分子泵培训
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子泵。 2007年：FF1800脂润滑分子泵，1800磁悬浮分子泵样机。 2008年：FF500G抗冲击复合分子泵 2009年：FF110脂润滑分子泵
4
产品的生产与制造过程
KYKY执行严格的生产流程，保证产品的高品质
设 计
加 加 工 工
装 配
入 库
检 测
平衡 调试
5
主要内容
一． 二． 三．
10
2．陶瓷轴承分子泵
一、分子泵结构、特点
分子泵特点
3．磁悬浮分子泵 ① 无磨损，寿命长。
② 噪音小，运转可靠性高。
③ 全无油真空泵，可获得高清洁真空
11
一、分子泵结构、特点
4．复合型分子泵 在1Pa左右的高压强工作段，与同 类型的涡轮分子泵比较，有较大的抽速 ，有利于某些工艺过程。 前级耐压能力提高，可配某些类 型的干泵，如膜片泵，可缩小前级泵的
3
中科科仪分子泵的发展历程
2001年：系列防腐蚀分子泵进入市场。 2002年： FF1200复合分子泵进入市场。
2003年：系列任意角度安装分子泵进入市场。
2004年：抗冲击（整体涡轮转子）分子泵。 2005年： FF700任意角度安装分子泵。
2006年： FD-II电源、FF1600分子泵、FF1300任意角度安装分
分子泵系列
冷却方式
风冷 风水两用泵 水冷 普通泵
功能
防腐蚀泵
FF-160/700
三、分子泵应用及选型
分子泵的应用
一般来讲，分子泵用来获得高，或超高真空。
广泛应用于： 1. 工业工艺过程（装饰、ITO、PVD、晶振、玻璃镀膜，照明、真空
炉排气）
2. 仪器、设备 3. 科研、军工装备 4. 半导体工业
39
三、分子泵的应用、维护
使用中的注意事项： 防止大气冲击(少用玻璃真空计)★ 防止粉尘及颗粒进入. 防止有大的震动及开机移动. 工作场应避免与高压,高频设备共用电源. 应远离磁性缘,尤其110泵应采取隔离磁措施. ★ 冷却水应保持流量及温度. 分子泵本身具有高频振动,所以在安装时应考虑到共振问题.同 时,在应用于光学,电子,激光设备时,要注意振动的影响. ★ 注意润滑油的安装及定时更换. 运输中防止撞击及倒臵。 真空室内少用放气量大的材料
18
二、分子泵性能指标
4．振动 位移的峰-峰值 5．噪声
分贝级
6．功率 电压表、钳流表
19
二、分子泵性能指标
其他技术参数
建议前级泵规格 对于110/150L/s泵，建议采用2~4L/s前级 对于500~1000L/s泵，建议采用6~12L/s前级 对于 >1000L/s泵，建议采用 >12L/s前级 对于3500L/s泵，建议30L/S前级 冷却条件 风冷 环境温度<32℃ 水冷 环境温度32℃以上，水温≤25℃
分子泵
G1,真空计
Rotary pump
15
二、分子泵性能指标
2．抽速 流量法（>10-4Pa)：
流导法(<10-4Pa)：
T1 温度计，
G1,DL -7 调节阀 T2 温度计，
G2, L D -7
分子泵
前级泵
16
二、分子泵性能指标
复合分子泵典型的抽速曲线
17
二、分子泵性能指标
3．压缩比 分子泵加装标准测试罩，在泵入口无气载的情况下，所测得 的分子泵出口、入口压强之比 分子泵对大分子压缩比比较大，对小分子压缩比比较小
42
三、分子泵的应用、维护
使用——振动隔离、冲击防护
43
三、分子泵的应用、维护
使用——振动隔离、冲击防护
44
三、分子泵的应用、维护
使用——磁场屏蔽
旋转的转子在磁场中产生涡电流，将使转子发热，将产生如下问题： 1. 转子与定子间隙越来越小，造成碎片； 2. 转子温升过大造成磁性电机转子退磁； 3. 由于发热会减弱铝材料的强度，造成碎泵； 4. 转子发热，改变转子和轴的相对位臵，造成碎泵。 分子泵在磁场中运转时，径向和轴向磁场强度均不得大于3mT （30Gs）。原则上，大于3mT应使用导磁材料屏蔽。
入口压强
强制风冷<0.1Pa;自然风冷<0.01Pa
32
三、分子泵的应用、维护
冷却要求： 由于轴承的高速旋转摩擦，加热器烘烤的热辐射及电机处 于真空环境中散热慢等原因，必须在分子泵工作时对轴承和电 机进行冷却。 （1）水冷：采用清洁低沉淀的自来水，也可采用冷却水系统。 对于高沉淀或腐蚀性水建议采用循环水系统，以防水管堵塞或 腐蚀。冷却水流量不应低于1升/分，温度不应高于25℃，温度 较高时，应加大冷却水流量。水嘴所接的水管内径为10mm, 分 子泵的工作环境温度为不大于40℃。 （2）风冷：用风机进行强制空冷，一般要求环境温度小于 32℃，用户直接将风机插头接通220V电源即可。
★长时间不用请将水冷套内水清空，以防腐蚀水冷套★
37
三、分子泵的应用、维护
换油
1、润滑油：普通润滑油和防腐油，不可混用 2、换油时间： 首次1000小时更换； 以后，每工作4000小时更换，即使工作时间不足4000小 时，一年内至少更换一次。 如果经常烘烤或大负载或抽除腐蚀性气体，润滑油充注 及更新时间间隔应缩短。 3、换油方式：油绳和油池 4、润滑油量：油标上下限之间 5、换油时，油池应清洗干净
四．
分子泵结构、特点 分子泵性能指标 分子泵应用及维护 常见问题及处理
6
一、分子泵结构、特点
分子泵结构
7
一、分子泵结构、特点
分子泵分类
按物理结构分类 按制造结构分类 油润滑 脂润滑 磁悬浮 按功能分类 普通型 防腐型 防辐射型
涡轮分子泵
涡轮级动、静叶列 复合型分子泵
涡轮级+拖动级
33
三、分子泵的应用、维护
电缆安装
（1）对正槽口插入 （2）拧紧螺母，边插边拧 （3）检查到位，防止接触 不良
34
三、分子泵的应用、维护
启
动：
（1） 启动条件： 连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度 （2）启动时间： 同时启动——小系统，防前级泵油上返。 延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵，至系统压强 P=200Pa时，启动分子泵。 1）观察前级规压强； ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ）经验判断。如前级泵在到达极限时声音变小； 3）粗略估算： 判定标准：被抽系统为V[m3],前级泵抽速为Sr[m3/h] 同启：Sr/V＞40[h-1] 迟启：Sr/V≤40[h-1]
35
三、分子泵的应用、维护
使用——烘烤
（1）10-4Pa的真空系统，原则上不必烘烤。 （2）10-6Pa的真空系统，系统本身需要烘烤。 （3）最好用分子泵本身附带的加热装臵。若要自己缠加热带
烘烤，泵体的烘烤温度应低于100℃，与泵口联接的高真空法
兰不得高于120℃，真空系统的烘烤温度一般小于300℃ （4）烘烤应在分子泵运转情况下进行。
按冷却方式分类 风冷型：中小型分子泵
水冷型：中大型分子泵
两用型：中小型分子泵
8
一、分子泵结构、特点
分子泵特点
连续抽除气体
节省能源、运行成本低
对被抽气体无选择性，对各种类气体，抽速变化不大 起停机时间短
振动小，噪音低
操作维护方便，免维护周期长 牵引性分子泵有较强的抗大气冲击能力
29
三、分子泵的应用、维护
分子泵安装使用前 泵与电源的型号必须匹配 确认防护网已经安装 电源输入电压220/110v〒10% 打开泵高真空端法兰盖板，带上干净手套，盘动分子泵叶片， 观察转动是否正常 采用油润滑方式的泵，除110型外必须竖直安装，最好不要吊装
（3500型分子泵必须安装在水平基面上）
20
三、分子泵应用及选型
KYKY分子泵型号及意义
F F - ×××/ ××× □ 特征代号（ 空、T、N、F、 Z……） 抽气速率, L/s 抽气口通径, mm 复合代号 分子泵代号
三、分子泵应用及选型
KYKY分子泵种类
涡轮泵 按结构分 复合泵 油润滑 润滑方式 脂润滑
F-100/110
复合型分子泵在较高压强工作段仍有较大抽速
可获得清洁的真空
9
一、分子泵结构、特点
分子泵特点
1．脂润滑分子泵： ① 可任意角度安装——有利于真空系统设计。 ② 有更小的油蒸汽返流率，与油润滑分子泵相比较，可得到 更清洁的高真空。 ③ ① ② ③ ④ 免维护。 陶瓷球硬度高，更抗磨损。 重量轻，高速运转下离心力小，轨道应力小。 摩擦小，运转更轻便。寿命更长。 热稳定性、化学稳定性好。轴承游隙精确。
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三、分子泵的应用、维护
分子泵维护——清洗、换轴承 需要清洗的情况： 漏气和脱附气率没有变化的情况下，无法达到应有的真空性能， 甚至长时间烘烤也不能恢复其真空性能 系统存在大量粉尘类衍生物，或者有固体、液体等进入分子泵内 需要换轴承的情况： 较大的噪音和振动 启动后，长时间无法达到正常转速且过谐振点有较大噪音——需 排除系统泄露、润滑失效等情况 分子泵油短时间内变黑，更换后短时间内再次变黑——需排除冷 却不好、系统衍生物等情况 除110型分子泵在适当情况下可自行进行简单清洗外（见说明书）， 其他型分子泵必须返回厂家进行清洗。换轴承必须返回厂家进行
（5）烘烤时间>4h。
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三、分子泵的应用、维护
停机
（1）按下停止键，待电源显示频率降到0后，再关闭前级泵
（2）分子泵停机后不宜长时间保持真空，以防前级机械泵 油蒸汽反扩散（目前前级机械泵都有防返油的措施，如挡油
盖等比较普遍的是外加隔断放气阀）
（3）分子泵停转后，关闭冷却水，防止在泵内形成冷凝水
使用。
31
三、分子泵的应用、维护
进出口法兰、冷却水安装
1.泵入口、出口：正确安装、 密封良好 2.冷却水：无漏水 入口水压0.2MPa 水温20〒５℃ 水质澄清无沉淀 注意： 环境温度 风冷需小于32℃;水冷可至40℃
前级拧紧无 泄漏
高真空口对称 高真空口对称 均匀拧紧 均匀拧紧
循环水 不滴漏
30
三、分子泵的应用、维护
确认已装入润滑油： 用扳手将紧固油池的螺钉松开，取 下油池，从滤网外向油池中注入规定量 的分子泵润滑油，然后将油池紧固到泵 体上。 分子泵油量应处于油标上下限之间， 不得低于油标下限，以保证轴承的良好 润滑，油标为无色标志线 ，也不能超过
上线，否则会导致流量过大，影响正常
分子泵（Molecular Pump）简介
——应用及维护
钱
浩
2
中科科仪分子泵的发展历程
1977年：研制成功国内第一台立式F450涡轮分子泵，通过科 学院鉴定。 1983年：F110涡轮分子泵通过中科院鉴定，首批应用于正负 电子对撞机。 1986年：FF500复合型分子泵。 1993年：F1500涡轮分子泵，F150检漏仪用涡轮分子泵。 1999年： F3500涡轮分子泵。 2000年： FF620复合分子泵进入市场。
40
三、分子泵的应用、维护
使用——大气载、热气体、突变气载
1. 引起问题： 温度升高 动静片变形 转子上移 润滑失效5℃原则 轴承失效 2. 措施： 加大水冷 增加冷却装臵 缩短换油时间
41
三、分子泵的应用、维护
使用——振动隔离、冲击防护
1. 分子泵振动极小，可直接接于被抽系统。 对于高精密仪器的应用（如电子显微镜），建议使 用隔振器，以便最大可能的减少振动。 2. 冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑 机械振动（预抽泵、前级泵、机械动作等） 气体振动（气量突变、压强突变） 意外振动（掉入异物、碰撞等） 注意：没有对泵进行必要防护，容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。
规格，节省投资。
12
二、分子泵性能指标
KYKY分子泵型号及意义
F F - ×××/ ××× □
特征代号（ T、N、F、 Z……） 抽气速率, L/s 抽气口通径, mm 复合代号 分子泵代号
13
二、分子泵性能指标
测试标准——ISO5302 【 GB/T 7774-1987】
主要性能指标： 1.极限压强 2.抽速 3.压缩比 4.振动 5.噪声 6.功率
三、分子泵应用及选型
三、分子泵应用及选型
制灯、玻璃镀膜
三、分子泵应用及选型
柔性太阳能电池设备
三、分子泵应用及选型
科研装备
三、分子泵的应用、维护
制灯行业(500G)
28
三、分子泵的应用、维护
500G特点： 在缩短叶齿的情况下，保留转子抽气最强的部分(外缘)还在，这样在 抽速减少不大的前提下大大增加了转子的强韧度，可以抗击突发气压冲 击。 同时转子中央的腔式设计一方面降低了转子的重量，另一方面大大 减小了异物的掉进对泵造成破坏的几率。
14
二、分子泵性能指标
1．极限压强 ISO5302标准中称最低工作压强
温度计，T2 温度计，T1
分子泵加装标准测试罩，经48 小时烘烤，降温48小时后，所测得 的压强值 选用不同的前级泵、接口方式 不同(LF、CF）、极限压强值不同。
一般说来，分子泵的极限压强 范围为：1E-4～1Ｅ-9 （Pa）
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产品的生产与制造过程
KYKY执行严格的生产流程，保证产品的高品质
设 计
加 加 工 工
装 配
入 库
检 测
平衡 调试
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主要内容
一． 二． 三．
10
2．陶瓷轴承分子泵
一、分子泵结构、特点
分子泵特点
3．磁悬浮分子泵 ① 无磨损，寿命长。
② 噪音小，运转可靠性高。
③ 全无油真空泵，可获得高清洁真空
11
一、分子泵结构、特点
4．复合型分子泵 在1Pa左右的高压强工作段，与同 类型的涡轮分子泵比较，有较大的抽速 ，有利于某些工艺过程。 前级耐压能力提高，可配某些类 型的干泵，如膜片泵，可缩小前级泵的
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中科科仪分子泵的发展历程
2001年：系列防腐蚀分子泵进入市场。 2002年： FF1200复合分子泵进入市场。
2003年：系列任意角度安装分子泵进入市场。
2004年：抗冲击（整体涡轮转子）分子泵。 2005年： FF700任意角度安装分子泵。
2006年： FD-II电源、FF1600分子泵、FF1300任意角度安装分
分子泵系列
冷却方式
风冷 风水两用泵 水冷 普通泵
功能
防腐蚀泵
FF-160/700
三、分子泵应用及选型
分子泵的应用
一般来讲，分子泵用来获得高，或超高真空。
广泛应用于： 1. 工业工艺过程（装饰、ITO、PVD、晶振、玻璃镀膜，照明、真空
炉排气）
2. 仪器、设备 3. 科研、军工装备 4. 半导体工业
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三、分子泵的应用、维护
使用中的注意事项： 防止大气冲击(少用玻璃真空计)★ 防止粉尘及颗粒进入. 防止有大的震动及开机移动. 工作场应避免与高压,高频设备共用电源. 应远离磁性缘,尤其110泵应采取隔离磁措施. ★ 冷却水应保持流量及温度. 分子泵本身具有高频振动,所以在安装时应考虑到共振问题.同 时,在应用于光学,电子,激光设备时,要注意振动的影响. ★ 注意润滑油的安装及定时更换. 运输中防止撞击及倒臵。 真空室内少用放气量大的材料
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二、分子泵性能指标
4．振动 位移的峰-峰值 5．噪声
分贝级
6．功率 电压表、钳流表
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二、分子泵性能指标
其他技术参数
建议前级泵规格 对于110/150L/s泵，建议采用2~4L/s前级 对于500~1000L/s泵，建议采用6~12L/s前级 对于 >1000L/s泵，建议采用 >12L/s前级 对于3500L/s泵，建议30L/S前级 冷却条件 风冷 环境温度<32℃ 水冷 环境温度32℃以上，水温≤25℃
分子泵
G1,真空计
Rotary pump
15
二、分子泵性能指标
2．抽速 流量法（>10-4Pa)：
流导法(<10-4Pa)：
T1 温度计，
G1,DL -7 调节阀 T2 温度计，
G2, L D -7
分子泵
前级泵
16
二、分子泵性能指标
复合分子泵典型的抽速曲线
17
二、分子泵性能指标
3．压缩比 分子泵加装标准测试罩，在泵入口无气载的情况下，所测得 的分子泵出口、入口压强之比 分子泵对大分子压缩比比较大，对小分子压缩比比较小
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三、分子泵的应用、维护
使用——振动隔离、冲击防护
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三、分子泵的应用、维护
使用——振动隔离、冲击防护
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三、分子泵的应用、维护
使用——磁场屏蔽
旋转的转子在磁场中产生涡电流，将使转子发热，将产生如下问题： 1. 转子与定子间隙越来越小，造成碎片； 2. 转子温升过大造成磁性电机转子退磁； 3. 由于发热会减弱铝材料的强度，造成碎泵； 4. 转子发热，改变转子和轴的相对位臵，造成碎泵。 分子泵在磁场中运转时，径向和轴向磁场强度均不得大于3mT （30Gs）。原则上，大于3mT应使用导磁材料屏蔽。
入口压强
强制风冷<0.1Pa;自然风冷<0.01Pa
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三、分子泵的应用、维护
冷却要求： 由于轴承的高速旋转摩擦，加热器烘烤的热辐射及电机处 于真空环境中散热慢等原因，必须在分子泵工作时对轴承和电 机进行冷却。 （1）水冷：采用清洁低沉淀的自来水，也可采用冷却水系统。 对于高沉淀或腐蚀性水建议采用循环水系统，以防水管堵塞或 腐蚀。冷却水流量不应低于1升/分，温度不应高于25℃，温度 较高时，应加大冷却水流量。水嘴所接的水管内径为10mm, 分 子泵的工作环境温度为不大于40℃。 （2）风冷：用风机进行强制空冷，一般要求环境温度小于 32℃，用户直接将风机插头接通220V电源即可。
★长时间不用请将水冷套内水清空，以防腐蚀水冷套★
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三、分子泵的应用、维护
换油
1、润滑油：普通润滑油和防腐油，不可混用 2、换油时间： 首次1000小时更换； 以后，每工作4000小时更换，即使工作时间不足4000小 时，一年内至少更换一次。 如果经常烘烤或大负载或抽除腐蚀性气体，润滑油充注 及更新时间间隔应缩短。 3、换油方式：油绳和油池 4、润滑油量：油标上下限之间 5、换油时，油池应清洗干净
四．
分子泵结构、特点 分子泵性能指标 分子泵应用及维护 常见问题及处理
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一、分子泵结构、特点
分子泵结构
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一、分子泵结构、特点
分子泵分类
按物理结构分类 按制造结构分类 油润滑 脂润滑 磁悬浮 按功能分类 普通型 防腐型 防辐射型
涡轮分子泵
涡轮级动、静叶列 复合型分子泵
涡轮级+拖动级
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三、分子泵的应用、维护
电缆安装
（1）对正槽口插入 （2）拧紧螺母，边插边拧 （3）检查到位，防止接触 不良
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三、分子泵的应用、维护
启
动：
（1） 启动条件： 连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度 （2）启动时间： 同时启动——小系统，防前级泵油上返。 延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵，至系统压强 P=200Pa时，启动分子泵。 1）观察前级规压强； ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ）经验判断。如前级泵在到达极限时声音变小； 3）粗略估算： 判定标准：被抽系统为V[m3],前级泵抽速为Sr[m3/h] 同启：Sr/V＞40[h-1] 迟启：Sr/V≤40[h-1]
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三、分子泵的应用、维护
使用——烘烤
（1）10-4Pa的真空系统，原则上不必烘烤。 （2）10-6Pa的真空系统，系统本身需要烘烤。 （3）最好用分子泵本身附带的加热装臵。若要自己缠加热带
烘烤，泵体的烘烤温度应低于100℃，与泵口联接的高真空法
兰不得高于120℃，真空系统的烘烤温度一般小于300℃ （4）烘烤应在分子泵运转情况下进行。
按冷却方式分类 风冷型：中小型分子泵
水冷型：中大型分子泵
两用型：中小型分子泵
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一、分子泵结构、特点
分子泵特点
连续抽除气体
节省能源、运行成本低
对被抽气体无选择性，对各种类气体，抽速变化不大 起停机时间短
振动小，噪音低
操作维护方便，免维护周期长 牵引性分子泵有较强的抗大气冲击能力
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三、分子泵的应用、维护
分子泵安装使用前 泵与电源的型号必须匹配 确认防护网已经安装 电源输入电压220/110v〒10% 打开泵高真空端法兰盖板，带上干净手套，盘动分子泵叶片， 观察转动是否正常 采用油润滑方式的泵，除110型外必须竖直安装，最好不要吊装
（3500型分子泵必须安装在水平基面上）
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三、分子泵应用及选型
KYKY分子泵型号及意义
F F - ×××/ ××× □ 特征代号（ 空、T、N、F、 Z……） 抽气速率, L/s 抽气口通径, mm 复合代号 分子泵代号
三、分子泵应用及选型
KYKY分子泵种类
涡轮泵 按结构分 复合泵 油润滑 润滑方式 脂润滑
F-100/110
复合型分子泵在较高压强工作段仍有较大抽速
可获得清洁的真空
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一、分子泵结构、特点
分子泵特点
1．脂润滑分子泵： ① 可任意角度安装——有利于真空系统设计。 ② 有更小的油蒸汽返流率，与油润滑分子泵相比较，可得到 更清洁的高真空。 ③ ① ② ③ ④ 免维护。 陶瓷球硬度高，更抗磨损。 重量轻，高速运转下离心力小，轨道应力小。 摩擦小，运转更轻便。寿命更长。 热稳定性、化学稳定性好。轴承游隙精确。
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三、分子泵的应用、维护
分子泵维护——清洗、换轴承 需要清洗的情况： 漏气和脱附气率没有变化的情况下，无法达到应有的真空性能， 甚至长时间烘烤也不能恢复其真空性能 系统存在大量粉尘类衍生物，或者有固体、液体等进入分子泵内 需要换轴承的情况： 较大的噪音和振动 启动后，长时间无法达到正常转速且过谐振点有较大噪音——需 排除系统泄露、润滑失效等情况 分子泵油短时间内变黑，更换后短时间内再次变黑——需排除冷 却不好、系统衍生物等情况 除110型分子泵在适当情况下可自行进行简单清洗外（见说明书）， 其他型分子泵必须返回厂家进行清洗。换轴承必须返回厂家进行
（5）烘烤时间>4h。
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三、分子泵的应用、维护
停机
（1）按下停止键，待电源显示频率降到0后，再关闭前级泵
（2）分子泵停机后不宜长时间保持真空，以防前级机械泵 油蒸汽反扩散（目前前级机械泵都有防返油的措施，如挡油
盖等比较普遍的是外加隔断放气阀）
（3）分子泵停转后，关闭冷却水，防止在泵内形成冷凝水
使用。
31
三、分子泵的应用、维护
进出口法兰、冷却水安装
1.泵入口、出口：正确安装、 密封良好 2.冷却水：无漏水 入口水压0.2MPa 水温20〒５℃ 水质澄清无沉淀 注意： 环境温度 风冷需小于32℃;水冷可至40℃
前级拧紧无 泄漏
高真空口对称 高真空口对称 均匀拧紧 均匀拧紧
循环水 不滴漏
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三、分子泵的应用、维护
确认已装入润滑油： 用扳手将紧固油池的螺钉松开，取 下油池，从滤网外向油池中注入规定量 的分子泵润滑油，然后将油池紧固到泵 体上。 分子泵油量应处于油标上下限之间， 不得低于油标下限，以保证轴承的良好 润滑，油标为无色标志线 ，也不能超过
上线，否则会导致流量过大，影响正常
分子泵（Molecular Pump）简介
——应用及维护
钱
浩
2
中科科仪分子泵的发展历程
1977年：研制成功国内第一台立式F450涡轮分子泵，通过科 学院鉴定。 1983年：F110涡轮分子泵通过中科院鉴定，首批应用于正负 电子对撞机。 1986年：FF500复合型分子泵。 1993年：F1500涡轮分子泵，F150检漏仪用涡轮分子泵。 1999年： F3500涡轮分子泵。 2000年： FF620复合分子泵进入市场。
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三、分子泵的应用、维护
使用——大气载、热气体、突变气载
1. 引起问题： 温度升高 动静片变形 转子上移 润滑失效5℃原则 轴承失效 2. 措施： 加大水冷 增加冷却装臵 缩短换油时间
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三、分子泵的应用、维护
使用——振动隔离、冲击防护
1. 分子泵振动极小，可直接接于被抽系统。 对于高精密仪器的应用（如电子显微镜），建议使 用隔振器，以便最大可能的减少振动。 2. 冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑 机械振动（预抽泵、前级泵、机械动作等） 气体振动（气量突变、压强突变） 意外振动（掉入异物、碰撞等） 注意：没有对泵进行必要防护，容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。
规格，节省投资。
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二、分子泵性能指标
KYKY分子泵型号及意义
F F - ×××/ ××× □
特征代号（ T、N、F、 Z……） 抽气速率, L/s 抽气口通径, mm 复合代号 分子泵代号
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二、分子泵性能指标
测试标准——ISO5302 【 GB/T 7774-1987】
主要性能指标： 1.极限压强 2.抽速 3.压缩比 4.振动 5.噪声 6.功率
三、分子泵应用及选型
三、分子泵应用及选型
制灯、玻璃镀膜
三、分子泵应用及选型
柔性太阳能电池设备
三、分子泵应用及选型
科研装备
三、分子泵的应用、维护
制灯行业(500G)
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三、分子泵的应用、维护
500G特点： 在缩短叶齿的情况下，保留转子抽气最强的部分(外缘)还在，这样在 抽速减少不大的前提下大大增加了转子的强韧度，可以抗击突发气压冲 击。 同时转子中央的腔式设计一方面降低了转子的重量，另一方面大大 减小了异物的掉进对泵造成破坏的几率。
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二、分子泵性能指标
1．极限压强 ISO5302标准中称最低工作压强
温度计，T2 温度计，T1
分子泵加装标准测试罩，经48 小时烘烤，降温48小时后，所测得 的压强值 选用不同的前级泵、接口方式 不同(LF、CF）、极限压强值不同。
一般说来，分子泵的极限压强 范围为：1E-4～1Ｅ-9 （Pa）