七星华创单晶炉介绍

北京七星华创电子股份有限公司坐落于中关村高科技产业开发区

“电子城科技园”，是一家以微电子技术为核心，以电子专用设备与新型电子元器件为主营业务，集研发、生产、销售、服务及对外投资于一体的大型综合性高科技公司。

七星华创拥有近五十年的真空设备和微电子设备研发制造经验。

七星华创是中国最大的电子专用设备生产基地和尖端的电子元器件制造基地，与美国、法国、日本、韩国等多家国际知名公司有着长期的合作交流，并以优质的产品和优良的服务赢得了国内外客户的赞许和信赖。

北京七星华创电子股份有限公司

地址：北京市朝阳区酒仙桥东路1号

通讯地址：北京741信箱5分箱

邮编：100016

电话：8610-64348388，84572692，64361831-8561、8565、8258

传真：8610-64376543

电子邮箱：gyl@

公司网址：

HG6001 HG9001

单晶炉

HG9001单晶炉主要技术指标：

电源： 3相380V±10%,50HZ

变压器容量： 230KVA

加热器最大加热功率： 150KVA

加热器最高加热电压： 60V

最高加热温度： 1500℃

冷炉极限真空度： 3Pa

晶体直径： φ6"/φ8"

熔料量： 90Kg

主炉室尺寸： φ850×1220mm 翻板阀通径： φ260mm

拉伸腔尺寸： φ260×2270mm

籽晶拉速范围： 0～8.5mm/min 籽晶快速范围：≥400mm/min 籽晶转速范围： 0～50R/min 坩埚升速范围： 0～2mm/min

坩埚快速范围：≥100mm/min

坩埚转速范围： 0～20R/min

籽晶提升有效行程： 2900mm 坩埚升降有效行程： 400mm 主机占地面积： 2500mmX1500mm

整机占地面积： 5500mmX3000mm 主机最大高度： 6300mm

HG6001单晶炉主要技术指标：

电源： 3相380V±10%,50HZ 籽晶拉速范围： 0～8.5mm/min 加热器最大加热功率： 150KVA 籽晶快速：≥400mm/min 加热器最高加热电压： 60V 籽晶转速范围： 0～50R/min 最高加热温度： 1500℃ 坩埚升速范围： 0～2mm/min 冷炉极限真空度： 3Pa 坩埚快速：≥100mm/min 晶体直径： φ6"/φ8" 坩埚转速范围： 0～20R/min 熔料量： 60Kg 籽晶提升有效行程： 2600mm

主炉室尺寸： φ800×1120mm 坩埚升降有效行程： 400mm

阀通径： φ260mm 主机占地面积： 2500mmX1500mm

副炉室尺寸： φ260×2270mm 主机最大高度： 6200mm

产品特点:

采用四川英杰直流电源

•5柱变压器，空载电流小，效率比3柱高10%--15%。 •双反芯6脉波比桥式整流功耗小。

•初级调压功耗小、谐波也小。

•水冷循环噪音小，环境温度低。

采用浙大控制器

•自动化程度高：

除引晶、转肩，其他十多个工艺步全部自动。 •PLC控制：

抗干扰强，稳定可靠。

•触膜屏控制：

直观、信息量大、储存历史数据

采用浙大提拉头

•结构紧凑。

•中心软轴，不偏心。

•动平衡处理。

•25转内基本无扰动。

•共振点摆动小。

坩埚驱动

¾坩埚轴为两段组装空心水冷结构

¾坩埚轴的旋转密封采用磁流体密封，升降密封采用焊接波纹管密封 ¾ 坩埚驱动装置包括坩埚的升降驱动、坩埚的快速升降驱动、坩埚的旋转驱动。

¾坩埚的升降结构采用滚珠丝杠及双直线导轨结构，系统刚性好，运动精度高。

¾驱动电机采用直流伺服电机

其他方面

•焊接要求：打坡口焊接。X光探伤、煤油渗漏检测、正负压检漏。 •去应力要求：振动实效或退火。

•材料要求：每批材料化验检测。

•质量流量控制仪控制氩气流量。

•电动调节阀调节炉内压力。

•进口软轴钢丝经久耐用。

•大型企业。今年上市上交所。

•不存在转产问题，保证提供永久、良好的服务。

•做精品、做第一，与半导体单晶厂商共同进步。