分子泵说明书-2012
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
XC
系列分子泵使用说明书
感谢您购买我公司的系列分子泵产品。该产品属于高真空和超高真空的真空获得 设备。 在使用前请详细阅读和理解本说明书的各项内容，以便正确使用。不正确的使 用，将可能造成运行不正常、设备故障、寿命降低，甚至危及人身安全。泵的操作 人员必须仔细阅读并严格遵守本说明书中的条款。由于用户没有仔细阅读说明书、 或未按照使用说明书的要求操作而造成的任何伤害和损失，我公司将不负担任何责 任。 使用本资料后，务必进行妥善保管，以备使用。 凡购买我公司生产的分子泵，从发货之日起，用户凭保修单可保修一年。外地 用户可延长一个月。在保修期内不收修理费，如需更换零件，一般核收半费，不超 过半年可免费。 凡属下列情况之一的，不予保修： 1) 用户未经授权对产品私自拆卸； 2) 用户保管或使用不当（如雨淋、曝晒、进入杂物、撞击、强腐蚀环境、强放 射性环境、强磁场环境等） ； 3) 属于用户其他原因造成的损坏。 本说明书仅作为信息使用，如遇改版，恕不另行通知。如本说明书与实际产品 有所出入，本公司拥有最终解释权。由本说明书引起、产生和包含的知识产权均属 本公司所有。
10
10
10
压强(Pa)
图4 FB-400/4200 对氮气抽速曲线
8
XC
5.3 压缩比曲线图
10
系列分子泵使用说明书
10
10 10
9
8
压缩比
10 10 10 10 10 10
7
6
5
4
3
2
10
-1
10
0
10
1
10
2
10
3
前 级压强(Pa)
图 5 FF-160/750、FF-200/1200 对氮气及氢气的压缩比曲线
4
XC
序 号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 名 分子泵 防护网
系列分子泵使用说明书
4.3分子泵、配件及资料 表2 分子泵、配件及资料表
称
单位 台 个 份 份 份 个 套 瓶 个
数 量 1 1 1 1 1 2 1 1 1 4
备
注
使用说明书 检验合格证 保修卡 CF铜垫圈 排气口盲板、卡箍 分子泵润滑油 O型密封圈
3. 分子泵应用简介
分子泵是一种获得高真空和超高真空机械式真空泵，其分为涡轮分子泵、牵引 分子泵和复合分子泵三大类。涡轮分子泵是通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静 止涡轮叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从 而获得所需要的真空性能；牵引分子泵是利用高速旋转的转子表面带动气体分子沿 着一定形状的槽隙运动，从而实现压缩气体，其在分子流到混合流之间有很高的压 缩比，从而获得所需的真空性能；复合分子泵结合了二者的优点，利用了两种结构 的有机结合和合理过渡，实现了分子流、混合流的高压缩比，从而获得所需的真空 性能。分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应、操作简单、使用方便。由于对分 子量大的气体具有很高的压缩比，因此在运转过程中，高真空区域不会受到油蒸汽 的污染，该泵不需要冷阱和油挡板，即可获得清洁的高真空和超高真空环境。因此， 它广泛应用于如下工业生产和探索研究的各个领域。 物理表面分析仪器的真空获得； 加速器技术的真空获得； 等离子体技术的真空获得； 航空航天的模拟环境的真空获得； 电子、电器元件制造的真空获得； 各种表面镀膜的真空获得等。
KF40 ≤8分钟 24000转/分 ≤0.1mm 15升/秒 110ml 竖直±5° 水冷、水温25℃
<120℃ 5℃∽40℃ 21kg 21.6kg
<120℃ 5℃∽40℃ 31kg 32kg
<120℃ 5℃∽40℃ 38kg 39kg
<120℃ 5℃∽40℃ 108kg
6
XC
5.2 抽速曲线图
H2 5102 ≤210-6 ≤210-7
H2 5102 ≤210-6 LF100 ≤18分钟 16200转/分 ≤0.2mm 30升/秒 320ml 竖直±5° 水冷、水温25℃
KF40 ≤6分钟 36000转/分 ≤0.1mm 8升/秒 110ml 竖直±5° 水冷、水温25℃
KF40 ≤7分钟 27000转/分 ≤0.1mm 12升/秒 110ml 竖直±5° 水冷、水温25℃
2. 使用前有关事项
2.1 收货检查 检查收货的品名和数量是否和发货数量一致，包装箱有没有破损。 2.2 搬运 搬运时必须提取包装箱的底部，轻拿轻放，否则可能造成分子泵受损。对于较大 的分子泵可用叉车进行搬运，搬运时注意不要碰撞底盘上的水、电、前级口的接口零 部件，以防撞击后产生漏气或损坏。
2
XC
注： 1. 分子泵极限压强的获得,是按国家标准规定的测试规程,对泵体和测试罩进行充分烘烤(48 小时), 在测试罩内得到的最低压强,即测试罩内所有残余气体压强的总和。 分子泵的极限压强与其所使 用的前级泵的工作压强、有效抽速及分子泵高真空端的进气口法兰密封形式有关。
FF-160/750 FF-160/750Z LF160 CF160
注
FF-160/750专用 1 分子泵泵体加热器 套 1 FF-200/1200专用 FB-250/1600专用 2 螺栓、螺母、垫圈 套 M8×55 16 FF-160/750（CF高真空接 口）专用
注：用户可以根据自己的使用情况，如：要获得超高及以上真空、泵壳必须烘烤等， 另外单独选购配件。
5
XC
系列分子泵使用说明书
10
-4
10
-3
10
-2
10
-1
10
0
10
1
压强(Pa)
10
2
图3
FB-250/1600 对氮气抽速曲线
抽速(L/s)
5000 4500 4000 3500 3000 2500 2000 1500 1000 500 0 -5 10
-4 -3 -2 -1 0 1 2
10
10
10
10
金属密封CF接口专用 在分子泵的前级口上
胶圈密封LF接口专用 FF-160/750中LF接口分子泵 FF-200/1200中LF接口分子泵 FB-250/1600中LF接口分子泵 FB-400/4200
10
卡钳（LF专用）
个
5 6 10
4.4 分子泵选购件 表 3 选购配件表
序号
名 称
单位
规格
数量
备
系列分子泵使用说明书
2.3 保管 2.3.1 短期保管 短期保管的环境条件 周围温度：-10～ +50℃ 相对湿度：5～85% 环境：不要放在会发生温度急剧变化而结露和冰冻的地方。不能受阳光直射，不 能放置于有腐蚀性气体、可燃气体、油雾、蒸汽或潮湿的环境中，不得在震动过大的 环境中。 2.3.2 长期保管 购置分子泵后长期不使用的保管方法，随存放环境而不同。 一般按如下所述保管 首先满足短时保管要求但是保管期超三个月时，要求周围温度不得高于30℃，这 是因为考虑到电器元件不通电存放，温度高时其特性易变坏。 为了防止潮气影响，应严格封存，还要在封存时放入干燥剂，使封装内部的相对 湿度约在70%以下。
4.2 分子泵适配电源 每种型号分子泵必须配用其专用电源，否则可能造成分子泵损坏。若由此引起的 损失本公司概不负责。适配电源见表1。 表1 分子泵适配电源表 序号 分子泵型号 适配电源 1 FF-160/620、FF-160/620F FK-620 2 FF-160/750、FF-160/750Z FK-750 3 FF-200/1200 FK-1200 4 FB-250/1600、FF-250/1600 FK-1600 5 FB-400/4200 FK-4200
XC
系列分子泵使用说明书
图 8、FF-160/620F 安装简图
11ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
XC
系列分子泵使用说明书
图 9、FF-160/620、FF-160/750 安装简图
12
XC
系列分子泵使用说明书
图 10 FF-200/1200 安装简图
13
XC
系列分子泵使用说明书
图 11、FB-250/1600 安装简图
系列分子泵使用说明书
5. 分子泵技术说明及简图
分子泵技术说明包括技术数据、抽速曲线、压缩比曲线、安装简图、排气口简 图五部分。 5.1 分子泵技术数据 表 4 分子泵技术数据表
分子泵型号 进气口法兰 抽气速率 压缩比 极限压强 pa 排气口法兰 启动时间 额定转速 振动值 建议采用 前级泵 充油量 安装方式 冷却方式及 温度 泵体烘烤 温度 环境温度 重量
系列分子泵使用说明书
800
抽速(L/s)
600
400
200
0 -5 10
10
-4
10
-3
10
-2
10
-1
10
0
10
1
压强(Pa)
10
2
图1
FF-160/750 对氮气抽速曲线
图2
FF-200/1200 对氮气抽速曲线
7
XC
抽速(L/s)
1800 1600 1400 1200 1000 800 600 400 200 0 -5 10
3
XC
系列分子泵使用说明书
4. 分子泵型号、配件、适配电源
4.1 分子泵型号说明 我公司生产的分子泵的型号使用一串字母数字和符号共同组成，具体说明如下：
-□/□□
特殊代号 额定抽速（L/s） 气体入口口径 类型代号 说明： 类型代号： 特殊代号： FB——涡轮分子泵； FF——复合分子泵。 无字符——油润滑水冷却分子泵 F——风冷分子泵 Z——脂润滑分子泵 N——耐腐蚀分子泵
10 10
9
8
压缩比
10 10 10 10 10 10 10
7
6
5
4
3
2
1
10
-2
10
-1
10
0
10
1
10
2
前 级压强(Pa)
图 6 FB-250/1600、FB-400/4200 对氮气及氢气的压缩比曲线
9
XC
系列分子泵使用说明书
5.4 分子泵安装简图
图 7、FF-160/750Z 安装简图
10
14
XC
系列分子泵使用说明书
图 12、FB-400/4200 安装简图
15
XC
系列分子泵使用说明书
5.5 分子泵排气口简图
图 13 KF40 接口
图 14 KF50 接口
图 15 LF100 接口
16
XC
系列分子泵使用说明书
6.安装
6.1 注意事项 分子泵不能用于抽除液体或者带有粉尘、固体颗粒的气体； 除了耐腐蚀型泵以外，其他任何分子泵不能用于抽除腐蚀性气体，耐腐蚀型泵在 抽除腐蚀性气体时，必须给分子泵的保护气体入口连续通惰性保护气体如氮气等，且 泵油使用我公司提供的专用耐腐蚀分子泵油。 确认分子泵与电源相配套。每种泵都只能使用本说明书中规定的与之匹配的电源 供电，否则造成的损失，本公司概不负责。 确认安装环境必须满足如下条件： 1) 泵体表面径向和轴向磁场强度均不得大于 3mT(30Gs)； 2) 环境放射性强度<105rad； 3) 环境温度为 5~40℃； 4) 空气相对湿度：≤85%； 5) 电压：220±22V，频率：50±1Hz； 6) 海拔：≤3000 米。 安装前应检查分子泵运输中是否被损坏：打开泵高真空端法兰盖板，戴好手套，拨 动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。若存在异常现象，应及时通知我公司，不得 自行处理，否则由此带来损失我公司概不负责。 不允许将分子泵长期置于大气状态下存放， 在打开进气口和排气口盲板时， 应注意 真空卫生要求，严禁杂物、灰尘等落入泵内。 安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。 6.2 连接安装 6.2.1 真空联接 分子泵的进气口和排气口法兰采用国际标准见表 4 分子泵技术数据表,尺寸见分 子泵安装简图和分子泵排气口简图。注意：法兰密封面不得有划痕、刀口不得磕碰。 泵的联接可利用进气口法兰吊装或将泵置于基座平面上， 但 F-400/4200 不建议吊 装，若一定要吊装必须用活套法兰（订货时单独订购）固定。 分子泵的进气口法兰通过金属波纹管与系统联接时，分子泵必须固定。 为保护分子泵转子，防止外界物质落入泵内，可在泵口装上防护网，但装入此网 后，抽速约降低 15％左右。 前级泵与分子泵的联接应采用具有减震效应的金属波纹管，管路上应装有隔断放 气阀，作为停机时对前级机械泵放气。放气阀可选用手动阀或电磁阀。放气过程的操 作请参照停机部分。为保护泵体真空卫生，防止潮湿，放气时，可通氮气或干燥空气。 注意！ ！ 分子泵吊装时，气体入口与真空腔体之间的连接管道不得长于 200mm，否则可能 产生焊缝拉裂、振动放大效应，对真空系统和分子泵产生危害；
1
XC
系列分子泵使用说明书
1. 安全注意事项
在安装、运行、操作、维护检查前，必须熟悉本说明书内容，以保证正确使用。 使用前也必须熟知一切有关安全注意事项。 1) 分子泵必须与其专用电源配套，同时与分子泵配套电源必须良好接地。 否则可能发生产品损坏、人员受伤、触电或干扰。 2) 分子泵及配套电源的维修必须返回公司由专业人员进行。 否则可能发生产品损坏、人员受伤或触电事故。 3) 分子泵的日常维护必须确认分子泵已停止转动、电源已断开、泵内气压已经与大气 平衡后方可进行换油、查水等日常维护。 否则可能发生产品损坏、人员受伤或触电事故。 4) 湿手不能操作开关。 否则可能发生触电事故。 5) 不能带电接触电源后面板的接线及端子。 否则可能发生产品损坏或触电事故。 6) 分子泵运转过程中，不得对其进行猛烈冲撞或震动。 否则可能发生碎泵事故，并有可能造成其他损坏。 7) 分子泵启动前必须检查是否满足分子泵启动要求。 否则可能引起故障或造成分子泵损坏。 8) 分子泵电源必须断开电源15分钟以上，才能对其进行检查或接线。 否则可能发生触电事故。
FF-200/1200 LF200 CF200
FB-250/1600 LF250 CF250
FB-400/4200 LF400 4200升/秒 N2 108
750升/秒 N2 109
1200升/秒 N2 109
1600升/秒 N2 108
H2 5103 ≤210-6 ≤210-7
H2 5103 ≤210-6 ≤210-7
系列分子泵使用说明书
感谢您购买我公司的系列分子泵产品。该产品属于高真空和超高真空的真空获得 设备。 在使用前请详细阅读和理解本说明书的各项内容，以便正确使用。不正确的使 用，将可能造成运行不正常、设备故障、寿命降低，甚至危及人身安全。泵的操作 人员必须仔细阅读并严格遵守本说明书中的条款。由于用户没有仔细阅读说明书、 或未按照使用说明书的要求操作而造成的任何伤害和损失，我公司将不负担任何责 任。 使用本资料后，务必进行妥善保管，以备使用。 凡购买我公司生产的分子泵，从发货之日起，用户凭保修单可保修一年。外地 用户可延长一个月。在保修期内不收修理费，如需更换零件，一般核收半费，不超 过半年可免费。 凡属下列情况之一的，不予保修： 1) 用户未经授权对产品私自拆卸； 2) 用户保管或使用不当（如雨淋、曝晒、进入杂物、撞击、强腐蚀环境、强放 射性环境、强磁场环境等） ； 3) 属于用户其他原因造成的损坏。 本说明书仅作为信息使用，如遇改版，恕不另行通知。如本说明书与实际产品 有所出入，本公司拥有最终解释权。由本说明书引起、产生和包含的知识产权均属 本公司所有。
10
10
10
压强(Pa)
图4 FB-400/4200 对氮气抽速曲线
8
XC
5.3 压缩比曲线图
10
系列分子泵使用说明书
10
10 10
9
8
压缩比
10 10 10 10 10 10
7
6
5
4
3
2
10
-1
10
0
10
1
10
2
10
3
前 级压强(Pa)
图 5 FF-160/750、FF-200/1200 对氮气及氢气的压缩比曲线
4
XC
序 号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 名 分子泵 防护网
系列分子泵使用说明书
4.3分子泵、配件及资料 表2 分子泵、配件及资料表
称
单位 台 个 份 份 份 个 套 瓶 个
数 量 1 1 1 1 1 2 1 1 1 4
备
注
使用说明书 检验合格证 保修卡 CF铜垫圈 排气口盲板、卡箍 分子泵润滑油 O型密封圈
3. 分子泵应用简介
分子泵是一种获得高真空和超高真空机械式真空泵，其分为涡轮分子泵、牵引 分子泵和复合分子泵三大类。涡轮分子泵是通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静 止涡轮叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从 而获得所需要的真空性能；牵引分子泵是利用高速旋转的转子表面带动气体分子沿 着一定形状的槽隙运动，从而实现压缩气体，其在分子流到混合流之间有很高的压 缩比，从而获得所需的真空性能；复合分子泵结合了二者的优点，利用了两种结构 的有机结合和合理过渡，实现了分子流、混合流的高压缩比，从而获得所需的真空 性能。分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应、操作简单、使用方便。由于对分 子量大的气体具有很高的压缩比，因此在运转过程中，高真空区域不会受到油蒸汽 的污染，该泵不需要冷阱和油挡板，即可获得清洁的高真空和超高真空环境。因此， 它广泛应用于如下工业生产和探索研究的各个领域。 物理表面分析仪器的真空获得； 加速器技术的真空获得； 等离子体技术的真空获得； 航空航天的模拟环境的真空获得； 电子、电器元件制造的真空获得； 各种表面镀膜的真空获得等。
KF40 ≤8分钟 24000转/分 ≤0.1mm 15升/秒 110ml 竖直±5° 水冷、水温25℃
<120℃ 5℃∽40℃ 21kg 21.6kg
<120℃ 5℃∽40℃ 31kg 32kg
<120℃ 5℃∽40℃ 38kg 39kg
<120℃ 5℃∽40℃ 108kg
6
XC
5.2 抽速曲线图
H2 5102 ≤210-6 ≤210-7
H2 5102 ≤210-6 LF100 ≤18分钟 16200转/分 ≤0.2mm 30升/秒 320ml 竖直±5° 水冷、水温25℃
KF40 ≤6分钟 36000转/分 ≤0.1mm 8升/秒 110ml 竖直±5° 水冷、水温25℃
KF40 ≤7分钟 27000转/分 ≤0.1mm 12升/秒 110ml 竖直±5° 水冷、水温25℃
2. 使用前有关事项
2.1 收货检查 检查收货的品名和数量是否和发货数量一致，包装箱有没有破损。 2.2 搬运 搬运时必须提取包装箱的底部，轻拿轻放，否则可能造成分子泵受损。对于较大 的分子泵可用叉车进行搬运，搬运时注意不要碰撞底盘上的水、电、前级口的接口零 部件，以防撞击后产生漏气或损坏。
2
XC
注： 1. 分子泵极限压强的获得,是按国家标准规定的测试规程,对泵体和测试罩进行充分烘烤(48 小时), 在测试罩内得到的最低压强,即测试罩内所有残余气体压强的总和。 分子泵的极限压强与其所使 用的前级泵的工作压强、有效抽速及分子泵高真空端的进气口法兰密封形式有关。
FF-160/750 FF-160/750Z LF160 CF160
注
FF-160/750专用 1 分子泵泵体加热器 套 1 FF-200/1200专用 FB-250/1600专用 2 螺栓、螺母、垫圈 套 M8×55 16 FF-160/750（CF高真空接 口）专用
注：用户可以根据自己的使用情况，如：要获得超高及以上真空、泵壳必须烘烤等， 另外单独选购配件。
5
XC
系列分子泵使用说明书
10
-4
10
-3
10
-2
10
-1
10
0
10
1
压强(Pa)
10
2
图3
FB-250/1600 对氮气抽速曲线
抽速(L/s)
5000 4500 4000 3500 3000 2500 2000 1500 1000 500 0 -5 10
-4 -3 -2 -1 0 1 2
10
10
10
10
金属密封CF接口专用 在分子泵的前级口上
胶圈密封LF接口专用 FF-160/750中LF接口分子泵 FF-200/1200中LF接口分子泵 FB-250/1600中LF接口分子泵 FB-400/4200
10
卡钳（LF专用）
个
5 6 10
4.4 分子泵选购件 表 3 选购配件表
序号
名 称
单位
规格
数量
备
系列分子泵使用说明书
2.3 保管 2.3.1 短期保管 短期保管的环境条件 周围温度：-10～ +50℃ 相对湿度：5～85% 环境：不要放在会发生温度急剧变化而结露和冰冻的地方。不能受阳光直射，不 能放置于有腐蚀性气体、可燃气体、油雾、蒸汽或潮湿的环境中，不得在震动过大的 环境中。 2.3.2 长期保管 购置分子泵后长期不使用的保管方法，随存放环境而不同。 一般按如下所述保管 首先满足短时保管要求但是保管期超三个月时，要求周围温度不得高于30℃，这 是因为考虑到电器元件不通电存放，温度高时其特性易变坏。 为了防止潮气影响，应严格封存，还要在封存时放入干燥剂，使封装内部的相对 湿度约在70%以下。
4.2 分子泵适配电源 每种型号分子泵必须配用其专用电源，否则可能造成分子泵损坏。若由此引起的 损失本公司概不负责。适配电源见表1。 表1 分子泵适配电源表 序号 分子泵型号 适配电源 1 FF-160/620、FF-160/620F FK-620 2 FF-160/750、FF-160/750Z FK-750 3 FF-200/1200 FK-1200 4 FB-250/1600、FF-250/1600 FK-1600 5 FB-400/4200 FK-4200
XC
系列分子泵使用说明书
图 8、FF-160/620F 安装简图
11ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
XC
系列分子泵使用说明书
图 9、FF-160/620、FF-160/750 安装简图
12
XC
系列分子泵使用说明书
图 10 FF-200/1200 安装简图
13
XC
系列分子泵使用说明书
图 11、FB-250/1600 安装简图
系列分子泵使用说明书
5. 分子泵技术说明及简图
分子泵技术说明包括技术数据、抽速曲线、压缩比曲线、安装简图、排气口简 图五部分。 5.1 分子泵技术数据 表 4 分子泵技术数据表
分子泵型号 进气口法兰 抽气速率 压缩比 极限压强 pa 排气口法兰 启动时间 额定转速 振动值 建议采用 前级泵 充油量 安装方式 冷却方式及 温度 泵体烘烤 温度 环境温度 重量
系列分子泵使用说明书
800
抽速(L/s)
600
400
200
0 -5 10
10
-4
10
-3
10
-2
10
-1
10
0
10
1
压强(Pa)
10
2
图1
FF-160/750 对氮气抽速曲线
图2
FF-200/1200 对氮气抽速曲线
7
XC
抽速(L/s)
1800 1600 1400 1200 1000 800 600 400 200 0 -5 10
3
XC
系列分子泵使用说明书
4. 分子泵型号、配件、适配电源
4.1 分子泵型号说明 我公司生产的分子泵的型号使用一串字母数字和符号共同组成，具体说明如下：
-□/□□
特殊代号 额定抽速（L/s） 气体入口口径 类型代号 说明： 类型代号： 特殊代号： FB——涡轮分子泵； FF——复合分子泵。 无字符——油润滑水冷却分子泵 F——风冷分子泵 Z——脂润滑分子泵 N——耐腐蚀分子泵
10 10
9
8
压缩比
10 10 10 10 10 10 10
7
6
5
4
3
2
1
10
-2
10
-1
10
0
10
1
10
2
前 级压强(Pa)
图 6 FB-250/1600、FB-400/4200 对氮气及氢气的压缩比曲线
9
XC
系列分子泵使用说明书
5.4 分子泵安装简图
图 7、FF-160/750Z 安装简图
10
14
XC
系列分子泵使用说明书
图 12、FB-400/4200 安装简图
15
XC
系列分子泵使用说明书
5.5 分子泵排气口简图
图 13 KF40 接口
图 14 KF50 接口
图 15 LF100 接口
16
XC
系列分子泵使用说明书
6.安装
6.1 注意事项 分子泵不能用于抽除液体或者带有粉尘、固体颗粒的气体； 除了耐腐蚀型泵以外，其他任何分子泵不能用于抽除腐蚀性气体，耐腐蚀型泵在 抽除腐蚀性气体时，必须给分子泵的保护气体入口连续通惰性保护气体如氮气等，且 泵油使用我公司提供的专用耐腐蚀分子泵油。 确认分子泵与电源相配套。每种泵都只能使用本说明书中规定的与之匹配的电源 供电，否则造成的损失，本公司概不负责。 确认安装环境必须满足如下条件： 1) 泵体表面径向和轴向磁场强度均不得大于 3mT(30Gs)； 2) 环境放射性强度<105rad； 3) 环境温度为 5~40℃； 4) 空气相对湿度：≤85%； 5) 电压：220±22V，频率：50±1Hz； 6) 海拔：≤3000 米。 安装前应检查分子泵运输中是否被损坏：打开泵高真空端法兰盖板，戴好手套，拨 动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。若存在异常现象，应及时通知我公司，不得 自行处理，否则由此带来损失我公司概不负责。 不允许将分子泵长期置于大气状态下存放， 在打开进气口和排气口盲板时， 应注意 真空卫生要求，严禁杂物、灰尘等落入泵内。 安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。 6.2 连接安装 6.2.1 真空联接 分子泵的进气口和排气口法兰采用国际标准见表 4 分子泵技术数据表,尺寸见分 子泵安装简图和分子泵排气口简图。注意：法兰密封面不得有划痕、刀口不得磕碰。 泵的联接可利用进气口法兰吊装或将泵置于基座平面上， 但 F-400/4200 不建议吊 装，若一定要吊装必须用活套法兰（订货时单独订购）固定。 分子泵的进气口法兰通过金属波纹管与系统联接时，分子泵必须固定。 为保护分子泵转子，防止外界物质落入泵内，可在泵口装上防护网，但装入此网 后，抽速约降低 15％左右。 前级泵与分子泵的联接应采用具有减震效应的金属波纹管，管路上应装有隔断放 气阀，作为停机时对前级机械泵放气。放气阀可选用手动阀或电磁阀。放气过程的操 作请参照停机部分。为保护泵体真空卫生，防止潮湿，放气时，可通氮气或干燥空气。 注意！ ！ 分子泵吊装时，气体入口与真空腔体之间的连接管道不得长于 200mm，否则可能 产生焊缝拉裂、振动放大效应，对真空系统和分子泵产生危害；
1
XC
系列分子泵使用说明书
1. 安全注意事项
在安装、运行、操作、维护检查前，必须熟悉本说明书内容，以保证正确使用。 使用前也必须熟知一切有关安全注意事项。 1) 分子泵必须与其专用电源配套，同时与分子泵配套电源必须良好接地。 否则可能发生产品损坏、人员受伤、触电或干扰。 2) 分子泵及配套电源的维修必须返回公司由专业人员进行。 否则可能发生产品损坏、人员受伤或触电事故。 3) 分子泵的日常维护必须确认分子泵已停止转动、电源已断开、泵内气压已经与大气 平衡后方可进行换油、查水等日常维护。 否则可能发生产品损坏、人员受伤或触电事故。 4) 湿手不能操作开关。 否则可能发生触电事故。 5) 不能带电接触电源后面板的接线及端子。 否则可能发生产品损坏或触电事故。 6) 分子泵运转过程中，不得对其进行猛烈冲撞或震动。 否则可能发生碎泵事故，并有可能造成其他损坏。 7) 分子泵启动前必须检查是否满足分子泵启动要求。 否则可能引起故障或造成分子泵损坏。 8) 分子泵电源必须断开电源15分钟以上，才能对其进行检查或接线。 否则可能发生触电事故。
FF-200/1200 LF200 CF200
FB-250/1600 LF250 CF250
FB-400/4200 LF400 4200升/秒 N2 108
750升/秒 N2 109
1200升/秒 N2 109
1600升/秒 N2 108
H2 5103 ≤210-6 ≤210-7
H2 5103 ≤210-6 ≤210-7