国高校研究所半导体工艺论文(精)

安捷伦杯半导体制造技术论文比赛

规则及2005年计划书

一、项目的背景意义、目标及评选原则

1. 背景和意义

近几年来，中国大陆半导体产业飞速发展，晶圆代工和IC设计业急速增长，就半导体制造来说，2004年和2003年相比，增长幅度达到40%。随着国外半导体制造业向中国大陆的继续转移，随着IC市场需求的增长，可以预计，中国大陆不久将成为全球晶圆代工制造业的中心，具有半导体制造技术的专业人才的需求量在今后几年内将有大幅的增长。

从目前国内高校在读研究生的研究课题和毕业生的工作去向来看，从事半导体制造工艺去向的人才不足三分之一。由于半导体生产线设备昂贵技术更新快，通常学校实验室设备更新缓慢，人才培养的数量与水平与用人单位实际需要脱节，难以适应半导体制造快速发展的需要，迫使半导体制造厂商需要对新招募的员工（本科生和研究生）花上半年甚至更长的时间进行上岗培训。

安捷伦科技是全球SOC 测试系统和解决方案的供应厂商，又是半导体制造工艺流程的测试设备及相关技术的供应厂商，绝大部分晶圆制造厂商都是安捷伦的用户。安捷伦在半导体产业链中的特殊位置，以及和政府、大学之间顺畅的关系，促使安捷伦主动提议以论文比赛的方式，架桥铺路，为中国的半导体工艺人才的培养教育做实事，为中国的半导体产业的健康稳步的发展做贡献。

安捷伦半导体测试部在经过充分的调查研究、倾听教育，科研和产业界各方面专家的基础上，编制了本规则和计划书，拟经过组委会讨论通过，从2005年开始实施。

2. 目标

通过在相关高校开展以半导体制造技术为主题的全国范围内的有奖论文比赛，鼓励教师和学生（主要是研究生）对半导体制造技术的教学和学习的积极性，刻苦钻研，探索对学科发展和产业发展有重要科学意义和应用前景的课题研究。促进教育界、科技界和产业界对培养半导体制造领域具有国际水准的高级人才的关注，探讨这方面人才培养的新途径，探讨高科技企业和国内大学合作的新模式，进一步促进育人单位和用人单位之间的交流和联系。

3. 评选工作原则

评选工作遵循“科学公正、创新实用、严谨求实、择优勿滥”的原则进行。

二、论文比赛的工作组织（参见附图一）

1．设立组委会

由发起单位学校代表、教育行业管理代表，产业代表和安捷伦科技有限公司代表共同组成，是本次论文比赛的最高领导机构。负责本次论文比赛的策划、组织、

和实施。组委会下设秘书处，评审工作组，技术支持组。秘书处，负责日常组织工作。

1）组委会成员共17人，包括：

①发起单位学校代表8人，全权负责本单位论文比赛的组织实施和协调工作。分别是北京大学黄如，清华大学余志平，中科院韩郑生，复旦大学刘冉，上海交通大学程秀兰，西安交通大学邵志标，电子科技大学张怀武，西安电子科技大学张义门

②相关机构代表3人，负责指导和协助组织工作。

分别是中国半导体行业协会徐小田，教育部科技发展中心袁成琛、科技日报社李玉成。

③产业代表4人，协助提供有实用性意义和有应用前景的课题信息，指导研究，在有可能的情况下协助提供研究条件。

分别是由中芯国际集成电路制造（上海）有限公司简维廷，台积电（上海）有限公司陈平，上海宏力半导体制造有限公司张维裕，上海华虹NEC电子有限公司徐向明

④安捷伦代表2人，分别是半导体测试亚太总经理谢金明和行销经理尹文怡，全权负责本次活动，安捷伦科技拥有本次活动的最终解释权。

2）秘书处成员共3人，包括：

秘书长（1名）：安捷伦行销经理尹文怡

常任秘书（2名）：安捷伦行销支持专员等

2．设立专家评审组和专家委员会

成员由业界有关专家和知名学者组成，根据公平、公正、科学的原则，负责制定大赛项目指南，审核参赛者资格，提出评判标准，根据论文评审的工作流程，实施论文的评审工作。

1）专家评审组拟邀请国家博士点基金专家库同行专家20-30名，组成专家评审组。采用通讯评审的方式对申请项目进行分组初评。

2）专家委员会负责答辩评审。由学术界权威教授、业界资深专家及安捷伦资深技术顾问11人组成。上述三部分成员，约各占三分之一，推举一名任组长。其中业界评委分别由中芯国际（北京）杨濬哲博士、台积电（上海）孙学立博士、宏力半导体郭强博士，华虹NEC姚泽强博士担任。

3）特邀国内著名微电子专家、中科院院士作为项目顾问。他们是北京大学王阳元院士，清华大学李志坚院士及中科院微电子研究所吴德馨院士

3．设立技术支持服务部

由安捷伦半导体参数测试事业部和业界半导体制造厂商中的专业技术工程 2

师8人组成。技术支持服务部负责依据参赛者提交的研究计划协调分配软硬件设备资源，并在学生进行研究实验过程中提供相关的仪器使用培训和课题指导。技术支持服务部由安捷伦公司指派专人负责。

三、论文比赛评选程序及基本评分标准

1．参赛及评选程序（参见附图二）

1）学校提出参赛申请。

2）通讯评议。组委会评审工作组对申请材料分类整理，组织同行专家进行通讯评议。每份申请不少于3名同行专家评审，每位专家最多评10份。按打分高低排出小组名次。

3）专家委员会会议审定。组委会评审工作组将评选出较为优秀的论文（按20%的比例）提交专家委员会会议审定。专家在听取答辩后，对候选的10篇左右的论文排序打分，提出评审意见。

4）组委会按专家意见总结归纳出建议获奖论文，进入15天异议期

5）组委会组织发布比赛结果

2．基本评分标准

1）选题与综述（20分）：IC 新技术、新方向，具有现实与理论价值；对本学科与相关领域发展综述、结论正确。

2）理论、方法和技术创新性（60分）：探索总结新方法、技术、规律及工程技术难题；理论基础扎实，专业知识系统深入；预期成果有价值，具有社会效益和应用前景。

3）能力表现（20分）：写作能力强，表述清晰，材料翔实，数据图表真实可靠；资源设备使用水平：详细注明所使用设备仪器型号和软件、引文出处。

四、2005年论文比赛的举办方法

1) 采取邀请赛的形式。邀请赛的范围限于与安捷伦科技签订关于半导体制造技术论文比赛合作意向书的八所大学和研究所，主要面向在读硕士研究生（包括硕博连读），优秀的本科生也可以报名参加，但论文的第一作者必须是在读学生。（以报名参赛时的身份为准）

2）限定参赛论文总篇数在50篇之内。每个参加单位有5个名额，原则上每个方向可申请一篇，每个单位还可以在最具有优势的方向上增报一篇。如果有放弃的方向可以少报或者可以申请有优势的方向。

3）参赛论文申请者提交论文时需要得到学院或学校（研究所）的同意，并经组委会学校代表审核通过后才可获得正式参赛资格。

4）比赛时间从2005年4月1日开始，每个参赛者根据项目指南选题，提交5到7份申请，于4月22日之前报秘书处备案。（申请简表附后）

5）比赛过程中用到安捷伦的相关测试设备，以及和设备相关的软件和技术培