各仪器设备主要技术要求

各仪器设备主要技术要求

总体要求：

1.打开速度：要求网页及平台保证所有模块的打开速度能够尽量低于1分钟。

2.拓展性：交互简洁、清晰，留有接口等必要模块与功能，方便后续维护与其他模块的添加与拓展。

* 3.内容更新与软件维护：可随时通过后台操作，进行数据更新或系统设置、管理；质保期内软件免费升级、出现问题免费维护，终身保修。

4.网页与VR需求兼容性：所有模块可进行网页版本操作和VR版本操作。

* 5.虚拟设备制作要求：能与已有平台良好兼容，可以顺畅地进行页面跳转等。所有设备的虚拟仿真制作，操作者方便观看理解设备运行过程，能够对仪器内部构造进行3D展示，能够进行主要仪器设备的参数设置及实现人机互动，并留有接口方便后续的功能丰富以及其他设备添加。包含设备的工作原理及重要功能说明。所有项目可以后台记录登录时间、获得相应分数。* 6.虚拟仿真实验制作要求：能与已有平台良好兼容，可以顺畅地进行页面跳转、数据调用、数据共同集成与分析等。工艺操作流程可执行练习模式（任选模式）和考试模式（过关模式）。* 7.配套设备：本部分预算包含三套VR虚拟设备及配套台电脑，包含一个服务器。

8.接口规范：必须符合《国家虚拟仿真实验教学项目技术接口规范（2018版）》，能够与国家ilab平台及学校平台实现良好对接。

9.该经费中同样包含资料调研（参与制作老师书籍购买、设备查询等可能产生的费用）、视频拍摄或制作、设备维护等可能涉及的费用。

具体要求：

【1】虚拟实训模块——薄膜生长实验：

本部分包含：

一、PECVD生长Si3N4工艺虚拟仿真制作；

二、磁控溅射薄膜生长的虚拟仿真制作；

三、薄膜生长所需典型设备：PECVD、磁控溅射仪器的虚拟仿真制作，其他薄膜生长设备的图片或小视频制作；

技术要求：

* 1. PECVD生长Si3N4工艺虚拟仿真、磁控溅射薄膜生长的虚拟仿真制作项目中，可以通过虚拟仿真设备设置工艺参数后，得到相应结果。不能产生人机互动的工艺能够点击观看且与其

他步骤过渡顺畅。必须留有接口等，从而能够方便后续改成人机互动模式。此外，可以后台记录登录时间，可根据操作获取分数、生成报告。

2. 其他薄膜生长设备的图片或小视频制作中有至少两台能达到人机互动。此外，可以后台记录登录时间，可根据操作获取分数、生成报告。

3. 操作过程中可随时方便查看原理等其他模块。

4. 方便后续维护与其他模块的添加与拓展。

【2】虚拟实训模块——晶圆热氧化实验

本部分包含：

一、芯片的制作过程视频制作以及工艺地图；

二、干氧工艺虚拟仿真实验；

三、热氧化所需三种设备：

RTA快速热退火炉、立式炉、卧式炉的设备虚拟仿真制作，其他热处理/氧化设备的图片或小视频制作；

四、其他相应原理资料或短视频制作

技术要求：

1. 芯片制作视频中包含芯片制作七大工艺，以及0.18μm制程中的工艺演示（共24步骤）。工艺地图显示不同流程所处工厂位置以及流程间关系。此外，可以后台记录登录时间，可根据操作获取分数、生成报告。

* 2. 干氧工艺可以通过设备设置工艺参数，并得到相应结果。不能产生人机互动的工艺能够点击观看且与其他步骤过渡顺畅。必须留有接口等，从而能够方便后续改成人机互动模式。此外，可以后台记录登录时间，可根据操作获取分数、生成报告。

3. 其他热处理/氧化设备的图片或小视频制作中有至少两台能达到人机互动。此外，可以后台记录登录时间，可根据操作获取分数、生成报告。

4.操作过程中可随时方便查看原理等其他模块。

【3】虚拟实训模块——化学机械平坦化技术实验

本部分包含：

一、CMP设备的虚拟仿真制作

二、其他相应原理资料或短视频制作

技术要求：

* 1.CMP设备的虚拟仿真制作中，设备可对虚拟样品进行打磨，得到相应结果。不能产生人机互动的工艺能够点击观看且与其他步骤过渡顺畅。必须留有接口等，从而能够方便后续改成人机互动模式。此外，可以后台记录登录时间，可根据操作获取分数、生成报告。

2.操作过程中可随时方便查看原理等其他模块。

【4】数据集成与对接系统：

本部分包含：

一、成绩集成与分析：所有实训、笔试等成绩的分数获取、收集、统计、分析与存储；

二、学习情况统计：所有学生在平台登录时间的统计，含登录次数、每次登录时间和退出时间、不同板块登录时间统计、分析与存储；

三、成绩批阅窗口简洁性与可视性：后台成绩批阅可视性和打分可操作性改善；

四、改进教师进行成绩批阅时的后台可视性

技术要求：

* 1.笔试成绩收集与存储：该平台具有试题库功能，并可与原有平台相关部分进行良好对接，学生可在平台上进行测试，具有单选题、多选题、判断对错题、思考题、分析题等的录入和后台修改功能，可对测试结果进行获取、收集、统计、分析与存储，并可自动生成于实训成绩报告中。

* 2.虚拟实训分数评价依据：根据学生登录时间、实训及笔试成绩，实验报告分为课前预习、实验操作、实验结果分析、思考题与心得四部分并打分（分值可在考试前设置），学生实验结束后可直接生成分数。课前预习部分的给分依据为学生在原理教学模块的学习情况；实验操作的给分依据为学生在虚拟实训模块的操作情况（老师可设置不同实训统分组合）；实验结果分析给分依据结合学生虚拟实训模块和处理数据、考试题库答题情况等录入系统的回答部分情况给分。学生可自主选择是否上交实训成绩报告或保存草稿。

* 3.成绩分析：对学习者实验结果大数据可进行收集、存储、统计、分析。

* 4.平台情况：可显示学生学习人数、情况、评价、交流、反馈等，可与学生在线交流学习问题，可查看点赞数等

* 5.兼容情况：能够实时更新历史学习人数、在线学习人数，能够与国家ilab平台及学校平台实现良好对接。能够确保无论学习者从国家平台或校方平台进入，均能实现历史学习人数、在线学习人数等数据的更新，及实验结果的存储、相互调用等。与目前已有平台兼容。