清洗药水培训总结

IPA
-88.5℃
82.45 ℃
H2O2
-0.43℃
1ห้องสมุดไป่ตู้8℃（无水）
H2SO4 NH4·OH
10.371 ℃ -77℃
330℃ 36℃
2.硅料、硅芯清洗
1.清洗药水：HNO3和HF的混合液体 HNO3+Si=SiO2+NOX+H2O
反应式 SiO2+HF=SiF4+H2O SiF4+HF=H2[SiF6]
3.硅片预洗
Si+2NaOH+H2O→Na2SiO3+2H2
4.去PSG
SiO2+HF=SiF4+H2O SiF4+HF=H2[SiF6]
2.清洗药水：HNO3、HF及H2SO4的混合液体
5.材料的选用
HF和HNO3混合溶液不能使用PP材料 HCl和H2O2混合溶液不能使用PP材料 H2SO4和H2O2混合溶液不能使用PP材料 NH4OH和H2O2混合溶液不能使用PP材料 不能使用PVDF材质，可使用石英材料 可使用PVDF材质，PVDF材质不耐碱腐蚀
0.7855
1.13g/mL （ 20℃）
1.38 0.91
氟酸。这是最有效的措施，治疗的关键。氢氟酸灼伤后的中和方法不少，总的原则是使用一些 ，从而使氟离子灭活。现场应用石灰水浸泡或湿敷易于推广。氨水与氢氟酸作用形成具有腐蚀 、2%利多卡因20ml、地塞米松5mg）浸泡或湿敷。以冰硫酸镁饱和液作浸泡。钙离子直流电透入 高局部用药效果。在灼伤的第1～3天，每天1～2次，每次20～30分钟。重病例每次治疗时间可 钟左右。滴入2～3滴局部麻醉眼药，可减轻疼痛。同时送眼科诊治。
药水培训总结
密度 备注 1.42 纯硝酸为无色透明液体，浓硝酸为淡黄色液体
1.14 1.18
中强酸，去氧化层、去金属离子 （理论上讲，放在聚四氟乙烯做成的容器中会更好） 碱中和、去除金属离子
2.12
单晶硅的制备、白色不透明固体、易潮解 无色透明液体，有似乙醇和丙酮混合物的气味,减慢 NaOH对硅的腐蚀、易燃 蓝色黏稠状液体（水溶液通常为无色透明液体），物 体表面消毒、化工生产、除去异味，去除硅表面金属 离子 纯硫酸一般为无色油状液体 一般和H2O2一起，去除硅表面杂质
清洗药水培训总结
1.清洗药水
药水名称 HNO3 熔点/℃ 沸点/℃ 86℃（无水） 120.5℃（68%） -42℃
HF HCl
-83.7℃ -27.32℃（247K，38%溶液）
112.2℃（38.2%） 110℃（383K，20.2%溶液） 48℃（321K，38%溶液） 1390℃
NaOH
318.4℃
接触HF处理方法
皮肤接触HF后立即用大量流水作长时间彻底冲洗，尽快地稀释和冲去氢氟酸。这是最有效的措施，治疗的关键。氢 可溶性钙、镁盐类制剂，使其与氟离子结合形成不溶性氟化钙或氟化镁，从而使氟离子灭活。现场应用石灰水浸泡 性的二氟化胺，故不宜作为中和剂。氢氟酸灼伤治疗液（5%氯化钙20ml、2%利多卡因20ml、地塞米松5mg）浸泡或 。利用直流电的作用，使足够量的钙离子直接导入需要治疗的部位，提高局部用药效果。在灼伤的第1～3天，每天 酌情延长。氢氟酸溅入眼内，立即分开眼睑，用大量清水连续冲洗15分钟左右。滴入2～3滴局部麻醉眼药，可减轻
接触H2SO4处理方法 接触NaOH处理方法
硫酸与皮肤接触需要用大量水冲洗，再涂上3%～5%碳酸氢钠溶液冲，迅速就医。溅入眼睛后应立即提起眼睑，用 就医。吸入蒸气后应迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进
皮肤接触：先用水冲洗至少15分钟（稀液）/用布擦干（浓液），再用5～10%硫酸镁、或3%硼酸溶液清洗并就医。 眼睛接触：立即提起眼睑，用流动清水或生理盐水清洗至少15分钟。或用3% 硼酸溶液(或稀醋酸)冲洗。就医。 吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。必要时进行人工呼吸。就医。 食入：少量误食时立即用食醋、3～5% 醋酸或5%稀 盐酸、大量橘汁或柠檬汁等中和；给饮蛋清、牛奶或植物油并
皮肤接触HF后立即用大量流水作长时间彻底冲洗，尽快地稀释和冲去氢氟酸。这是最有效的措施，治疗的关键。氢 可溶性钙、镁盐类制剂，使其与氟离子结合形成不溶性氟化钙或氟化镁，从而使氟离子灭活。现场应用石灰水浸泡 性的二氟化胺，故不宜作为中和剂。氢氟酸灼伤治疗液（5%氯化钙20ml、2%利多卡因20ml、地塞米松5mg）浸泡或 。利用直流电的作用，使足够量的钙离子直接导入需要治疗的部位，提高局部用药效果。在灼伤的第1～3天，每天 酌情延长。氢氟酸溅入眼内，立即分开眼睑，用大量清水连续冲洗15分钟左右。滴入2～3滴局部麻醉眼药，可减轻
氟酸。这是最有效的措施，治疗的关键。氢氟酸灼伤后的中和方法不少，总的原则是使用一些 ，从而使氟离子灭活。现场应用石灰水浸泡或湿敷易于推广。氨水与氢氟酸作用形成具有腐蚀 、2%利多卡因20ml、地塞米松5mg）浸泡或湿敷。以冰硫酸镁饱和液作浸泡。钙离子直流电透入 高局部用药效果。在灼伤的第1～3天，每天1～2次，每次20～30分钟。重病例每次治疗时间可 钟左右。滴入2～3滴局部麻醉眼药，可减轻疼痛。同时送眼科诊治。
速就医。溅入眼睛后应立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。迅速 呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。迅速就医。误服后应用水漱口，给饮牛
～10%硫酸镁、或3%硼酸溶液清洗并就医。 用3% 硼酸溶液(或稀醋酸)冲洗。就医。
檬汁等中和；给饮蛋清、牛奶或植物油并迅速就医，禁忌催吐和洗胃。