常用真空泵简介ppt课件
真空泵培训课件
域。
02
真空泵结构与工作原理
真空泵主要部件介绍
进气口
进气口是真空泵的入 口,与大气相通,允 许气体进入泵内。
叶轮
叶轮是真空泵的核心 部件,它快速旋转, 将气体从进气口吸入 ,并排向排气口。
排气口
排气口是真空泵的出 口,将经过压缩的气 体排出泵外。
温度过高
可能是由于真空泵内部热量控制不当 、冷却系统故障等原因导致。应检查 真空泵的冷却系统,确保冷却效果良 好。
可能是由于轴承磨损、齿轮啮合不良 等原因导致。应检查轴承和齿轮的磨 损情况,及时更换磨损严重的部件。
预防性维护保养建议
建立定期维护保养制度
01
制定详细的维护保养计划,并按照计划进行维护保养。
定期更换易损件
如真空泵的密封件、轴承等易损件,应定期更换,以保证真空泵的 正常运行。
保持真空泵的清洁
定期清理真空泵内部的灰尘和杂质,防止对真空泵造成损害。
常见故障原因分析及排除方法
真空度不足
可能是由于真空泵内部泄漏、过滤器 堵塞等原因导致。应检查真空泵的密 封件和过滤器,及时更换损坏的部件 。
噪音过大
泵体
泵体是真空泵的支撑 结构,它支撑着叶轮 、轴承和密封件。
轴承和密封件
轴承用于支撑叶轮, 密封件用于防止气体 泄漏。
真空泵工作原理详解
01
02
03
04
吸气过程
当叶轮旋转时,叶片带动气体 运动,使气体从进气口进入泵
内。
压缩过程
叶轮将气体压缩,使其压力升 高。
排气管路
经过压缩的气体通过排气管路 排出泵外。
THANKS
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2024版年度泵类知识PPT课件
应用场景
广泛应用于真空蒸发、真 空干燥、真空过滤等领域。
16
磁力驱动离心泵
工作原理
通过磁力耦合器传递扭矩,驱动 叶轮旋转,实现液体的输送。
2024/2/3
结构特点
磁力驱动离心泵无需机械密封,避 免了泄漏问题;同时,磁力耦合器 具有过载保护功能,提高了泵的可 靠性。
前景展望
随着工业4.0、智能制造等技术的不 断发展,泵行业将朝着数字化、智能 化、绿色化方向发展。
28
技术创新在泵行业应用案例分享
新材料应用
采用高强度、耐腐蚀、高温等特殊材料,提高泵产品的性能和可靠性。
2024/2/3
先进制造技术
运用精密铸造、3D打印等先进制造技术,优化泵产品结构,提高生 产效率和产品质量。
可能原因包括密封件磨损、密封面损坏、密 封压盖松动等。
2024/2/3
25
针对性处理措施和预防措施
• 针对泵不吸水或流量不足的处理措施包括检查吸入管路、底阀及转速是 否正常,预防措施包括定期清洗底阀、检查吸入管路等。
• 针对泵振动或噪音过大的处理措施包括检查轴承、叶轮及吸入管路是否 正常,预防措施包括定期更换轴承、清洗叶轮等。
轴
03 传递扭矩,连接驱动装置和叶
轮。
轴承
04 支撑轴旋转,减少摩擦损失。
密封环
防止泵内液体泄漏。
05
轴封
06 防止泵轴与泵壳之间的泄漏。
2024/2/3
8
工作过程及原理剖析
充液
启动前先向泵壳内灌满被输送的 液体。
启动
驱动装置通过轴带动叶轮旋转。
2024/2/3
液体吸入
叶轮旋转产生离心力,使液体从 叶轮中心吸入。
常见泵的知识讲解ppt课件
水泵
水泵的分类 1、按泵轴方向可分为卧式、立式、斜式 2、按壳体剖分型式分为径向剖分式和轴向剖分式 3、按级数分为单级和复级 4、按吸入形式分为单吸和双吸 5、按水泵形式分各中心支承式,管道式、共座式、分座式、可移式 6、按驱动方式分为直接连接、齿轮传动式、液力偶合传动式、皮带传多式和共轴式 7、按特殊结构分为液下式、筒式、双壁壳式、地坑筒式、抽出式、自吸式、潜液式和屏蔽式 8、按轴向力平衡方式分为平衡鼓式、平衡盘式、自身平衡式和平衡孔式 9、按用途不同主要分为锅炉给水泵、循环水泵、排污泵、杂质泵、砂泵、渣浆泵、泥浆泵、污水泵、
空气密封的干式潜水泵是在电动机与水泵中间设 有空气室,水泵下井后,空气室中形成压缩空气垫把 水隔开。
机械密封式的潜水泵适用于水质比较纯净的场合; 空气密封式的可用于抽送泥沙含量较高的浑水。受密 封结构的限制,两者浸入水中的深度都不能太大,一 般不宜超过5m。
潜水电泵(充油式)
充油式潜水泵机械结构和干式相似,其密封装置除了采用上述机械密 封装置外,电动机内腔还充满了变压器油或锭子油,起防潮、绝缘、冷 却和润滑作用。
第一部分:泵的简介 第二部分:常见泵结构、原理及应用 第三部分:泵的选型 第四部分:注意事项
泵的简介
泵的原理及作用 泵的分类
泵的原理及作用
泵是输送流体或使流体增压的机械。它将原动机的 机械能或其他外部能量传送给液体,使液体能量增加。 泵主要用来输送水、油、酸碱液、乳化液、悬乳液和 液态金属等液体,也可输送液、气混合物及含悬浮固 体物的液体。
液压泵分类(按结构)
液压泵的种类
齿轮泵
液压泵 (按结构)
叶片泵 柱塞泵
螺杆泵
齿轮泵
齿轮泵是液压泵中结构最简单的一种泵,它的抗污染能力 强,价格最便宜。但一般齿轮泵容积效率较低,轴承上不平衡 力大,工作压力不高。齿轮泵的另一个重要缺点是流量脉动大, 运行时噪声水平较高,在高压下运行时尤为突出。
真空泵的工作原理PPT课件
第10页/共17页
三、真空泵的常见故障
故障 泵无法启动
泵达不到极 限压强
可能的原因 电源线连接不正确; 供给电机的电源电压与电机不匹配;
电机发生故障; 泵油温度低于10摄氏度;
泵油太粘稠; 排气过滤器或排气管道被堵塞
泵被卡死
测量方式或规管不合适
外部泄漏 放返油阀失效
第11页/共17页
三、真空泵的常见故障
故障
泵的抽速太 慢
停泵以后, 被抽容器中 的压强上升 过快
泵在运行中 温度过高
可能的原因 进气口或进气管道被堵塞
排气过滤器被堵塞 连接的真空管直径太小或管道太长
真空系统有泄漏
防返油阀故障
检修 清洗进气管道(预防:在进气口前安装一个
杂物过滤器) 更换过滤器
使用直径足够大的管道或短的连接管道 对系统进行检查
卡扣
密封圈
锁紧扣
锁紧环
卡扣铰链结构,一端固定在接头上,另外一端卡在套桶 上,当卡扣被推向快速接头的接口时,带动接头、锁紧 环向前推进,使得卡簧收紧锁住工艺管,接头前端的密 封圈厚度主要密封工艺管与接头的间隙。
第14页/共17页
四、快速接头的构造及密封原理
●快速接头的接口部分
※顶针靠连接头内的卡簧将其顶起。 ※锁紧环的上下移动将导致接头内 小圆珠的凸起或下陷。
检修 检查真空系统 清洗或维修防返油阀 清洗或维修进气口和防返油阀 放掉多余的泵油 对油进行脱气或换油并冲洗泵腔;预防:打
开气镇阀 加油
清洗或更换消音孔部件 降低进气口压强
清洗或更换油雾过滤器 更换一个新的弹性联轴体
维修泵
第13页/共17页
四、快速接头的构造及密封原理
真空泵的工作原理PPT课件
随着科技的进步和工业的发展,对真空技术的需求越来越高。未来,真空泵市场将继续保持增长态势,特别是在 新能源、新材料等领域的应用将不断拓展。同时,随着环保意识的提高和绿色制造技术的推广,低噪音、低能耗 、无油污染的环保型真空泵将成为市场主流。
2023
PART 02
真空泵工作原理
REPORTING
气体性质
考虑被抽气体的性质,如腐蚀 性、易燃易爆性等,选择适合
的真空泵材质和结构。
环境因素
考虑工作环境的温度、湿度、 海拔高度等因素对真空泵性能
的影响。
经济性
在满足工艺要求的前提下,综 合考虑真空泵的价格、维护成
本、使用寿命等因素。
案例分析与实践经验分享
案例一
某化工厂选用水环式真空泵,因其耐腐蚀、抽气量大且价格适中,满足生产需求。
操作使用规程 在启动真空泵前,确保电源接线正确,电压稳定。
检查真空泵的油位,确保在合适范围内。
操作使用规程及注意事项
• 启动真Байду номын сангаас泵后,观察其运行状况,确保无异常噪音和振动 。
操作使用规程及注意事项
01
注意事项
02
03
04
避免长时间在极限真空下运行 ,以免损坏真空泵。
在使用过程中,注意定期更换 真空泵油,保证油质清洁。
2023
真空泵的工作原理 PPT课件
REPORTING
2023
目录
• 真空泵概述 • 真空泵工作原理 • 常见类型真空泵及其工作原理 • 真空泵性能参数与选型依据 • 真空泵操作使用与维护保养 • 真空泵在行业应用中的案例分析
2023
PART 01
真空泵概述
REPORTING
常用真空泵简介
❖ 气体在两个平行平面1、2之间运动,二平面速度分别为u1和 u2,运动方向为Ox。以为气体速度在Ox垂直方向上非常小 (vz=vy=0),在Oz和Oy方向,压强为常数。
11
❖文档仅供参考,如有不当之处,请联系改正。
❖ 由板间低压气体输运性质可得
d 2vx dz 2
1
dp dx
(1-1)
— 动力黏性系数
u — 上表面速度,m / s 1
u — 下表面速度,m / s 2
— 内粘滞性系数,Pa s
(1-4)
14
❖文档仅供参考,如有不当之处,请联系改正。
❖ 式(1-4)可看成两个单独旳流量旳和
Q
u 1
u 2
bhp
1
2
Q 2
bh 2
2
hp
6
1
dp dx
(1-5) (1-6)
15
❖文档仅供参考,如有不当之处,请联系改正。
(1) 分子泵:牵引分子泵、涡轮分子泵和复合分子泵三大类。 (2) 喷射真空泵:水喷射泵、气体喷射泵和蒸汽喷射泵三大类 (3) 扩散泵:以油或汞蒸汽作为工作介质。汞扩散泵不带分馏
装置,油扩散泵有分馏装置
2
一、分子真空泵(Molecular Pump) ❖文档仅供参考,如有不当之处,请联系改正。
3
1.1 概述
上使用。也可用来作为离子泵、升华泵、低温泵等气体捕集 超高真空泵旳前级预抽真空泵使用,这将取得更低旳极限压 力或更清洁旳无碳氢化合物旳真空环境。
38
1.5 复合分子泵(Compound molecular ❖文档仅供参考,如有不当之处,请联系改正。 pump)
39
❖文档仅供参考,如有不当之处,请联系改正。
常用真空泵简介培训课件
(1-4)
u u 式(1-4)可看成两Q个1单独1的2流2量bh的p和
Q 2
bh2 2
hp
6
1
dp dx
(1-5) (1-6)
分 界第于一是压项 可强与得ps压一和强个分p特界有征Q 通关压2道,强第长pb二s度2—h2项x粘sh为6滞p常流量1态和ddxp分子流态的分界压
某强一瞬间,不是第一项起支配作用就是第二项起支配作用
Q bh 3 p d p 2 12 d x
Q 2
bh 2 2
dp dx
ps
6 h
(1-7)
讨分①②界论p><压:p强s区(1p)域s把粘,压滞气强流体范态为围和粘分分分滞子成子流p流状>p态s和的p流<p量s两与个抽区速域
明的,之后他又以气体的外摩擦作用为分子泵奠定了理论基 础。——利用了气体的外摩擦输运现象,也就是分子牵引力 ,所以称为牵引分子泵。 1956年,德国人贝克(W. Becker)发明了涡轮分子泵,以 高速旋转的动叶片和静止的定叶片配合来实现抽气,极限压 强可达10-9Pa以下。 1972年出现了涡轮-牵引复合分子泵,采用螺旋动密封,可 直接向大气排气。 近年来,空气轴承和磁悬浮轴承的应用,使分子泵作为清洁 真空获得设备更加完善。
u 2
2
式中 为外摩擦系数, 面表 对征 气表 体的阻力
SmR MTpbhh//22vxdz u12u2hbddxpb2h26h1( m3/ s)
式中m, —气体的质量 kg/流 s 率,
M—气体的分子量
(1-3)
由式(1-Q3) S,p 可 以u1 得 u到2 h流bp量 公dp式 pbh
各类真空泵的基本原理ppt课件
液环式真空泵工作原理
泵吸入 (气体混合物) 泵排出 (气体和液体)
气体混合物
气体混合物 工作液 气体和液体
液环真空泵工 作 原 理
在圆形泵体(A)内,在相对于泵体中心线为偏心的轴上 装有一个叶轮(B)。转动的叶轮的离心作用迫使工作液通 过通道(D)流向腔体周边形成环流(C)。
泵起作用时,被输送的气体混合物经过中间板(E)上的 吸入口(H)进入叶轮,在泵入口处形成真空。气体混合物 充入位于液环内径和叶轮叶片根部之间的叶轮腔内。当叶轮 转动时,叶轮叶片浸没在液环中的程度增加,而使液环和叶 轮叶片根部之间的容积减少。结果是气体混合物受到压缩, 直至到达中间板中(K)的排放口(J)。气体混合物通过排 放口排出。
液环式真空泵基本类型
(3) 双级液环泵大多是单作用泵串联而成。实
质上是两个单级单作用的液环泵的叶轮共用一根 心轴联接而成。它的主要特点是在较高真空度下 ,仍然具有较大的抽速,而且工作状况稳定。
(4)大气液环泵实际是大气喷射器串联液环泵的 机组。液环泵前面串联大气泵是为了提高极限真 空,扩大泵的使用范围。
(1) 单级单作用液环泵单级是指只有一个叶轮, 单作用是指叶轮每旋转一周,吸气、排气各进行 一次。这种泵的极限真空较高,但抽速和效率较 低。 (2) 单级双作用液环泵单级是指只有一个叶轮, 双作用是指叶轮每旋转一周,吸气、排气各进行 二次。在相同的抽速条件下,双作用液环泵比单 作用液环泵大大减少尺寸和重量。由于工作腔对 称分布于泵轮毂两侧,改善了作用在转子上的载 荷。此种泵的抽速较大,效率也较高。
国产真空泵型号对照表
二、常用真空泵技术
蒸汽喷射泵
湿 式 泵(液环真空泵、旋转叶片泵) 干式泵(罗茨泵、螺杆泵、爪式泵)
真空泵介绍PPT课件
课件•真空泵基本概念与原理•常见类型真空泵介绍•真空泵性能参数与选型•真空泵安装、使用与维护目•真空泵在工业生产中应用•真空泵市场现状及发展趋势录真空泵基本概念与原理01CATALOGUE真空泵定义及作用定义真空泵是一种利用机械、物理或化学方法将被抽容器内的气体抽吸并排出,以获得真空的装置。
作用在工业生产、科研实验、医疗设备等领域中,真空泵被广泛应用于创造和维持真空环境,以满足特定工艺或实验要求。
物理真空泵利用物理原理进行抽气,如吸附、冷凝等。
常见的物理真空泵有吸附式真空泵、冷凝式真空泵等。
机械真空泵通过机械运动使泵腔容积发生变化,从而实现吸气、压缩和排气的过程。
常见的机械真空泵有旋片式真空泵、定片式真空泵等。
化学真空泵通过化学反应吸收或分解气体,达到抽气的目的。
例如,利用某些金属或化合物与气体发生化学反应,从而将其从被抽容器中去除。
真空泵工作原理真空泵分类与特点分类根据工作原理和结构特点,真空泵可分为机械真空泵、物理真空泵和化学真空泵三大类。
此外,还可根据用途、抽速、极限压力等参数进行分类。
特点不同类型的真空泵具有各自的特点。
例如,机械真空泵具有较高的抽速和较低的极限压力,适用于大抽速、低真空度的场合;物理真空泵则具有较低的噪音和振动,适用于对噪音和振动要求较高的场合;化学真空泵则具有较强的耐腐蚀性和较长的使用寿命,适用于腐蚀性气体或特殊气体的抽吸。
常见类型真空泵介绍02CATALOGUE工作原理结构特点优点应用范围01020304通过偏心转子旋转,使泵腔内的容积发生变化,从而实现吸气、压缩和排气的过程。
具有简单的结构,主要由定子、转子、旋片等组成。
体积小、重量轻、噪音低、振动小。
广泛应用于真空包装、真空吸附、真空成型等领域。
通过滑阀在泵腔内的往复运动,改变泵腔容积,实现吸气、压缩和排气的过程。
主要由泵体、滑阀、吸气阀、排气阀等组成。
具有较高的抽速和较低的极限压力,适用于大抽速、低压力的场合。
2024版常用真空泵简介培训课件[1]
环保法规还促进了真空泵行业的产业结构调整,优胜劣汰,使那些注 重环保、技术创新的企业获得了更好的发展机会。
2024/1/30
26
未来发展趋势预测和战略建议
2024/1/30
发展趋势
未来,随着环保法规的不断加强和技术的不断进步,真空泵将朝着更高效、更环保、 更智能的方向发展。
战略建议
企业应密切关注国内外环保法规的动态,加大技术研发和产品创新力度,积极推广 环保型真空泵,提高产品竞争力。同时,还应加强与国际先进企业的合作和交流, 引进先进技术和管理经验,推动中国真空泵行业的持续发展。
13
选型原则及方法指导
根据工艺要求选择适当的真空度
考虑抽气速率与设备匹配
不同的工艺对真空度的要求不同,因此需要 根据实际需求选择相应的真空泵。
抽气速率需要与设备的处理能力相匹配,以 确保真空系统的稳定运行。
注意噪音和振动等级
了解真空泵的维护和保养要求
对于需要低噪音、低振动的场合,应选择噪 音和振动等级较低的真空泵。
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国内外环保法规概述及对比分析
2024/1/30
01
国内环保法规
中国政府对环境保护日益重视,制定了一系列严格的环保法规和标准,
如《大气污染防治法》、《环境保护法》等,对真空泵等设备的排放和
使用提出了明确要求。
02
国际环保法规
国际上,各国政府和环保组织也在积极推动环保法规的制定和实施,如
欧盟的RoHS指令、REACH法规等,对真空泵等产品的环保性能提出了
27
THANKS
感谢观看
2024/1/30
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04
2024/1/30
05
常见故障排除方法包括清洗 泵体内部、更换损坏零件、
新版各种真空泵课件.ppt
..
14
油扩散泵
• 油扩散泵具有对被抽 气体无选择性、抽气 速率大、结构简单、 无机械传动、无摩擦 和操作维护方便的特 点, 抽气原理是利用 高速运动的油蒸汽流 与被抽气体混合进行 能量交换而达到抽气 作用的
..
15
分子(增压)泵与油扩散泵的性 能比较
• 扩散泵能耗高、油蒸汽污染大、启动时间长,90 年代 起, 中、小型扩散泵在发达国家已经十分罕见。国内 市场, 由于扩散泵价格低廉、维护方便, 目前, 该泵 仍然占有较大的市场份额。随着我国真空产品的升级 换代和能源短缺的加剧, 中、小型扩散泵将逐渐退出 国内市场。
• 而具有价格合理,易加工,结构紧凑及高效可靠等特 点的干式涡旋真空泵,将是该类型产品未来发展的趋 势。也是目前国内应大力开发的高效机械真空泵的研 究方向。
..
7
高真空泵
• 分子(增压)泵 • 扩散泵 • 离子泵
..
8
分子泵
• 分子泵特点
• 1,结构简单, 运行可靠, 能承受大气冲 击;
• 2,兼有中、高真空双重性能;
真空泵
• 获得低真空的独立设备为机械泵。作为 前级泵
• 获得高真空的的泵作为次级泵。
..
1
机械泵(低真空泵)
• 目前主要为涡旋式真空泵
• 一,立式油润滑涡旋真空泵 • 二,水冷干式涡旋真空泵 • 三,风冷干式涡旋真空泵 • 四,带波纹管密封的干式涡旋真空泵
..
2
立式油润滑涡旋真空泵
• 该泵的径向间隙具有易于密封和控 制的优点。与当时市场上广泛使用 的旋片真空泵相比,涡旋真空泵具 有更高的容积效率。
卧式涡轮分子泵不存在本项优势。 分子增压泵的突出优势: • 1) 结构简单, 能承受大气冲击; • 2) 优异的中真空性能, 1~ 200 Pa 压强范围
真空泵培训课件
真空泵培训课件一、引言真空泵是一种广泛应用于各个领域的设备,其主要功能是抽取或压缩气体,使容器内形成真空状态。
为了更好地了解和使用真空泵,本课件将详细介绍真空泵的原理、分类、应用、操作方法及维护保养等内容。
二、真空泵的原理与分类1.真空泵原理真空泵的工作原理是通过机械或物理方法,将容器内的气体抽出或压缩,从而降低容器内的气压。
根据工作原理的不同,真空泵可分为两大类:容积式真空泵和速度式真空泵。
(1)容积式真空泵:通过改变泵腔的体积,使气体在泵腔内产生周期性的膨胀和压缩,从而达到抽气或压缩气体的目的。
常见的容积式真空泵有旋片式真空泵、滑阀式真空泵等。
(2)速度式真空泵:通过高速旋转的叶轮或叶片,使气体产生离心力,从而将气体甩出泵腔,达到抽气或压缩气体的目的。
常见的速度式真空泵有罗茨泵、涡旋泵等。
2.真空泵分类(1)旋片式真空泵:具有结构简单、体积小、重量轻、噪音低等特点,广泛应用于实验室、医疗、食品等领域。
(2)滑阀式真空泵:具有抽气速率高、抗水蒸气能力强等特点,适用于化工、制药等行业。
(3)罗茨泵:具有抽气速率高、无油压缩、维修方便等特点,适用于电子、半导体、真空镀膜等领域。
(4)涡旋泵:具有抽气速率高、结构紧凑、无油压缩等特点,适用于分析仪器、真空干燥等领域。
三、真空泵的应用1.实验室:用于真空过滤、真空干燥、真空蒸馏等实验操作。
2.医疗:用于真空采血、真空包装、真空敷料等。
3.食品:用于真空包装、真空冷却、真空干燥等。
4.化工:用于真空蒸馏、真空吸料、真空输送等。
5.电子:用于真空镀膜、真空焊接、真空封装等。
6.半导体:用于真空刻蚀、真空沉积、真空吸附等。
7.分析仪器:用于真空采样、真空分析等。
四、真空泵的操作方法1.开机操作(1)检查真空泵及附件是否完好,连接管道是否牢固。
(2)打开电源开关,启动真空泵。
(3)观察真空泵的运行状态,确保正常工作。
2.关机操作(1)关闭真空泵的电源开关。
(2)关闭真空泵的进气阀门。
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1 dp z2
vx
dx
CzC
21
2
(1-2)
.
通过槽C宽1为b2的u1/通u道2h的; 气C体2的流u1导2u为2S,dd即xp通6h道的1抽速
vx
ddxp2z2 8h2 2h(2u1/u2)hz u1
u 2
2
式中 为外摩擦系数, 面表 对征 气表 体的阻力
SmR MTpbhh//22vxdz u12u2hbddxpb2h26h1( m3/ s)
1的空间内,①区分子可自由地通过K区到②区 2的空间内,没有分子能自由的飞过K区到达①区
.
节弦比: s a 0b
速 气 若体A度1=分A比子2,: 从CT11①=T侧2,到2pR②2/Tup侧1/=的Mn2净/n气1 流量为
Байду номын сангаасCn
Cn
Cn
1 A H 1 AW 2 AW
41
4 1 12
4 2 21
法、蒙特卡洛法、传输矩阵法和角系数法求得 Kma xp p1 2ma xW W 1 22 1
(1 -15)
.
.
涡涡轮轮分分子子泵泵都的是结由多构级特叶列点组成的,转子与定子按次序交替排
(1) 分子泵:牵引分子泵、涡轮分子泵和复合分子泵三大类。 (2) 喷射真空泵:水喷射泵、气体喷射泵和蒸汽喷射泵三大类 (3) 扩散泵:以油或汞蒸汽作为工作介质。汞扩散泵不带分馏
装置,油扩散泵有分馏装置
.
一、分子真空泵(Molecular Pump)
.
1.1分概子述真空泵(分子泵)是1913年德国人盖德(W. Gaede)发
Q u 1 2 u 分2 h 子流 b 1 b 3 p p 2 h d d x p p 粘6 ( u 滞1 h 流2 u 2 )x p 大s气 ( 1 1 )2
x<0
O
x=xS
p<pS
p=pS
p=patm
Q u 1 2 u 2 h b b 2 2 d d p h x p p p se x ( u 1 h p u 2 )x
u — 上表面速度, m / s 1
u — 下表面速度, m / s 2
— 内粘滞性系数, Pa s
(1-4)
.
u u 式(1-4)可看成两个Q1单独1的2流2量bh的p和
Q 2
bh2 2
hp
6
1
dp dx
(1-5) (1-6)
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分 界第于一是压项 可强与得ps压一和强个分p特界有征Q 通关压2道,强长第pbs二度—2h2项x粘s 为h6滞常p流量态1和dd分xp子流态的分界压
明的,之后他又以气体的外摩擦作用为分子泵奠定了理论基 础。——利用了气体的外摩擦输运现象,也就是分子牵引力 ,所以称为牵引分子泵。 1956年,德国人贝克(W. Becker)发明了涡轮分子泵,以 高速旋转的动叶片和静止的定叶片配合来实现抽气,极限压 强可达10-9Pa以下。 1972年出现了涡轮-牵引复合分子泵,采用螺旋动密封,可 直接向大气排气。 近年来,空气轴承和磁悬浮轴承的应用,使分子泵作为清洁
.
真空获得设备更加完善。
空气轴承(Air Bearing)
.
磁悬浮轴承(Magnetic Bearing)
.
.
1.2 牵引分子泵的结构特点与抽气原理
Gaede
Holweck
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Siegbahn
1-吸气口 2-排气口 3-转子 4-泵体 5-挡块
Gaede MDP
Holweck MDP
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Molecular drag pump (MDP)
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盖德气体理在论两个平行平面1、2之间运动,二平面速度分别为u1
和u2,运动方向为Ox。认为气体速度在Ox垂直方向上非 常小(vz=vy=0),在Oz和Oy方向,压强为常数。
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由将板上间式低积压分气,体可输得运两性平dd2z质板v2x可间得气1体 dd速xp度与通道高度的(关1-系1)式
—动力黏性系数
H ——表征抽气效率的系 抽数 气
何氏系数
p
HW 2W
12 p 21
1
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Hp气1==体0p时2分时,子,得通得最过最大叶大压列抽缩的气H 比几系m K率m数a Wxa HW m12x a1 和x W2 W 21与2叶1列的速度比C1、(叶- 1 列 4
倾角、叶列的节弦比a/b有关。通常W12和W21可用积分方程
式中m, —气体的质量 kg/流 s 率,
M—气体的分子 . 量
(1-3)
由式(1-Q3) ,Sp可 以u1得 u到2 h流bp量公dp式 pbh 2
2
dx 2
h 6
1
p
Q
u 1
u 2
2
hbp
dp dx
bh 2 2
hp 6
1
式中, — 外粘滞性系数,对 293 K的空气, 1.61 10 - 3s / m
( 1 1 )3
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直排大气的牵引分子泵 .
1.3 涡轮分子泵的抽气原理与结构特点
Turbo mo.lecular pump
Turbo molecular pump
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涡轮分子泵的抽气原理
①
②
_
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W W
12
21
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抽气气体系分数子和的平压均缩热比运动速度设为C
站在叶片上观测,速度分布如(d)、(e) 令A1,0、A′1,0、 A′2,0、A2,0构成的通道空间为K
某强一瞬间,不是第一项起支配作用就是第二项起支配作用
Q 2
bh 3 12
p
dp dx
bh 2 d p Q
2 2 dx
ps
6 h
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(1-7)
讨分①②界论p><压p:s强区(1p域)s把粘,压滞气强流体范态为围粘分和分滞子分成流子p状流>p态态s和的p<流ps量两与个抽区域速
Qu1u2hbpbh3 pdp
2
12 dx
Su1 2u2hb1b2h3 ddxp
Qu1 2u2hbpb2h 2 d dxp Su1 2u2hb. 2bph 2 d dxp
(18) (19)
(11)0 (11)1
讨论分:界(2压) 分强界ps通处道 定为长通度道xs 长度x的原点,x=0
p=patm时,其坐标为x=xs——分界通道长度
真空物理与技术
Vacuum Physics and Technology
赵风周
物理学院 2011.5
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第三章 真空获得
一. 真空泵的分类与性能 二. 容积式真空泵 三. 动量传递式真空泵 四. 气体捕集式真空泵 五. 超高真空获得技术
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第三节 动量传递式真空泵
利用高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给被抽气体 或气体分子,使气体不断地从入口传输到出口的真空泵。