多晶硅制作工艺流程

多晶硅制作工艺流程

多晶硅的制备工艺主要包括多晶硅原料的制备、氯化还原法和硅热法

制备多晶硅两种主要工艺流程。

多晶硅制备工艺的第一步是原料的制备。常用的多晶硅原料有硅矿石、金属硅等。硅矿石是一种含有高纯度二氧化硅的矿石，通过富集和提纯可

以制备出多晶硅。金属硅是通过化学还原法将二氧化硅直接还原得到的。

第二步是氯化还原法制备多晶硅。这种方法利用三氯化硅（SiCl3）

作为中间产物，由氢气还原得到多晶硅。具体流程如下：

（1）将原料硅矿石破碎、研磨成一定粒度的颗粒；

（2）将硅矿石与氢气在矿炉内进行反应生成氯化硅；

（3）将氯化硅与氢气在还原炉内进行反应，得到多晶硅和氯化氢。

氯化还原法制备多晶硅的优点是工艺相对简单，生产周期短，但由于

使用氯化氢等有毒气体，对环境污染较严重。

第三步是硅热法制备多晶硅。这种方法用纯度较高的二氧化硅与金属

硅在高温下进行反应，得到多晶硅。具体流程如下：

（1）将二氧化硅和金属硅混合均匀；

（2）将混合物放入反应炉内，在高温下进行反应；

（3）将反应后的产物进行冷却处理，得到多晶硅。

硅热法制备多晶硅的优点是生产过程中无需使用有毒气体，对环境污

染相对较少。但工艺相对复杂，生产周期较长。

以上是多晶硅制备的两种主要工艺流程。在实际生产中，根据企业的需求，可以选择其中一种或两种工艺进行制备。此外，为了提高多晶硅的纯度和晶体结构，还可以通过后续的熔融、浮选、凝固等工艺步骤进行进一步的提纯和改善晶体质量。