光刻版清洗工艺及设备研究
OLED生产线设备中的光刻工艺及其关键设备介绍
OLED生产线设备中的光刻工艺及其关键设备介绍光刻工艺是OLED（Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管）生产线中关键的设备及工艺之一。
光刻技术是一种重要的微影制造技术，广泛应用于半导体、光电子、平板显示等领域。
本文将介绍OLED生产线设备中的光刻工艺及其关键设备。
光刻工艺在OLED生产线中的作用非常重要。
它用于将电子器件图案化到基板上，即在基板上形成所需的电子器件结构。
光刻工艺主要包括光源、掩膜、光刻胶、显影、刻蚀和清洗等步骤。
其中，掩膜是光刻工艺中的核心部分，它由根据设计需求制作成的透明玻璃或石英片，上面有所需的具体器件图形。
在光刻工艺中，关键设备主要包括光刻机、曝光机、开发机和显影机等。
光刻机是光刻工艺中的核心设备，它用于对掩膜和基板进行对位和曝光。
曝光机则是光刻机的一个组成部分，它用于将掩膜上的图案投射到基板上。
开发机是用来去除未曝光部分光刻胶的设备，显影机则是用来去除曝光后的光刻胶的设备。
光刻工艺中的关键设备还包括光源和光刻胶。
光源是提供光刻工艺所需的光的设备，目前常用的光源有汞灯和氙灯。
光刻胶是用来将电子器件的图形转移到基板上的关键材料，它是一种光敏性的聚合物材料，可以在曝光后发生物理和化学的变化。
在光刻工艺中，光刻胶的特性和性能对制程影响很大。
具备良好的分辨率、较高的耐溶剂性和优异的显影性能是优良的光刻胶的重要特点。
因此，选择适合的光刻胶对于OLED生产线中的光刻工艺至关重要。
光刻工艺中还有一些特殊的设备需求，例如掩膜对位设备和控制系统。
掩膜对位设备用于实现掩膜与基板之间的精确对位，确保所需图案的准确显影。
控制系统则用于调节和控制光源、曝光机和开发机等设备的操作。
这些设备和系统的稳定性和精确性对于光刻工艺的成功实施起着至关重要的作用。
除了关键设备和工艺，光刻工艺中还有一些常见的问题需要注意。
例如，光刻工艺中的曝光和显影过程中可能会出现边角效应，即图案在边缘出现拉伸或压缩的现象。
常压射频低温冷等离子体清洗光刻胶研究
3 氧原子产生原理
在清洗光刻胶的过程中，清洗速率主要取决于活性氧原子[11~13]。氧原子主要是通过电荷之间的转换和再结合[14]产生的，如方程（1）所示
Ar++O2→Ar+O2+ ，
O2++e-→O+O* （1）
产生的氧原子运动到硅片表面与光刻胶发生反应。
4 实验及结果分析
图5为清洗速率与衬底温度的变化关系。由图可以看出，衬底温度可以加速反应的发生。在氩气流量为5L/min，氧气流量为25sccm，输入功率为300W时，温度从87℃升到118℃，清洗速率从196nm/min增加到500nm/min，增加了约300nm/min。此外，由图可以看出，随着温度的进一步增加，清洗速率会进一步增大。但是为了避免对器件造成热损伤，衬底温度应控制在一定范围之内。
对离子注入的光刻胶的清洗结果表明，当入射功率为350W，氩气流量为5L/min，氧气流量为25sccm，衬底温度为130℃时，清洗速率达到300nm/min。用电镜分析了光刻胶清洗前后的表面形貌，可以看出该设备对光刻胶有良好的清洗效果。
采用常压射频冷等离子体清洗光刻胶，由于是在大气中进行，等离子体中粒子之间的碰撞自由程很小，所以等离子体中几乎没有高能离子存在，不会像真空等离子体那样对硅片表面造成损伤。 而且操作十分简便、没有任何环境污染，是一种十分理想的清洗手段，具有实际的工业应用价值。
图7为对100mm涂胶硅片进行清洗前、清洗中和清洗后的照片比较。照片左边的硅片为涂胶清洗前的形貌；中间硅片为清洗1min后，未清洗干净时的相貌 ；右边硅片为光刻胶被彻底清洗干净后的照片。
5 结论
文章介绍了一种新的可用于光刻胶清洗的常压射频冷等离子体设备。用该设备进行的工艺实验表明：清洗速率与输入功率几乎成线性正比关系；在氧气流量达到总流量的1%之前，清洗速率随着氧气流量的增加而增加，在1%时达到最大值，再继续增大氧气流量清洗速率开始减小；清洗速率与衬底温度基本呈线性增加的关系。当入射功率为300W，氩气流量为5L/min，氧气流量为25sccm，衬底温度为130℃时，得到对光刻胶的清洗速率为500nm/min。
光刻残留物清洗工艺优化与改进
光刻残留物清洗工艺优化与改进近年来，光刻技术在集成电路制造中起着至关重要的作用。
然而，光刻过程中产生的残留物却成为了产品质量和设备性能的一大难题。
光刻残留物的存在可能引发潜在的缺陷，并且对设备的稳定性和寿命造成不可忽视的影响。
因此，优化和改进光刻残留物清洗工艺成为了当今半导体行业的一个重要课题。
一、问题分析与现状在光刻过程中，由于光罩的使用以及光刻胶与底片的接触，残留物往往会残留在底片表面。
这些残留物主要包括光刻胶、溶剂、金属离子等。
传统的清洗工艺主要采用机械搅拌和化学溶解的方法，然而该方法存在一些问题：一是清洗效果难以确保，底片表面可能仍存在微小的残留物；二是清洗过程繁琐，需要多次循环清洗，耗费时间和资源；三是清洗液的使用量较大，对环境造成一定的污染。
二、工艺优化方向为了解决上述问题，光刻残留物清洗工艺可以从以下几个方面进行优化和改进。
1. 清洗液的选择清洗液的选择直接影响到清洗效果以及对环境的影响。
传统的清洗液通常含有大量的有机溶剂和化学试剂，对环境造成较大的污染。
因此，可以考虑替代传统清洗液，选择环保型的清洗液，如去离子水和纯水等。
这样不仅可以明显降低清洗过程对环境的污染，而且能有效减少残留物的去除难度。
2. 清洗温度的调控清洗温度是影响清洗效果的重要参数。
过高的温度可能导致底片变形或被破坏，而过低的温度则会影响溶解效果。
因此，应根据光刻胶的特性和设备的要求，合理调控清洗温度，确保清洗效果的同时保护底片的完整性。
3. 清洗时间的优化清洗时间是决定清洗效果的关键因素之一。
过长的清洗时间不仅会造成资源的浪费，还可能对底片的表面造成不必要的损伤。
然而，过短的清洗时间则难以彻底去除残留物。
因此，需要通过实验和数据分析得出最佳的清洗时间范围，使清洗过程高效且安全。
4. 清洗设备的改进传统的清洗设备通常采用机械搅拌的方式进行清洗，但其在清洗效果和清洗速度上存在一定的局限性。
改进清洗设备的设计，引入更先进的清洗技术，如超声波清洗、等离子体清洗等，能够提高清洗效果和效率，同时降低对底片的损伤程度。
光刻机对镜片清洁技术的研究与应用
光刻机对镜片清洁技术的研究与应用光刻机是微电子制造中非常重要的设备，广泛应用于芯片制造和其他光学元件的生产过程。
而镜片，作为光刻机的核心部件之一，对光学成像的质量和精度有着重要的影响。
因此，镜片的清洁和维护显得尤为重要。
本文将对光刻机对镜片清洁技术的研究与应用进行探讨。
一、光刻机镜片清洁的重要性光刻机镜片作为光学系统的关键组成部分，其表面的污染物降低了光刻机的成像质量和稳定性。
由于现代半导体工艺对芯片的制造精度要求越来越高，因此对光刻机镜片的清洁要求也越来越严格。
只有确保镜片表面的洁净度，才能够保证芯片的成像质量和生产效率。
二、光刻机镜片清洁技术的发展现状随着光刻机技术的不断发展，镜片清洁技术也取得了一定的进步。
传统的镜片清洁方法主要包括机械清洗、超声波清洗和化学清洗等。
然而，这些方法存在一定的弊端，比如容易造成镜片表面的划伤、清洗效果难以满足高要求等问题。
近年来，一种新型的光刻机镜片清洁技术——离子束清洗技术逐渐得到了广泛的应用。
离子束清洗技术通过利用高能离子束对镜片表面进行轰击，将污染物从表面去除，能够实现高效清洁和高质量的镜片表面处理。
该技术具有清洗效率高、清洗过程无残留等优点，成为了光刻机镜片清洁的重要手段。
三、光刻机镜片清洁技术应用案例下面以一家半导体制造企业为例，介绍光刻机镜片清洁技术在实际应用中的效果。
该企业应用离子束清洗技术对镜片进行清洁，取得了显著的效果提升。
相较于传统的镜片清洗方法，离子束清洗技术不仅提高了清洗效率，还大大降低了表面划伤和残留物的问题。
经过清洗后的镜片，其光刻机的成像质量和生产效率得到了显著提升，使得企业在高精度芯片制造领域取得了竞争优势。
四、光刻机镜片清洁技术的未来发展趋势随着半导体工艺的不断进步，光刻机镜片清洁技术也面临新的挑战和需求。
未来，光刻机镜片清洁技术将朝着更加高效、环保和可靠的方向发展。
首先，随着芯片制造工艺的不断更新，对镜片清洁的要求将越来越高。
28-7nm光掩膜版清洗关键工艺技术
28-7nm光掩膜版清洗关键工艺技术
28-7nm光掩膜版是一种用于半导体制造的光刻工艺中的关键
工具。
在光刻过程中，光掩膜版扮演着将图形精确地转移到光刻胶上的角色。
因此，光掩膜版的清洗工艺至关重要。
清洗光掩膜版的关键工艺技术包括以下几个步骤：
1. 溶剂清洗：首先，使用适当的溶剂来将光掩膜版表面的有机和无机杂质溶解和去除。
常用的溶剂包括酸性和碱性溶剂。
2. 超声清洗：在溶剂清洗后，将光掩膜版置于超声波清洗机中。
超声波能够在液体中产生高频振动，帮助去除微小的污垢和杂质。
3. DI水清洗：在超声清洗后，将光掩膜版再次清洗，使用去
离子（DI）水。
DI水具有极高的纯度，可以去除更多的污垢
和杂质。
4. 干燥：最后，使用氮气或其它干燥方法将光掩膜版彻底干燥，确保表面无水分和残留。
需要注意的是，清洗光掩膜版时需要非常小心，以避免损坏其表面的细微图案。
因此，在清洗过程中应遵循严格的操作规程，并使用专门设计的清洗系统和工具。
此外，经常保持光掩膜版的清洁也是非常重要的。
定期检查和
清洗光掩膜版可以延长其寿命，并确保在光刻过程中获得高质量的图案转移。
全自动光刻版清洗机介绍
全自动光刻版清洗机介绍
宋文超
【期刊名称】《清洗世界》
【年(卷),期】2014(030)002
【摘要】介绍了中国电子科技集团公司第四十五研究所研制的全自动光刻版清洗机的工艺原理和工作过程.该设备自用户投入使用以来,大量的产品证明,采用全自动光刻版清洗机对光刻版进行清洗,光刻版洁净度高,工艺效果理想,工艺参数稳定,自动化程度高,批量处理能力强,可以广泛用于工业生产中.
【总页数】5页(P37-41)
【作者】宋文超
【作者单位】中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京101601
【正文语种】中文
【中图分类】TN405
【相关文献】
1.全自动光刻版清洗机工艺原理与工作过程介绍 [J], 宋文超;刘永进;王刚;张利军;侯为萍
2.全自动单晶圆铝腐蚀清洗机工艺原理与工作过程介绍 [J], 宋文超;陈仲武;姚立新;张利军;王刚
3.基于时序分析的光刻版清洗机运行效率提升方法 [J], 侯为萍;高建利;刘玉倩
4.全自动超声波西林瓶清洗机与超声波三合一胶塞清洗机的应用 [J], 李卫红;桑晓
冬
5.光刻版清洗机中浸泡腔工位设计分析 [J], 赵宏亮; 边晓东; 刘建民; 高津平
因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买。
光刻清洗工艺简介共66页
使用烘箱进行HMDS增粘处理要注意那些问题？
① 预处理完的硅片应在一定的时间内尽快涂胶，以免 表面吸附空气中的水分，降低增粘效果。但同时也要 充分冷却，因硅片的温度对胶厚有很大的影响。 ② 反复预处理反而会降低增粘效果。 ③ HMDS的瓶盖打开后，其寿命有限，一定要尽快用 完。
弊端： •可能导致光刻胶流动，使图形精度减低 •通常会增加将来去胶的难度。
பைடு நூலகம்
（八）检验
显影检查是为了查找光刻胶中成形图形的缺陷。 继续进行刻蚀工艺或离子注入工艺前必须进行 检查以鉴别并除去有缺陷的晶圆。
（三）前烘 :
目的
蒸发掉胶中的有机溶剂成分，使晶圆表面 的胶固化。增加光刻胶 与衬底间的粘附性、光吸收以及抗腐蚀能力；缓和涂胶过程中胶 膜内产生的应力等。这个过程中胶中的溶剂基本被蒸发掉，因而 通常 情况下胶的厚度会变薄（大约减少25%） 方法
可在热板或烘箱中进行。每一种胶都有其特定的前烘温度和时间, 更厚的胶可能需要更长的时间。
（六）显影
显影就是用显影液溶解掉不需要的光刻胶，将掩膜版上的图形转移到光刻胶上。 不同的显影方式有不同的显影过程，通常显影过程为： 显影液喷洒，使显影液覆盖整个硅片表面 → 静置显影 → 冲水清洗 常见的显影问题有显影不足、不完全显影以及过显影三种。
（七）坚膜（硬烘烤）
坚膜就是通过加温烘烤使胶膜更牢固地黏附在晶圆表面，并可 以增加胶层 的抗刻蚀能力，坚膜并不是一道必需的工艺。 好处： 能够改善光刻胶的抗刻蚀、注入能力。改善光刻胶与晶圆表面的附性，有 利于后续湿法腐蚀工艺。改善光刻胶中存在的针孔。
涂胶的质量要求是： （1）膜厚符合设计的要求，同时膜厚要均匀，胶面上看 不到干涉花纹； （2）胶层内无点缺陷（如针孔等）； （3）涂层表面无尘埃和碎屑等颗粒。
光刻清洗工艺简介_图文
4、正胶显影液
化学品中文名称：四甲基氢氧化铵 化学品英文名称：
Tetramethylammonium hydroxide solution
成分/组成信息：纯品
有害物成分
浓度
光刻胶组成 （1）感光剂，感光剂是光刻胶的核心部分，曝光时间、光
源所发射光线的强度都根据感光剂的特性选择决定的； （2）增感剂，感光剂的感光速度都较慢，生产上效率太低，
因此向光刻胶中添加了提高感光速度的增感剂； （3）聚合树脂，聚合树脂用来将其它材料聚合在一起的粘
合剂，光刻胶的粘附性、胶膜厚度等都是树脂给的； （4）溶剂，感光剂和增感剂都是固态物质，为了方便均匀
•光刻机的三个主要性能指标: 分辨率：是可以曝光出来的最小特征尺寸。通常指能分辩的并能保持一定
尺寸容差的最小特征尺寸。 对准和套刻精度:是描述光刻机加工图形重复性能的一个指标，是层间套
刻精度的度量，主要取决于掩模版和硅片的支撑平台图形对准和移动 控制精度性能。 产率:指每小时可加工的硅片数，是判断光刻系统性能的一个重要的指标， 直接决定了集成电路芯片的制造成本。 （1）工作原理：在计算机的控制下，利用紫外光束对光刻胶进行曝光， 受紫外光束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化（可在一定的 溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形）的过 程。 （2）主要技术参数 光束均匀性、曝光时间、对准精度、分辨率、光束输出强度 （3）配套仪器：光强检测仪等
4、显影机
（1）工作原理：不同的显影方式（喷淋式、浸没式、水柱式）有 不同的显影过程，以喷涂式为例，它的显影过程为：显影液喷洒， 使显影液覆盖整个硅片表面 → 静置显影 → 冲水清洗
（2）主要技术参数 （喷涂显影）
显影温度、显影时间、显影液剂量、
PI光刻胶光刻工艺研究
PI光刻胶光刻工艺研究PI光刻胶是一种高性能、高精度的光刻胶，被广泛应用于微电子、光电子、MEMS等领域。
本文针对PI光刻胶的光刻工艺进行研究，包括PI光刻胶的制备、涂覆、预烘、曝光、显影、清洗等过程。
一、PI光刻胶的制备PI光刻胶的制备一般采用溶解法或乳化法。
溶解法是将PI粉末在氮气气氛下溶于甲醇或丙酮等有机溶剂中，加入一定的表面活性剂，并在搅拌和加热条件下使其溶解成为PI溶液。
乳化法是将PI颗粒悬浮于水相中，经过乳化剂的加入后与有机相反复振荡，使PI成为均匀的乳状体，最终得到PI乳液。
二、PI光刻胶的涂覆PI光刻胶的涂覆一般采用旋涂法或滚涂法。
旋涂法是将PI溶液倒在衬底上，再在高速旋转的衬底表面形成涂层。
滚涂法则是采用涂布器将PI溶液均匀地涂布在衬底上，再利用滚筒将涂层翻滚压平。
三、PI光刻胶的预烘PI光刻胶的预烘是将其涂覆在衬底上后，在特定温度下进行一段时间的烘干，使PI溶液中的溶剂挥发掉，PI形成一定的网状结构并增强其附着性。
四、PI光刻胶的曝光PI光刻胶的曝光是利用曝光机将光刻面上的芯片电路图案投射到PI涂层上，使其形成对应的图案。
曝光前需要对PI涂层进行对接、压实等处理，同时选择合适的曝光能量和时间。
五、PI光刻胶的显影PI光刻胶的显影是将曝光后形成的芯片电路图案通过浸泡或喷淋等方式消除未曝光区域的PI胶层，从而保留所需的芯片电路图案。
六、PI光刻胶的清洗PI光刻胶的清洗是为了去除显影后残留在芯片电路上的PI胶屑，保证芯片电路的质量。
清洗方法一般包括机械切割、化学刻蚀、超声波清洗等。
其中机械切割和超声波清洗对芯片损伤较小，化学刻蚀对芯片损伤较大，需要谨慎操作。
综上所述，PI光刻胶的制备、涂覆、预烘、曝光、显影、清洗等过程都对芯片电路图案的质量和精度有着较大影响。
因此需要科学合理地设计PI光刻胶的光刻工艺参数，增强PI光刻胶的附着力、耐蚀性和精度。
纳米压印光刻工艺及其制造设备
纳米压印光刻工艺及其制造设备纳米压印光刻工艺是一种用于制作微纳米结构的先进工艺，其制造设备具有非常高的精度和复杂的工作原理。
本文将详细探讨纳米压印光刻工艺及其制造设备的原理、应用和发展趋势。
1. 纳米压印光刻工艺的原理纳米压印光刻工艺是一种通过模板将纳米级结构迅速转移到衬底表面的工艺。
其主要原理是利用模板与衬底间的力学变形，在高温和高压的条件下将模板上的图案转移到衬底表面上。
这一工艺通过不断压印、退印和清洗的循环过程，实现了高精度、高效率的微纳米结构制作。
2. 纳米压印光刻工艺的制造设备纳米压印光刻工艺的制造设备主要包括压印机、模板、衬底和控制系统。
压印机通常包括压印头、压印台和加热系统，能够提供足够的力和温度以确保模板与衬底之间的完全接触，并实现最佳的压印效果。
模板则是影响最终结构质量的关键因素，其制备需要高精度的光刻和电子束刻蚀技术。
衬底的选择与应用也至关重要，要根据具体的微纳米结构需求来进行合理选择。
3. 纳米压印光刻工艺的应用纳米压印光刻工艺在半导体、光伏、生物医学和纳米电子等领域有着广泛的应用。
在半导体行业中，纳米压印光刻工艺可以用于制作纳米级线路、光子晶体和纳米光栅等；在光伏领域，可用于制备太阳能电池表面的抗反射结构；在生物医学领域，可用于制备微流控芯片和细胞培养基板等。
这些应用都离不开纳米压印光刻工艺的支持，其高精度和高效率为微纳米结构的制备提供了重要保障。
4. 纳米压印光刻工艺的发展趋势随着科学技术的不断进步，纳米压印光刻工艺也在不断发展。
未来，人们对其精度、速度和多样化需求将会不断提高，因此其制造设备也需要不断迭代更新。
随着新材料和新技术的引入，纳米压印光刻工艺的应用范围将会不断扩大，为人类社会的发展带来更多可能性。
5. 个人观点和总结纳米压印光刻工艺及其制造设备是一种高精度、高效率的微纳米结构制备工艺，其在科学研究和产业应用中有着重要地位。
我对其发展前景充满信心，相信在未来的发展中，纳米压印光刻工艺将会发挥出更加重要的作用，为人类社会的进步做出更大的贡献。
半导体工艺中清洗工艺的流程及设备
半导体工艺中清洗工艺的流程及设备下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
文档下载后可定制随意修改，请根据实际需要进行相应的调整和使用，谢谢!并且，本店铺为大家提供各种各样类型的实用资料，如教育随笔、日记赏析、句子摘抄、古诗大全、经典美文、话题作文、工作总结、词语解析、文案摘录、其他资料等等，如想了解不同资料格式和写法，敬请关注!Download tips: This document is carefully compiled by theeditor. I hope that after you download them,they can help yousolve practical problems. The document can be customized andmodified after downloading,please adjust and use it according toactual needs, thank you!In addition, our shop provides you with various types ofpractical materials,such as educational essays, diaryappreciation,sentence excerpts,ancient poems,classic articles,topic composition,work summary,word parsing,copy excerpts,other materials and so on,want to know different data formats andwriting methods,please pay attention!半导体工艺清洗流程及设备。
一、清洗前预处理。
1. 去胶，去除光刻胶残留，使用去胶剂、超声波和喷淋工艺。
光刻清洗工艺介绍
O N2
H3C
H3C
H3C
O S O R
基本的树脂形态
感光剂（PAC）
•
责任、诚信、努力、创新
武汉华灿光电有限公司
光刻胶的分类
• • 正型光阻：光阻本身原來難溶於顯影液，但照光之後會解離成一種易溶於顯影液的结构。 负型光阻：光阻照光之後會產生聚合鍵結(Cross linking)，使照光光阻結構加強而不溶 於顯影液。
-Si-O-Si-键结，并使晶圆表面由亲水性（Si-OH)变成疏水性（Si-CH3)，含CH3的一 端（有机端）与光阻剂中C、H、O等分子团产生较强的作用力，进而促进光阻剂与 晶 圆表面的附着力。
•
责任、诚信、努力、创新
武汉华灿光电有限公司
匀胶(PR Coating)
作用：为了在Wafer表面得到厚度均匀的光阻薄膜。光阻通过滴管被滴在高速旋转的
•
责任、诚信、努力、创新
武汉华灿光电有限公司
曝光(Exposure)
• 通过光照射光阻，使涂布在Wafer表面的光阻感光，同时将光罩上的图形传递到Wafer上 的过程。
曝光机
•
曝光系统
责任、诚信、努力、创新
武汉华灿光电有限公司
曝光光源(Explosure Source)
曝光主要工艺条件： 曝光量(mj/cm2) 、曝光强度(mW/cm2) 、曝光时间(sec) 曝光量(mj/cm2)＝曝光强度(mW/cm2)×曝光时间(sec)
TMAH (TetraMethylAmmoniumHydroxide 2.38w.t.%)
N+ OH H3C CH3 CH3
CH3
-
•
责任、诚信、努力、创新
光刻清洗工艺简介
涂胶的质量要求是： （1）膜厚符合设计的要求，同时膜厚要均匀，胶面上看 不到干涉花纹； （2）胶层内无点缺陷（如针孔等）； （3）涂层表面无尘埃和碎屑等颗粒。 膜厚的大小可由下式决定：
T KP2 / S 1/2
式中，T为膜厚；P为光刻胶中固体的百分比含量；S为涂 布机的转速；K为常数。
影响胶厚的因素有：
滴胶时常出现问题：
涂胶的典型过程为： 接片对中→稳定转速→滴胶→慢速匀胶→快速匀胶→硅片 底部清洗→硅片顶部去边→快速甩干 为什么要去边 去边分为两步，为底部去边和顶部去边。由于快速甩胶 时，整个涂胶腔体内弥漫着溶剂和光刻胶的微粒，一部分 光刻胶微粒会黏附在硅片的底部，在随后的工艺过程中会 对其它设备造成沾污，所以利用位于硅片底部的一个喷嘴， 对硅片底部进行清洗。在快速甩胶结束后，整个硅片上分 布的是均匀厚度的光刻胶，但在硅片表面的最外缘一圈， 由于气流的影响，胶层特别厚，因在随后的工艺（如腐蚀 或注入等）处理中，为了传输或固定，一些设备中的某些 机构会接触到硅片表面的边缘，摩擦会使边缘的胶脱落， 对设备造成颗粒沾污。
① 硅片的温度 ② 胶的温度 ③ 环境温度和湿度 ④ 排风量 ⑤ 涂胶程序（预匀的转速和时间，快速匀胶的速度， 加速度等） ⑥ 胶本身的黏度 ⑦ 胶量 前烘的温度、时间及方式
（三）前烘 :
目的 蒸发掉胶中的有机溶剂成分，使晶圆表面 的胶固化。增加光刻 胶与衬底间的粘附性、光吸收以及抗腐蚀能力；缓和涂胶过程中 胶膜内产生的应力等。这个过程中胶中的溶剂基本被蒸发掉，因 而通常 情况下胶的厚度会变薄（大约减少25%） 方法 可在热板或烘箱中进行。每一种胶都有其特定的前烘温度和时间, 更厚的胶可能需要更长的时间。
4、显影机
（1）工作原理：不同的显影方式（喷淋式、浸没式、水柱式）有 不同的显影过程，以喷涂式为例，它的显影过程为：显影液喷洒， 使显影液覆盖整个硅片表面 → 静臵显影 → 冲水清洗 （2）主要技术参数 （喷涂显影）
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
电 子 工 业 专 用 ｉ 殳菩
清洗技术与设备
光刻版 清 洗 工 艺及 设备研 究
刘 永进 ， 刘 玉倩 ， 宋文超
（ 中 国 电 子 科 技 集 团公 司 第 四十 五 研 究所 ， 北京 １ ０ １ ６ ０ １ ）
摘 要 ： 光 刻 版 的 洁净 程度 直接 影 响到 光 刻 的 效果 ，定期 对 光 刻 版进 行 清 洗是 保证 光 刻版 洁净
须 定 期对 光 刻 版 进 行 清 洗 ，而 清 洗 的 效 果 与清 洗 工 艺 以及 各 清 洗 工 艺 在 设 备 上 的 合 理配 置有 着 密
切 的联 系 。
特 别 难 去 除 的光 刻胶 或 由于接 触 过 高温 等环 境 导 致 已经 变 性 的 光刻 胶 非 常有 效 ，并 日 ． 可 以得 到 很
电 子 工 业 毫 用 设 备
－
的光 刻 版 需 要 经 常 清洗 。 为 了保 证 光 刻 版 洁 净 ， 必
的 ，它 采 用 浓硫 酸和 ３ ０ ％过 氧化 氢 的混 合物 （ 在
＞ １ ０ ０℃ 时 ， 混 合 比通 常 为 ２ ： １ ～４ ： １ ） ， 之 后 是 去 离 子水 （ ＤＩ ） 冲洗， 称为 Ｐ ｉ ｒ ａ ｎ ｈ ａ刻蚀 。这 种 ＿ 方法 对 于
率（ Ｐ Ｒ Ｅ ） 不需要达到 １ ０ ０ ％， 但 对 于 光 刻 版 而 言 却
并非如此， 其 原 因是 对 于 产 品 良率 而 言 ， 光 刻 版 表 面颗 粒 的影 响更 大 ，单 晶圆缺 陷只 影 响一 个缺 陷 ， 而 一个 光刻 版 却 影响 到每 一个 芯 片 ｌ ２ 。 ｌ 由于 零 成 像 缺 陷是 可 以实 现 的 ，工 厂 内生 产
（ Ｔ ｈ ｅ ４ ５ Ｒ ｅ ｓ ｅ ａ ｒ ｃ ｈ Ｉ ｎ ｓ ｔ ｉ ｔ ｕ ｔ ｅ ｏ ｆ Ｃ Ｅ Ｔ Ｃ， Ｂ ｅ ｉ ｊ ｉ ｎ ｇ １ ０ １ ６ ０ １ ， Ｃ ｈ ｉ ｎ ａ ）
Ａｂｓ ｔ ｒ ａ ｃ ｔ ：Ｗ ｈ ｅ ｔ ｈ ｅ ｒ ｔ ｈ ｅ ｐ ｈｏ ｔ ｏ ｍａ ｓ ｋ ｉ ｓ ｃ ｌ ｅ ａ ｎ ａ ｆ ｆ ｅ ｃ ｔ ｓ ｔ ｈ ｅ ｑ ｕａ ｌ ｉ ｔ ｙ ｏｆ ｅ ｘ ｐ ｏｓ ｕ ｒ ｅ， Ｓ Ｏ ｉ ｔ ｉ ｓ ｎ ｅ ｅ ｄｅ ｄ ｔ ｏ ｃ ｌ ｅ ａ ｎ ｐ ｈ ｏ ｔ ｏ ｍａ ｓ ｋｓ ｒ ｅ ｇ ｕ ｌ ａ ｒ ｌ ｙ．Ｔｈ ｉ ｓ ａ ｒ ｔ ｉ ｃ ｌ ｅ ｉ ｎ ｔ ｒ ｏｄ ｕ ｃ ｅ ｄ ｓ ｅ ｖ ｅ ｒ ａ ｌ ｃ ｌ ｅ ａ ｎｉ ｎｇ ｐｒ ｏ ｃ ｅ ｓ ｓ ｅ ｓ ｂ ａ ｓ ｅ ｄ ｏ ｎ ｃ ｈａ ｒ ａ ｃ ｔ ｅ ｒ ｉ ｓ ｔ ｉ ｃ ｓ ｏ ｆ ｃ ｏ ｎ ｔ ａ ｍｉ ｎａ ｔ ｉ ｏｎ， ａ ｎｄ ｂ ｒ ｏ ｕ ｇ ｈ ｔ ｏ ｕ ｔ ｔ ｈ ｅ ｃ ｏ ｎ ｓ ｔ ｒ ｕ ｃ ｔ ｉ ｏ ｎｓ ｏｆ ｓ ｅ ｖ ｅ ｒ ａ ｌ ｅ ｑ ｕｉ ｐ ｍｅ ｎ ｔ ｓ ．Ｉ ｎ ｔ ｈｅ ｅ ｎｄ ｔ ｈ ｅ ｅ ｆ ｆ ｅ ｃ ｔ ｗａ ｓ
Ｓ ｔ ｕ ｄ ｙ ｏ ｆ Ｐｈ ｏ ｔ ｏ ｍａ ｓ ｋ Ｃｌ ｅ ａ ｎ ｉ ｎ ｇ Ｐ ｒ ｏ ｃ ｅ ｓ ｓ ａ ｎ ｄ Ｅｑ ｕ ｉ ｐ ｍｅ ｎ ｔ ｓ
Ｌ Ｉ Ｕ Ｙ ｏ ｎ Ｎｉ ｎ， Ｌ Ｉ Ｕ Ｙ ｕ ｑ ｉ ａ ｎ ， Ｓ Ｏ ＮＧ Ｗｅ ｎ ｅ ｈ ａ ｏ
繁 的特 点 。大 多生 产厂 家 为 了节省 成 本 ， 主 要 采用
接触 式 曝 光 。 接 触 式 曝光 虽然 可 以利用 成 本低 廉 的
设备 达 到较 高 的曝 光精 度 ， 但 是 由于 甩胶 式 涂 胶 方
收 稿 日期 ： ２ ０ １ ３ — ０ ８ ． ０ ８
清洗技术 与设备
ｖ ａ ｌ ｉ ｄ ａ ｔ ｅ ｄ ｏ ｎ ａ ｎ ｅ ｑ ｕ ｉ ｐ ｍｅ ｎ ｔ ．
Ｋｅ ｙ ｗｏｒ ｄｓ ：Ｐ ｈｏ ｔ ｏ ｍａ ｓ ｋ：Ｃｌ ｅ ａ ｎ ｉ ｎ ｇ：Ｐ ｒ ｏ ｃ ｅ ｓ ｓ ；Ｅｑ ｕｉ ｐｍｅ ｎｔ
光 刻 技 术 是 大 规 模 集 成 电路 制 造 技 术 和 微 光 学、 微 机 械 技 术 的先 导 和基 础 ， 他 决 定 了 集 成 电路 （ Ｉ Ｃ ） 的集 成度 Ⅲ。光刻 版 在使 用 过程 中不 可避 免 的 会粘上灰尘 、 光 刻胶 等污 染物 ， 这 些 污 染物 的 存 在 直接 影 响 到光 刻 的 效果 。近 些年 ， 国家 将 Ｌ Ｅ Ｄ 照 明 列入 国家 的重 点发展 产业 ， Ｌ Ｅ Ｄ行 业迅 猛 发展 。 Ｌ Ｅ Ｄ 制 造 过程 中 ， 具 有 光 刻 版 的使 用 量 多 ， 使用 频
法 会造 成 晶 圆边 缘胶 层 过 厚 ， 在 接触 曝 光 过程 中
光 刻版 极 易接 触 到 晶 圆边 缘 的光 刻 胶 ， 导 致 光刻 胶 粘 附 到光 刻版 表 面 （ 见 图 １所示 ） 。 对于 Ｉ Ｃ行 业 ， 因
为线条更细， 精度要求更高 ， 所 以光 刻 版 的洁 净 程 度 更加 至关 重 要 。对 于 硅 片 清洗 而 言 ， 其 颗粒 移 除
的 必要 手段 。 根 据 光刻 版 污 染物 的特 点介 绍 了 多种 光 刻版 清 洗 工艺 ， 并介 绍 了相 关工 艺设 备 的种 类及 组成 ， 最后 通过 试 验 考 查 了工 艺设备 的使 用 效果 。 关键 词 ： 光 刻版 ； 清洗； 工艺 ； 设 备 中 图分 类号 ： Ｔ Ｎ３ ０ ５ ． ９ ４ 文献标 识 码 ： Ｂ 文章 编号 ： １ ０ ０ ４ — ４ ５ ０ ７ （ ２ ０ １ ３ ） １ １ — ０ ０ １ ９ — ０ ４