涡轮分子泵的优缺点
真空包装机涡轮分子泵
真空包装机涡轮分子泵
涡轮分子泵是靠高速转动的转子携带气体分子获得超高真空的机械真空泵。
工作压力范围10_8〜IPa,抽气速率在5000L/S以下，性能优良的真空泵可以获得10_9〜IPa的极限真空，泵的转速为l0000到50000r/min，其抽速范围很宽，在九个数置级间具有恒定的抽速。
分子泵主要用作超髙真空和髙真空泵，但它不能对大气直接排气，需要配置前级泵，并用其主要性能（如极限真空和抽速）都和配置的前级泵的容量、转数、被抽气体的种类有关。
分子泵对较轻的气体抽速较大，对氢的抽速比对空气的抽速大20%。
在以机械形式运动的各类真空泵中，分子泵是一种结构精密、工艺要求髙的泵。
泵的动、静叶片的几何形状与抽速有很大关系，需要特殊的工艺加工来保证叶片的尺寸和精度。
同时要求转子有很好的动平衡，动叶片应具有高强度以承受髙速转动产生的离心力，保证泵的运转可靠。
国内生产的分子泵型号为F系列涡轮式分子真空泵（简称涡轮分子泵它的性能特点是：结构紧凑，分子泵由置于泵体内的中频电动机直接驱动，涡轮转子为整体式结构；该泵对大分子量的气体有较高的压缩比，且中频电动机置于前级空间，能获得清洁的高真空和超髙真空；工作压力范围宽，在lCT7Pa范围内具有稳定的抽速工作平稳，由于采用了精密轴承，严格的动平衡工艺和一系列的减振措施，使泵振动小，噪声低；启动时间短，一般在4〜15min内能达到满抽速，标准化的法兰连接尺寸、垂直结构，.使其便于与真空系统连接。
适用于要求清洁的高真空和超髙真空的仪器设备。
如髙能加速器、核聚变反应装置、宇航模拟、真空镀膜、真空冶炼、半导体提纯、大型电子管排气等。
以上就是真空包装机涡轮分子泵，如有问题，真空包装机油封式旋转机械真空泵，可以致电麦格！。
分子增压泵和涡轮分子泵工作机理简介
分子增压泵和涡轮分子泵工作机理简介龚建华储继国一、涡轮分子泵和分子增压泵的相同点与不同点1.共同点：涡轮分子泵和分子增压泵都是高真空泵，极限真空10-5Pa（10-7Pa）；都工作在很高的转速（数万转/分钟）；都有很高的压缩比（N2：108），所以都可以获得清洁真空。
2.不同点目前国内生产的以及绝大部分国外生产的涡轮分子泵都是立式泵，而分子增压泵是卧式泵，卧式泵对共振的控制比立式泵难度大；分子增压泵的工作压力和排气流量均比涡轮分子泵高出很多，可以达到数百帕；涡轮分子泵的转子是由涡轮叶片构成，而分子增压泵的转子是由平圆盘构成；涡轮分子泵工作在分子流状态，而分子增压泵可以工作在分子流和过渡流状态。
二、涡轮分子泵和分子增压泵的工作原理如要用通俗些的话语来说明两种泵的工作原理，可用家乐福超市的传送带式的电梯比作分子增压泵的拖动原理；而用“陷阱”（比较牵强）来形容涡轮分子泵的传输几率原理。
1.涡轮分子泵的工作原理此处的所谓“陷阱”比喻的是一种结构，使得气体分子沿某方向容易通过，而反方向难以通过。
先看生活中的一个例子，图1是捕捉黄鳝的竹篓，这种结构使得黄鳝很容易从入口进入底部觅食，而极难从反方向逃逸，这便是一种陷阱。
再看图2，这是一个假想的隘口，由于设计成这样的构造，显然，人从两个方向通过的难易程度是不一样的，如果人平均出现在入口的任一位置，那么从左向右，比从右向左容易通过，比例大约是5：1，这也是一种陷阱。
对于图2的模型，可以引入一个物理量——传输几率，它可以这样来理解，以均等机会（概率相等）出现在入口任一位置的人通过隘口的可能性（概率）。
显然对于图2，从左向右的传输几率为1，即都能通过，而从右向左的传输几率约1/5，即平均5人有1人可以通过。
因此，如果起始时，隘口两边的人数相等，随后，便慢慢地在右边逐渐增多。
传输几率在气体分子的运动中是一个非常重要的概念，比如气体分子通过一个长圆形管道，其难易程度可用该管道的传输几率来表征。
分子泵简介及应用
分子泵简介及应用分子泵起源分子真空泵是在1911 年由德国人盖德(w · Gaede) 首先发明的，这种分子泵是在分子流区域内靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。
通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象。
因此，人们将盖德发明的分子泵称为牵引分子泵。
牵引分子泵的优点是起动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸汽，特别适于抽除较重的气体。
但同于它自身的弱点：抽速小，密封间隙太小，工作可靠性较差，易出机械故障等，因此除特殊需要外，实际上很少应用。
分子泵抽气原理分子泵输送气体应满足二个必要条件：1). 分子泵必须在分子流状态下工作。
因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时，其中气体分子的平均自由程则随之增加。
在常压下空气分子的平均自由程只有0.06 μm ，即平均看一个气体分子只要在空间运动0.06 μm ，就可能与第二个气体分子相碰。
而在1.3Pa 时，分子间平均自由程可达4.4mm 。
在分子流范围内，气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距。
当器壁由不动的定子叶片与运动着的转子叶片组成时，气体分子就会较多地射向转子和定子叶片，为形成气体分子的定向运动打下基础。
2). 分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。
具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。
分子泵的转速越高，对提高分子泵的抽速越有利。
实践表明，对不同分子量的气体分子其速度越大，泵抽除越困难。
例：H2 在空气中含量甚徽，但由于H2 分子具有很大的运动速度( 最大速度为1557m /s) ，所以分子泵对 H2 的抽吸困难。
通过对极限真空中残余气体的分析，可发现氢气比重可达85 ％，而分子量较大，而运动速度慢的油分子所占的比重几乎为零。
这就是分子泵对油蒸气等高分子量的气体的压缩比很高，抽吸效果好的原因。
涡轮分子泵工作范围
涡轮分子泵工作范围涡轮分子泵是一种高速旋转的离心式泵，主要用于真空系统中的高真空抽取。
它具有高抽速、低压力、无油污染等优点，在半导体、航天、化工等领域得到广泛应用。
本文将详细介绍涡轮分子泵的工作范围。
一、涡轮分子泵的基本原理涡轮分子泵由电机、转子和定子组成。
其中转子由多个叶片组成，叶片与定子之间的间隙非常小，通常在0.1mm左右。
当电机启动时，转子开始高速旋转，产生离心力将气体从进口处吸入，并将其压缩后排出。
二、涡轮分子泵的工作范围1. 抽气速度：涡轮分子泵的抽气速度通常在10~1000L/s之间。
在低压区域（10^-3~10^-5Pa），抽气速度较低；而在高压区域（10^-6~10^-9Pa），抽气速度较高。
2. 压缩比：涡轮分子泵的压缩比通常在10^3~10^6之间。
这意味着，它可以将气体的压力从10^-3Pa压缩至10^-9Pa以下。
3. 工作压力：涡轮分子泵的工作压力通常在10^-6~10^-9Pa之间。
在这个范围内，它可以提供高效的抽气速度和良好的压缩比。
4. 气体种类：涡轮分子泵适用于大部分非反应性气体，如氢、氦、氮、氧、氩等。
但对于一些易反应的气体，如硅烷等，则需要采取特殊措施。
5. 清洁度要求：由于涡轮分子泵是无油污染的，因此在一些对清洁度要求较高的领域，如半导体制造中心，它得到了广泛应用。
三、涡轮分子泵的优点与缺点1. 优点：（1）高抽速：涡轮分子泵具有很高的抽速，在高真空区域中能够提供很好的抽气效果。
（2）无油污染：由于没有油脂和密封件，因此不会产生油污染问题。
（3）低振动噪声：转子平衡性好，转速高，因此振动和噪声都很小。
2. 缺点：（1）对气体种类有限制：涡轮分子泵只适用于大部分非反应性气体，对于一些易反应的气体则需要采取特殊措施。
（2）价格较高：相比其他类型的真空泵，涡轮分子泵的价格较高。
（3）需要高精度加工：由于叶片与定子之间的间隙非常小，因此制造过程需要高精度加工技术。
真空科学技术-涡轮分子泵
真空科学技术-涡轮分子泵涡轮分子泵是一种常用于真空科学技术的设备，它利用涡轮旋转产生的离心力将气体抽出，从而实现高真空状态。
本文将介绍涡轮分子泵的工作原理、应用范围以及常见问题解答。
工作原理涡轮分子泵是由一个旋转的涡轮和静止的分子泵壳组成。
涡轮通过高速旋转，产生的离心力将气体从入口抽出，并将其压缩到更高的压力。
在涡轮旋转的同时，分子泵壳内的固体板上覆盖了一层分子，当气体分子进入分子泵壳时，会与分子板上的分子发生碰撞，进一步增加气体分子的能量，从而将其抽出。
通过不断重复这个过程，涡轮分子泵可以将气体抽出，实现高真空状态。
应用范围涡轮分子泵在真空科学技术中有着广泛的应用。
它主要用于以下领域：1. 实验室研究：涡轮分子泵可以提供高真空环境，用于各种实验室研究，如材料科学、物理学等领域的实验。
2. 真空设备制造：涡轮分子泵常用于制造真空设备中，如半导体加工设备、光学薄膜涂层设备等。
3. 真空工艺应用：涡轮分子泵可以用于各种真空工艺应用，如真空冷冻干燥、真空脱气等。
4. 清洁制造：涡轮分子泵在清洁制造领域有着广泛应用，如光学镀膜、医疗器械制造等。
常见问题解答涡轮分子泵的维护方法是什么？涡轮分子泵的维护方法包括：- 定期更换涡轮分子泵的油封和气密性密封件。
- 清洁涡轮分子泵壳内的分子板和滑动轴承。
- 确保涡轮分子泵的电源和冷却系统正常运行。
涡轮分子泵的工作原理是什么？涡轮分子泵利用涡轮的高速旋转产生的离心力将气体抽出，并通过不断碰撞气体分子来进一步增加气体分子的能量，从而将其抽出。
涡轮分子泵的优势是什么？涡轮分子泵具有以下优势：- 高真空：涡轮分子泵可以实现高真空状态，适用于高精度的实验和工艺应用。
- 快速抽气：涡轮分子泵具有快速抽气的特点，能够迅速将气体抽出。
- 无油污染：与其他真空泵相比，涡轮分子泵无需使用油封，避免了油污染的问题。
以上是关于涡轮分子泵的介绍，希望能对您有所帮助。
如有更多问题，请随时咨询。
涡轮分子泵的工作原理
涡轮分子泵的工作原理涡轮分子泵是一种高真空泵，常用于半导体、光学和表面科学等领域。
它的工作原理基于气体分子在旋转的装置中不断碰撞与反弹，最终达到抽取气体的目的。
本文将详细介绍涡轮分子泵的工作原理。
第一部分：涡轮分子泵的概述涡轮分子泵是一种高真空泵，它通过分子动量转移的方式，将气体从低压区吸入高压区，从而进一步降低气体压力。
涡轮分子泵通常采用刚性转子和固定或旋转的静止子来产生气体动量转移。
在压力低于10^-3 Pa的高真空环境下，涡轮分子泵是目前最有效的气体抽取装置之一。
涡轮分子泵通常由转子、静止子、进气口、排气口和电机组成。
转子是最主要的运动部件，它由多个刚性叶片组成，垂直于轴线方向。
静止子是固定在泵体内的螺旋形凸边，在转子旋转时，静止子与转子之间形成一系列的分子捕集区域。
进气口位于泵体的底部，而排气口则位于泵体的顶部。
涡轮分子泵的工作过程可以分为三个阶段：压缩、扩张和抽取。
在压缩阶段，气体由进气口进入涡轮分子泵，并在转子和静止子之间形成一个螺旋形通道。
转子旋转，气体被向轴向输送，并在分子逐渐被压缩的过程中逐渐升高气体压力。
随着气体压力的增加，气体分子被挤向分子捕集区域。
在扩张阶段，转子进入一个新的截面，形成一个不断增大的空间。
在这个空间中，气体分子由于受到物理限制，无法沿轴向继续运动，而会发生逐渐扩张的现象。
当转子继续旋转时，气体分子被吸入静止子与转子之间的细缝中，发生了分子动量转移。
这种转移过程使气体分子沿着轴向方向上升，从而减小气体压力。
第四部分：总结涡轮分子泵的优点涡轮分子泵的优点主要在于其高真空环境下的优异性能。
它具有快速抽空、高抽取速度、稳定可靠、低维护成本等特点。
涡轮分子泵还能够承受较高的气体压力，具有高度的耐久性和可靠性。
将涡轮分子泵与其他常见的高真空泵进行比较，可以发现，涡轮分子泵相对于离心泵和摩擦泵等传统泵型来说，具有更高的抽取速度和较低的噪音水平，所以在实际应用中也更加普及。
大阪真空的涡轮分子泵
大阪真空的涡轮分子泵涡轮分子泵是一种常见的高真空泵，其主要原理是利用涡轮叶轮的高速旋转来达到排气的目的。
涡轮分子泵具有排气速度快、极限真空高等优点，被广泛应用于半导体、光学、航空航天等领域。
本文将介绍大阪真空的涡轮分子泵及其应用。
一、涡轮分子泵的原理涡轮分子泵由涡轮叶轮、固定叶片、分子筛等组成。
当泵体内的气体进入涡轮叶轮时，由于涡轮叶轮的高速旋转，气体分子被甩离叶片表面，并被分子筛捕捉，从而达到排气的目的。
涡轮分子泵的排气速度非常快，可达到1000L/s以上，因此常被用于高真空和超高真空的实验室和工业领域。
涡轮分子泵的极限真空可达到10^-10Pa，是目前最高的真空泵之一。
二、大阪真空的涡轮分子泵大阪真空是一家专业生产真空泵和真空设备的公司，其涡轮分子泵具有以下特点：1. 高速涡轮叶轮大阪真空的涡轮分子泵采用高速涡轮叶轮，使得排气速度更快、气体分子被甩离叶片表面的效果更好。
2. 先进的气体分子筛大阪真空的涡轮分子泵采用先进的气体分子筛，能够更好地捕捉气体分子，从而达到更高的真空度。
3. 多种规格可选大阪真空的涡轮分子泵有多种规格可选，以适应不同的实验室和工业需求。
4. 安全可靠大阪真空的涡轮分子泵采用优质材料和精密制造工艺，具有安全可靠的特点。
三、涡轮分子泵的应用涡轮分子泵广泛应用于半导体、光学、航空航天等领域。
以下是一些典型的应用场景：1. 半导体工业在半导体工业中，涡轮分子泵被用于真空蒸镀、离子注入、化学气相沉积等工艺。
2. 光学领域在光学领域中，涡轮分子泵被用于真空光学薄膜沉积、激光器制造等领域。
3. 航空航天领域在航空航天领域中，涡轮分子泵被用于空间模拟实验、推进系统测试等领域。
总之，涡轮分子泵是一种非常重要的高真空泵，被广泛应用于各种实验室和工业领域。
大阪真空的涡轮分子泵具有高速涡轮叶轮、先进的气体分子筛、多种规格可选、安全可靠等优点，是目前市场上一种非常好的涡轮分子泵。
涡轮分子泵的用途
涡轮分子泵的用途1. 涡轮分子泵的定义涡轮分子泵是一种重要的真空抽气设备，可以将气体抽至极高的真空度。
它主要通过旋转装置作用于气体，通过离心力将气体从低真空区域抽至高真空区域。
2. 涡轮分子泵的工作原理涡轮分子泵的工作原理是利用离心力和分子碰撞的作用，将气体抽出真空系统。
具体工作过程如下：2.1 转子叶轮涡轮分子泵包含一个转子和一个固定的壳体。
转子上有多个叶轮，旋转时产生高速气体流动。
2.2 离心力作用转子高速旋转时，气体被离心力投射到壳体内壁，并形成螺旋形气流。
离心力越大，气体流动速度越高。
2.3 分子碰撞气体分子在高速气流中相互碰撞，产生压力差，使气体被推向泵的出口。
2.4 出口压力调节为了保持泵的稳定工作，涡轮分子泵通常配备出口压力调节装置，用于调节出口压力，使真空系统在适当的压力范围内运行。
3. 涡轮分子泵的主要用途涡轮分子泵在科研、工业生产、航空航天等领域有着广泛的应用。
下面将详细介绍涡轮分子泵的主要用途：3.1 真空技术研究涡轮分子泵是研究真空技术的重要工具，可以在实验室中制造高真空环境，用于材料表征、电子显微镜、物理实验等科研领域。
其高真空度和快速抽气能力，可以有效提高实验的准确性和可靠性。
3.2 半导体制造在半导体制造过程中，需要维持超高真空环境，以避免污染对产品品质的负面影响。
涡轮分子泵广泛应用于半导体制造设备中的各个工艺步骤，如薄膜沉积、离子注入、刻蚀等。
其高真空抽气能力和可靠性，对保证产品质量和制造效率起到关键作用。
3.3 光学薄膜镀膜在光学薄膜镀膜工艺中，需要在真空环境下进行，以保证薄膜的质量和附着力。
涡轮分子泵通过抽出空腔内的气体，形成高真空度，有效地减少气体对薄膜生长的干扰，提高薄膜质量和光学性能。
3.4 航空航天涡轮分子泵被广泛应用于航空航天领域，用于燃料推进系统、真空测试系统、火箭发动机测试等。
在航空航天中，对真空度和抽气速度要求较高，涡轮分子泵凭借其高速旋转和优秀的抽气能力，成为航天器的关键装备。
涡轮分子泵极限真空
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涡轮分子泵泵速范围
涡轮分子泵泵速范围涡轮分子泵是一种高真空泵，常用于实验室、半导体工业和其他需要高真空环境的应用中。
涡轮分子泵具有高抽速、低极限压力和低挥发性等优点，在真空技术领域有着广泛的应用。
涡轮分子泵的泵速范围是指其工作性能的最大和最小泵速。
泵速是指涡轮分子泵每单位时间内抽取的气体体积。
涡轮分子泵的泵速范围影响着其适用于不同的真空环境，因此对于涡轮分子泵的应用来说，了解其泵速范围是至关重要的。
涡轮分子泵的泵速范围取决于其设计和制造的工艺参数，主要包括泵的叶轮直径、叶轮转速、叶片数量和叶片形状等。
一般来说，涡轮分子泵的泵速范围通常在几十到几千升/秒之间。
下面是一些关于涡轮分子泵泵速范围的相关参考内容：1. 涡轮分子泵的泵速范围通常介于几十到几千升/秒之间。
这一泵速范围的确定取决于泵的设计和制造工艺参数，如叶片形状、叶片数量、叶轮直径和叶轮转速等。
2. 泵速范围的选择应根据实际需要和应用，对于需要较高真空环境的应用，通常选择具有较高泵速范围的涡轮分子泵。
3. 涡轮分子泵的泵速范围在一定程度上决定了其在不同真空环境下的适用性。
对于低真空环境，通常可以选择泵速稍低的涡轮分子泵；而对于高真空环境，通常需要选择泵速较高的涡轮分子泵。
4. 涡轮分子泵的泵速范围对其抽速和极限压力等性能有重要影响。
泵速范围较大的涡轮分子泵具有较高抽速和较低极限压力，适用于需要快速排气和高真空环境的应用。
5. 在实际应用中，选择涡轮分子泵的合适泵速范围还需考虑其他因素，如需求气体的种类、泵的功率和体积等。
总之，涡轮分子泵的泵速范围是指其工作性能的最大和最小泵速，在真空技术应用中非常重要。
了解涡轮分子泵的泵速范围有助于对它的适用性和性能有更深入的理解，从而更好地选择和应用涡轮分子泵。
分子增压泵
分子增压泵(MOLECULAR BOOSTER PUMP，MBP)是在我国著名真空专家华中一教授悉心指导下，由深圳大学储继国博士及其研制组历时三十年研制成功的新一代真空泵。
该产品利用分子拖动原理，采用国际首创的专利结构，兼具高真空泵和中真空泵的双重性能。
与传统分子泵相比，分子增压泵的结构大幅度简化，转速降低，运行可靠，工作压强和排气流量提高近60倍，能耗降低50%。
与罗茨泵相比，在10-10-2Pa压强范围，分子增压泵的抽速为罗茨泵的2-20倍，极限真空提高103-105倍，能耗仅为5-10%，换能获得清洁真空。
分子增压泵将大幅度简化传统真空设备的结构，提高生产效率，降低能耗，提高真空产品质量和企业经济效益。
►结构简单，运行可靠，能承受大流量气体冲击。
分子增压泵的结构十分简单，转子全部由平圆盘和圆柱面构成，并且，左、右两侧完全对称，加上平圆盘动轮的内侧设有大尺寸的连通气孔，因此，受大流量气体冲击时，转子不易损坏。
攻克了涡轮分子泵受大流量气体冲击，易造成涡轮转子损坏（俗称剃光头）的一大缺点。
►工作压强高、排气流量大，兼有高真空泵和中真空泵双重性能。
分子增压泵属于牵引分子泵，具有牵引分子泵工作压强高、排气流量大等优点。
MB-200B分子增压泵的最高连续运行压强可达200Pa，在10-10-2 Pa压强范围，抽速是同尺寸罗茨泵的2-20倍，能耗仅为相同抽速罗茨泵的5-10％。
因此，在大部分中真空应用场合，该泵能取代罗茨泵。
MB-200B分子增压泵与ALCATEL公司相近尺寸的ATP900C高压强分子泵和RSV601罗茨泵的抽气特性比较如下图所示。
分子增压泵、高压强涡轮分子泵和罗茨泵的典型抽气特性比较1.MB200D分子增压泵，2.ATP900C高压强分子泵，3. RSV601罗茨泵►获得清洁真空现有涡轮分子泵均采用透光叶轮（有利于提高抽速），在泵体内部，高真空与前级真空之间，存在直通通道。
分子泵停止运转时，这些通道构成返油路径。
涡轮分子泵的常见故障
涡轮分子泵的常见故障涡轮分子泵是一种高真空泵，具有结构简单、体积小、抽速高等优点，在高真空领域得到了广泛应用。
然而，涡轮分子泵在使用过程中也会出现一些常见故障，本文将对涡轮分子泵的常见故障进行详细介绍。
一、转子磨损在涡轮分子泵的使用过程中，转子与壳体之间会产生磨损。
当磨损严重时，会导致转子与壳体之间的间隙变大，从而使抽气效率降低。
此时需要更换转子或者整个涡轮分子泵。
二、电机故障涡轮分子泵的运行需要电机提供动力支持。
当电机出现故障时，会导致涡轮分子泵无法正常工作。
常见的电机故障包括电机绕组断路、电机轴承磨损等。
此时需要更换电机或者修理电机。
三、进气口堵塞进气口是涡轮分子泵抽气的入口，如果进气口被堵塞，则无法正常抽气。
进气口堵塞通常是由于进气口过滤器堵塞或者进气口管道堵塞引起的。
此时需要清洗或更换进气口过滤器，或者清理进气口管道。
四、泄漏在涡轮分子泵的使用过程中，如果出现泄漏，则会导致抽气效率降低。
涡轮分子泵的泄漏通常是由于密封件老化、密封面损坏等原因引起的。
此时需要更换密封件或者修理密封面。
五、冷却系统故障涡轮分子泵需要通过冷却系统来保持正常工作温度。
当冷却系统出现故障时，会导致涡轮分子泵无法正常工作。
常见的冷却系统故障包括水路堵塞、水压不足等。
此时需要清洗水路或者检查水压是否正常。
六、电源故障涡轮分子泵的电源供应不稳定或者电源线路短路都会导致涡轮分子泵无法正常工作。
此时需要检查电源供应是否稳定，以及检查电源线路是否存在短路情况。
七、控制系统故障涡轮分子泵的控制系统包括启停控制、保护控制、温度控制等。
当控制系统出现故障时，会导致涡轮分子泵无法正常工作。
此时需要检查控制系统是否正常，并进行相应的维修或更换。
八、其他故障除了以上常见故障外，涡轮分子泵还可能出现其他故障，如转子脱落、转子卡死等。
这些故障通常是由于设计缺陷或者使用不当引起的。
此时需要进行相应的维修或更换。
总之，涡轮分子泵在使用过程中会出现各种各样的故障，需要及时进行维修或更换。
差动式涡轮分子泵
差动式涡轮分子泵
差动式涡轮分子泵
差动式涡轮分子泵是一种特殊的涡轮分子泵，它将涡轮分子泵的多级压缩机件装置在机壳内部。
它的特点是多级压缩机件之间可以实现相互差动运动，这样既可以实现多台涡轮分子泵在同一台机器中的并行工作，也可以实现涡轮分子泵的低转速、高密度压缩工作，满足涡轮分子泵推荐的工作条件。
差动式涡轮分子泵通常由一个轴和多个衬套组成。
轴上安装有两组涡轮。
其中一组涡轮与机壳相固定，即静转轮；另一组涡轮可以沿轴线作相对运动，即动转轮。
差动式涡轮分子泵的装置既可以用于单机，也可以用于多台机器的并行工作。
它的优点是采用多节涡轮结构，有利于涡轮分子泵的低转速、高密度压缩工作，可以大大提高涡轮分子泵的工作效率。
同时，由于采用了多节涡轮结构，使涡轮分子泵的可靠性大大提高。
但是，由于差动式涡轮分子泵的多节涡轮结构，其制造和维护成本比普通涡轮分子泵高，且其体积和重量较大，使其不太适合安装在小型空调和其他小设备中。
总之，差动式涡轮分子泵是一种用于汽车空调和其他应用中的特殊涡轮分子泵。
它的优点是低转速、高密度的特性，可以大大提高涡轮分子泵的工作效率，但是其制造和维护成本比普通涡轮分子泵高，以及体积和重量较大的问题，都需要做出相应的补偿。
涡轮分子真空泵
涡轮分子真空泵（原创实用版）目录一、涡轮分子真空泵的概述二、涡轮分子真空泵的工作原理三、涡轮分子真空泵的特点与应用四、涡轮分子真空泵的优缺点五、涡轮分子真空泵的发展前景正文一、涡轮分子真空泵的概述涡轮分子真空泵是一种采用涡轮分子技术，实现真空度高、抽速快的真空设备。
在科研、生产和实验室等领域具有广泛的应用，为工业生产和科学研究提供了强大的支持。
二、涡轮分子真空泵的工作原理涡轮分子真空泵的工作原理主要分为以下几个步骤：1.通过吸气口，将待抽气体吸入泵内；2.气体在泵内与高速旋转的涡轮叶片相互作用，产生离心力，使气体分子向泵壁运动；3.气体分子在泵壁上形成一层气体膜，随着泵的旋转，气体膜不断向排气口运动；4.最后，气体从排气口排出，达到真空度的要求。
三、涡轮分子真空泵的特点与应用涡轮分子真空泵具有以下特点：1.真空度高：可以达到 10^-6Pa 的超高真空度；2.抽速快：可以在短时间内实现大量气体的抽取；3.结构紧凑：体积小，便于安装和携带；4.运行稳定：故障率低，使用寿命长。
涡轮分子真空泵广泛应用于以下几个领域：1.半导体制程：用于薄膜沉积、离子注入等工艺过程；2.化学分析：用于气相色谱、质谱分析等实验；3.医药研究：用于药物提取、纯化等过程；4.航空航天：用于航天器零部件的制造与维修。
四、涡轮分子真空泵的优缺点涡轮分子真空泵的优点：真空度高、抽速快、结构紧凑、运行稳定。
涡轮分子真空泵的缺点：价格较高、维护成本较高、对工作环境要求较高。
五、涡轮分子真空泵的发展前景随着科学技术的不断发展，涡轮分子真空泵在科研、生产等领域的需求不断增长。
涡轮分子泵的结构和工作原理
利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。
涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。
涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器和高级电子器件制造等方面。
结构和工作原理1958年，联邦德国的W.贝克首次提出有实用价值的涡轮分子泵，以后相继出现了各种不同结构的分子泵，主要有立式和卧式两种,图1为立式涡轮分子泵的结构图。
涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。
动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度(一般为150～400米／秒)。
单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。
动叶轮和静叶轮交替排列。
动、静叶轮几何尺寸基本相同,但叶片倾斜角相反。
图2为20个动叶轮组成的整体式转子。
每两个动叶轮之间装一个静叶轮。
静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙,动叶轮可在静叶轮间自由旋转。
图3为一个动叶片的工作示意图。
在运动叶片两侧的气体分子呈漫散射。
在叶轮左侧(图3a),当气体分子到达A点附近时，在角度α1内反射的气体分子回到左侧；在角度β1内反射的气体分子一部分回到左侧，另一部分穿过叶片到达右侧；在角度γ1内反射的气体分子将直接穿过叶片到达右侧。
同理，在叶轮右侧(图3b),当气体分子入射到B点附近时，在α2角度内反射的气体分子将返回右侧；在β2角度内反射的气体分子一部分到达左侧，另一部分返回右侧；在γ2角度内反射的气体分子穿过叶片到达左侧。
倾斜叶片的运动使气体分子从左侧穿过叶片到达右侧，比从右侧穿过叶片到达左侧的几率大得多。
叶轮连续旋转，气体分子便不断地由左侧流向右侧，从而产生抽气作用。
性能和特点泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。
压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。
分子量大的气体有高的压缩比。
对氮(或空气)的压缩比为108～109;对氢为102～104；对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。
安捷伦涡轮分子泵结构
安捷伦涡轮分子泵结构
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目录
一、安捷伦涡轮分子泵的结构概述
二、安捷伦涡轮分子泵的工作原理
三、安捷伦涡轮分子泵的优点及应用领域
正文
一、安捷伦涡轮分子泵的结构概述
安捷伦涡轮分子泵是一种利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。
该泵主要由泵体、带叶片的转子（即动叶轮）、静叶轮和驱动系统等组成。
动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度，单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。
动叶轮和静叶轮交替排列，静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持 1 毫米左右的间隙，动叶轮可在静叶轮间自由旋转。
二、安捷伦涡轮分子泵的工作原理
涡轮分子泵的工作原理是利用动叶轮将气体分子从吸入口吸入，并在叶轮之间的间隙中进行压缩，然后将压缩后的气体从排气口排出。
在运动叶片两侧的气体分子呈漫散射，倾斜叶片的运动使气体分子从左侧穿过叶片到达右侧，比从右侧穿过叶片到达左侧的几率大得多。
叶轮连续旋转，气体分子便不断地由左侧流入，右侧流出，从而达到抽气的目的。
三、安捷伦涡轮分子泵的优点及应用领域
涡轮分子泵具有启动快、能抗各种射线的照射、耐大气冲击、无气体存储和解吸效应、无油蒸气污染或污染很少等优点。
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分子泵
四 涡轮分子泵工作原理
Ⅰ Ⅱ γ1 Ⅰ Ⅱ α2
β2
α1 β1 γ2
α1﹤α2， γ1﹥γ2 动叶片工作原理图
Ⅰ
净气体 流
Ⅱ
当Ⅰ侧的气体分子与叶片相碰后反射方向在α1 角内的将又回到Ⅰ侧；撞击在γ1 角内再反射的 气体分子将进入Ⅱ侧；反射方向在β1角内的气 体分子最后将进入到Ⅱ侧或散射回Ⅰ侧。
二 涡轮分子泵的特点
1 涡轮分子泵的优点是启动快； 2 能抗各种射线的照射； 3 耐大气冲击； 4 无气体存储和解吸效应； 5 无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超 高真空。 涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核 反应装置、重粒子加速器和高级电子器件制造等 方面。
三 性能
1.泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。 压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与 气体种类有关。 2.分子量大的气体有高的压缩比。
涡轮分子泵
本章内容
一 二 三 四
概述 涡轮分子泵的特点 性能 涡轮分子泵工作原理
一 概述
涡轮分子是靠高速转动的转子携带气体分子获 得超高真空的一种机械真空泵。工作压力范围为 1Pa~10-8Pa 。 先进的泵可以获得10-9Pa的极限压力。 泵的转速为10000r/min~50000r/min,这种泵的抽速 范围很宽，在九个数量级间具有恒定的抽速。 分子泵主要用作超高真空泵和高真空泵，单它不 能直接对大气排气，需要配前级真空泵。 分子泵对较轻气体抽速很大，对氢的抽速比对空 气的抽速大2 分 子 泵 的 结 构 示 意 图 2
大阪真空的涡轮分子泵
大阪真空的涡轮分子泵
大阪真空是一家专业从事真空技术研究和生产的公司，其涡轮分子泵是其主要产品之一。
涡轮分子泵是一种高效的真空泵，其工作原理是利用高速旋转的涡轮叶片将气体分子抽出，从而实现真空的产生。
大阪真空的涡轮分子泵具有以下几个特点：
1. 高效性能：涡轮分子泵的高速旋转叶片可以将气体分子抽出，从而实现高效的真空抽取。
大阪真空的涡轮分子泵具有高效的抽取能力，可以实现高真空度的产生。
2. 稳定性能：涡轮分子泵的高速旋转叶片需要具有高精度的制造和装配，以保证其稳定性能。
大阪真空的涡轮分子泵采用先进的制造技术和严格的质量控制，可以保证其稳定性能。
3. 低噪音：涡轮分子泵的高速旋转叶片会产生噪音，但大阪真空的涡轮分子泵采用了先进的降噪技术，可以实现低噪音的运行。
4. 易于维护：涡轮分子泵的高速旋转叶片需要定期维护和更换，大阪真空的涡轮分子泵采用了易于拆卸和更换的设计，可以方便地进行维护和更换。
大阪真空的涡轮分子泵是一种高效、稳定、低噪音、易于维护的真空泵，广泛应用于半导体、光学、化学、医疗等领域。
随着科技的
不断发展，涡轮分子泵的应用前景将会越来越广阔。
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涡轮分子泵的优缺点1、优点由于涡轮分子泵在某些方面，要比低温泵、离子泵和扩散泵表现得更优越。
故在一般情况下，多选用涡轮分子泵。
它的优点有：(1)清洁，无油蒸汽返流涡轮分子泵可不用任何阱，按操作规程工作，就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境，且不含有任何碳氢化合物。
由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了，对于小泵多用油脂润滑，也有用空气轴承的，但磁悬浮轴承用得较多。
近几年来也有不少干式前级泵出现，使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流，使它真正成为一种清洁的干式高真空泵（如图4）。
极限压力为2 10-7 Pa图4 涡轮分子泵典型的残余气体的频谱图图4 表明涡轮分子泵系统中不含有碳氢化合物，曲线上17 和18 为OH+ 和H2O+。
(2)使用方便在许多应用中，涡轮分子泵可不用高真空阀门或粗真空阀。
只是简单地一按电钮，泵便能开始工作。
从大气压力可降至极限压力。
这种系统可以通过涡轮分子泵进行粗抽，可一直加速到工作速度为止。
这样就可以不用阀门、管道、阱、阀门控制器等真空元件。
同时也消除了这些元件所带来的故障。
因此涡轮分子泵系统所占的空间小，而且涡轮分子泵的安装方向不受限制，可在任意方向安装（用油润滑的泵除外，它只能在垂直 5 范围内工作）。
这个特点，可用于安装位置受限制的地方。
(3)气体输送能力强大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。
因而它非常适于超高真空下的工艺操作。
对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。
有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。
在这些工艺过程中，抽除的气体会对低温泵、离子泵、扩散泵油等有腐蚀作用。
甚至也会破坏标准的未加保护的涡轮分子泵。
由于涡轮分子泵属于传输型泵，被抽气体可穿膛而过，不在泵内积存。
因而它适于气体负荷高的工艺过程。
如溅射、刻蚀等。
(4)适于超高真空应用一台密封和除气良好的涡轮分子泵，配以性能良好的双级旋片泵（或同样性能的干式前级泵），其极限真空一般可达到10- 9～10- 10Torr（即133.3～13.33 nPa）之间。
若一台涡轮分子泵再串一台涡轮分子泵，用金属密封并除气良好的泵，一般其极限压力在1 10- 10～1 10-11 Torr （即13.33～1.333 nPa）之间。
而且不像低温泵或离子泵那样，涡轮分子泵在超高真空条件下能满抽速运转。
这些性能再加上它有良好的清洁性（测不到碳氢化合物），显然用户会选择涡轮分子泵用于高分辨率质谱仪，分子束外延设备及超高真空分析仪器等设备上的。
(5)高压力下性能良好有些涡轮分子泵的入口压力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之间运行。
在这个压力范围内，离子泵不能应用，对于低温泵需要节流抽速或经常再生，对扩散泵的工作也会变得不稳定。
(6)循环的时间短多数涡轮分子泵，尤其小一些的，要达到正常的运行速度的时间，一般需要1～3 min。
对于不同品种和型号的泵有所不同。
并且能立即关闭，并可暴露大气。
这种快速循环特性在样品输入系统中很有用，尤其对手提式氦检漏仪有用。
(7)正常使用时间长在某些应用中，涡轮分子泵的正常使用时间要比其它泵优越。
因为在重气体负荷和阀门漏气的情况下，会引起低温泵经常不定时的再生或离子泵经常修复，而涡轮分子泵使用还能消除因泵油对真空室的污染。
2、缺点任何真空泵都有不足之处，涡轮分子泵也不例外。
下面介绍它存在的一些缺点。
(1) 设备费用高在抽速大于1000 L/s 的涡轮分子泵要比扩散泵和低温泵的设备投资大。
然而涡轮分子泵在由于工艺气体或其它原因而不能使用扩散泵和低温泵的特殊场合下它是很好用的。
若与小型或中型扩散泵相比，小涡轮分子泵是相当贵的。
然而考虑到扩散泵系统需要阀门、挡板、阱、阀门控制器和管道等，总的花费来计算，二者的差别也就不大了，在某些情况下，涡轮分子泵还是便宜的选择。
(2) 对颗粒物或沉积物敏感若物体（螺钉、玻璃碎片、灯丝或硅片）落入正在运转的涡轮分子泵中，涡轮会遭到损坏，往往需返回制造厂进行维修。
一旦出事故损坏就是严重的，不会有几件回用的。
重修、更换零件是很贵的。
为了工作安全起见，在泵入口处装上细孔眼的过滤网，以保护泵的正常运转。
这种措施对泵的有效抽速损失较大。
敷在叶片上厚的沉积物，会造成对叶片的磨损和通道堵塞，也会影响转子的不平衡。
如果一些粒子进入轴承，造成磨损，能降低泵的工作寿命。
因此在某些应用中，安装保护措施是必要的。
(3) 噪音与振动从使用经验来看，泵会出现振动和噪音问题，多半是轴承损坏和平衡性差所出现的问题。
在正常的工作中，泵处于平静的状态，最大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之间,在某些精密设备上得到应用。
而测不出易觉察的振动如图5 所示。
对涡轮分子泵（巴尔蔡司公司生产的330型涡轮分子泵）进行频谱分析。
振动速度V 的单位为 m/s，频率的单位为Hz，计算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 为振幅 m，f 为频率Hz，产生的最大振幅＜0.005 m（＜5 nm）如此小的振动，涡轮分子泵运转很平稳，噪音很小,对某些特殊应用也是问题。
图5 涡轮分子泵的振动速度与频率的关系(4) 破碎问题有些用户由于害怕转子叶片破碎而不敢使用涡轮分子泵，破碎是在泵正常运转时，叶轮突然遭到吸入异物或轴承磨损而出现破碎的。
通常要有保护措施，如在入口处加过滤网，破碎通常是可以避免的。
(5) 暴露大气易引起事故任何高真空泵在运转期间都会碰到这种事故。
如规管破裂，入口处管道、阀门、密封出现问题，都可能突然使真空泵入口暴露在大气压之下。
不同型号的涡轮分子泵，耐大气压冲击的能力是不同的。
有些泵会因叶片共振弯曲相碰而损坏，但也有些泵受大气冲击而不损坏。
最好的办法是厂家通过试验得出结果。
扩散泵和低温泵在工作中遇到这种突然事故也比较麻烦，比涡轮分子泵的抵抗能力差，如扩散泵油被氧化会迅速污染真空室，低温泵要求再生等。
要想涡轮分子泵有较长的工作寿命和最佳的运转性能，用户一定要按操作规程和使用步骤进行，将在下面将详细讨论这些问题。
更多如何选择和使用涡轮分子泵相关主题阅读：如何选择和使用涡轮分子泵结构型式与工作原理涡轮分子泵的优缺点涡轮分子泵运转时值得注意的几个问题1、優點由於渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現得更優越。
故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。
它的優點有：(1)清潔，無油蒸汽返流渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環境，且不含有任何碳氫化合物。
由於現代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的瞭，對於小泵多用油脂潤滑，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。
近幾年來也有不少幹式前級泵出現，使渦輪分子泵系統不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的幹式高真空泵（如圖4）。
極限壓力為2 10-7 Pa圖4 渦輪分子泵典型的殘餘氣體的頻譜圖圖4 表明渦輪分子泵系統中不含有碳氫化合物，曲線上17 和18 為OH+ 和H2O+。
(2)使用方便在許多應用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。
隻是簡單地一按電鈕，泵便能開始工作。
從大氣壓力可降至極限壓力。
這種系統可以通過渦輪分子泵進行粗抽，可一直加速到工作速度為止。
這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。
同時也消除瞭這些元件所帶來的故障。
因此渦輪分子泵系統所占的空間小，而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝（用油潤滑的泵除外，它隻能在垂直 5 范圍內工作）。
這個特點，可用於安裝位置受限制的地方。
(3)氣體輸送能力強大多數渦輪分子泵對於輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強。
因而它非常適於超高真空下的工藝操作。
對於那些富氫的工藝過程，氦質譜檢漏儀等場合均可得到應用。
有專門設計用於抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用於刻蝕、反應離子刻蝕，離子束加工，低壓化學氣相沉積，外延及離子註入等工藝操作。
在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴散泵油等有腐蝕作用。
甚至也會破壞標準的未加保護的渦輪分子泵。
由於渦輪分子泵屬於傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內積存。
因而它適於氣體負荷高的工藝過程。
如濺射、刻蝕等。
(4)適於超高真空應用一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的幹式前級泵），其極限真空一般可達到10- 9～10- 10Torr（即133.3～13.33 nPa）之間。
若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵，用金屬密封並除氣良好的泵，一般其極限壓力在1 10- 10～1 10-11 Torr （即13.33～1.333 nPa）之間。
而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉。
這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳氫化合物），顯然用戶會選擇渦輪分子泵用於高分辨率質譜儀，分子束外延設備及超高真空分析儀器等設備上的。
(5)高壓力下性能良好有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之間運行。
在這個壓力范圍內，離子泵不能應用，對於低溫泵需要節流抽速或經常再生，對擴散泵的工作也會變得不穩定。
(6)循環的時間短多數渦輪分子泵，尤其小一些的，要達到正常的運行速度的時間，一般需要1～3 min。
對於不同品種和型號的泵有所不同。
並且能立即關閉，並可暴露大氣。
這種快速循環特性在樣品輸入系統中很有用，尤其對手提式氦檢漏儀有用。
(7)正常使用時間長在某些應用中，渦輪分子泵的正常使用時間要比其它泵優越。
因為在重氣體負荷和閥門漏氣的情況下，會引起低溫泵經常不定時的再生或離子泵經常修復，而渦輪分子泵使用還能消除因泵油對真空室的污染。
2、缺點任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。
下面介紹它存在的一些缺點。
(1) 設備費用高在抽速大於1000 L/s 的渦輪分子泵要比擴散泵和低溫泵的設備投資大。
然而渦輪分子泵在由於工藝氣體或其它原因而不能使用擴散泵和低溫泵的特殊場合下它是很好用的。
若與小型或中型擴散泵相比，小渦輪分子泵是相當貴的。
然而考慮到擴散泵系統需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等，總的花費來計算，二者的差別也就不大瞭，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。
(2) 對顆粒物或沉積物敏感若物體（螺釘、玻璃碎片、燈絲或矽片）落入正在運轉的渦輪分子泵中，渦輪會遭到損壞，往往需返回制造廠進行維修。
一旦出事故損壞就是嚴重的，不會有幾件回用的。
重修、更換零件是很貴的。
為瞭工作安全起見，在泵入口處裝上細孔眼的過濾網，以保護泵的正常運轉。
這種措施對泵的有效抽速損失較大。
敷在葉片上厚的沉積物，會造成對葉片的磨損和通道堵塞，也會影響轉子的不平衡。