磁流变和离子束抛光设备

中国还有个做超精密加工的单位，不过因为保密很少公开，这就是国防科技大学机电工程与自动化学院的精密加工实验室。他们现在在新原理的磁流变抛光（MRF）技术上做的不错。

磁流变抛光技术的原理是：以磁性颗粒、基液、表面活性剂为基体，加入抛光粉, 混合均匀制成磁流变抛光液。在可控磁场作用下，磁流变液的链化结构发生变化，从而形成粘度可控的磁流体。利用磁流变技术加工，具有“抛光头”不会变钝或变形，流动液体实时适合零件复杂形面的变化而变化，加工效率很高等优点。

磁流变抛光原理

磁流变抛光技术其实是苏联人最早发明，1988年，苏联白俄罗斯科学院一个研究小组就提出了用磁流体抛光光学玻璃的想法，引起美国罗切斯特大学光学制造中心（COM）的注意。开始大学光学能量实验室Laboratory for Laser Energetics (LLE)的主任Stephen Jacobs还很怀疑，后来亲自到白俄罗斯访问了这项技术发明人William Kordonski 以后彻底服了。91年苏联解体后美国人干脆把白俄罗斯这帮整锅端到美国，1994年成立了以Kordonski为首的QED 公司，推出了“磁流变抛光”专利，从而成为全球大牛。公司网站/ William Kordonski ，国际磁流变研磨技术权威

世界上唯一商业化的磁流变超精密磨床就是美国QED 公司的Q22系列磁流变抛光机床

国防科技大研制的KDRMF-1000 磁流变抛光设备，加工Ф200mm ,1:1.6 的K9 玻璃抛物面镜，其面形误差小于λ/100（RMS），粗糙度优于0.5nm。图为KDRMF-1000 磁流变抛光实验机床。