PE蝶阀与挡板阀的快速拆装

蝶阀与挡板阀的拆装

真空管路

真空泵

图一PE主机台

1.炉管降温

在工控机操作界面中，将炉管温度由原来的450°设置为200°。

2.真空泵的吹扫

2.1抽真空；将反应压力设为0，关掉N2输入，打开预抽，当压力小于500时，关掉预抽，打开主抽，直到管内为真空状态（压力小于40mtorr）；

2.2设置N2输入为8000，反应压力为1700mtorr；

2.3将真空泵的N2稀释阀调到最大约84.4pam3/S；吹扫至少进行20min。

图二 真空泵

3.关真空泵

3.1点操作面板的stop ，选择关闭真空泵（并非延时关闭）； 3.2拉下真空泵的黑色电源开关，并且将真空泵的冷却水关掉，保持 真空泵的N2为打开状态。

4.工具的准备

一套开口扳手（主要使用7mm 、12mm 、13mm 、14mm ） 一套内六角（主要使用5mm ） 小、大型一字螺丝刀各一把

一小桶酒精、扎带或胶带、无尘纸若干

一个吸尘器、一个插线排、一支记号笔、一个收纳盒。 5.技术资料

每个机台有四根管，每根管有单独的真空系统（第一、二管使用135°短管与挡板阀、蝶阀连接呈倾斜状，如图三；第三、四管取消135°短管呈垂直状，如图四。）彼此之间使用勾形夹连接。

STOP

电源开关

N2稀释阀

冷却水

图三 倾斜连接 图四 垂直连接 ①蝶阀 ②挡板阀 ③135°短管 6.拆装顺序

图五

1

2

3

6.1将电磁阀下方的黑色塑料螺帽柠开，取下电磁阀端头；取下电磁阀左侧的两个黄色消声器，拆下真空气管（使用12、14的开口扳手）并用扎带或胶带将气管打折，防止气管冲击将人打伤。

6.2按蝶阀电源线、传感器线或通讯线的D型公插头以及地线的顺序依次拆除。

6.3短管与挡板阀连接处和短管与蝶阀连接处的勾形夹松开，取下蝶阀和挡板阀用酒精和无尘纸进行清理，取蝶阀与挡板阀时需两人配合，一人扶着，一人上下，左右来回晃动，不得暴力拆除。每拆除一管做相应的标记，以便于安装。清理时发现有密封圈损坏的要及时进行更换，以免重新安装会影响真空度与漏率。

如果拆装的第一、二管，将135°短管拆下，并把直管固定座松开，为了蝶阀与挡板阀安装的配合，即先将拆下来的135°短管与蝶阀挡板阀进行组装，然后将三部分组装好的整体进行安装。安装时，先进行短管（炉门侧）与挡板阀的搭接，再通过调整真空管进行安装，最后将勾形夹和直管固定座的所有螺丝打紧，安装完成进行测漏。

7现场整理

将工具放于工具箱内，其他器械放于指定区域，用过的无尘纸放于指定的垃圾桶内，清理的生成物用吸尘器清理，最后用酒精润湿的无尘纸清理机台和地面。

8注意事项

8.1炉管必须降温，防止烫伤和发生火灾；

8.2拆除下的小物体放于收纳盒，防止丢失；

8.3安装时密封圈、管口进行沾有酒精的无尘纸清理，密封圈不得漏

装和不装；

8.4不得暴力拆装，防止伤人损物。

8.5不得湿手插拔电源插头。

编者：香烟籴泪痕*文中有什么不对的地方，还请您多多指教，谢谢*