JJF 1050-1996 工作用热传导真空计校准规范

图 ２ 静 态膨胀法真空标准装置示 意图
１ －高真空获得装置 ；２ ， ６ ， ８， １ １ ，１ ２ －阀门 ； ３ 一校准室 ；４ 一 电离真空计 ７ 一定量体积 ；９ 一压 力计 ５ 一被校真 空计； 帕一气源室 ；１ ３ 一 氮气源
９ ． ２ 采用动态 相对法真空 标准装置 时 （ 见图 ３ ） ，应满足 下列要求 。
Ｅ 一直流电源； Ｇ 一规管； Ｒ 一可变电阻； Ｋ 一开关； Ａ Ｏ Ｂ 一加热丝； Ｃ Ｏ Ｉ 〕 一热偶丝；
０ 一被测压力
Ｒ Ｓ 一电位器； Ａ 一电流表； Ｅ 一直流电源； Ｋ 一开关； Ｄ 一被测压力
二
技
术
要
求
压力 示值相对误差 ：８不超过 士 ５ ０ ％．
三
１ ９ ９ ６ 一０ １ 一１ １ 发布
１ ９ ９ ６ 一１ ０ 一０ １ 实施
国 家 技 术 监 督 局 发布
Ｊ ＪＦ １ ０５０ － １ ９ ９６
工作用热百度文库导真空计
产 。． 。一 。． 口． ‘ 卜 ． Ｏ． Ｏ． ０． ‘ ， ． 。‘ 口． 口． 口． 户‘
校 准 规 范
Ｃ ａ ｌ ｉ ｂ ｒ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ Ｓ ｐ ｅ ｃ ｉ ｆ ｉ ｃ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ ｏ ｆ Ｗｏ ｒ ｋ ｉ ｎ ｇ
图 ３ 相对法真 空标准装置
１ －高真 空获得装置 ；２ ， ３ － 阀门；４ 一 电离真空计 ； ５ 一校准室 ；６ 一被 校真空计 ；７ 一标准真空计 ； ８ 一微调 阀门 ；９ － 氮气源
９ ． ２ ． １ 标准真空 计的示值相 对误差不大 于 １ ０ ％，其 测量范 围应 能覆盖 被校计 的待校范 围 （ 可以是 １台或几 台组成 的标 准真空计组 ） 。 ９． ２． ２ 校 准室 的本底 压力不应 大于被校计 待校 压力下 限的 ２ ％ａ
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本规 范主 要起草 人 ： 林 国平 （ 国营南京 电子 管厂 ） 周淑 荣 （ 吉 林省计 量测 试技 术研究 所 ） 参加 起草 人 ： 牟 娟 （ 大 连市计 量所 ）
吴 跃 （ 安徽 省真 空计量 站 ）
五 校 准结果处理 和校 准时间间隔 ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． （ ３ ）
附录 校准证书背面格式 ・ ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． （ ５ ）
９． ２． ３
９． ２． ４
校 准室的压力 在校准范 围内应连续 可调 ，在 １ ｍｉ ｎ内压力稳 定度不超过 士 ２ ％ ／ 校 准室的结构应 符合下述要 求。 。 ） 校准 室的总容积 应大于规管 和与它连接 的管道的总容积 的 ２ ０倍 。
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ｂ ）校准室 的形状 为球形体或高度与 内径之 比为 １ －３ 的 圆柱体 。 ｃ ） 标 准规管和 被校规管 的安装 ：对球状 校准 室应在 球赤道 位置 ，对 圆柱体 校准室 应在 １ ／ ２ 高度 的同一水平面位置 。 ｄ ）为获得动平衡压力 ， 所 注人校 准室的气体 最少 与校 准室 内壁碰撞 一次后 方能进 人规管 所在位置 。 ． ｅ ） 校 准室上连接被 校规管过 渡管道 的流 导值 ，不应 小于 被校规 管本 身支管 流导值 的１ ０ 倍。 （ 三） 环境条件 １ ０ 环境 温度为 （ ２ ３士５ ） Ｉ ，校准过程 中室 温变化 不超过 士１℃。 １ １ 相对 湿度 不大于 ８ ０ １ ２ 标准装 置附近不应有强 电场 ，强磁场和 明显 的气 流。 （ 四）校准气体 １ ３ 纯度不低 于 ９ ９ ． ９ ％的氮 气。 四 校 准 项 目和 校 准 程 序
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工作用热传导真空计校准规范
本校 准规范适用于工 作用热传导真空计 （ 以下简称被校真 空计） 的校准 。 考虑 到实际作用 ，施行本 规范时 ，同时废 止 Ｊ Ｊ Ｇ ５ ８ ７ －１ ９ ８ ９和 Ｊ Ｊ Ｇ ７ ３ ７ －１ ９ ９ １ 两检
（ 三） （ 四） 环境条件 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ， ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ …… （ ３） 校准气体 ・ ・ ， ， ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ， ， ・ － ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ， ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 。 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 一 （ ３）
（ 一） 校准用设备・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ‘ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ， ・ ， ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ …… （ １ ） （ 二） 校准用标准装置・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ …… （ ２ ）
Ｒ Ｉ Ｃ、 － － Ｊ Ｄ
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佃）热偶 真空计 工作 原理 图
（ ｂ ）电阻真空计 工作原理 图
Ｒ Ｎ ， Ｉ Ｗ Ｒ ，
图 １ 被校 真空计工 作原理图
－Ａ －毫安 表；ｍ Ｖ－毫伏表 ； Ｇ －被校计规管 ；Ｒ Ｒｚ ，凡 一电阻 ；
校
准
条
件
（ 一） 校准用设备 ２ 数字 电压表 或 电位差 计 （ ０ － － ２ ０ ｍ Ｖ， ０ ． １ ％） １台。 ３ 直流 电流表 （ ０ －７ ５ 一１ ５ ０ ｍ Ａ， ０ ． ５级）１只。 ４ 交流电压表 （ ０ － － ２ ５ ０ Ｖ， １ ． ０ 级 ）１ 只。 ５ 交流稳压 电源 （ １ ｋ Ｖ Ａ稳定度 士 １ ％） １ 台。 ６ 计 时器 （ 最小 分度 １ ｓ ） １只。
中 华 人 民共 和 国 国家 计量 技术 规范
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工作用热传导真空计校准规范
Ｃ ａ ｌ ｉ ｂ ｒ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ Ｓ ｐ ｅ ｃ ｉ ｆ ｉ ｃ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ ｏ ｆ Ｗｏ ｒ ｋ ｉ ｎ ｇ Ｔ ｈ ｅ ｒ ｍａ ｌ Ｃ ｏ ｎ ｄ ｕ ｃ ｔ ｉ ｖ ｉ ｔ ｙ Ｖ ａ ｃ ｕ ｕ ｍ Ｇ ａ ｕ ｇ ｅ
Ｊ ， Ｉ Ｆ １ ０５ ０－ １ ９９ ６
７ 温度计 （ ０ 一＋ ５ ０℃ 、分度值 ０ ． ５℃ ）１ 只。 ８ 湿度 计 （ 侧童滩 确度 士１ ０ ％） １ 只。 （ 二） 校准用标 准装置 ９ 真空标 准装置 （ 总不确定度不 大于 １ ５ ％） １ 套。 ９ ． １ 采用静 态膨胀法真 空标准 装置 时 （ 见图２ ） ，应 能满足校 准室静 态压 力保持 １ ｍ ｉ ｎ 后 ，不大 于被校压力下 限值 的 １ ％０
二 技术要求 ・ ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． （ １ ） 三 校准条件 ・ ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ・ 一 （ １ ）
定规程 。
一
概
述
被校真空计是 根据气体分子 热传导性能 与压 力有关的原理制 成的真空测量仪器 ，常 用 的种类有 电阻真 空计 和热偶真 空计 ，均 由规管 和电路组成 。（ 见图 １ ）
Ａ｝ Ａ ｝ Ｉ Ｂ ｐ Ｖ ｝ ｀ ／ Ｇ
四 校准项目 和校准程序 ・ ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． （ ３ ）
１ ４ 校准前按产 品技术条件 的规定 对被校真空计 电路 的电参数进行 调试。 巧 将被校真 空计 接至真空标 准装 置上 ，按获得 真空 的操作程 序对 真空标 准装置进行抽 气 ，使它符合 ９ ． １ ， ９ ． ２ ． ２ ， ９ ． ２ ． ３的要求。 １ ６ 压力示值校准 １ ６ ． １ 按产品说 明书的规定对被校真 空计进行零点 、满度或加热 电流校准 ，对热偶真空 计要记 录规管 的加热 电流示 值 。 １ ６ ． ２ 压 力校准点应 在被校量程 内均 匀分 布选取 。线性刻度 的被校真 空计 ，每个数量级 至少有 ３个校准点 。对 数刻 度的被校 真空计不 得少 于 １ ０ 个校 准点 ，在每个 数量级 至少 有２ 个校 准点 。 １ ６ ． ３ 压力 由低至高 的顺 序进行 校 准 ，在每 个 校准 点都必 须待 压力稳 定后 重 复读数 ３ 次 ，取其平 均值 ，分别得 到压力标准值和被 校值 。
本技术规范经国家技术监督局于 １ ９ ％ 年０ １ 月１ １日批准，并自１ ９ ９ ６
年１ ０月 ０ １日 起 施行 。
归 口单位 ： 吉林 省技术 监督 局 起 草 单位 ： 国营 南京 电子管 厂 吉林 省计量 测试 技术 研究 所
本 规范 技术 条文 由起 草单位 负责 解释
Ｊ Ｊ Ｆ １ ０ ５ ０ －１ ９ ９ ６
代替 ５ ８ ７ －１ ９ ８ ９
‘ ７３ ７－ １ ９９１
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Ｔ ｈ ｅ ｒ ｍａ ｌ Ｃ ｏ ｎ ｄ ｕ ｃ ｔ ｉ ｖ ｉ ｔ ｙ Ｖａ ｃ ｕ ｕ ｍ Ｇａ ｕ ｇ ｅ
Ｊ Ｊ Ｆ １ ０５０ － １９ ９６
目
一
录
概述 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 。 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ， ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ …… （ １ ）