分子泵控制器FD
分子泵控制器FD
4、使用方法： ......................................................................................................................................16
5、故障代码 ..........................................................................................................................................17
6、常见故障处理 ..................................................................................................................................17
KYKY MODBUS 通信手册 ......................................................................................................................19
2、产品简介 ............................................................................................................................................6
2.1 产品型号及铭牌 ............................................................................................................................6 2.2 产品一览表 ....................................................................................................................................6 2.3 产品外观 ........................................................................................................................................6 2.4 FD 系列控制器与分子泵型号匹配表 ..........................................................................................8 2.5 性能指标 ........................................................................................................................................8
超高真空科学技术-分子泵
超高真空科学技术-分子泵
概述
超高真空科学技术是一门研究在极低的气压下进行实验和制造的领域。
分子泵是超高真空系统中的一种重要设备，用于有效地排除气体分子，从而达到极低的气压。
原理
分子泵的工作原理基于气体分子的热运动。
分子泵包含一个转子和一个静子。
转子通过高速旋转，将气体分子加速到高速。
在高速运动的气体分子与泵壁碰撞的过程中，会发生多次碰撞，从而让气体分子的能量损失与泵壁相互转移。
这将导致大部分气体分子被拦截并排除，从而实现高效排气。
分类
分子泵根据其工作原理和结构可分为四种类型：扩散泵、离心泵、涡轮分子泵和离子泵。
扩散泵通过扩散和降低气压来排除气体分子；离心泵通过离心作用将气体分子推向泵壁；涡轮分子泵通过高速旋转打击气体分子；离子泵通过离子化作用排除气体分子。
这些分子泵都有各自的优点和适用范围。
应用
分子泵在多个领域都有广泛的应用。
在半导体工业中，分子泵用于超高真空环境下的制造和处理过程；在核能、航空航天和高能物理学中，分子泵用于实验室中的核研究和装置真空环境的维持；在表面科学和材料研究中，分子泵用于材料薄膜的制备和分析。
总结
超高真空科学技术中的分子泵是一种关键设备，用于实现极低的气压环境。
通过不同类型的分子泵，可以有效地排除气体分子，满足实验和制造过程的需求。
分子泵在多个领域都有广泛的应用，推动了科学技术的进展和创新。
分子泵工作原理
分子泵工作原理
分子泵工作原理是基于分子的喷射和阱捕捉原理。
它主要由一个离心式转子和静心式假体构成。
离心式转子内置了多个直径较小的偶极子，通过高速旋转产生超高真空。
静心式假体则是一个由多个喷嘴和阱组成的结构。
在工作过程中，气体首先通过喷嘴从气压较高的一侧进入分子泵。
然后，在离心式转子的旋转下，气体会被强制向外喷射，并造成一种类似于分子束的效果。
当分子束到达静心式假体时，它们会被假体内的阱捕获。
静心式假体内的阱有多个结构，如圆环、螺旋或其他形状，用于捕获分子。
这些阱通常被加热以提高效率。
被捕获的分子在阱内不断碰撞和扩散，最终会降低其动能并以固体或液体的形式沉积在阱的壁上。
分子泵工作原理的关键在于离心式转子的高速旋转和静心式假体的捕获和降温效应。
通过这种原理，分子泵能够实现非常低的气压，甚至到达超高真空范围。
分子泵广泛应用于高科技领域，例如半导体制造、材料科学、航天工程等。
分子泵说明书2.2
F-100/110
F-100/150
110
110
150
N2：108； H2：5×102
≤6×10-6 (DN100 LF)
≤6×10-8①；≤6×10-7②(DN100 CF)
KF25(DN25 ISO-KF)
LF100(DN100 ISO-K)、CF100
陶瓷轴承
普通轴承
42300
＜2
≤0.1
脂润滑 任意角度
29
① 此极限为前级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出；
② 此极限为水冷条件下的测试结果；
③ 动静叶片做耐腐蚀处理、润滑油采用耐腐蚀润滑油。
北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY）
3-孔M8×20
图 2-9 FF-200/1200、FF-200/1200C 安装简图
图 2-10 FF-200/1200N 安装简图
150
脂润滑
安装方式
竖直±5°
任意角度
竖直±5°
任意角度
重量（kg）
29
19
① 此极限为前级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出；此极限为水冷条件下的测试结果； ② 此极限为水冷条件下的测试结果； ③ 动静叶片做耐腐蚀处理、润滑油采用耐腐蚀润滑油。
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图 2-4 FF-160/500F 安装简图
北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY）
水嘴
泵腿 前级接口
KF40
控制器接口
图 2-12 F-250/1500 安装简图
图 2-13 F-250/1500N安装简图
图 2-14 FF-250/1600安装简图
图 2-15 FF-250/1800安装简图
分子泵简介及应用
分子泵简介及应用分子泵起源分子真空泵是在1911 年由德国人盖德(w · Gaede) 首先发明的，这种分子泵是在分子流区域内靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。
通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象。
因此，人们将盖德发明的分子泵称为牵引分子泵。
牵引分子泵的优点是起动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸汽，特别适于抽除较重的气体。
但同于它自身的弱点：抽速小，密封间隙太小，工作可靠性较差，易出机械故障等，因此除特殊需要外，实际上很少应用。
分子泵抽气原理分子泵输送气体应满足二个必要条件：1). 分子泵必须在分子流状态下工作。
因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时，其中气体分子的平均自由程则随之增加。
在常压下空气分子的平均自由程只有0.06 μm ，即平均看一个气体分子只要在空间运动0.06 μm ，就可能与第二个气体分子相碰。
而在1.3Pa 时，分子间平均自由程可达4.4mm 。
在分子流范围内，气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距。
当器壁由不动的定子叶片与运动着的转子叶片组成时，气体分子就会较多地射向转子和定子叶片，为形成气体分子的定向运动打下基础。
2). 分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。
具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。
分子泵的转速越高，对提高分子泵的抽速越有利。
实践表明，对不同分子量的气体分子其速度越大，泵抽除越困难。
例：H2 在空气中含量甚徽，但由于H2 分子具有很大的运动速度( 最大速度为1557m /s) ，所以分子泵对 H2 的抽吸困难。
通过对极限真空中残余气体的分析，可发现氢气比重可达85 ％，而分子量较大，而运动速度慢的油分子所占的比重几乎为零。
这就是分子泵对油蒸气等高分子量的气体的压缩比很高，抽吸效果好的原因。
分子泵工作原理
分子泵工作原理
分子泵是一种特殊类型的膜泵，它具有通透膜和完全封闭的外壳，因此可以有效节约
能源。
分子泵主要由压力室、膜、离心泵和叶轮组成。
膜使用时，像其他膜泵一样，气体
通过膜的小孔依次向外释放。
这种运动模式下，膜的位置在一定的位置，膜的结构也会影
响气体的释放速度和压力。
由于分子泵的外壳是完全封闭的，所以具有非常高的势能能耗，需要大量的动力使之
正常运行。
因此，分子泵的叶轮通常是由电动机的动力来驱动，离心泵是利用气体压力通
过离心泵的过程来增加气体压力。
在实际运行分子泵时，膜被压力室内的气体压力推动，使气体从膜内向外释放，而且
膜的位置在一定的位置，可以使释放的气体的量稳定，压力也恒定，这也可以节约能源。
离心泵的作用就是将低压的气体转换成高压的气体，并使气体向外释放。
此外，分子泵通常采用密封机构装配和维修，以确保压力室和离心泵之间没有泄漏，
并且能够有效地利用动力，减少能耗。
总之，分子泵使用了膜、离心泵、叶轮等技术，可以有效地控制气体释放速度和压力，从而节约能源，减少废气排放，是一种非常有效的节能膜泵。
分子泵技术
分子泵技术一、引言分子泵是一种高真空泵，可用于实验室、半导体制造、航空航天等领域。
它通过利用分子流动的动力学原理将气体从一个区域抽到另一个区域，从而实现真空度的提高。
本文将介绍分子泵技术的原理、结构和应用。
二、原理分子泵的工作原理基于气体分子的运动规律。
当气体分子进入分子泵时，分子泵内部有一系列高速旋转的叶片或转子，通过与气体分子碰撞，将其动能转换为旋转动能，从而驱动气体分子沿着泵的轴向运动。
由于分子泵内部的压力较低，分子之间的碰撞概率相对较小，因此气体分子可以以较快的速度运动，从而被抽出系统。
三、结构分子泵由分子泵头和控制器两部分组成。
分子泵头是实现真空抽取的关键部分，通常由转子、定子和扩散泵组成。
转子和定子之间的间隙非常小，以保证气体分子只能沿轴向运动，而不能逃逸。
扩散泵用于将抽出来的气体排出系统。
控制器负责对分子泵进行电子控制和监测，以确保其正常运行。
四、应用1. 实验室研究：分子泵广泛应用于实验室的真空系统中，用于抽取空气、水蒸汽等气体，以提供高真空环境，保证实验的准确性和可靠性。
2. 半导体制造：在半导体制造过程中，需要在清洁室环境下进行，以避免杂质对芯片质量的影响。
分子泵通过抽取空气中的杂质气体，确保清洁室内的真空度，从而保证半导体芯片的质量。
3. 航空航天：在航空航天领域，分子泵被广泛应用于航天器的真空测试、推进系统和舱内环境控制等方面。
它可以提供高真空环境，确保航天器的正常运行。
五、发展趋势随着科技的不断进步，分子泵技术也在不断发展。
目前，磁悬浮分子泵、速度调节分子泵等新型分子泵正在逐渐取代传统的离心分子泵。
这些新型分子泵具有更高的抽取速度、更低的振动和噪音，以及更好的可靠性和可控性。
六、总结分子泵技术作为一种重要的真空技术，在科研和工业生产中发挥着关键作用。
通过利用分子的运动规律，分子泵可以有效地抽取气体，提供高真空环境。
随着技术的发展，新型分子泵不断涌现，为科学研究和工业生产提供更好的真空解决方案。
中科科仪分子泵说明书
企业通过ISO 9001质量管理体系认证分子泵全系列 使用说明书¾分子泵安全使用说明在安装与使用分子泵前，泵的安装与操作人员都应仔细阅读本使用说明书，并按照说明书中规定的条款安装与操作，以免造成人员伤害与设备损坏。
¾安全警示说明危险：表示为了防止危及人身安全，需要引起高度注意且必须遵守的事项；警告：表示为了防止损伤或损坏泵，需要引起中度注意且必须遵守的事项；小心：表示为了使泵的使用效果最佳，需要引起轻度注意且需要遵守的事项。
¾保修说明凡购买我公司生产的分子泵，从发货之日起，用户凭保修单可保修一年。
凡属下列情况之一的，不予保修：1)用户未经授权对产品私自拆卸；2)用户保管或使用不当（如撞击、强放射性环境、强磁场环境等）；3)属于用户其他原因造成的损坏。
¾免责声明当用户严格遵照本说明书中的规定安装和使用时，KYKY分子泵是安全、方便和有效的。
泵的操作人员必须仔细阅读并严格遵守本说明书中的条款。
由于用户没有仔细阅读说明书、或未按照使用说明书的要求操作而造成的任何伤害和损失，KYKY将不负担任何责任。
本说明书仅作为信息使用，如遇改版，恕不另行通知。
如本说明书与实际产品有所出入，本公司拥有最终解释权。
由本说明书引起、产生和包含的知识产权均属KYKY所有。
1概述1.1 分类与特点本说明书所列分子泵，按口径不同，从100mm到400mm（对应抽速从110l/s到3500l/s）共5个系列，12种泵。
分子泵一般有两种结构形式，一种是由动静叶列组成的涡轮分子泵，一种是由涡轮级加牵引级构成的复合型分子泵。
复合型分子泵的特点是使得分子泵高压强区的抽速有所提高，另一特点是使得出口耐压得到提高，因此可以适当减小前级泵的规格，可使用户节省投资。
根据分子泵轴承润滑方式不同，分子泵有油润滑、脂润滑两种。
一般情况下，油润滑分子泵需竖直安装（F-100/110可以水平安装），脂润滑分子泵可以任意角度安装。
分子泵控制器原理
分子泵控制器原理
分子泵控制器是用于控制和监测分子泵操作的设备，它起到调节分子泵运行状态和保护泵系统的作用。
其工作原理如下：
1.传感器监测：分子泵控制器内部配备了各种传感器来监测
分子泵的运行状况。
常见的传感器包括压力传感器、温度
传感器和流量传感器等。
2.数据处理：传感器会实时收集到分子泵运行状态的相关数
据，并将数据传输给分子泵控制器的处理器进行分析和处
理。
处理器根据预设的设定值和控制参数，对数据进行判
断和计算。
3.控制信号输出：分子泵控制器根据处理器的计算结果，向
分子泵发送控制信号，调节泵的转速、加热功率等参数。
4.过程监控与保护：分子泵控制器会不断监测分子泵的运行
过程，比如监测泵的压力、温度和流量等变化。
若监测到
异常情况（如超压、过热等），则会触发保护机制，自动
停止分子泵的运行，保护泵系统不受损害。
5.人机界面：分子泵控制器通常还会配备人机界面，如液晶
显示屏和按钮面板等，用于操作员监测和配置控制参数。
操作员可以通过界面上的设置功能，对分子泵的运行模式、报警设置等进行调整。
综上所述，分子泵控制器通过传感器实时监测分子泵运行状态，并根据处理器的分析结果，输出相应的控制信号，实现分子泵
的自动调节和保护。
这些功能帮助优化分子泵的运行效果和可靠性，保障设备的正常运行。
分子泵工作范围
分子泵工作范围
分子泵是一种高真空泵，主要用于实现超高真空环境。
其工作范围涉及到许多科学、工业和研究领域。
以下是分子泵的一些主要工作范围：
1.科学研究：
物理实验室：在物理实验室中，分子泵常用于提供超高真空环境，以进行粒子物理学、表面物理学和其他实验研究。
材料科学：在材料研究中，分子泵用于制备高纯度的样品，以进行材料性质的研究和分析。
2.半导体工业：
半导体制造：在半导体工业中，分子泵被广泛用于真空冷冻、薄膜沉积等工艺步骤，确保半导体器件的制备过程在极低的压力下进行。
3.航空航天工业：
太空模拟：分子泵用于模拟太空环境，测试航天器件在真空和低温条件下的性能。
4.医疗设备制造：
电子显微镜：在电子显微镜中，分子泵被用于创造高真空环境，以便观察生物组织和细胞的微观结构。
5.核磁共振（NMR）：
NMR实验室：在核磁共振实验室中，分子泵用于创建高真空环境，以保证NMR谱的准确性。
6.实验物理学：
核物理实验：在核物理实验中，分子泵用于提供超高真空环境，
以便进行粒子对撞和其他核物理实验。
7.光学薄膜沉积：
光学涂层：分子泵在光学薄膜沉积中被广泛应用，确保在真空中沉积的薄膜质量和透明度。
8.空间科学：
空间模拟：在航天器件测试中，分子泵可用于模拟太空环境，确保设备在真空条件下正常运行。
这些应用领域显示了分子泵在科学研究、工业制造和实验室实践中的广泛用途，提供了超高真空条件，以便于各种实验和工艺的进行。
分子泵文档
分子泵概述分子泵是一种用于实现超高真空（UHV）环境的重要设备。
它通过利用连续的抽气技术，将气体从真空腔室中排放出去，从而实现高度净化和抽真空的效果。
本文将介绍分子泵的工作原理、结构特点以及应用领域。
工作原理分子泵主要依靠分子碰撞和扩散作用来实现抽气的过程。
当气体分子位于真空腔室中时，由于其热运动而产生碰撞。
当气体分子与泵的叶片或壁面发生碰撞时，部分分子被吸附到表面上，而另一部分则以较高的速度逸出，形成气体的扩散。
通过不断重复这个过程，真空腔室中的气体分子逐渐减少，从而达到理想的抽气效果。
结构特点1. 泵体分子泵的外壳通常由不锈钢或其他耐高温、耐腐蚀材料制成，以确保其工作的可靠性和长寿命。
2. 泵叶片泵叶片是分子泵中最关键和核心的部件之一。
它们通常由铝或其他高性能材料制成，具有良好的抗腐蚀性和热传导性能。
3. 电机分子泵通常由高速电机驱动，以使泵叶片以高速旋转。
电机要求具有较高的功率和稳定的运行特性，以确保分子泵的正常工作。
4. 磁力轴承磁力轴承是分子泵中常用的一种轴承形式，它利用磁力原理代替传统的机械轴承。
磁力轴承具有无接触、无磨损、低噪音等优点，能够使分子泵具有更长的使用寿命和更高的工作效率。
5. 抽气系统分子泵通常需要与其他抽气装置（如机械泵和涡流泵）配合使用，以提供更高效的真空抽取能力。
抽气系统的设计需要综合考虑泵的性能和被抽系统的需求，以实现最佳的抽气效果。
应用领域分子泵在许多领域中都发挥着重要作用，特别是在需要高度净化和超高真空环境的实验室和工业实践中。
1. 真空冶金分子泵在真空冶金领域中被广泛应用。
它可以用于提供超高真空环境，以减少氧、水蒸气和其他气体对熔融金属的污染，从而提高冶金过程的质量和产量。
2. 半导体制造在半导体工业中，分子泵扮演着关键的角色。
它可以用于清洗半导体器件表面，去除由制造过程产生的污染物，以确保器件质量和可靠性。
3. 真空包装分子泵也广泛应用于真空包装行业。
在食品、药品和其他易氧化物品的包装过程中，分子泵可以实现高度净化的包装环境，提高产品的质量和保质期。
分子泵用途
分子泵用途《分子泵的奇妙用途》嘿，朋友们！今天咱来聊聊分子泵，这玩意儿可真是个神奇的东西。
我先给你们讲一件我亲身经历的事儿哈。
有一次我去参观一个高科技工厂，那里面各种先进的设备让我眼花缭乱。
我就像刘姥姥进了大观园似的，这儿瞅瞅那儿看看。
就在我闲逛的时候，我看到了一个巨大的机器，旁边的工作人员告诉我，这就是分子泵。
我当时就好奇了，这东西到底是干啥用的呀？工作人员笑着说，这分子泵的用途可大了去了。
他说在很多高真空的环境需求中，分子泵可是绝对的主角呢！就比如在制造那些超级精密的电子元件的时候，要是没有分子泵来把空气抽得干干净净，那可就没法保证产品的高质量啦。
我一听，好像有点明白了。
你想啊，要是有灰尘或者其他杂质在里面，那生产出来的电子元件不就容易出问题嘛。
分子泵就像是一个超级厉害的清洁工，能把那些我们肉眼看不到的微小分子都给清理掉。
而且哦，分子泵还在科研领域大显身手呢！那些科学家们在研究一些超级微小的东西时，对环境的要求那是相当高。
这时候，分子泵就派上用场啦，它能创造出一个几乎没有任何干扰的真空环境，让科学家们可以尽情地探索微观世界的奥秘。
再说说在医疗领域，分子泵也有它的用武之地呢。
比如在一些医疗器械的制造过程中，需要非常纯净的环境，分子泵就能确保这一点。
想象一下，如果医疗器械里面有杂质，那用到病人身上多危险呀！我越听越觉得分子泵这东西真的太神奇了。
它就像是一个默默无闻的幕后英雄，虽然我们平时可能不太会注意到它，但它却在各个重要的领域发挥着关键的作用。
从那个工厂参观回来后，我对分子泵就一直念念不忘。
每次想到它，我就会感慨科技的力量真是强大。
一个小小的分子泵，居然能有这么多重要的用途。
总之呢，分子泵可真是个了不起的东西呀！它让我们的生活变得更加美好，让科技不断向前发展。
以后要是再有人问我分子泵的用途，我就能滔滔不绝地跟他讲一大通啦！哈哈！这就是我对分子泵的认识和感受，希望你们也能对这个神奇的东西有更多的了解哦！。
莱宝分子泵控制器说明书
莱宝分子泵控制器说明书一、产品特点：1.高精度控制：莱宝分子泵控制器采用先进的控制算法和高精度传感器，能够实现对分子泵的精确控制，确保其稳定运行和高效工作。
2.多功能显示屏：配备高清彩色显示屏，能够直观地显示分子泵的工作状态、运行参数以及故障信息，方便用户及时了解设备运行情况。
3.故障自诊断：莱宝分子泵控制器具备自动故障诊断功能，能够实时监测设备运行状态，一旦出现异常，自动报警并显示故障原因，方便用户及时排除故障。
4.轻触按键操作：控制器提供简洁易懂的人机界面，通过轻触按键即可完成对分子泵的启停控制、参数设置等操作，操作简单方便。
5.通信接口：控制器具备RS485通信接口，可接入计算机或PLC等外部设备，实现远程控制和数据采集功能，便于集成控制系统。
二、使用方法：1.连接电源：将莱宝分子泵控制器的电源插头连接到电源插座上，确保电源供应正常。
2.连接通信线：若需远程控制或数据采集功能，可使用标准RS485通信线缆将控制器与计算机或PLC连接起来。
3.设置参数：按下控制器上的菜单键，进入参数设置界面，根据实际需求设置分子泵的相关参数，包括启停控制、工作模式、报警参数等。
4.启动分子泵：按下控制器上的启动键，控制器将向分子泵发送启动指令，使其开始运行。
同时，控制器将监测分子泵的工作状态，并在显示屏上实时显示相关参数。
5.监测运行状态：使用者可以通过观察控制器显示屏上的工作状态及参数，实时了解分子泵的运行情况。
三、注意事项：1.控制器应放置在通风良好、干燥、无腐蚀性气体的环境中，以确保其正常工作和长寿命。
2.在操作控制器时，请先熟悉控制器的使用方法和参数设置，以免误操作导致设备故障。
3.操作控制器时，应注意轻拿轻放，避免剧烈碰撞和挤压，以免损坏控制器。
4.若长时间不使用控制器，请及时断开电源，并存放在干燥、防尘的地方，以延长其使用寿命。
5.控制器仅适用于莱宝分子泵，禁止用于其他设备，否则可能导致设备损坏或人身伤害。
分子泵的实验报告
一、实验目的1. 了解分子泵的结构和工作原理。
2. 掌握分子泵的安装、调试和操作方法。
3. 熟悉分子泵的性能参数和测试方法。
4. 分析分子泵在不同工作条件下的性能表现。
二、实验原理分子泵是一种高性能的真空泵，其主要工作原理是利用分子在泵腔内高速运动与泵壁碰撞，使分子获得能量并发生分离，从而实现抽真空的目的。
分子泵具有抽速高、真空度好、噪声低、无油污染等优点，广泛应用于科学研究、生产制造等领域。
三、实验仪器与设备1. 分子泵一台2. 真空计一台3. 压力传感器一台4. 计时器一台5. 真空阀门一套6. 实验台一台四、实验步骤1. 分子泵的安装与调试（1）将分子泵放置在实验台上，确保泵体水平。
（2）连接电源，打开分子泵，观察电机转动方向是否正确。
（3）连接真空系统，包括真空阀门、真空计、压力传感器等。
（4）检查各连接部位是否密封良好，确保无泄漏。
2. 分子泵的性能测试（1）开启分子泵，逐渐降低真空度，观察真空计示数。
（2）记录不同真空度下的抽速和功率，绘制分子泵的抽速-真空度曲线。
（3）调整分子泵的工作条件，如温度、压力等，观察对抽速和真空度的影响。
（4）记录不同工作条件下的抽速和真空度，分析分子泵的性能表现。
3. 分子泵的保养与维护（1）定期检查分子泵的连接部位，确保密封良好。
（2）定期清洁分子泵的内部，去除积尘和杂质。
（3）定期检查分子泵的电机和轴承，确保正常运转。
（4）根据分子泵的使用说明书，进行定期保养和维护。
五、实验结果与分析1. 分子泵的抽速-真空度曲线实验结果显示，分子泵在低真空度下具有较高的抽速，随着真空度的提高，抽速逐渐降低。
这是由于分子泵在低真空度下，分子运动速度较快，碰撞频率较高，从而使抽速增加。
2. 分子泵的性能表现在不同工作条件下，分子泵的抽速和真空度均表现出良好的性能。
随着温度的升高，分子泵的抽速略有下降，但真空度基本保持不变。
这说明分子泵对温度具有一定的适应性。
六、实验结论1. 分子泵是一种高性能的真空泵，具有抽速高、真空度好、噪声低、无油污染等优点。
分子泵的结构
分子泵的结构
分子泵是一种将气体分子从容器中抽出的真空泵。
它的结构主要由以下组成部分：
1. 活塞：分子泵中的活塞通过线性运动驱动气体分子的抽出。
活塞通常由刚性材料制成，如不锈钢或陶瓷。
2. 气缸：气缸是活塞的固定部分，提供了容纳气体分子的空间。
气缸壁通常由高导热的金属材料制成，以便迅速将吸入的气体分子冷却。
3. 吸入口：气体分子进入分子泵的通道，吸入口连接到气缸底部。
通常有多个吸入口，以增加分子泵的吸附能力。
4. 极板：位于活塞和吸气口之间的极板具有孔洞结构，允许气体分子通过，同时阻止反向流动。
极板通常由玻璃、金属或陶瓷制成。
5. 速度限制器：速度限制器位于极板之上，用于控制分子泵的压力差和抽出速度。
速度限制器通常由小孔阀或控制板组成。
6. 动力源：分子泵通常需要外部动力源，如电力或气压，来驱动活塞进行工作。
以上是分子泵的一般结构，不同型号的分子泵可能有所差异。
分子泵的详细介绍
分子泵的详细介绍分子泵是一种常用于超高真空环境下的真空泵，它的主要工作原理是通过分子间的碰撞和反弹来将气体分子抽出。
在分子泵内部，气体分子因为电离而被加速，然后经过节流口进入排气室，在排气室内分子碰撞到高速旋转的转子而被抛出，最终把气体分子排出，并实现真空抽取。
分子泵的组成主要包括转子、分子板、冷阱和漏电阀等部件。
转子是分子泵内部的核心部分，它通常由多个叶片组成，通过电机驱动旋转，从而形成高速气流。
分子板是分子泵的关键组件，它采用特殊的材料制成，具有高度平整的表面，通过分子板上的小孔来加速气体分子，使其达到高能量状态，并抛离出真空腔室。
冷阱是用于捕获有害气体分子的部件，通过低温冷却来冷凝气体分子并将其固定在冷阱内，从而防止污染真空环境。
漏电阀则用于防止背流，保证真空系统的稳定和可靠工作。
分子泵的工作过程一般涵盖四个阶段：起动阶段、粗抽阶段、中抽阶段和漏抽阶段。
起动阶段是指分子泵在刚启动时的运行，此时需要将分子泵加热至较高温度，以去除阻挡气体分子的垂直势垒。
粗抽阶段是指分子泵迅速从大气压附近减压到低真空范围内。
在这个阶段，分子泵主要通过对大量分子的碰撞和抛离来实现抽取。
中抽阶段是指分子泵从低真空范围进一步减压至高真空范围。
在这个阶段，分子泵主要依靠小分子的高速运动和碰撞，以及与分子板表面间的反弹来抽取气体。
漏抽阶段是指真空系统已经达到高真空范围，此时分子泵以最大速率抽取气体分子，并最终将其排出系统。
分子泵具有抽取速率高、真空度高、清洁度高等优点。
同时，它还可以与其它真空泵，如机械泵和扩散泵等进行联用，以实现更高真空度的抽取。
然而，分子泵也存在一些局限性。
例如，由于分子泵内部需要高速旋转的转子，因此噪音较大；另外，分子泵内不能存在润滑剂，否则会造成污染，限制了其在一些应用领域的使用。
总之，分子泵是一种重要的真空泵，其通过分子间的碰撞和反弹来将气体分子抽出，广泛应用于精密仪器、半导体制造、航空航天等领域。
分子泵功能
分子泵功能嘿，朋友们！今天咱来聊聊分子泵这玩意儿。
分子泵啊，就像是一个超级厉害的“吸气小能手”！你想想看，它就如同一个不知疲倦的大力士，在微观世界里拼命工作着。
分子泵的功能那可真是了不起呀！它能把那些我们肉眼根本看不见的微小分子们，一个一个地吸过来，就好像是有一双神奇的小手，把它们紧紧抓住。
它工作起来可认真啦，不管是多么微小的分子，都别想逃过它的“手掌心”。
这就好比是一个超级细心的清洁工，不放过任何一个角落的灰尘。
分子泵在各种高科技设备里可重要了呢，没有它呀，很多事情都没法好好进行。
比如说在一些真空环境要求很高的实验里，分子泵就大显身手啦。
要是没有它，那些实验可能就会变得一塌糊涂，就像做蛋糕没有了打蛋器，那还能做出美味的蛋糕吗？分子泵就像那个关键的打蛋器，让一切都变得顺顺利利的。
而且啊，分子泵还特别耐用，就跟咱家里的老家具似的，虽然用了很久，但依然很靠谱。
它不会轻易地出毛病，一直默默地为我们服务着。
它也不需要特别多的照顾，只要给它一个合适的环境，它就能发挥出自己最大的本事。
它就像是一个默默无闻的英雄，在背后为我们的科技进步贡献着力量。
我们每天使用的很多高科技产品，说不定里面就有分子泵的功劳呢！你说神奇不神奇？有时候我就想啊，这分子泵虽然小小的，但是它的力量可真是不可小觑。
它能做到很多我们人类都很难做到的事情，难道不应该给它点个赞吗？咱再想想，如果没有分子泵，那得有多少事情没法进行啊！那些需要高真空环境的研究不就没法开展了吗？那些依赖真空的生产工艺不也得受到影响吗？所以说啊，分子泵可真是太重要啦！总之呢，分子泵就是这么一个厉害又神奇的东西，它的功能强大到让我们惊叹！我们真应该好好珍惜它，让它为我们的生活和科技发展带来更多的惊喜和进步！。
分子泵工作原理
分子泵工作原理
分子泵是一种高真空抽气设备，它通过高速旋转的转子将气体
分子不断抛出，从而达到抽气的目的。
分子泵的工作原理主要包括
分子碰撞、反射和吸附三个过程。
首先，分子泵内部的转子高速旋转，使得气体分子不断与转子
碰撞。
在碰撞的过程中，气体分子的动能被转移给转子，使得气体
分子的速度减小。
这一过程使得气体分子逐渐失去动能，从而逐渐
被抽出。
其次，部分气体分子在碰撞后会被转子反射回到泵内，这是因
为气体分子在碰撞后会发生弹性碰撞，使得部分气体分子改变方向，被反射回去。
这一过程是分子泵抽气的重要步骤，通过反射使得气
体分子不断在泵内循环，增加了抽气效率。
最后，部分气体分子在碰撞后会被泵壁吸附。
这是因为泵壁表
面通常涂有吸附剂，能够吸附气体分子。
当气体分子碰撞到泵壁后，会被吸附在泵壁上，从而被抽出系统。
这一过程是分子泵抽气的最
终步骤，通过吸附使得气体分子被牢固地固定在泵壁上，从而实现
了真空度的提高。
综上所述，分子泵的工作原理主要包括分子碰撞、反射和吸附三个过程。
通过这些过程，分子泵能够将气体分子不断抛出，从而实现高真空的抽气效果。
在实际应用中，分子泵通常与其他真空设备配合使用，能够广泛应用于半导体制造、光学薄膜镀膜、航空航天等领域。
分子泵的工作原理对于真空技术的发展具有重要意义，也为现代工业的发展提供了重要支持。
分子泵控制器市场现状分析及行业展望
分子泵控制器市场现状分析及行业展望正文目录1 分子泵控制器市场概述1.1 产品定义及统计范围1.2 按照不同产品类型，分子泵控制器主要可以分为如下几个类别1.2.1 不同产品类型分子泵控制器销售额增长趋势2017 VS 2021 VS 20281.2.2 110VAC1.2.3 220VAC1.3 从不同应用，分子泵控制器主要包括如下几个方面1.3.1 不同应用分子泵控制器销售额增长趋势2017 VS 2021 VS 20281.3.1 工业领域1.3.2 半导体领域1.3.3 实验室1.3.4 其他1.4 分子泵控制器行业背景、发展历史、现状及趋势1.4.1 分子泵控制器行业目前现状分析1.4.2 分子泵控制器发展趋势2 全球分子泵控制器总体规模分析2.1 全球分子泵控制器供需现状及预测（2017-2028）2.1.1 全球分子泵控制器产能、产量、产能利用率及发展趋势（2017-2028）2.1.2 全球分子泵控制器产量、需求量及发展趋势（2017-2028）2.1.3 全球主要地区分子泵控制器产量及发展趋势（2017-2028）2.2 中国分子泵控制器供需现状及预测（2017-2028）2.2.1 中国分子泵控制器产能、产量、产能利用率及发展趋势（2017-2028）2.2.2 中国分子泵控制器产量、市场需求量及发展趋势（2017-2028）2.3 全球分子泵控制器销量及销售额2.3.1 全球市场分子泵控制器销售额（2017-2028）2.3.2 全球市场分子泵控制器销量（2017-2028）2.3.3 全球市场分子泵控制器价格趋势（2017-2028）3 全球与中国主要厂商市场份额分析3.1 全球市场主要厂商分子泵控制器产能市场份额3.2 全球市场主要厂商分子泵控制器销量（2017-2022）3.2.1 全球市场主要厂商分子泵控制器销量（2017-2022）3.2.2 全球市场主要厂商分子泵控制器销售收入（2017-2022）3.2.3 全球市场主要厂商分子泵控制器销售价格（2017-2022）3.2.4 2021年全球主要生产商分子泵控制器收入排名3.3 中国市场主要厂商分子泵控制器销量（2017-2022）3.3.1 中国市场主要厂商分子泵控制器销量（2017-2022）3.3.2 中国市场主要厂商分子泵控制器销售收入（2017-2022）3.3.3 中国市场主要厂商分子泵控制器销售价格（2017-2022）3.3.4 2020年中国主要生产商分子泵控制器收入排名3.4 全球主要厂商分子泵控制器产地分布及商业化日期3.5 全球主要厂商分子泵控制器产品类型列表3.6 分子泵控制器行业集中度、竞争程度分析3.6.1 分子泵控制器行业集中度分析：2021全球Top 5生产商市场份额3.6.2 全球分子泵控制器第一梯队、第二梯队和第三梯队生产商（品牌）及市场份额3.7 新增投资及市场并购活动4 全球分子泵控制器主要地区分析4.1 全球主要地区分子泵控制器市场规模分析：2017 VS 2021 VS 20284.1.1 全球主要地区分子泵控制器销售收入及市场份额（2017-2022年）4.1.2 全球主要地区分子泵控制器销售收入预测（2023-2028年）4.2 全球主要地区分子泵控制器销量分析：2017 VS 2021 VS 20284.2.1 全球主要地区分子泵控制器销量及市场份额（2017-2022年）4.2.2 全球主要地区分子泵控制器销量及市场份额预测（2023-2028）4.3 北美市场分子泵控制器销量、收入及增长率（2017-2028）4.4 欧洲市场分子泵控制器销量、收入及增长率（2017-2028）4.5 中国市场分子泵控制器销量、收入及增长率（2017-2028）4.6 日本市场分子泵控制器销量、收入及增长率（2017-2028）5 全球分子泵控制器主要生产商分析5.1 Atlas Copco5.1.1 Atlas Copco基本信息、分子泵控制器生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位5.1.2 Atlas Copco分子泵控制器产品规格、参数及市场应用5.1.3 Atlas Copco分子泵控制器销量、收入、价格及毛利率（2017-2022）5.1.4 Atlas Copco公司简介及主要业务5.1.5 Atlas Copco企业最新动态5.2 安捷伦5.2.1 安捷伦基本信息、分子泵控制器生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位5.2.2 安捷伦分子泵控制器产品规格、参数及市场应用5.2.3 安捷伦分子泵控制器销量、收入、价格及毛利率（2017-2022）5.2.4 安捷伦公司简介及主要业务5.2.5 安捷伦企业最新动态5.3 荏原5.3.1 荏原基本信息、分子泵控制器生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位5.3.2 荏原分子泵控制器产品规格、参数及市场应用5.3.3 荏原分子泵控制器销量、收入、价格及毛利率（2017-2022）5.3.4 荏原公司简介及主要业务5.3.5 荏原企业最新动态5.4 三菱重工业5.4.1 三菱重工业基本信息、分子泵控制器生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位5.4.2 三菱重工业分子泵控制器产品规格、参数及市场应用5.4.3 三菱重工业分子泵控制器销量、收入、价格及毛利率（2017-2022）5.4.4 三菱重工业公司简介及主要业务5.4.5 三菱重工业企业最新动态5.5 岛津5.5.1 岛津基本信息、分子泵控制器生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位5.5.2 岛津分子泵控制器产品规格、参数及市场应用5.5.3 岛津分子泵控制器销量、收入、价格及毛利率（2017-2022）5.5.4 岛津公司简介及主要业务5.5.5 岛津企业最新动态5.6 Osaka Vacuum5.6.1 Osaka Vacuum基本信息、分子泵控制器生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位5.6.2 Osaka Vacuum分子泵控制器产品规格、参数及市场应用5.6.3 Osaka Vacuum分子泵控制器销量、收入、价格及毛利率（2017-2022）5.6.4 Osaka Vacuum公司简介及主要业务5.6.5 Osaka Vacuum企业最新动态5.7 Pfeiffer Vacuum5.7.1 Pfeiffer Vacuum基本信息、分子泵控制器生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位5.7.2 Pfeiffer Vacuum分子泵控制器产品规格、参数及市场应用5.7.3 Pfeiffer Vacuum分子泵控制器销量、收入、价格及毛利率（2017-2022）5.7.4 Pfeiffer Vacuum公司简介及主要业务5.7.5 Pfeiffer Vacuum企业最新动态5.8 Highvac Corporation5.8.1 Highvac Corporation基本信息、分子泵控制器生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位5.8.2 Highvac Corporation分子泵控制器产品规格、参数及市场应用5.8.3 Highvac Corporation分子泵控制器销量、收入、价格及毛利率（2017-2022）5.8.4 Highvac Corporation公司简介及主要业务5.8.5 Highvac Corporation企业最新动态5.9 ULVAC Technologies5.9.1 ULVAC Technologies基本信息、分子泵控制器生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位5.9.2 ULVAC Technologies分子泵控制器产品规格、参数及市场应用5.9.3 ULVAC Technologies分子泵控制器销量、收入、价格及毛利率（2017-2022）5.9.4 ULVAC Technologies公司简介及主要业务5.9.5 ULVAC Technologies企业最新动态5.10 Scientific Vacuum Systems5.10.1 Scientific Vacuum Systems基本信息、分子泵控制器生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位5.10.2 Scientific Vacuum Systems分子泵控制器产品规格、参数及市场应用5.10.3 Scientific Vacuum Systems分子泵控制器销量、收入、价格及毛利率（2017-2022）5.10.4 Scientific Vacuum Systems公司简介及主要业务5.10.5 Scientific Vacuum Systems企业最新动态5.11 中科科仪5.11.1 中科科仪基本信息、分子泵控制器生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位5.11.2 中科科仪分子泵控制器产品规格、参数及市场应用5.11.3 中科科仪分子泵控制器销量、收入、价格及毛利率（2017-2022）5.11.4 中科科仪公司简介及主要业务5.11.5 中科科仪企业最新动态6 不同产品类型分子泵控制器分析6.1 全球不同产品类型分子泵控制器销量（2017-2028）6.1.1 全球不同产品类型分子泵控制器销量及市场份额（2017-2022）6.1.2 全球不同产品类型分子泵控制器销量预测（2023-2028）6.2 全球不同产品类型分子泵控制器收入（2017-2028）6.2.1 全球不同产品类型分子泵控制器收入及市场份额（2017-2022）6.2.2 全球不同产品类型分子泵控制器收入预测（2023-2028）6.3 全球不同产品类型分子泵控制器价格走势（2017-2028）7 不同应用分子泵控制器分析7.1 全球不同应用分子泵控制器销量（2017-2028）7.1.1 全球不同应用分子泵控制器销量及市场份额（2017-2022）7.1.2 全球不同应用分子泵控制器销量预测（2023-2028）7.2 全球不同应用分子泵控制器收入（2017-2028）7.2.1 全球不同应用分子泵控制器收入及市场份额（2017-2022）7.2.2 全球不同应用分子泵控制器收入预测（2023-2028）7.3 全球不同应用分子泵控制器价格走势（2017-2028）8 上游原料及下游市场分析8.1 分子泵控制器产业链分析8.2 分子泵控制器产业上游供应分析8.2.1 上游原料供给状况8.2.2 原料供应商及联系方式8.3 分子泵控制器下游典型客户8.4 分子泵控制器销售渠道分析9 行业发展机遇和风险分析9.1 分子泵控制器行业发展机遇及主要驱动因素9.2 分子泵控制器行业发展面临的风险9.3 分子泵控制器行业政策分析9.4 分子泵控制器中国企业SWOT分析10 研究成果及结论11 附录11.1 研究方法11.2 数据来源11.2.1 二手信息来源11.2.2 一手信息来源11.3 数据交互验证11.4 免责声明。
中科科仪产品资料
4-8 ≤25 ≤100 5-40 150 内径Φ10 直插自密封 竖直±5° 29
10
真空获得产品 FF-160/700型脂润滑复合分子泵
FF-0/00型进气口法兰为: DN0LF、DN0CF
FF-100/110 110
N2: 108; H2: 5×102 ≤6×10-6 (DN100 LF) ≤6×10-7 (DN100 CF)
＜100Pa KF25 (DN25 KF) DN100 LF、DN100 CF 精密脂润滑陶瓷轴承
42300 ＜2 ≤0.1 2 脂润滑
内径Φ10 直插自密封 任意角度 水冷或风冷 ≤25 ≤100
5-40 (5-32℃时可风冷) 6
① 加油时侧身两个注油孔各加6毫升分子泵油
F-100/110 110
N2: 108; H2: 5×102 ≤6×10-6 (DN100 LF) ≤6×10-7 (DN100 CF)
＜100Pa KF25 (DN25 KF) DN100 LF、DN100 CF 精密机械轴承
任意角度 风冷/自然冷却
2.8
真空获得产品
110型分子泵系列
FF-100/110型脂润滑复合分子泵、F-100/110型涡轮分子泵
FF-00/0型分子泵
F-00/0型分子泵
FF-100/110型分子泵安装尺寸图(单位：mm)
F-100/110型分子泵安装尺寸图(单位：mm)
FF-100/110型抽速曲线
高品质的产品源自于我们不断的技术创新和对质量的不懈追求。通过我们 不断的研发创新以及我们对事业的热情和承诺，我们将坚持为客户提供更加优 良的产品和优质的服务。
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3、安装与配线 ......................................................................................................................................10
3.1 安装环境 ......................................................................................................................................10 3.2 外形尺寸 ......................................................................................................................................10 3.3 分子泵控制器操作显示面板 ...................................................................................................... 11
6、常见故障处理 ..................................................................................................................................17
KYKY MODBUS 通信手册 ......................................................................................................................19
阅读提示：
危险！会引起人身伤亡和财产损失的不正确操作与安装 警告！会引起人身伤害和财产损失的不正确操作与安装 注意！会影响控制器性能的不正确操作
1
Thank you for selecting the controller for molecular-pump of KYKY! Meanwhile, you will enjoy our complete and sincere service!
成套仪器： ............................................................................................................................................53
3
CONTENTS
I. SAFE OPERATION..........................................................................................................................28 II. PRODUCT DESCRIPTION............................................................................................................29
4、使用方法： ......................................................................................................................................16
5、故障代码 ..........................................................................................................................................17
感谢您选用中科科仪分子泵控制器！同时，你将享受到我们为您提供的全面、真诚的服务！
FD 系列分子泵控制器具有高品质、多功能、低噪音特点，该系列控制器能够适用多种分子泵。 本手册为用户提供安装调试、操作使用、故障诊断及日常维护的有关注意事项，在安装、使用前请仔 细阅读，正确操作。本手册随控制器一起提供，并请妥善保管，以备以后查阅和维护使用。
2
目
录
1、安全使用 ............................................................................................................................................5
Featured with top quality, multi-function and low noise, FD series controller of molecular-pump can be applied to various molecular-pumps.
This manual provides users with precautions regarding installation, commissioning, operation, trouble diagnosis and daily maintenance. Please read it carefully before any installation and usage is commenced to ensure a proper operation. This manual shall be available together with the controller, and should be well kept for future reference and convenience of maintenance.
2.1 MODEL AND NAMEPLATE............................................................................................................. 29 2.2 LIST OF PRODUCTS......................................................................................................................29 2.3 APPEARANCE...............................................................................................................................30 2.4 MODEL MATCHING TABLE FOR FD SERIES CONTROLLER AND MOLECULAR PUMP ................. 31 2.5 PERFORMANCE INDEX .................................................................................................................32 III. INSTALLATION AND WIRING.....................................................................................................33 3.1 INSTALLATION ENVIRONMENT...................................................................................................... 33 3.2 OVERALL DIMENSIONS ................................................................................................................33 3.3 OPERATION & DISPLAY PANEL FOR CONTROLLER OF MOLECULAR PUMP ............................... 34 3.4 DIAGRAM FOR REAR PANEL OF CONTROLLER FOR MOLECULAR PUMP WITH 220V INPUT ........ 36 IV. INSTRUCTIONS FOR APPLICATION: ......................................................................................39 V. FAULT CODE ..................................................................................................................................41 VI. TROUBLE SHOOTING.................................................................................................................41 KYKY MODBUS COMMUNICATION MANUAL.............................................................................44 INSTRUMENT IN COMPLETE SETS: ............................................................................................54