不同硬度刮刀对比试验

等离子刻蚀
PECVD
板式
liftime 5.09-10.47us
印刷烧结 workshop1
Line3 背电极 背电场
280目 9925-B 280目 RX8201
增重
△
60
m：
0.124g
正电极
△ 65 m:0.122
g
△ 75 m:0.116
g
△ 80 m:0.118
g
一二三道
使用相同
的印刷参
数 烧结温
0.6134671 5.0952798 0.0062688 64.865083 77.376999 0.1627927 0.3323587
0.6140242 5.1073283 0.0065624 77.039234 77.208692 0.1629719 0.3249254
实验总 在第三道将一批300片分成4部分。河北晶龙的硅片片源不稳定，电性能参差不齐，四
度：
915
730
645
565
505
450
310
河北晶龙测试结果
刮刀硬度 60 65 75 80
Uoc
Isc
Rs
Rsh
FF
NCell
Irev2
0.6124994 5.1222773 0.0064171 71.289009 77.127615 0.1628766 0.3202186
0.6174227 5.1633049 0.0062655 72.293673 77.497803 0.1662852 0.4324018
305
300
不稳定，电性能参差不齐，四批效率的差异不是刮刀硬度带 好，线条比较窄，65和75的效果其次，边缘整齐度都优于60 用65硬度的刮刀。
65
80
结：
来的结果。从印刷图形来看，硬度80的刮刀印刷效果最好，线条比较窄，65和75的效
的硬度，鉴于8wk.baidu.com的硬度对网版损伤比较大，建议固定使用65硬度的刮刀。
不同网板
印刷的图
形效果 60
75
验（第三道）
为60、65、75、80的刮刀进行实验
电阻率：0.5～3ohm.cm
批次号：HPPL-080414-s125-D014
不同硬度刮刀实验（第三道）
实验说 为了观察刮刀对第三道印刷的线条的影响，共使用了四根硬度分别为60、65、75、80的刮刀进行实验
明：
所用硅片：
G136-080331-BW-S125-G011-080413 河北晶龙
电阻率：0.5～3ohm.cm
厚度: 200+20um
对角:150+1um
扩散 35.6-41.2ohm/□