关于ITO靶材归类资料说明
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关于ITO靶材归类资料说明
按照附件要求说明如下：
1、ITO靶材化学成分为In2O3与SnO2的混合物，其重量比为90：10；
2、靶材在镀膜过程中是以氧化铟和氧化锡的混合物溅射到玻璃上。
3、ITO靶材中的氧化锡是在制粉共沉淀过程中加入锡盐，然后经过高温煅烧才形成氧化铟和氧化锡的混合物。氧化锡的作用是在氧化铟中必须加入氧化锡后，经处理才能导电，否则，不导电。