也存在一些局限性。
例如，由于分子泵内部需要高速旋转的转子，因此噪音较大；另外，分子泵内不能存在润滑剂，否则会造成污染，限制了其在一些应用领域的使用。
总之，分子泵是一种重要的真空泵，其通过分子间的碰撞和反弹来将气体分子抽出，广泛应用于精密仪器、半导体制造、航空航天等领域。
分子泵简介讲义
汇报人： 日期:
目 录
• 分子泵概述 • 分子泵的应用领域 • 分子泵的主要部件与性能指标 • 分子泵的选型与使用 • 分子泵的发展趋势与挑战 • 分子泵的案例分析
01
分子泵概述
定义与特点
分子泵是一种真空泵，其主要作用是通过高速旋转的转子将气体分子从高浓度区 域迅速抽到低浓度区域，从而在短时间内实现气体分子的快速流动。
分子泵可以用于化学反应研究， 如催化反应、有机合成等实验中 。
化学分析
利用分子泵可以提供高真空环境 ，进行化学分析实验，如质谱、 色谱等。
生物领域
细胞生物学
分子泵可以用于细胞生物学实验，如 细胞培养、显微镜观察等。
生物医学工程
分子泵在生物医学工程中也有应用， 如药物输送、组织工程等。
其他领域
环境科学
02
分子泵的应用领域
物理领域
01
02
03
真空技术
分子泵常用于真空环境， 如高真空腔体、真空管路 等，以维持一定的真空度 。
表面科学研究
分子泵可以用于表面科学 实验，如STM、AFM等实 验中，以提供高真空环境 。
光学研究
分子泵在光学研究中也有 广泛应用，如激光光谱学 、光学腔等。
化学领域
化学反应研究
06
分子泵的案例分析
案例一：分子泵在实验室中的应用
1 2 3
实验室研究
在实验室中，分子泵被广泛应用于高真空、超高 真空以及特殊气体处理的研究场景。
设备性能提升
通过使用分子泵，实验室设备的性能和稳定性得 到了显著提升，为科研人员提供了更加准确和可 靠的数据。
特殊应用
在一些需要高精度气体控制的实验中，如光谱分 析、质谱分析以及精密测量等，分子泵提供了可 靠的解决方案。
分子泵的用途
分子泵的用途分子泵是一种高度精密的真空抽气设备，被广泛应用于科学研究、半导体制造、光学镀膜等领域。
分子泵通过不断抽出气体分子来实现真空度极高的环境，从而满足各种实验和生产过程中对真空度的需求。
在当今科技发展的大背景下，日益广泛，其在各个领域均发挥着重要的作用。
分子泵最主要的用途之一是在科学研究领域中。
科学家们常常需要在真空环境下进行实验，以排除外界干扰因素，确保实验结果的准确性。
分子泵提供了一个能够快速抽出气体分子、确保高真空度的环境，为科学家们提供了良好的实验条件。
在物理学、化学、生物学等领域，科研人员们依靠分子泵进行实验，探索未知领域，推动科学的进步。
另外，分子泵也在半导体制造业中扮演着重要的角色。
在半导体器件制造过程中，需要对硅片等材料进行精密加工，并确保生产环境的洁净度和真空度。
分子泵可以快速有效地排出气体分子，将生产装备内的气体压力降至极低，避免气体对生产过程造成不良影响。
半导体产业的发展离不开先进的真空技术支持，而分子泵作为其中的关键设备，为半导体生产提供了可靠的保障。
在光学镀膜领域，分子泵也发挥着重要作用。
光学器件的制造需要在真空环境下进行光学薄膜的沉积和处理，以确保光学性能的稳定和优良。
分子泵可以有效抽出器件内部的气体，提供高真空度下的工作环境，帮助光学器件制造商生产出高品质的光学产品。
光学镀膜技术在现代科技中应用广泛，而分子泵则是其重要的技术支持。
除了上述几个领域外，分子泵还有许多其他的应用领域。
例如，在航空航天、医疗设备制造、材料科学等领域，分子泵都发挥着不可或缺的作用。
随着科技的不断进步和各个领域的发展，对真空度要求越来越高，分子泵的用途也将不断拓展和深化。
让我们总结一下本文的重点，我们可以发现，分子泵作为一种高精度的真空抽气设备，广泛应用于科学研究、半导体制造、光学镀膜等领域。
其快速高效的气体排除能力，确保了各领域的实验和生产过程能够在稳定的真空环境下进行，取得理想的结果。
分子泵应用
分子泵应用分子泵是一种高真空泵，主要用于在超高真空条件下排除气体分子。
它具有体积小、抽气速度高、抽气效率高等特点，在科研、仪器设备制造、半导体制造等领域都有广泛的应用。
下面将详细介绍分子泵的应用。
首先，在科学研究领域，分子泵是实验室中必不可少的真空设备之一。
科学研究中往往需要在超高真空环境下进行实验，以确保实验结果的准确性。
分子泵具有高真空和低气体污染的特点，可以将气体分子排除并保持高真空环境，从而确保实验室空气的纯净度，避免气体污染对实验结果的干扰。
特别是在材料学、物理学和化学等领域的一些前沿研究中，需要对材料的表面进行原子级别的研究，这就需要使用分子泵将系统抽至超高真空状态，以确保实验的准确性和可重复性。
其次，分子泵在仪器设备制造中也有着广泛的应用。
在许多仪器设备中，如电子显微镜、质谱仪、离子注入机等，通常需要使用高真空环境进行工作。
分子泵可以快速将系统抽至高真空状态，并具有较高的抽气速度和较低的背漏率，能够有效保持高真空环境的稳定性，从而保证仪器设备的正常工作。
特别是在半导体制造中，分子泵也被广泛应用于芯片的制造过程中。
高真空环境可以有效降低半导体芯片生产中的杂质和缺陷，提高芯片的质量和性能。
此外，分子泵在航空航天和船舶制造等领域也有着重要的应用。
在航空航天工程中，精密仪器和设备需要在极端条件下工作，例如高温、低压和高速等环境。
分子泵可以将系统抽至高真空状态，为精密仪器和设备提供稳定的工作环境，确保其正常运行。
在船舶制造中，分子泵可以用于排除船体内部的气体分子，从而提供稳定的船体气压，保护船体结构的完整性，并减少航行中的气动阻力和耗能，提高航行效率。
最后，分子泵还在环境污染治理和资源回收等领域发挥着重要作用。
随着工业化的加速发展，环境污染成为全球面临的重要问题之一。
分子泵可以将废气中的有害气体分子抽除，净化废气，保护环境。
另外，一些重要资源如稀有金属等也可以通过分子泵的抽气分离技术进行回收，实现资源的有效利用。
普发分子泵
普发分子泵普发分子泵简介一、引言随着科技的发展，分子泵成为了科研领域不可或缺的设备之一。
普发分子泵作为其中的一种，具有较高的抽气速度和较低的抽气压力，广泛应用于真空技术领域。
本文将对普发分子泵的原理、结构以及应用进行详细介绍。
二、普发分子泵的原理1. 分子运动首先，我们需要了解分子在真空中的运动规律。
分子在真空中以高速无规则运动，与容器壁碰撞产生反弹。
当分子受到壁的反弹力大于外部的压强时，分子将逸出。
这就是实现真空状态的基本原理。
2. 分子泵的工作原理普发分子泵运用了分子在真空中的运动规律。
它的工作原理基于两个关键过程：分子的扩散和分子的泵速。
分子在容器内的自由扩散使得真空的压力降低，而分子泵速则通过将高速运动的分子引导到高真空泵出口附近来提高抽气速度。
三、普发分子泵的结构普发分子泵由分子泵主体、电机和控制系统三部分组成。
1. 分子泵主体分子泵主体一般由泵体、叶轮、叶片和热电偶等元件组成。
泵体是分子泵的基本设备，通常由不锈钢材料制成。
叶轮是泵内的主要元件，起到将气体引导到出口的作用。
叶片在叶轮上固定，通过高速旋转来增加气体的泵速。
热电偶用于测量泵体温度，并提供相关的控制信号。
2. 电机电机是分子泵工作的动力源，驱使叶轮进行高速旋转。
常见的电机类型有感应电机和直流电机两种。
3. 控制系统分子泵的控制系统负责监控分子泵的运行状态和参数。
它通常包括温度控制、速度控制和报警功能等。
控制系统可以根据需要进行调整，以满足不同实验条件的要求。
四、普发分子泵的应用普发分子泵由于其卓越的性能，广泛应用于多个领域。
1. 工业应用普发分子泵在工业领域中常用于真空蒸发、真空淬火、光学薄膜沉积等工艺中。
其强大的抽气能力和高真空度能够满足高精度加工和制造的要求。
2. 科研领域普发分子泵在科研领域中也有广泛的应用。
例如在电子显微镜、质谱仪等设备中，分子泵可以提供充足的真空环境，确保仪器的正常运行。
3. 医疗设备在医疗设备中，分子泵通常用于体外循环、人工心脏和人工肺等高精度器械的制造，以及高纯度气体的供应。
一体式分子泵
一体式分子泵
（最新版）
目录
一体式分子泵的概述
一体式分子泵的工作原理
一体式分子泵的结构特点
一体式分子泵的应用领域
一体式分子泵的发展前景
正文
一体式分子泵是一种利用分子间作用力实现流体输送的设备，具有极高的输送精度和稳定性。
在当今科技领域，一体式分子泵已经得到了广泛的应用，涉及到微电子、生物医药、化工等多个行业。
本文将从一体式分子泵的概述、工作原理、结构特点、应用领域和发展前景五个方面进行详细介绍。
一体式分子泵的概述：
一体式分子泵是一种利用分子间作用力实现流体输送的设备，具有极高的输送精度和稳定性。
这种泵通常由泵体、转子、电机和控制系统等部分组成，能够实现流体的高速、精确输送。
一体式分子泵的工作原理：
一体式分子泵的工作原理是利用分子间作用力将流体从入口处吸入，然后将流体压缩并向出口处输送。
在这个过程中，泵的转子与泵体之间的间隙会随着转子的旋转而发生变化，从而实现流体的输送。
一体式分子泵的结构特点：
一体式分子泵的结构特点主要包括以下几个方面：泵体和转子之间的
间隙精确可控，可以实现流体的高速、精确输送；泵的结构紧凑，占地面积小；具有良好的自吸性能，可以实现流体的自动吸入。
一体式分子泵的应用领域：
一体式分子泵在微电子、生物医药、化工等多个行业都有广泛的应用。
例如，在微电子行业中，一体式分子泵可以用于芯片生产过程中的光刻胶输送；在生物医药行业中，一体式分子泵可以用于药物的精确输送和灌装；在化工行业中，一体式分子泵可以用于高粘度流体的输送。
一体式分子泵的发展前景：
随着科技的不断发展，一体式分子泵在输送领域的应用将越来越广泛。
分子泵寿命
分子泵寿命
（最新版）
目录
1.分子泵简介
2.分子泵寿命的影响因素
3.分子泵寿命的延长方法
4.分子泵在我国的发展现状
正文
一、分子泵简介
分子泵是一种利用分子间作用力实现流体输送的机械设备，广泛应用于化工、石油、制药等行业。
分子泵的运转原理主要是通过分子间的间隙，在吸入端形成负压，从而将流体吸入，然后通过排放端将流体排放出去。
分子泵具有体积小、结构简单、输送流体稳定等优点。
二、分子泵寿命的影响因素
1.使用环境：分子泵在不同的温度、压力和介质环境下，其寿命会有所不同。
一般来说，高温、高压和腐蚀性介质会加速分子泵的磨损，从而影响其使用寿命。
2.泵材质：分子泵的材质对其寿命有很大影响。
高强度、耐磨损、抗腐蚀的材质可以提高分子泵的使用寿命。
3.泵维护：定期对分子泵进行维护和保养，可以延长其使用寿命。
如及时更换易损件、清洗泵内部等。
三、分子泵寿命的延长方法
1.选择合适的使用环境：尽量减少高温、高压和腐蚀性介质对分子泵的影响，以延长其使用寿命。
2.选择高品质的泵材质：使用高强度、耐磨损、抗腐蚀的材质制造分子泵，可以提高其使用寿命。
3.定期维护保养：定期对分子泵进行维护和保养，及时更换易损件，清洗泵内部，可以延长其使用寿命。
四、分子泵在我国的发展现状
近年来，随着我国经济的快速发展，分子泵行业也取得了长足的进步。
目前，我国已经具备了生产各类分子泵的能力，并在石油、化工、制药等领域广泛应用。
然而，与国际先进水平相比，我国分子泵在技术水平、产品质量等方面还存在一定差距。
大板分子泵
大板分子泵
（原创版）
目录
1.大板分子泵的定义和作用
2.大板分子泵的工作原理
3.大板分子泵的特点和优势
4.大板分子泵的应用领域
5.大板分子泵的发展前景
正文
大板分子泵是一种重要的科研实验设备，主要用于科研、生物、医药等领域的样品制备、分离和分析。
其作用主要在于提供稳定的样品输送和压力控制，以保证实验的准确性和精度。
大板分子泵的工作原理主要是通过电磁驱动，使泵内部的活塞进行往复运动，从而形成压力差，实现样品的输送。
其工作过程具有高度的稳定性和可控性，可以满足各种实验条件下的需求。
大板分子泵具有许多特点和优势，例如：超低噪音、超小体积、高效率、高稳定性等。
这些特点使得大板分子泵在实验过程中能够提供更加精确和稳定的样品输送，大大提高了实验的效率和成功率。
大板分子泵的应用领域非常广泛，包括但不限于生物、医药、化工、环保等。
在生物医药领域，大板分子泵常用于样品的制备、分离和检测，以及药物的输送和灌装等。
在化工和环保领域，大板分子泵则常用于流体的输送和控制，以及压力的测量和调节等。
随着科技的不断发展，大板分子泵也在不断升级和改进，其性能和功能也在不断提升。
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分子泵起源•分子真空泵是在1911 年由德国人盖德(w · Gaede) 首先发明的，这种分子泵是在分子流区域内靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。
通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象。
因此，人们将盖德发明的分子泵称为牵引分子泵。
牵引分子泵的优点是起动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸汽，特别适于抽除较重的气体。
但同于它自身的弱点：抽速小，密封间隙太小，工作可靠性较差，易出机械故障等，因此除特殊需要外，实际上很少应用。
分子泵抽气原理•分子泵输送气体应满足二个必要条件：1). 分子泵必须在分子流状态下工作。
•因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时，其中气体分子的平均自由程则随之增加。
在常压下空气分子的平均自由程只有0.06 μm ，即平均看一个气体分子只要在空间运动0.06 μm ，就可能与第二个气体分子相碰。
而在1.3Pa 时，分子间平均自由程可达4.4mm 。
在分子流范围内，气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距。
当器壁由不动的定子叶片与运动着的转子叶片组成时，气体分子就会较多地射向转子和定子叶片，为形成气体分子的定向运动打下基础。
•2). 分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。
具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。
分子泵的转速越高，对提高分子泵的抽速越有利。
实践表明，对不同分子量的气体分子其速度越大，泵抽除越困难。
•例：H<sub>2 在空气中含量甚徽，但由于H<sub>2 分子具有很大的运动速度( 最大速度为1557m /s) ，所以分子泵对 H<sub>2 的抽吸困难。
通过对极限真空中残余气体的分析，可发现氢气比重可达85 ％，而分子量较大，而运动速度慢的油分子所占的比重几乎为零。
这就是分子泵对油蒸气等高分子量的气体的压缩比很高，抽吸效果好的原因。
涡轮分子泵•涡轮分子泵是由一系列的动、静相间的叶轮相互配合组成。
每个叶轮上的叶片与叶轮水平面倾斜成一定角度。
动片与定片倾角方向相反。
主轴带动叶轮在静止的定叶片之问高速旋转，高速旋转的叶轮将动量传递给气体分子使其产生定向运动。
从而实现抽气目的。
优点：由于涡轮转子叶片大大增加了抽气面积，放宽了工作间隙，压缩比和抽速有显著的提高•1) 卧式涡轮分子泵卧式涡轮分子泵特点是其转子主轴水平布置。
•这种结构的分子泵是双轴流的，吸气口在两组抽气单元的中央，气体吸入后，分别被左右两侧的叶列组合抽走。
轴承分别装在各抽气单元的排气侧，•特点是抽气时转子受力均匀，轴承定位、受力状态好，使用寿命长，且轴承更换过程中，转子位置不动，维修方便。
•2) 立式涡轮分子泵•其转子轴垂直安装，只有一组抽气组合叶列。
转子叶轮高速旋转时，被抽气体沿着转子组和定子组自高真空端向低真空端压缩，被驱向前级，由前级泵抽走。
泵由泵壳、涡轮叶列组件和电动机等组成。
现代涡轮分子泵转子和定子之间的间隙较大，通常在lmm 左右，因此泵工作时很安全。
轴承润滑•有油脂润滑、油绳润滑和离心供油润滑等方式。
分子泵轴承润滑油的性能必须具备以下三个条件，才能满足泵的工作要求：a. 高速下具备良好的润滑性能；b. 饱和蒸气压低于前级泵工作液的饱和蒸气压．c. 粘度适当，使之兼有轴承冷却液的作用。
复合式分子泵•复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合。
•在很宽的压力范围内((10-6 ～1Pa) 具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力。
法国Alcate 公司生产的一种采用气体静压轴承和动密封的复合分子泵，可以做到完全无油。
•缩短了系统的抽气时间，并可获得无油污染的清洁真空环境。
分子泵在系统中的应用•随着科学技术的迅速发展，对真空系统也提出了新的要求，特别是对超高真空和无油真空环境的需求，使得过去大量使用的扩散泵抽气系统已不能适应无油清洁超高真空的要求。
•分子泵适用于在要求清洁的高真空和超高真空的仪器及设备上使用。
也可用来作为离子泵、升华泵、低温泵等气体捕集超高真空泵的前级预抽真空泵使用，这将获得更低的极限压力或更清洁的无碳氢化合物的真空环境。
分子泵在应用系统中常用结构•以上结构图是分子泵常用情况，实际的应用需视具体设备而定；•Gate Valve：位于分子泵前端，阀体较大，属闸板阀，开关速度有的可调节，真空异常时，阀的关闭速度是保护分子泵的关键。
生成物较多，会造成关闭不严，而无法起到保护作用。
需定期清洁保养测试。
•Vac test point1：位于被抽单元或GateValve口附近，与Gate Valve构成interlok，分子泵端口极限真空为500mTorr，设定值建议为300mTorr以下。
•Rough Valve：粗抽阀，当CHB真空较低时，绝对不能打开Gate Valve用分子泵抽真空。
在确认Gate Valve 和Foreline Valve关闭的情况下，开启Rough Valve，抽CHB真空到300mTorr以下。
一般Rough Valve & Foreline Valve & Gate Valve相互有 interlok，需测试确认功能是否正常，也需防止误操作（解除interlok情况下，开关不受影响，而不致分子泵损坏）。
•Soft Valve：细（慢）抽阀，防止压差过大而起尘。
CHB大气时，一般先用此阀抽。
•Purge N2：有些制程会产生大量粉尘，因分子泵底部有用于冷却分子泵的冷却盘，会致大量积尘于冷却部分，用N2吹扫可减少这方面的影响，另外也作冷却轴承等用途。
此N2在分子泵运行时开启，停止时延时关闭。
•Protect N2：此N2通常情况下是关闭的。
分子泵高速运转中，突然出现真空或其他方面的异常时，分子泵必须尽快停止运转，充入此N2可尽快让分子泵减速，尽量避免分子泵的损失。
•Foreline Valve：位于分子泵出气口，真空异常时，开闭速度及是否关严是保护分子泵的关键。
同时管径小，易积尘，需定期清洗保养测试。
•Vac test point2：位于Foreline Valve与粗抽泵之间，一般使用的是真空开关（一般真空sensor因振动或热源易损坏）。
与Foreline Valve构成interlok，分子泵排气口极限真空为3Torr，这样压差会较大，设定值建议为500mTorr以下•分子泵叶片损坏致报废主要原因：1.进排气口压差瞬间过大；a进气口压力过大；b排气口压力过大；c单边部分压力过大（如阀关闭不严或部分关闭等）2.异物落入；3.动静片间隙异常；4.转子部轴承异常损坏等。
使用时应注意事项• 1. 定期检查/保养：GATE VALVE & FORELINEVALVE，建议做定期清洗并作漏率测试；• 2. Inter lock测试；• 3. 进气口压力极限压力为500mTorr，排气口极限压力最大为3Torr建议Inter lock使用:(300mTorr/500mTorr)；• 4. 偶尔检查泵运转时的声音；• 5. N2 Purge流量一般为10sccm~30sccm/1Kg/cm2• 6. 冷却水流量正常•7. 油位是否正常，油色是否正常。
油的粘稠度、化学稳定性、冷却效果很重要，只可使用厂商推荐品牌。
磁悬浮式分子泵特点：启动快，抽速大，高压缩比，高气体运送比，磨擦系数小，无油污染等优点。
使用的是磁轴承又称主动磁悬浮轴承，是一种转子与定子之间没有机械接触的新型高性能轴承。
它由机械部件、电控系统、传感器和辅助轴承等构成。
利用电磁力作用将转子悬浮于空间，具有无机械磨损、能耗低、允许转速高、噪声少、寿命长、无润滑介质等优点。
选择磁轴承作为分子泵转子的支承，可以从根本上解决传统轴承润滑带来的润滑油脂的油蒸汽返流对真空室的污染等问题，使磁轴承真空分子泵成为集成电路制造设备首选的超高真空获得设备•磁悬浮分子泵动静片结构示意图：静片动片•正常使用时，动片一般位于中线略上方。
磁悬浮式分子泵的使用注意事项• 1.分子泵经厂家维修返回后，需做动静片间隙调整、确认。
目前我们使用的分子泵为国外品牌，在国内大部分的分子泵，暂时只能做简单维护，一般需送到国外维修。
由于各国使用的电压、频率、使用环境、控制器、甚至电缆长度不一样，而出现在厂家调整正常后，返回时仍不能正常使用的情况。
这是因为分子泵的动片是靠电磁力来支撑的，当以上因素改变时会使分子泵动静片间间距发生变化，而工作在临界或不正常状态。
•2.定期检查后备电池是否满足要求，有更换记录并每年至少更换一次。
-以上情况，看电池使用时间和停机时间而定，并贴标签记录更换时间；-当然定期测量电池电压是一种好的点检方法。
•建议长时间停用的分子泵，控制器开启一段时间，电池充满电后再启动分子泵• 3.分子泵故障或损坏后，建议先判断故障原因，分析并作出最有可能的结论后才重新开启或更换。
-分子泵异常保护，肯定是有原因的，再没确认原因前，任何再开启试用都是危险的，可能造成更大损失（报废）-分子泵已经损坏，不必急于换下，一般需确认原因，做真空方面的检查，找到问题点后再拆下不迟。
盲目换上新的分子泵，可能造成再次故障，风险极大，望三思而后行。
•4.分子泵的送修–原则上需要将分子泵，控制器，电缆线一同送修，同时需注明所使用的气体，如有可能也将使用的电压及频率注明清楚。
–由于将电缆线取下不方便，至少要将分子泵和控制器一同送修。
•5. 作日常点检和定期（周/月/季)检查- 正如前面所述，分子泵使用注意事项一样，对于出现的种种可能需所定期检查，写入SOP，不因人而变，持之以恒；- 日常点检：Gate valve前真空，Foreline valve后真空，冷却水流量，N2流量，油位油色（非磁悬浮）等；--记录的目的是为了观察变化，如记录值有较大变化时，应查找原因并解决。
- 周点检：Gate valve, Foreline valve, Rough valve漏率测试，泵运转声音等监听。
-- 当发现漏率有明显变化或较大时，应停止分子泵的运转并对相关阀体作清洗保养。
安装后仍要再次做漏率测试。
-- 泵运转的声音。
可用一金属杆接触分子泵外壳，听到的应是持续的“嗡嗡”声，有一定的规律，无断续杂音或异响等（这种判断需要一定的经验积累）。
- 月保养或季保养：相关阀体如长时间不保养，会有生成物累积于阀体、管道等部位，影响阀的关断速度，也会影响分子泵的使用寿命，需定期清洗，可视生成物的状况制定相应的保养周期。
-- Gate valve 和Foreline valve是二项重点检查项，着重关注。